JP2008147222A - 軟磁性厚膜及びそれを用いたインダクタ - Google Patents
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Abstract
【課題】 大電流、高周波数帯域で使用可能な磁性材料の厚膜を簡便な工程により低コストで得る方法を提供し、併せて該磁性厚膜を応用した小型、薄型のインダクタを提供すること。
【解決手段】 エアロゾルデポジション法で軟磁性厚膜を得るにあたって、非晶質軟磁性金属粉末と結晶質軟磁性金属粉末を混合した原料粉末を用い、前者と後者の降伏応力の比率を2以上とする。これにより成膜過程で塑性変形しない非晶質軟磁性金属粉末の粒子1間の空隙を塑性変形した結晶質軟磁性金属粉末の粒子2が充填し、結合材として機能し、非晶質軟磁性金属粉末のみでは成膜が困難な軟磁性厚膜の形成が可能となる。得られた軟磁性厚膜で、例えば渦巻形状の平面コイルを挟み、インダクタとすることができる。製法の特徴から、用いる原料粉末の粒子表面に予め絶縁層を施し、インダクタとしての特性を向上することも可能である。
【選択図】 図1
Description
2 結晶質軟磁性金属粉末の粒子
3a、3b 軟磁性厚膜
4 平面コイル
5 搬送ガス容器
6 搬送ガス流量制御装置
7 エアロゾル発生装置
8 ノズル
9 成膜チャンバー
10 基板取付けフレーム
11 基板
12 真空配管
13 真空ポンプ
Claims (3)
- 非晶質軟磁性金属粉末と結晶質軟磁性金属粉末を含む混合粉末を、エアロゾルデポジション法を用いて成膜した軟磁性厚膜であって、前記非晶質軟磁性金属粉末の降伏応力は、前記結晶質軟磁性金属粉末の2倍以上であることを特徴とする軟磁性厚膜。
- 前記非晶質軟磁性金属粉末と前記結晶質軟磁性合金粉末のうち、少なくとも前記非晶質軟磁性金属粉末の粒子表面に、絶縁層が形成されてなることを特徴とする、請求項1に記載の軟磁性厚膜。
- 請求項1または2に記載の軟磁性厚膜の間にコイルを形成してなることを特徴とするインダクタ。
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010118486A (ja) * | 2008-11-13 | 2010-05-27 | Nec Tokin Corp | インダクタおよびインダクタの製造方法 |
WO2012081884A2 (ko) * | 2010-12-13 | 2012-06-21 | 주식회사 아모텍 | 비정질 자성부품, 이를 이용한 전기모터 및 그 제조방법 |
WO2013073180A1 (ja) * | 2011-11-18 | 2013-05-23 | パナソニック株式会社 | 複合磁性材料とそれを用いたコイル埋設型磁性素子およびその製造方法 |
JP2013161829A (ja) * | 2012-02-01 | 2013-08-19 | Nissan Motor Co Ltd | 希土類磁石成形体およびその製造方法、並びに希土類磁石を含む磁石モータ |
TWI509644B (en) * | 2014-01-15 | 2015-11-21 | Soft magnetic alloy powders composition, magnetic core and inductance component | |
JP2016012715A (ja) * | 2014-06-06 | 2016-01-21 | アルプス・グリーンデバイス株式会社 | 圧粉コア、該圧粉コアの製造方法、該圧粉コアを備える電子・電気部品、および該電子・電気部品が実装された電子・電気機器 |
JP2017108098A (ja) * | 2015-11-26 | 2017-06-15 | アルプス電気株式会社 | 圧粉コア、当該圧粉コアの製造方法、該圧粉コアを備えるインダクタ、および該インダクタが実装された電子・電気機器 |
WO2023093025A1 (zh) * | 2021-11-23 | 2023-06-01 | 苏州大学 | 一种高剩磁比、低孔隙率六角铁氧体厚膜及其制备方法与应用 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6428301A (en) * | 1987-07-23 | 1989-01-30 | Hitachi Metals Ltd | Fe-base alloy powder and its production |
JPH07201599A (ja) * | 1993-12-28 | 1995-08-04 | Alps Electric Co Ltd | 積層磁心 |
JP2003277948A (ja) * | 2000-10-23 | 2003-10-02 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 複合構造物およびその製造方法 |
JP2003297629A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-10-17 | Sony Corp | 磁性膜 |
JP2003297628A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-10-17 | Sony Corp | 磁性膜およびその形成方法 |
JP2005060805A (ja) * | 2003-08-20 | 2005-03-10 | Hitachi Metals Ltd | アモルファス合金部材及びその製造方法並びにそれを用いた部品 |
-
2006
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6428301A (en) * | 1987-07-23 | 1989-01-30 | Hitachi Metals Ltd | Fe-base alloy powder and its production |
JPH07201599A (ja) * | 1993-12-28 | 1995-08-04 | Alps Electric Co Ltd | 積層磁心 |
JP2003277948A (ja) * | 2000-10-23 | 2003-10-02 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 複合構造物およびその製造方法 |
JP2003297629A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-10-17 | Sony Corp | 磁性膜 |
JP2003297628A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-10-17 | Sony Corp | 磁性膜およびその形成方法 |
JP2005060805A (ja) * | 2003-08-20 | 2005-03-10 | Hitachi Metals Ltd | アモルファス合金部材及びその製造方法並びにそれを用いた部品 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010118486A (ja) * | 2008-11-13 | 2010-05-27 | Nec Tokin Corp | インダクタおよびインダクタの製造方法 |
WO2012081884A2 (ko) * | 2010-12-13 | 2012-06-21 | 주식회사 아모텍 | 비정질 자성부품, 이를 이용한 전기모터 및 그 제조방법 |
WO2012081884A3 (ko) * | 2010-12-13 | 2012-09-07 | 주식회사 아모텍 | 비정질 자성부품, 이를 이용한 전기모터 및 그 제조방법 |
WO2013073180A1 (ja) * | 2011-11-18 | 2013-05-23 | パナソニック株式会社 | 複合磁性材料とそれを用いたコイル埋設型磁性素子およびその製造方法 |
JP2013161829A (ja) * | 2012-02-01 | 2013-08-19 | Nissan Motor Co Ltd | 希土類磁石成形体およびその製造方法、並びに希土類磁石を含む磁石モータ |
TWI509644B (en) * | 2014-01-15 | 2015-11-21 | Soft magnetic alloy powders composition, magnetic core and inductance component | |
JP2016012715A (ja) * | 2014-06-06 | 2016-01-21 | アルプス・グリーンデバイス株式会社 | 圧粉コア、該圧粉コアの製造方法、該圧粉コアを備える電子・電気部品、および該電子・電気部品が実装された電子・電気機器 |
JP2017108098A (ja) * | 2015-11-26 | 2017-06-15 | アルプス電気株式会社 | 圧粉コア、当該圧粉コアの製造方法、該圧粉コアを備えるインダクタ、および該インダクタが実装された電子・電気機器 |
WO2023093025A1 (zh) * | 2021-11-23 | 2023-06-01 | 苏州大学 | 一种高剩磁比、低孔隙率六角铁氧体厚膜及其制备方法与应用 |
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Publication number | Publication date |
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