JP2008133800A5 - - Google Patents
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- 液体流入口および流出口に連通するポンプ室とポンプ側の駆動室とを仕切る弾性変形自在の仕切り膜が設けられたポンプと、
大径のシリンダ孔と小径のシリンダ孔とが形成され前記ポンプに連結されるシリンダと、
前記大径のシリンダ孔に嵌合する大径ピストン部および前記小径のシリンダ孔に嵌合する小径ピストン部を備え、前記シリンダの内部に軸方向に往復動自在に装着され、前記ポンプ側の駆動室に連通するピストン側の駆動室を前記シリンダ内に形成し、前記ポンプ側の駆動室に非圧縮性媒体を給排するピストンと、
前記大径ピストン部と前記シリンダとの間に設けられ、前記大径ピストン部の摺動面に連なる第１のシール室を形成するベローズカバーと、
前記小径ピストン部と前記シリンダとの間に設けられ、前記小径ピストン部の摺動面に連なるとともに前記第１のシール室に連通する第２のシール室を形成する弾性変形部材と、
前記第１および前記第２のシール室に封入される非圧縮性媒体と、
前記ピストンを軸方向に往復動し、前記ピストン側の駆動室と前記ポンプ側の駆動室内の前記非圧縮性媒体を介して前記ポンプ室を膨張収縮する駆動手段と、
前記シール室の圧力と前記駆動室の圧力の少なくともいずれか一方の圧力を検出する圧力検出手段とを有することを特徴とする薬液供給装置。 - 請求項１記載の薬液供給装置において、前記弾性変形部材はベローズカバーであることを特徴とする薬液供給装置。
- 大径外周面と小径外周面とを有するシリンダと、
前記シリンダ内に組み込まれ、液体流入口および流出口に連通するポンプ室と前記シリンダの内周面との間のポンプ側の駆動室とを仕切る可撓性チューブと、
前記大径外周面に摺動自在に嵌合する大径ピストン部、および前記小径外周面に摺動自在に嵌合する小径ピストン部を備え、前記ポンプ側の駆動室に連通するピストン側の駆動室を前記シリンダとの間に形成し、前記ポンプ側の駆動室に非圧縮性媒体を給排するピストンと、
前記シリンダの一端部側と前記ピストンの前記大径ピストン部との間に設けられ前記大径外周面との間で前記大径ピストン部の摺動面に連なる第１のシール室を形成する第１のベローズカバーと、
前記シリンダの他端部側と前記ピストンの小径ピストン部との間に設けられ前記小径外周面との間で前記小径ピストン部の摺動面に連なるとともに前記第１のシール室に連通する第２のシール室を形成する第２のベローズカバーと、
前記第１および前記第２のシール室に封入される非圧縮性媒体と、
前記ピストンを軸方向に往復動し、前記ピストン側の駆動室と前記ポンプ側の駆動室内の前記非圧縮性媒体を介して前記ポンプ室を膨張収縮する駆動手段と、
前記シール室の圧力と前記駆動室の圧力の少なくともいずれか一方の圧力を検出する圧力検出手段とを有することを特徴とする薬液供給装置。 - 液体流入口および流出口に連通するポンプ室と駆動室とを仕切る弾性変形自在の仕切り膜が設けられたポンプと、
前記駆動室に非圧縮性媒体を給排するピストンが往復動自在に組み付けられるシリンダと、
前記ピストンと前記シリンダとの間に設けられ、前記ピストンの摺動面に連なるとともに非圧縮性媒体が封入される第１のシール室を形成する軸方向に弾性変形自在の第１のベローズカバーと、
前記第１のシール室に連通するとともに前記ピストンの往復動時における前記第１のシール室の容積変化に追従して非圧縮性媒体が流入しかつ排出される第２のシール室を形成する第２のベローズカバーと、
前記ピストンおよび前記第２のベローズカバーを軸方向に往復動し、前記非圧縮性媒体を介して前記ポンプ室を膨張収縮するとともに前記第１のシール室の収縮時に前記第２のシール室を膨張させ、第１のシール室の膨張時に前記第２のシール室を収縮させる駆動手段と、
前記シール室の圧力と前記駆動室の圧力の少なくともいずれか一方の圧力を検出する圧力検出手段とを有することを特徴とする薬液供給装置。 - 液体流入口および流出口に連通するポンプ室と駆動室とを仕切る弾性変形自在の仕切り膜が設けられたポンプと、
前記駆動室に非圧縮性媒体を給排するピストンが往復動自在に組み付けられるシリンダと、
前記ピストンと前記シリンダとの間に設けられ、前記ピストンの摺動面に連なるとともに非圧縮性媒体が封入される第１のシール室を形成する軸方向に弾性変形自在のベローズカバーと、
前記第１のシール室に連通するとともに前記ピストンの往復動時における前記第１のシール室の容積変化に追従して非圧縮性媒体が流入しかつ排出される第２のシール室を形成するダイヤフラムと、
前記ピストンを軸方向に往復動し、前記非圧縮性媒体を介して前記ポンプ室を膨張収縮する駆動手段と、
前記シール室の圧力と前記駆動室の圧力の少なくともいずれか一方の圧力を検出する圧力検出手段とを有することを特徴とする薬液供給装置。
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