JP5526631B2 - 位相シフトマスクの修正方法および修正された位相シフトマスク、並びに位相シフトマスクの製造方法 - Google Patents
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また、請求項6に記載の発明に係る位相シフトマスクの製造方法は、透明基板上のハーフトーン層上に設けた遮光層を介してレジスト層を形成し、該レジスト層にパターン描画を行い、現像してレジストパターンを形成し、該レジストパターンをマスクとして露出した遮光層をエッチングして遮光パターンを形成し、さらに該レジストパターンおよび/または遮光パターンをマスクとして前記ハーフトーン層をエッチングしてハーフトーンパターンを形成してハーフトーン型位相シフトマスクを製造する方法において、前記ハーフトーン層をエッチングしてハーフトーンパターンを形成する工程のエッチング途中で、前記エッチングを一旦中断してハーフエッチング状態とし、前記ハーフエッチング状態で前記ハーフトーン層の黒欠陥の検査および修正をし、次に、前記黒欠陥を修正した部分の残りのハーフトーン層、および、前記ハーフエッチング状態のハーフトーン層を前記透明基板面までエッチングしてハーフトーンパターンを形成することを特徴とするものである。
本発明においては、ハーフエッチング状態のハーフトーン層に存在する黒欠陥を修正するため、例え欠陥部を削り過ぎたとしても、ガラスダメージに至ることは皆無であり、ガラスダメージを気にすることなく修正が可能になる。しかも、修正後に残りのハーフトーン層を除去する工程が入るため、従来のようにハーフトーン層のパターンの物理的に完全なエッヂ状態を形成する必要はなく、また、欠陥修正の深さ方向も従来の方法よりも浅くてよいために、従来方法に比べてより微細なハーフトーンパターンの修正を精度良く実施することが可能となる。
図1は、本発明の位相シフトマスクの修正方法を含むハーフトーン型位相シフトマスクの製造方法を示す工程断面模式図であり、概略は図3および図4の工程フローと同じである。図1において、図3と同じ箇所を示す場合には、同じ符号を用いている。図1(6)〜図1(13)の工程が本発明の修正方法を特徴づける工程である。
次に、本発明の位相シフトフォトマスクの修正方法に用いられる図1(1)に示すブランクスを構成する材料について説明する。前述のように、本発明の修正方法は、従来の材料を用いて実現できることが特徴の一つである。
本発明の修正方法において用いられるブランクスにおいて、透明基板11としては、露光光を高透過率で透過する光学研磨された合成石英ガラス、蛍石、フッ化カルシウムなどを用いることができるが、通常、多用されており品質が安定し、短波長の露光光透過率の高い合成石英ガラスがより好ましい。
本発明の修正方法において用いられるブランクスにおいて、ハーフトーン層21としては、材料として特に限定されるわけではないが、所望のハーフトーン特性が得やすく、フッ素系ガスによりドライエッチングできる化合物を主成分とし、遮光膜31とのエッチング選択比が大きい薄膜が好ましい。例えば、モリブデンシリサイド化合物を主成分とするハーフトーン層21として、モリブデンシリサイド酸化膜(MoSiO)、モリブデンシリサイド窒化膜(MoSiN)、モリブデンシリサイド酸化窒化膜(MoSiON)などの薄膜、クロム系材料である酸化クロム膜(CrO)、窒化クロム膜(CrN)、酸化窒化クロム膜(CrON)などの薄膜、が挙げられる。が挙げられる。
通常、半導体ウェーハへの投影露光においては、マスク外周部が多重露光されるので、マスク外周部に遮光領域を設けたフォトマスクが使用される。したがって、本発明においても、外周部などの所望する領域のハーフトーン膜上に、遮光層を設けて遮光領域とするものである。遮光層は、図4に示すように、ハーフトン層をエッチングするときのマスクとしての機能も有するものである。遮光層31としては、露光光を遮光し、酸素含有塩素系ガスでドライエッチング可能で、かつフッ素系ガスでは遮光層にはほとんどダメージを与えない材料を主成分とするものが好ましい。上記の遮光層31としては、具体的にはクロム膜(Cr)などの金属薄膜、あるいはクロム膜と酸化クロム膜や窒化クロム膜などとの2層以上の薄膜などが挙げられる。
本発明の修正方法において用いられるブランクスにおいて、レジスト層41としては、露光工程で用いる露光機にしたがって、電子ビーム用レジストあるいはレーザービーム用レジストを遮光層31上にスピン塗布などの方法により塗布し、乾燥し、レジスト層41を形成する。レジスト層41は、ポジ型レジスト、ネガ型レジストのいずれも用いられる。レジスト層41は、数10nm〜数100nm程度の範囲の膜厚で用いられるが、微細パターンを形成するには膜厚は小さい方が好ましく、エッチング耐性を上げピンホールなどの欠陥を生じないようにするには膜厚は大きい方が好ましい。
上記の本発明の位相シフトマスクの修正方法により黒欠陥を修正した本発明の位相シフトマスクは、前述の光学的なリソグラフィシミュレーション顕微鏡による検査において、黒欠陥の修正箇所が、非修正箇所と光学的に同等である結果を示すものである。
光学研磨した6インチ角、0.25インチ厚の透明な合成石英ガラス基板を洗浄し、その一主面上にハーフトーン層としてモリブデンシリサイド化合物を主成分とし、かつ、酸素を含む層を以下の条件で形成した。ここで膜厚は、ArFエキシマレーザ(193nm)用で透過率6%、透明基板の透明領域との位相差を180度とするため68nmとした。
<ハーフトーン層のスパッタリング条件>
成膜装置: プレーナ型DCマグネトロンスパッタリング装置
ターゲット: モリブデン:シリコン=1:4(原子比)
ガス及び流量: アルゴンガス50sccm+酸素ガス50sccm
<遮光層のスパッタリング条件>
成膜装置: プレーナ型DCマグネトロンスパッタリング装置
ターゲット: 金属クロム
ガス及び流量: アルゴンガス50sccm
<クロム遮光層のエッチング条件>
エッチングガスCl2+O2ガス(2:3)
圧力 10mTorr
ICPパワー(高密度プラズマ発生) 500W
バイアスパワー(引き出しパワー) 25W
<ハーフトーン層のエッチング条件>
エツチングガス CF4
ガス圧力 10mTorr
ICPパワー(高密度プラズマ発生) 950W
バイアスパワー(引き出しパワー) 50W
実施例1と同様のブランクスを用い、実施例1と同じパターンで第1のレジストパターンを形成し、クロム遮光層、ハーフトーン層の順に石英基板ガラス表面までドライエッチングし、次に、第2のレジストパターンを形成して不要なクロム遮光パターンを露出し、ドライエッチングして不要なクロム遮光パターンを除去した後、第2のレジストパターンを剥離して周辺部に遮光パターンを有するハーフトーンパターンを設けたマスク基板を得た。
21 ハーフトーン層
22 ハーフトーンパターン
23 ハーフエッチング状態のハーフトーン層
24 ハーフトーン層の欠陥
25 修正痕
31 遮光層
32 遮光パターン
41 第1のレジスト層
42 第1のレジストパターン
43 第1のレジスト層の描画された部分
51 電子ビームまたはレーザービーム
61 遮光層のプラズマエッチング
62 ハーフトーン層のプラズマエッチング
63 第2段目のハーフトーン層のプラズマエッチング
71 黒欠陥
81 第2のレジスト層
82 第2のレジストパターン
83 第2のレジスト層の描画された部分
91 電子ビームまたはレーザービーム
101 ダイヤモンド針
171 瞳フィルタ
172 マスク
173 NAアパーチャ
174 CCDカメラ
Claims (6)
- 透明基板上のハーフトーン層上に設けた遮光層を介してレジスト層を形成し、該レジスト層にパターン描画を行い、現像してレジストパターンを形成し、該レジストパターンをマスクとして露出した遮光層をエッチングして遮光パターンを形成し、さらに該レジストパターンおよび/または遮光パターンをマスクとして前記ハーフトーン層をエッチングしてハーフトーンパターンを形成してハーフトーン型位相シフトマスクを製造する工程において、前記ハーフトーン層に生じた位相シフトマスクの黒欠陥を修正する位相シフトマスクの修正方法であって、
前記ハーフトーン層をエッチングしてハーフトーンパターンを形成する工程のエッチング途中で、前記エッチングを一旦中断してハーフエッチング状態とし、前記ハーフエッチング状態で前記ハーフトーン層の黒欠陥の検査および修正をし、次に、前記黒欠陥を修正した部分の残りのハーフトーン層、および、前記ハーフエッチング状態のハーフトーン層を前記透明基板面までエッチングしてハーフトーンパターンを形成することを特徴とする位相シフトマスクの修正方法。 - 前記ハーフエッチング状態での黒欠陥の検査が、透過光による検査であることを特徴とする請求項1に記載の位相シフトマスクの修正方法。
- 前記ハーフエッチング状態での黒欠陥の修正が、原子間力顕微鏡の探針を用いた研削による修正であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の位相シフトマスクの修正方法。
- 前記ハーフエッチング状態における前記ハーフトーン層の残膜厚が10nm以上であり、前記ハーフトーン層の初期膜厚の95%以下の範囲であることを特徴とする請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載の位相シフトマスクの修正方法。
- 請求項1から請求項4までのいずれか1項に記載の位相シフトマスクの修正方法により黒欠陥が修正された位相シフトマスクであって、
リソグラフィシミュレーション顕微鏡による検査で、前記黒欠陥の修正箇所が、非修正箇所と光学的に同等であることを特徴とする黒欠陥が修正された位相シフトマスク。 - 透明基板上のハーフトーン層上に設けた遮光層を介してレジスト層を形成し、該レジスト層にパターン描画を行い、現像してレジストパターンを形成し、該レジストパターンをマスクとして露出した遮光層をエッチングして遮光パターンを形成し、さらに該レジストパターンおよび/または遮光パターンをマスクとして前記ハーフトーン層をエッチングしてハーフトーンパターンを形成してハーフトーン型位相シフトマスクを製造する方法において、
前記ハーフトーン層をエッチングしてハーフトーンパターンを形成する工程のエッチング途中で、前記エッチングを一旦中断してハーフエッチング状態とし、前記ハーフエッチング状態で前記ハーフトーン層の黒欠陥の検査および修正をし、次に、前記黒欠陥を修正した部分の残りのハーフトーン層、および、前記ハーフエッチング状態のハーフトーン層を前記透明基板面までエッチングしてハーフトーンパターンを形成することを特徴とする位相シフトマスクの製造方法。
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