JP2008124446A5 - - Google Patents

Claims (21)

1. 可撓性を有するフィルム基板の上に、導電性微粒子が粘着物質に分散して充填されたものを加熱しながら加圧して形成したパターンを設け、
   前記粘着物質の前記基板の面と垂直方向の密度変化は、前記基板と接触する面近傍の方が、前記基板と接触する面と反対側の面近傍よりも高くなる傾斜構造を有するようにしたことを特徴とする導電パターン形成フィルム。
2. 前記導電性微粒子を金属又は半導体の微粒子としたことを特徴とする請求項１記載の導電パターン形成フィルム。
3. 前記導電性微粒子の粒子径を１０ｎｍから１０μｍの範囲内の任意の値としたことを特徴とする請求項１又は２項記載の導電パターン形成フィルム。
4. 前記導電性微粒子を集合又は凝集して粉体としたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載の導電パターン形成フィルム。
5. 前記粉体の形状は、長軸と短軸とに差を有するものであって、その長軸が基板面に平行に配向して、隣接する粉体と接触していることを特徴とする請求項４記載の導電パターン形成フィルム。
6. 前記導電性微粒子又は前記粉体を構成する導電性微粒子を、銀、金、銅及びアルミニウムの内の任意のものを含むようにしたことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項記載の導電パターン形成フィルム。
7. 前記導電性微粒子又は前記粉体を形成する導電性微粒子を構成する金属の微粒子を、粒子添加物が混入しているアルミニウムとしたことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項記載の導電パターン形成フィルム。
8. 前記粒子添加物を、亜鉛粒子としたことを特徴とする請求項７記載の導電パターン形成フィルム。
9. 前記導電性微粒子又は前記粉体を形成する導電性微粒子を構成する半導体の微粒子を、酸化亜鉛、酸化インジウム、酸化チタン、酸化スズ及び酸化ニッケル又はそれらを含む化合物の内の任意のものとしたことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項記載の導電パターン形成フィルム。
10. 前記粘着物質は、粘着物質を含む導電性ペーストとしたことを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項記載の導電パターン形成フィルム。
11. 前記フィルム基板が、前記粘着物質に含まれる溶剤に対して耐性を持ち、それらの溶剤の沸点以上のガラス転移点を持ち、粘着物質と密着性が良く、電気絶縁性を有することを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項記載の導電パターン形成フィルム。
12. 前記パターンの表面平滑性を、粗さ曲線を断面の光学顕微鏡像の算出幅１００μｍから求めたとき、算術粗さ（Ｒａ）で、０．１６μｍ以下の任意の値としたことを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項記載の導電パターン形成フィルム。
13. 平らな載置面を有し、水平方向に移動自在に構成されている試料設置台と、前記載置面に対し任意の速度で移動自在に対向配置された圧力印加用駆動体からなり、前記圧力印加用駆動体は、前記載置面と対抗し且つ試料と接触する面を、曲面又は球面としたことを特徴とする導電パターン形成装置。
14. 前記圧力印加用駆動体を、下面に金属球体を設けた金属平板から構成したことを特徴とする請求項１３記載の導電パターン形成装置。
15. 前記金属球体は、その直径が０．１ｍｍから５ｍｍの範囲内の任意の値をとることを特徴とする請求項１４記載の導電パターン形成装置。
16. 前記圧力印加用駆動体は、前記試料設置台に対して、鉛直方向に移動されて圧力を印加すると供に、水平方向に試料の移動速度とは異なる速度で駆動され、前記鉛直方向と前記水平方向の両方に圧力を加えるように構成されていることを特徴とする請求項１３乃至１５のいずれか１項記載の導電パターン形成装置。
17. 前記圧力印加駆動体は、前記金属球体を複数個前記金属平板の前記試料設置台側に１段設けたことを特徴とする請求項１４乃至１６のいずれか１項記載の導電パターン形成装置。
18. 前記金属平板に、該金属平板を介して前記金属球体を吸着保持する磁石を設けたことを特徴とする請求項１４乃至１７のいずれか１項記載の導電パターン形成装置。
19. 前記圧力印加駆動体と試料との間にメッシュシートを配置し、該メッシュシートを介して圧力を印加させることを特徴とする請求項１４乃至１８のいずれか１項記載の導電パターン形成装置。
20. 前記圧力印加駆動体が、前記試料設置台の平らな載置面と平行に且つ互いに並列に複数個設けられ、前記載置面上の試料に対し前記並列に設けた複数個により連続的に複数回の圧力印加を行なえるようにしたことを特徴とする請求項１４乃至１９のいずれか１項記載の導電パターン形成装置。
21. 前記試料設置台に設けた制御装置は、前記試料設置台と前記圧力印加駆動体に設けた加熱手段によりそれぞれの加熱温度をそれぞれ独立に制御できるようにしたことを特徴とする請求項１４乃至２０のいずれか１項記載の導電パターン形成装置。