JP2008133170A - トリクロロシラン製造装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 テトラクロロシランと水素とを含む供給ガスが内部の反応流路に供給されてトリクロロシランと塩化水素とを含む反応生成ガスが生成される反応容器1と、反応容器1の内部を加熱するヒータ部15を有する加熱機構2と、反応容器1内に供給ガスを供給するガス供給部3と、反応容器1内から反応生成ガスを外部に排出するガス排気部4とを備え、ヒータ部15が、反応容器1の中央に配置され、反応流路がヒータ部15の周囲に配されている。
【選択図】 図1
Description
4SiHCl3 → Si+3SiCl4+2H2 ・・・(2)
SiCl4+H2 → SiHCl3+HCl ・・・(3)
このトリクロロシランを製造する装置として、例えば特許文献1には、反応室が、同心配置の2つの管によって形成された外室と内室をもった二重室設計とされ、この反応室の外側の周りに発熱体を配置した反応器が提案されている。この反応器では、炭素等で形成されたヒータ部である発熱体が通電により発熱し、反応室内を外側から加熱することで、反応室内のガスを反応させている。
水素との供給ガスが内部の反応流路に供給されて転換反応によりトリクロロシランと塩化水素との反応生成ガスが生成される反応容器1と、反応容器1を内側から加熱する加熱機構2と、反応容器1内に供給ガスを供給する複数のガス供給管3と、反応容器1から反応生成ガスを外部に排出する複数のガス排気管4と、反応容器1及び加熱機構2の周囲を覆うように配された断熱材5と、反応容器1、加熱機構2及び断熱材5を収納する収納容器6と、収納容器6内にアルゴン(Ar)を供給するアルゴン供給機構7とを備えている。
複数の流通用貫通孔10が形成されている。
気の置換やアルゴンの排気を行うための容器用ポンプ(図示略)が接続されている。
Claims (5)
- テトラクロロシランと水素とを含む供給ガスが内部の反応流路に供給されてトリクロロシランと塩化水素とを含む反応生成ガスが生成される反応容器と、
前記反応容器の内部を加熱するヒータ部を有する加熱機構と、
前記反応容器内に前記供給ガスを供給するガス供給部と、
前記反応容器内から前記反応生成ガスを外部に排出するガス排気部とを備え、
前記ヒータ部が、前記反応容器の中央に配置され、
前記反応流路が前記ヒータ部の周囲に配されていることを特徴とするトリクロロシラン製造装置。 - 請求項1に記載のトリクロロシラン製造装置において、
前記反応流路が、前記ガス供給部と接続され前記反応容器の外周側から中央側に向かって前記供給ガスを流通させる供給側流路と、
前記供給側流路に上流端が接続されていると共に前記ガス排気部に下流端が接続され前記反応容器の中央側から外周側に向かって前記供給ガスから生成された反応生成ガスを流通させる排出側流路とを有し、
前記供給側流路と前記排出側流路とが互いに隣接して配されていることを特徴とするトリクロロシラン製造装置。 - 請求項1又は2に記載のトリクロロシラン製造装置において、
前記反応容器を構成する部材が、カーボンで形成されていることを特徴とするトリクロロシラン製造装置。 - 請求項3に記載のトリクロロシラン製造装置において、
前記カーボンの表面が、炭化珪素でコーティングされていることを特徴とするトリクロロシラン製造装置。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載のトリクロロシラン製造装置において、
前記反応容器及び前記加熱機構を収納する収納容器を備え、
前記収納容器内にアルゴンを供給するアルゴン供給機構を備えていることを特徴とするトリクロロシラン製造装置。
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