JP2008098527A5 - - Google Patents
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Claims (8)
- 光源からの光を用いて被照明面を照明する照明光学系であって、
前記光源からの光を平行化する第1光学ユニットと、
母線方向が揃った複数の円筒反射面を備え、前記第1光学ユニットからの光で複数の2次光源を形成する反射型インテグレータと、
前記母線方向に垂直に配置された開口絞りと、
前記複数の2次光源それぞれからの光を被照明面上で重ね合わせる第2光学ユニットとを有する照明光学系であって、
前記反射型インテグレータは、それぞれが複数の円筒反射面を備える複数のインテグレータ部を含み、前記複数のインテグレータ部を、前記母線方向に垂直で且つ前記円筒反射面の配列方向とは垂直な方向に並べて、前記開口絞りの入射側に配置することを特徴とする照明光学系。 - 前記反射型インテグレータは、それぞれが複数の円筒反射面を備える第1のインテグレータ部及び第2のインテグレータ部と、該第1のインテグレータ部に隣接した第1の平面ミラーと、前記第2のインテグレータ部に隣接した第2の平面ミラーとを含み、前記第1のインテグレータ部と第2のインテグレータ部を、それぞれの反射面を対向させて前記開口絞りの入射側に配置すると共に、前記第1の平面ミラーを前記開口絞りの入射側に、前記第2の平面ミラーを前記開口絞りの射出側に配置し、前記第1のインテグレータ部で反射した光が前記開口絞りの開口部を通過して前記第2の平面ミラーに入射し、前記第1の平面ミラーで反射した光が前記第2のインテグレータ部に入射することを特徴とする請求項1記載の照明光学系。
- 前記開口絞りに設けられた開口部の形状は、有効光源の半分の形状であることを特徴とする請求項2記載の照明光学系。
- 前記複数のインテグレータ部を、それぞれの反射面が同じ方向に向くように、前記開口絞りの入射側に配置することを特徴とする請求項1記載の照明光学系。
- 前記開口絞りに設けられた開口部の形状は、有効光源と同一形状であることを特徴とする請求項4記載の照明光学系。
- 前記開口部の中心から最も離れた前記インテグレータ部の前記円筒反射面は前記開口部の輪郭部に隣接することを特徴とする請求項5記載の照明光学系。
- 被照明面に配置されたマスクを照明する、請求項1乃至6のうちいずれか一項記載の照明光学系と、
前記マスクのパターンを被露光体に投影する投影光学系とを有することを特徴とする露光装置。 - 請求項7記載の露光装置を用いて被露光体を露光するステップと、
露光された前記被露光体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
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