JP2008102402A - ハーフトーン型位相シフトマスクの製造方法 - Google Patents
ハーフトーン型位相シフトマスクの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008102402A JP2008102402A JP2006286047A JP2006286047A JP2008102402A JP 2008102402 A JP2008102402 A JP 2008102402A JP 2006286047 A JP2006286047 A JP 2006286047A JP 2006286047 A JP2006286047 A JP 2006286047A JP 2008102402 A JP2008102402 A JP 2008102402A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- phase shift
- pattern
- mask
- chromium
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02B—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO BUILDINGS, e.g. HOUSING, HOUSE APPLIANCES OR RELATED END-USER APPLICATIONS
- Y02B20/00—Energy efficient lighting technologies, e.g. halogen lamps or gas discharge lamps
Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Abstract
【解決手段】透明基板11上に半透明位相シフト層21及びクロム層31を形成する工程と、クロム層21をパターニング処理してクロムパターン31aを形成する工程と、クロムパターン31aをマスクにして半透明位相シフト層21をエッチングし、マスクパターン30aを形成する工程と、外観検査機にてパターン検査を行い、残留欠陥を検出する工程と、AFM(Atomic Force Microscope)型修正機を用いて残留欠陥を修正する工程と、欠陥修正で発生した修正カスをアルカリ洗浄にて除去する工程と、クロムパターン31aを除去する工程とからなるハーフトーン型位相シフトマスクの製造方法である。
【選択図】図1
Description
半導体集積回路装置の製造技術におけるフォトマスク分野においては、ウェハー転写時の解像力を高めるために位相シフトマスク技術が重要視されている。
その位相シフトマスクには、比較的プロセスが容易なハーフトーン型位相シフトマスクとガラス基板を掘り込んで位相差形成を行うレベンソン型位相シフトマスク等があるが、レベンソン型位相シフトマスクに比較して製作難易度が高くないハーフトーン型位相シフトマスクが依然として多く使用されている。
ハーフトーン型位相シフトマスク300は、透明基板111上に半透明位相シフトパターン121aが形成された単層ハーフトーン型位相シフトマスクである。
図4(a)〜(f)は、位相シフトマスク300の製造方法を工程順に示す模式構成部分断面図である。
まず、石英ガラス基板等からなる透明基板111上にタンタル、タンタル酸化物等からなる半透明位相シフト層121と、Cr膜等からなる遮光層131とが形成された位相シフトマスク用ブランクス110を作製する(図4(a)参照)。
光照射により蒸発除去したり、集束イオンビームスパッタリングによる修正が行われている。
レーザの集光照射による蒸発除去の修正法では、レーザ照射の結果、加工エッジ部にめくれやラフネスを生じ、加工後の形状が良くない場合がある。
また、集束イオンビームスパッタリングによる修正法では、イオンビーム照射領域に、イオン源であるガリウムがマスク基板である石英に打ち込まれ、ガリウムステインが生じることにより透過率低下を引き起こすこと、修正された残留欠陥周辺部の石英基板に対しても必要のないスパッタリングをしてしまうこと等により、基板の透過率変動を引き起こすことが知られており、問題とされている。
これは、フォトマスク上に設計とは異なった残留欠陥の除去に用いられ、効果を上げている。
特に、ハーフトーン型位相シフトマスクの修正においては、修正の精度が要求され、高精度のAFM型修正機が用いられることが多くなってきている。
図2(a)は、透明基板111上にフォトマスク又は位相シフターパターン等のパターン211と残留欠陥211cが形成されたフォトマスク200の部分模式平面図を、図3(b)は、図2(a)をA−A’線で切断したフォトマスク200の模式構成部分断面図を示す。図3(a)〜(f)は、AFM型走査プローブ顕微鏡を用いたフォトマスクの残留欠陥修正方法の一例を示す説明図である。
次に、残留欠陥211cの領域のみでAFMプローブ210をX、Y方向に走査させながら、AFMプローブ310を押し下げて、残留欠陥211cに荷重を加えスクラッチすることにより残留欠陥211cを削り取る(図3(c)参照)。
ここで、AFMプローブ310の荷重値は50nN以上500mN以下の範囲で制御される。
この際、通常測定による三次元イメージを最初に取得することで、エンドポイントを検出することが可能である。
この微小な修正カスはパターンとパターンとの間(ガラス上)に入り込みやすく、熱や静電気の影響で容易に除去できない。現在ではドライアイスを用いたドライ洗浄や硫酸などのウェット洗浄を行なっているが、なかなか除去できない場合がある。
アルカリ洗浄などの強い洗浄を行なえば、除去できる可能性は高くなるが、ハーフトーン型位相シフトマスクではアルカリ洗浄は使用できないため、この方法は使えない。
この微小な修正カスが除去できないと、ウェハーへパターン転写する際に透過率低下を起こし、所望のパターンが得られないという問題が発生する。
(a)透明基板上に半透明位相シフト層及びクロム層を形成する工程。
(b)前記クロム層をパターニング処理してクロムパターンを形成する工程。
(c)前記クロムパターンをマスクにして半透明位相シフト層をエッチングする工程。
(d)外観検査機にてパターン検査を行い、残留欠陥を検出する工程。
(e)AFM(Atomic Force Microscope)型修正機を用いて前記残留欠陥を修正する工程。
(f)前記欠陥修正で発生した修正カスをアルカリ洗浄にて除去する工程。
(g)前記クロムパターンを除去する工程。
図1(a)〜(j)は、本発明のハーフトーン型位相シフトマスクの製造方法の製造工程の一実施例を示す模式構成断面図である。
本発明のハーフトーン型位相シフトマスクの製造方法は、透明基板11上に半透明位相シフト層21及びクロム層31を形成する工程と、クロム層21をパターニング処理してクロムパターン31aを形成する工程と、クロムパターン31aをマスクにして半透明位相シフト層21をエッチングし、マスクパターン30aを形成する工程と、外観検査機にてパターン検査を行い、残留欠陥を検出する工程と、AFM(Atomic Force Microscope)型修正機を用いて残留欠陥を修正する工程と、欠陥修正で発生した修正カスをアルカリ洗浄にて除去する工程と、クロムパターン31aを除去する工程とからなる。
まず、透明基板11上に、モリブデン・シリサイド系の材料を反応性スパッタリング等にて成膜し、半透明位相シフト層21を形成し、さらに、クロム金属をスパッタリング、もしくは蒸着してクロム層31を形成してハーフトーン型位相シフトマスク用ブランクス10を作製する(図1(a)参照)。
半透明位相シフト層21としては、モリフデン、シリコン、酸素、窒素を主たる構成要素とするモリブデン・シリサイド系の半透光膜が用いられる。
クロム層31は、クロムを主成分とする膜で構成されている。クロム層31は、アルカリおよび酸に耐性を有する膜としている。それは、半透明位相シフトパターン上にクロムパターンが覆われている状態で、アルカリ洗浄を行って修正カス除去する際の半透明位相シフトパターンを保護する保護層の役目を果たしているからである。
ここで、AFMプローブの荷重値は50nN以上500mN以下の範囲で制御される。
ターン31aをマスクにして半透明位相シフト層をエッチングして半透明位相シフトパターン21aを形成し、位相シフトパターン21a上にクロムパターン31aが形成された2層構成のマスクパターン30aの状態で、パターン検査を行って残留欠陥を検出し、AFM型修正機を用いて欠陥修正を行って、欠陥修正で発生した修正カスをアルカリ洗浄にて除去するため、残留欠陥の修正カスを完全に除去でき、高精度、低欠陥のハーフトーン型位相シフトマスクを得ることができる。
ここで、AFMプローブの荷重値は50nN以上500mN以下の範囲で制御した。
相シフトパターン21aが形成されたハーフトーン型位相シフトマスク100を得た(図1(j)参照)。
11、111……透明基板
21、121……半透明位相シフト層
21a、121a……位相シフトパターン
30a……マスクパターン
31……クロム層
31a……クロムパターン
41、141……レジスト層
41a、141a……レジストパターン
100、200、300……ハーフトーン型位相シフトマスク
131……遮光層
131a……遮光パターン
211……パターン
211c……残留欠陥
310……AFMプローブ
320……エアーガン
Claims (1)
- 少なくとも以下の工程を具備することを特徴とするハーフトーン型位相シフトマスクの製造方法。
(a)透明基板上に半透明位相シフト層及びクロム層を形成する工程。
(b)前記クロム層をパターニング処理してクロムパターンを形成する工程。
(c)前記クロムパターンをマスクにして半透明位相シフト層をエッチングする工程。
(d)外観検査機にてパターン検査を行い、残留欠陥を検出する工程。
(e)AFM(Atomic Force Microscope)型修正機を用いて前記残留欠陥を修正する工程。
(f)前記欠陥修正で発生した修正カスをアルカリ洗浄にて除去する工程。
(g)前記クロムパターンを除去する工程。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006286047A JP5003094B2 (ja) | 2006-10-20 | 2006-10-20 | ハーフトーン型位相シフトマスクの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006286047A JP5003094B2 (ja) | 2006-10-20 | 2006-10-20 | ハーフトーン型位相シフトマスクの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008102402A true JP2008102402A (ja) | 2008-05-01 |
JP5003094B2 JP5003094B2 (ja) | 2012-08-15 |
Family
ID=39436754
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006286047A Expired - Fee Related JP5003094B2 (ja) | 2006-10-20 | 2006-10-20 | ハーフトーン型位相シフトマスクの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5003094B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101923292A (zh) * | 2010-08-03 | 2010-12-22 | 深圳市路维电子有限公司 | 光罩边缘铬残留去除方法 |
JP2011017952A (ja) * | 2009-07-10 | 2011-01-27 | Dainippon Printing Co Ltd | 位相シフトマスクの修正方法および修正された位相シフトマスク |
JP2011095744A (ja) * | 2009-10-30 | 2011-05-12 | Samsung Electronics Co Ltd | ハーフトーン型位相シフトフォトマスクブランクとハーフトーン型位相シフトフォトマスク及びその製造方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1090873A (ja) * | 1996-09-17 | 1998-04-10 | Toshiba Corp | 位相シフトマスクの製造方法 |
JPH10274839A (ja) * | 1997-03-31 | 1998-10-13 | Fujitsu Ltd | 修正用マスク及びハーフトーン位相シフトマスクの修正方法 |
JPH1115127A (ja) * | 1997-06-19 | 1999-01-22 | Nec Corp | ハーフトーン位相シフトマスクおよびそのマスクブランクスならびにハーフトーン位相シフトマスクの製造方法および欠陥修正方法 |
JP2000330262A (ja) * | 1999-05-20 | 2000-11-30 | Mitsubishi Electric Corp | フォトマスクの洗浄方法、洗浄装置およびフォトマスクの洗浄液 |
JP2002316107A (ja) * | 2001-04-18 | 2002-10-29 | Mitsubishi Electric Corp | フォトマスクの洗浄方法 |
JP2003043669A (ja) * | 2001-07-27 | 2003-02-13 | Toppan Printing Co Ltd | フォトマスクの欠陥修正方法及び走査プローブ顕微鏡 |
WO2004038504A2 (en) * | 2002-10-21 | 2004-05-06 | Nanoink, Inc. | Nanometer-scale engineered structures, methods and apparatus for fabrication thereof, and applications to mask repair, enhancement, and fabrication |
JP2005084582A (ja) * | 2003-09-11 | 2005-03-31 | Sii Nanotechnology Inc | フォトマスクのパーティクル除去方法 |
JP2006091240A (ja) * | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Toppan Printing Co Ltd | ハーフトーン型位相シフトマスクの製造方法 |
JP2006195221A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-27 | Sii Nanotechnology Inc | 原子間力顕微鏡の探針を用いたフォトマスクのパターン余剰欠陥修正方法 |
-
2006
- 2006-10-20 JP JP2006286047A patent/JP5003094B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1090873A (ja) * | 1996-09-17 | 1998-04-10 | Toshiba Corp | 位相シフトマスクの製造方法 |
JPH10274839A (ja) * | 1997-03-31 | 1998-10-13 | Fujitsu Ltd | 修正用マスク及びハーフトーン位相シフトマスクの修正方法 |
JPH1115127A (ja) * | 1997-06-19 | 1999-01-22 | Nec Corp | ハーフトーン位相シフトマスクおよびそのマスクブランクスならびにハーフトーン位相シフトマスクの製造方法および欠陥修正方法 |
JP2000330262A (ja) * | 1999-05-20 | 2000-11-30 | Mitsubishi Electric Corp | フォトマスクの洗浄方法、洗浄装置およびフォトマスクの洗浄液 |
JP2002316107A (ja) * | 2001-04-18 | 2002-10-29 | Mitsubishi Electric Corp | フォトマスクの洗浄方法 |
JP2003043669A (ja) * | 2001-07-27 | 2003-02-13 | Toppan Printing Co Ltd | フォトマスクの欠陥修正方法及び走査プローブ顕微鏡 |
WO2004038504A2 (en) * | 2002-10-21 | 2004-05-06 | Nanoink, Inc. | Nanometer-scale engineered structures, methods and apparatus for fabrication thereof, and applications to mask repair, enhancement, and fabrication |
JP2005084582A (ja) * | 2003-09-11 | 2005-03-31 | Sii Nanotechnology Inc | フォトマスクのパーティクル除去方法 |
JP2006091240A (ja) * | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Toppan Printing Co Ltd | ハーフトーン型位相シフトマスクの製造方法 |
JP2006195221A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-27 | Sii Nanotechnology Inc | 原子間力顕微鏡の探針を用いたフォトマスクのパターン余剰欠陥修正方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011017952A (ja) * | 2009-07-10 | 2011-01-27 | Dainippon Printing Co Ltd | 位相シフトマスクの修正方法および修正された位相シフトマスク |
JP2011095744A (ja) * | 2009-10-30 | 2011-05-12 | Samsung Electronics Co Ltd | ハーフトーン型位相シフトフォトマスクブランクとハーフトーン型位相シフトフォトマスク及びその製造方法 |
US8329363B2 (en) | 2009-10-30 | 2012-12-11 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Methods of fabricating halftone phase shift blank photomasks and halftone phase shift photomasks |
US8865375B2 (en) | 2009-10-30 | 2014-10-21 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Halftone phase shift blank photomasks and halftone phase shift photomasks |
CN101923292A (zh) * | 2010-08-03 | 2010-12-22 | 深圳市路维电子有限公司 | 光罩边缘铬残留去除方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5003094B2 (ja) | 2012-08-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3388421B2 (ja) | フォトマスクの残留欠陥修正方法 | |
KR100968697B1 (ko) | 그레이 톤 마스크 블랭크 및 그레이 톤 마스크의 제조방법 | |
JP2000267260A (ja) | マスク欠陥修正方法 | |
KR101004503B1 (ko) | 패턴 형성 방법 및 위상 시프트 마스크 제조 방법 | |
JP2011197375A (ja) | 反射型マスクの製造方法および該製造に用いられる反射型マスクブランク | |
JP5526631B2 (ja) | 位相シフトマスクの修正方法および修正された位相シフトマスク、並びに位相シフトマスクの製造方法 | |
EP1518150B1 (en) | Method of reticle fabrication using an amorphous carbon layer | |
US7785754B2 (en) | Defect repair method for photomask and defect-free photomask | |
JP5003094B2 (ja) | ハーフトーン型位相シフトマスクの製造方法 | |
JPH1115127A (ja) | ハーフトーン位相シフトマスクおよびそのマスクブランクスならびにハーフトーン位相シフトマスクの製造方法および欠陥修正方法 | |
US6114073A (en) | Method for repairing phase shifting masks | |
JP2006039525A (ja) | マスクブランク用透光性基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、露光用マスクの製造方法、半導体装置の製造方法及び液晶表示装置の製造方法、並びに露光用マスクの欠陥修正方法 | |
JP4419464B2 (ja) | ハーフトーン型位相シフトマスクの製造方法 | |
JP5085366B2 (ja) | フォトマスクの欠陥修正方法及びフォトマスクの製造方法 | |
JP2003121988A (ja) | ハーフトーン型位相シフトマスクの欠陥修正方法 | |
JP5644973B1 (ja) | フォトマスクの製造方法 | |
JPH10186635A (ja) | フォトマスクの製造方法 | |
JP5630592B1 (ja) | フォトマスクの製造方法 | |
JPH0934099A (ja) | 位相シフトマスク及びその製造方法 | |
JP6364813B2 (ja) | フォトマスクの製造方法 | |
JP2000075469A (ja) | フォトマスクの作製方法 | |
KR100314128B1 (ko) | 포토마스크의 결함 수정방법 | |
JP6361328B2 (ja) | フォトマスクの製造方法 | |
JPH10104821A (ja) | フォトマスク及びその製造方法 | |
KR20070068899A (ko) | 위상 반전 마스크의 프레임 영역에 형성된 홀 패턴 영역의검사방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090918 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100917 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111011 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111108 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111220 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120424 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120507 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150601 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |