JP2008096202A - 磁歪式トルクセンサ - Google Patents

Abstract

【課題】 簡単な構造で磁歪式トルクセンサの回転軸の消磁を行えるようにする。
【解決手段】 電動パワーステアリング装置の磁歪式トルクセンサの回転軸が磁化するとトルク検出精度が低下するが、消磁手段Ｍ２でコイル４０Ａ，４０Ｂに交流電流を供給して回転軸を消磁することでトルク検出精度の低下を防止することができる。このとき、トルク検出用のコイル４０Ａ，４０Ｂを消磁用のコイルとして使用することで部品点数の削減および構造の簡素化が可能になり、しかも切換手段５７でトルク検出手段Ｍ１の作動および消磁手段Ｍ２の作動を切り換えるので、消磁のためのコイル４０Ａ，４０Ｂへの通電とトルク検出のためのコイル４０Ａ，４０Ｂへの通電とが相互に影響を及ぼすのを回避することができる。また回転軸が磁化されたときに消磁手段Ｍ２を作動させるので、必要なときだけに回転軸の消磁を実行することができる。
【選択図】 図７

Description

本発明は、表面に磁歪膜を形成した回転軸と、前記回転軸の周囲を囲繞するコイルと、前記磁歪膜の磁気特性の変化を前記コイルで検出することで前記回転軸に加えられたトルクを検出するトルク検出手段とを備えた磁歪式トルクセンサに関する。

電動パワーステアリング装置のステアリングホイールに入力される操舵トルクを検出する操舵トルクセンサが、操舵トルクを伝達する回転軸の外周に相互に逆方向の磁気異方性を有するように形成された一対の磁歪膜と、各々の磁歪膜の外周を囲む励磁コイルおよび検出コイルとを備え、回転軸の捩じれ変形に応じて変化する一対の磁歪膜の透磁率の変化を前記励磁コイルおよび検出コイルのインダクタンスの変化に基づいて検出することで、回転軸に入力される操舵トルクを検出するものが、下記特許文献１により公知である。
特開２００１−１３３３３７号公報

ところで、かかる操舵トルクセンサの回転軸が磁化されてしまうと、その磁気特性が変化して操舵トルクの検出精度が低下する可能性があるため、磁化された回転軸を消磁することが必要になる。この消磁は、回転軸の外周を囲むコイルに交流電流を供給することで行われるが、回転軸の外周には既にトルク検出のためのコイルが設けられているため、消磁のためのコイルを設けるスペースを確保するのが困難であるばかりか、両方のコイルを設けると部品点数が増加して構造が複雑化する問題がある。

本発明は前述の事情に鑑みてなされたもので、簡単な構造で磁歪式トルクセンサの回転軸の消磁を行えるようにすることを目的とする。

上記目的を達成するために、請求項１に記載された発明によれば、表面に磁歪膜を形成した回転軸と、前記回転軸の周囲を囲繞するコイルと、前記磁歪膜の磁気特性の変化を前記コイルで検出することで前記回転軸に加えられたトルクを検出するトルク検出手段とを備えた磁歪式トルクセンサにおいて、前記コイルを用いて前記回転軸を消磁する消磁手段と、前記トルク検出手段の作動および前記消磁手段の作動と切り換える切換手段とを備えたことを特徴とする磁歪式トルクセンサが提案される。

また請求項２に記載された発明によれば、請求項１の構成に加えて、前記切換手段は、前記回転軸が磁化されたときに前記消磁手段を作動させることを特徴とする磁歪式トルクセンサが提案される。

また請求項３に記載された発明によれば、請求項１または請求項２の構成に加えて、前記切換手段は、前記トルク検出手段がトルクを検出しているときに前記消磁手段の作動を禁止することを特徴とする磁歪式トルクセンサが提案される。

また請求項４に記載された発明によれば、請求項１〜請求項３の何れか１項の構成に加えて、前記消磁手段は、交流電流供給手段および電荷保持手段を含み、前記交流電流供給手段は前記電荷保持手段から放電される電荷を交流電流として前記コイルに供給することを特徴とする磁歪式トルクセンサが提案される。

また請求項５に記載された発明によれば、請求項４の構成に加えて、前記交流電流供給手段は、トルク検出のための交流電流を前記コイルに供給する電源を兼ねることを特徴とする磁歪式トルクセンサが提案される。

また請求項６に記載された発明によれば、請求項１〜請求項５の何れか１項の構成に加えて、前記磁歪式トルクセンサは電動パワーステアリング装置における操舵トルクの検出に用いられることを特徴とする磁歪式トルクセンサが提案される。

尚、実施の形態のピニオンシャフト１７は本発明の回転軸に対応し、実施の形態の第１、第２磁歪膜３９Ａ，３９Ｂは本発明の磁歪膜に対応し、実施の形態の第１、第２コイル４０Ａ，４０Ｂは本発明のコイルに対応し、実施の形態のトランジスタ５２〜５５は本発明の交流電流供給手段に対応し、実施の形態のコンデンサ５６は本発明の電荷保持手段に対応し、実施の形態のトランジスタ５７は本発明の切換手段に対応する。

請求項１の構成によれば、磁歪式トルクセンサの回転軸が磁化するとトルク検出精度が低下するが、消磁手段で回転軸を消磁することでトルク検出精度の低下を防止することができる。このとき、トルク検出用のコイルを消磁用のコイルとして使用することで部品点数の削減および構造の簡素化が可能になり、しかも切換手段でトルク検出手段の作動および消磁手段の作動を切り換えるので、消磁のためのコイルへの通電とトルク検出のためのコイルへの通電とが相互に影響を及ぼすのを回避することができる。

また請求項２の構成によれば、回転軸が磁化されたときに消磁手段を作動させるので、必要なときだけに回転軸の消磁を実行することができる。

また請求項３の構成によれば、トルク検出手段がトルクを検出しているときに消磁手段の作動を禁止するので、トルク検出手段によるトルク検出が消磁手段の作動により影響を受けることがない。

また請求項４の構成によれば、消磁手段が交流電流供給手段および電荷保持手段を含み、交流電流供給手段は電荷保持手段から放電される電荷を交流電流としてコイルに供給するので、簡単な構造で回転軸の消磁を行えるだけでなく、電荷保持手段に保持された一定の電荷で過不足のない消磁を行うことができる。

また請求項５の構成によれば、交流電流供給手段がトルク検出のための交流電流をコイルに供給する電源を兼ねるので、トルク検出のための電源を別途備える場合に比べて構造を簡素化することができる。

また請求項６の構成によれば、磁歪式トルクセンサを電動パワーステアリング装置における操舵トルクの検出に用いたので、操舵トルクを精度良く検出して電動パワーステアリング装置の制御を的確に行うことができる。

以下、本発明の実施の形態を添付の図面に基づいて説明する。

図１〜図７は本発明の実施の形態を示すもので、図１は電動パワーステアリング装置の全体斜視図、図２は図１の２−２線拡大断面図、図３は消磁回路の回路図、図４は操舵トルクに対するトルク検出信号の変化特性を示す図、図５はコンデンサの電荷により発生する交流電流の波形を示す図、図６はピニオンシャフトが磁化された状態および消磁された状態を示す図、図７はクレーム対応図である。

図１に示すように、ステアリングホイール１１と一体に回転する上部ステアリングシャフト１２は、上部ユニバーサルジョイント１３、下部ステアリングシャフト１４および下部ユニバーサルジョイント１５を介して、減速機１６から上方に突出するピニオンシャフト１７に接続される。減速機１６の下端に接続されたステアリングギヤボックス１８の左右両端から突出するタイロッド１９，１９が、左右の車輪ＷＬ，ＷＲの図示せぬナックルに接続される。減速機１６にはモータＭの回転軸が連結されており、このモータＭの作動は、減速機１６の内部に収納した操舵トルクセンサＳｔからの信号が入力される電子制御ユニットＵにより制御される。

図２に示すように、減速機１６はステアリングギヤボックス１８と一体の下部ケース２１と、その上面にボルト２２…で結合された上部ケース２３とを備えており、ステアリングギヤボックス１８および上部ケース２３にボールベアリング２６，２７で前記ピニオンシャフト１７が回転自在に支持される。ピニオンシャフト１７の下端に設けられたピニオン２８が、ステアリングギヤボックス１８の内部に左右移動自在に支持されたラックバー２９に設けられらラック３０に噛合する。ステアリングギヤボックス１８に形成した貫通孔１８ａに押圧部材３１が摺動自在に収納されており、貫通孔１８ａを閉塞するナット部材３２との間に配置したスプリング３３で押圧部材３１をラックバー２９の背面に向けて付勢することで、ラック３０とピニオン２８とをガタなく噛合させることができる。減速機１６の内部に延びるモータＭの回転軸３４に設けられたウオーム３７は、ピニオンシャフト１７に固定されたウオームホイール３８に噛合する。

ステアリングホイール１１に入力される操舵トルクを検出する操舵トルクセンサＳｔは、ピニオンシャフト１７の表面を所定幅で覆うように形成された、例えばＮｉ−Ｆｅメッキよりなる第１、第２磁歪膜３９Ａ，３９Ｂと、第１磁歪膜３９Ａを囲む第１コイル４０Ａと、第２磁歪膜３９Ｂを囲む第２コイル４０Ｂと、第１コイル４０Ａを囲む第１ヨーク４２Ａと、第２コイル４０Ｂを囲む第２ヨーク４２Ｂとを備える。第１コイル４０Ａおよび第２コイル４０Ｂには、磁化されたピニオンシャフト１７を消磁する消磁回路Ｃが接続され、消磁回路Ｃには第１、第２出力選択回路４３Ａ，４３Ｂおよび差動増幅回路４４が接続される。前記消磁回路Ｃは、操舵トルクの検出のために第１、第２励磁コイル４０Ａ，４０Ｂを励磁する機能を兼ね備えている。

次に、図３に基づいて消磁回路Ｃの構造を説明する。

第１コイル４０Ａは一端が第１抵抗５１Ａに接続され、他端がＮＰＮ型トランジスタ５２のコレクタ端子に接続されるとともに、前記第１出力選択回路４３Ａに接続される。第２コイル４０Ｂは一端が第２抵抗５１Ｂに接続され、他端がＰＮＰ型トランジスタ５３のコレクタ端子に接続されるとともに、前記第２出力選択回路４３Ｂに接続される。第１抵抗５１Ａの第１コイル４０Ａと反対側の端子と、第２抵抗５１Ｂの第２コイル４０Ｂと反対側の端子とは、ＮＰＮ型トランジスタ５４のコレクタ端子に接続されるとともに、ＰＮＰ型トランジスタ５５のコレクタ端子に接続される。二つのＰＮＰ型トランジスタ５３，５５のエミッタ端子は、容量の比較的に大きいコンデンサ５６の一端に接続され、かつＰＮＰ型トランジスタ５７のコレクタ端子に接続される。前記コンデンサ５６の他端は接地され、前記ＰＮＰ型トランジスタ５７のエミッタ端子は、定電圧（例えば、５Ｖ）の電源５８に接続される。二つのＮＰＮ型トランジスタ５２，５４のエミッタ端子は接地される。

次に、上記構成を備えた本発明の実施の形態の作用を説明する。

先ず、操舵トルクセンサＳａの通常の操舵トルク検出機能について説明する。例えば、イグニッションスイッチをＯＮすると、ＰＮＰ型トランジスタ５７がＯＮして電源５８がコンデンサ５６および二つのＰＮＰ型トランジスタ５３，５５のエミッタ端子に接続され、コンデンサ５６は徐々に充電されて電源５８側の電圧が該電源５８の電圧まで上昇する。二つのＰＮＰ型トランジスタ５３，５５のエミッタ端子が電源５８の電圧まで上昇したところで、例えばＰＮＰ型トランジスタ５５およびＮＰＮ型トランジスタ５２を短い所定時間で同時にＯＮした後で、ＰＮＰ型トランジスタ５３およびＮＰＮ型トランジスタ５４をＯＮすることを数１０ｋＨｚ程度の周波数で繰り返すことで、第１、第２コイル４０Ａ，４０Ｂに交流電流を供給する。

このようにして第１、第２コイル４０Ａ，４０Ｂに交流電流を供給すると、ピニオンシャフト１７に操舵トルクが入力されたときに、第１磁歪膜３９ＡのインダクタンスがＬからＬ＋ΔＬに変化し、第２磁歪膜３９ＢのインダクタンスがＬからＬ−ΔＬに変化し、しかも前記変化量ΔＬが加えられた操舵トルクに比例するので、この変化量ΔＬを第１、第２コイル４０Ａ，４０Ｂで検出する。

即ち、第１コイル４０Ａの出力は第１抵抗５１Ａで電圧に変換されて第１電圧信号ＶＴ１となり、第２コイル４０Ｂの出力は第２抵抗５１Ｂで電圧に変換されて第２電圧信号ＶＴ２となり、それらの第１、第２電圧信号ＶＴ１，ＶＴ２がそれぞれ入力される第１、第２出力選択回路４３Ａ，４３Ｂは、ＰＮＰ型トランジスタ５５およびＮＰＮ型トランジスタ５２がＯＮするタイミングで前記第１、第２電圧信号ＶＴ１，ＶＴ２を取り込んで保持する整流回路の役目をする。第１、第２出力選択回路４３Ａ，４３Ｂは、前記第１、第２電圧信号ＶＴ１，ＶＴ２に対応する第１、第２電圧信号ＶＴ１^* ，ＶＴ２^* を出力し、その第１、第２電圧信号ＶＴ１^* ，ＶＴ２^* は差動増幅回路４４に入力され、そこで操舵トルクの大きさに対応する第３電圧信号（トルク検出信号）が算出されて出力される。

これを図４（Ａ）に基づいて説明する。差動増幅回路４４は第１信号電圧ＶＴ１^* から第２信号電圧ＶＴ２^* を減算したＶＴ１^* −ＶＴ２^* にゲインｋを乗算して第３電圧信号（トルク検出信号）を算出する。第１信号電圧ＶＴ１^* は操舵トルクの増加に応じて増加し、第２信号電圧ＶＴ２^* は操舵トルクの増加に応じて減少するため、第３電圧信号は操舵トルクの増加に応じて増加する。操舵トルクが０のとき、第３電圧信号が所定のバイアス電圧Ｖｂ（例えば、２．５Ｖ）となるようにバイアスされる。

ＶＴ３＝ｋ（ＶＴ１^* −ＶＴ２^* ）＋Ｖｂ
このようにして、ステアリングホイール１１に入力される操舵トルクによりピニオンシャフト１７が第１、第２磁歪膜３９Ａ，３９Ｂと共に捩じれ変形すると、第１、第２磁歪膜３９Ａ，３９Ｂおよび第１、第２ヨーク４２Ａ，４２Ｂで構成される二つの磁路に沿う磁束密度が変化することで、その磁束密度の変化に基づいて操舵トルクを検出することができる。

ところで、図４（Ａ）に示すように、操舵トルクが０のときの電圧信号ＶＴ１^* ，ＶＴ２^* が一致していれば、そのときのトルク検出信号ＶＴ３はバイアス電圧Ｖｂに一致する。しかしながら、第１、第２磁歪膜３９Ａ，３９Ｂが設けられたピニオンシャフト１７がトルク検出の際に第１、第２コイル４０Ａ，４０Ｂが発生する磁力で磁化されていると、図４（Ｂ）に示すように、操舵トルクが０のときの電圧信号ＶＴ１^* ，ＶＴ２^* が不一致になり、そのときのトルク検出信号ＶＴ３はバイアス電圧Ｖｂからずれてしまう問題がある。

図４（Ｂ）の例では、操舵トルクが＋Ｔ１のとき、バイアス電圧Ｖｂを基準とするトルク検出信号ＶＴ３の偏差ΔＶ１であるのに、操舵トルクが−Ｔ１のとき、バイアス電圧Ｖｂを基準とするトルク検出信号ＶＴ３の偏差はΔＶ２となり、絶対値が等しい操舵トルク＋Ｔ１，−Ｔ１にそれぞれ対応する前記偏差ΔＶ１，ΔＶ２が不一致になり、これが操舵フィーリングが悪化する原因となってしまう。

そこで本実施の形態では、磁化されたピニオンシャフト１７を消磁回路Ｃで消磁することで、操舵トルクが０のときの電圧信号ＶＴ１^* ，ＶＴ２^* の不一致を解消している。

以下、消磁回路Ｃによりピニオンシャフト１７を消磁する作用を説明する。

操舵トルクを検出する際に第１、第２コイル４０Ａ，４０Ｂに交流電流を供給する回路はピニオンシャフト１７を消磁する消磁回路Ｃと一部共用されているため、操舵トルクの検出中に消磁を行うことはできない、従って、車両が停止しているとき（車速が０のとき）、あるいはステアリングホイール１１が操作されていないとき（操舵トルクが０のとき）であって、かつピニオンシャフト１７が磁化されているときに実行される。

尚、ピニオンシャフト１７が磁化されているか否かは、操舵トルクが入力されていないときのトルク検出信号ＶＴ３が、バイアス電圧Ｖｂに一致しているか否かにより判断することができる。また消磁の実行中にステアリングホイール１１が操作された場合には、その時点で消磁は中止される。

先ず、コンデンサ５６が完全に充電された状態でＰＮＰ型トランジスタ５７をＯＦＦし、この状態で第１の対角位置にあるＰＮＰ型トランジスタ５５およびＮＰＮ型トランジスタ５２と、第２の対角位置にあるＰＮＰ型トランジスタ５３およびＮＰＮ型トランジスタ５４とを、交互にＯＮ／ＯＦＦすることで、コンデンサ５６から第１、第２コイル４０Ａ，４０Ｂに交流電流を供給する。即ち、第１の対角位置にあるＰＮＰ型トランジスタ５５およびＮＰＮ型トランジスタ５２を同時にＯＮすると、第１、第２コイル４０Ａ，４０Ｂに矢印ａ方向の電流が流れ、逆に第２の対角位置にあるＰＮＰ型トランジスタ５３およびＮＰＮ型トランジスタ５４を同時にＯＮすると、第１、第２コイル４０Ａ，４０Ｂに矢印ｂ方向の電流が流れる。図５に示すように、この交流電流はコンデンサ５６に蓄えられた電荷が減少するにつれて減衰する。

このように、第１、第２コイル４０Ａ，４０Ｂにコンデンサ５６の電荷による交流電流を供給することで、図６（Ａ）に示すように、ピニオンシャフト１７が磁化されて一方向に揃っていた磁区が、図６（Ｂ）に示すように、前記交流電流により発生した交番磁界により、それぞれ異なった方向に向けられて消磁される。これにより、操舵トルクが０のときの電圧信号ＶＴ１^* ，ＶＴ２^* の不一致を解消し、操舵トルクを精度良く検出することが可能となる。

図７は本願の請求項１に記載された発明のクレーム対応図であり、消磁回路Ｃには、操舵トルクを検出するために第１、第２コイル４０Ａ，４０Ｂに交流電流を供給するトルク検出手段Ｍ１と、磁化されたピニオンシャフト１７を消磁するために第１、第２コイル４０Ａ，４０Ｂに交流電流を供給する消磁手段Ｍ２とが含まれる。トルク検出手段Ｍ１および消磁手段Ｍ２は、共に４個のトランジスタ５２〜５５で構成されるが、それらのＯＮ／ＯＦＦの制御態様を異ならせることで、トルク検出および消磁の二つの機能を発揮する。切換手段を構成するＰＮＰ型トランジスタ５７は、電源５８をトルク検出手段Ｍ１に接続する状態と、コンデンサ５６を消磁手段Ｍ２に接続する状態とを選択的に切り換え可能である。

以上のように、トルク検出用の第１、第２コイル４０Ａ，４０Ｂを消磁用のコイルに兼用するので、消磁用のコイルを別途設ける場合に比べて部品点数の削減および構造の簡素化が可能になる。しかもトルク検出手段Ｍ１の作動および消磁手段Ｍ２の作動をＰＮＰ型トランジスタ５７のＯＮ／ＯＦＦで切り換えることができるので、第１、第２コイル４０Ａ，４０Ｂへの消磁のための通電とトルク検出のための通電とが相互に影響を及ぼすのを回避することができる。更に、トルク検出手段Ｍ１および消磁手段Ｍ２は何れも共通の４個のトランジスタ５２〜５５で構成されるので、トルク検出手段Ｍ１および消磁手段Ｍ２を独立して設ける場合に比べて、部品点数の削減および構造の簡素化が可能になる。

またピニオンシャフト１７が磁化されたときに消磁手段Ｍ２を作動させるので、第１、第２コイル４０Ａ，４０Ｂへの不必要な通電が行われるのを避けることができる。しかもトルク検出手段Ｍ１および消磁手段Ｍ２が同時に作動することはないので、トルク検出手段Ｍ１および消磁手段Ｍ２の作動が相互に影響を及ぼすことがない。

またコンデンサ５６に蓄電した一定の電荷でピニオンシャフト１７を消磁するので、過不足のない消磁を行うことができるだけでなく、電源５８以外に消磁用の特別の電源を設ける必要がない。

更に、本実施の形態の操舵トルクセンサＳａを電動パワーステアリング装置における操舵トルクの検出に用いたので、操舵トルクを精度良く検出して電動パワーステアリング装置の制御を的確に行うことができる。

以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明はその要旨を逸脱しない範囲で種々の設計変更を行うことが可能である。

例えば、実施の形態では操舵トルクセンサＳｔを例示したが、本発明は回転軸に入力されるトルクを検出する任意の用途のトルクセンサに適用することができる。

また実施の形態ではコンデンサ５６に蓄えられた電荷に基づいて交流電流を発生させる回路を４個のトランジスタ５２〜５５を組み合わせたブリッジ回路で構成しているが、ブリッジ回路以外の任意の回路を用いることができる。そして前記交流電流は実施の形態の矩形波に限定されず、サイン波であっても良い。

電動パワーステアリング装置の全体斜視図 図１の２−２線拡大断面図 消磁回路の回路図 操舵トルクに対するトルク検出信号の変化特性を示す図 コンデンサの電荷により発生する交流電流の波形を示す図 ピニオンシャフトが磁化された状態および消磁された状態を示す図 クレーム対応図

符号の説明

１７ ピニオンシャフト（回転軸）
３９Ａ 第１磁歪膜（磁歪膜）
３９Ｂ 第２磁歪膜（磁歪膜）
４０Ａ 第１コイル（コイル）
４０Ｂ 第２コイル（コイル）
５２ ＮＰＮ型トランジスタ（交流電流供給手段）
５３ ＰＮＰ型トランジスタ（交流電流供給手段）
５４ ＮＰＮ型トランジスタ（交流電流供給手段）
５５ ＰＮＰ型トランジスタ（交流電流供給手段）
５６ コンデンサ（電荷保持手段）
５７ ＰＮＰ型トランジスタ（切換手段）
Ｍ１ トルク検出手段
Ｍ２ 消磁手段

Claims (6)

1. 表面に磁歪膜（３９Ａ，３９Ｂ）を形成した回転軸（１７）と、前記回転軸（１７）の周囲を囲繞するコイル（４０Ａ，４０Ｂ）と、前記磁歪膜（３９Ａ，３９Ｂ）の磁気特性の変化を前記コイル（４０Ａ，４０Ｂ）で検出することで前記回転軸（１７）に加えられたトルクを検出するトルク検出手段（Ｍ１）とを備えた磁歪式トルクセンサにおいて、
   前記コイル（４０Ａ，４０Ｂ）を用いて前記回転軸（１７）を消磁する消磁手段（Ｍ２）と、前記トルク検出手段（Ｍ１）の作動および前記消磁手段（Ｍ２）の作動を切り換える切換手段（５７）とを備えたことを特徴とする磁歪式トルクセンサ。
2. 前記切換手段（５７）は、前記回転軸（１７）が磁化されたときに前記消磁手段（Ｍ２）を作動させることを特徴とする、請求項１に記載の磁歪式トルクセンサ。
3. 前記切換手段（５７）は、前記トルク検出手段（Ｍ１）がトルクを検出しているときに前記消磁手段（Ｍ２）の作動を禁止することを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の磁歪式トルクセンサ。
4. 前記消磁手段（Ｍ２）は、交流電流供給手段（５２〜５５）および電荷保持手段（５６）を含み、前記交流電流供給手段（５２〜５５）は前記電荷保持手段（５６）から放電される電荷を交流電流として前記コイル（４０Ａ，４０Ｂ）に供給することを特徴とする、請求項１〜請求項３の何れか１項に記載の磁歪式トルクセンサ。
5. 前記交流電流供給手段（５２〜５５）は、トルク検出のための交流電流を前記コイル（４０Ａ，４０Ｂ）に供給する電源を兼ねることを特徴とする、請求項４に記載の磁歪式トルクセンサ。
6. 前記磁歪式トルクセンサは電動パワーステアリング装置における操舵トルクの検出に用いられることを特徴とする、請求項１〜請求項５の何れか１項に記載の磁歪式トルクセンサ。

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