JP2008098413A - 可変抵抗素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る可変抵抗素子10は,第1電極12と、第1電極12の上方に形成された抵抗体層14と、抵抗体層14の上方に形成された第2電極16と、を含み、抵抗体層14は、YxA1−xO2(0≦x≦0.3)で表される遷移金属酸化物からなり、該Aは、仕事関数の異なる少なくとも2種の遷移金属元素を表し、該遷移金属酸化物は,酸素欠陥を有する。
【選択図】図1
Description
一対の電極と、
前記一対の電極の間に形成された抵抗体層と、を含み、
前記抵抗体層は、YxA1−xO2(0≦x≦0.3)で表される遷移金属酸化物からなり、
前記Aは、仕事関数の異なる少なくとも2種の遷移金属元素を表し、
前記遷移金属酸化物は、酸素欠陥を有する。
前記Aは、チタン(Ti)、ジルコニウム(Zr)、およびハフニウム(Hf)のうちの少なくとも2種であることができる。
前記遷移金属酸化物は、Yx(Ti1−aZra)1−xO2(0≦x≦0.3、0<a<1)で表されることができる。
前記遷移金属酸化物は、Yx(Ti1−bHfb)1−xO2(0≦x≦0.3、0<b<1)で表されることができる。
前記遷移金属酸化物は、Yx(Zr1−cHfc)1−xO2(0<x≦0.3、0<c<1)で表されることができる。
前記Aは、少なくともチタン(Ti)を含むことができる。
0.03≦x≦0.15であることができる。
抵抗変化型メモリに用いられることができる。
W=z×WX+(1−z)×WY
E=z×EX+(1−z)×EY
抵抗変化率(%)=|(信号記録後の抵抗値)−(信号記録前の抵抗値)|/(信号記録前の抵抗値)×100
Claims (8)
- 一対の電極と、
前記一対の電極の間に形成された抵抗体層と、を含み、
前記抵抗体層は、YxA1−xO2(0≦x≦0.3)で表される遷移金属酸化物からなり、
前記Aは、仕事関数の異なる少なくとも2種の遷移金属元素を表し、
前記遷移金属酸化物は、酸素欠陥を有する、可変抵抗素子。 - 請求項1において、
前記Aは、チタン(Ti)、ジルコニウム(Zr)、およびハフニウム(Hf)のうちの少なくとも2種である、可変抵抗素子。
但し、前記Aがジルコニウム(Zr)およびハフニウム(Hf)である場合には、0<x≦0.3である。 - 請求項1または2において、
前記遷移金属酸化物は、Yx(Ti1−aZra)1−xO2(0≦x≦0.3、0<a<1)で表される、可変抵抗素子。 - 請求項1または2において、
前記遷移金属酸化物は、Yx(Ti1−bHfb)1−xO2(0≦x≦0.3、0<b<1)で表される、可変抵抗素子。 - 請求項1または2において、
前記遷移金属酸化物は、Yx(Zr1−cHfc)1−xO2(0<x≦0.3、0<c<1)で表される、可変抵抗素子。 - 請求項1または2において、
前記Aは、少なくともチタン(Ti)を含む、可変抵抗素子。 - 請求項1乃至6のいずれかにおいて、
0.03≦x≦0.15である、可変抵抗素子。 - 請求項1乃至7のいずれかにおいて、
抵抗変化型メモリに用いられる、可変抵抗素子。
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