JP4866437B2 - 磁歪式トルクセンサ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
AH=kA×Ts
であるから、負荷をピニオントルクTp±で考えると、
Tp=Ts+AH
=Ts+kA×Ts
であり、その結果、操舵トルクTsは、
Ts=Tp/(1+kA)
となる。
DT3=k・(DT1−DT2)+Da
(kは比例定数)
50…トルクセンサ 52…モータ
54…減速装置 80…磁歪膜
82a…第1コイル 82b…第2コイル
92a…第1異方性部 92b…第2異方性部
Claims (7)
- 軸部材に設けられた1つの磁歪膜と、該1つの磁歪膜の磁気特性の変化を検出するコイルとを有する磁歪式トルクセンサであって、
前記1つの磁歪膜は、それぞれ異なる位置に、前記軸部材に捩りトルクを加えた状態で高周波加熱する熱処理が施されて、それぞれ異なる磁気異方性が付与されていることを特徴とする磁歪式トルクセンサ。 - 請求項1記載の磁歪式トルクセンサにおいて、
前記1つの磁歪膜は、両端部の膜厚が中央部分の膜厚よりも大きく、且つ、前記中央部分の膜厚が一定とされ、
前記コイルは、前記1つの磁歪膜のうち、膜厚が一定の部分に対向して配置されていることを特徴とする磁歪式トルクセンサ。 - 請求項1又は2記載の磁歪式トルクセンサにおいて、
前記1つの磁歪膜は、それぞれ異なる位置に、それぞれ逆の磁気異方性を有する第1異方性部と第2異方性部とを有し、
前記第1異方性部と前記第2異方性部に対向してそれぞれコイルが配置されていることを特徴とする磁歪式トルクセンサ。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の磁歪式トルクセンサにおいて、
前記1つの磁歪膜は、前記軸部材に対するNi−Feめっき処理にて形成されていることを特徴とする磁歪式トルクセンサ。 - 請求項1記載の磁歪式トルクセンサにおいて、
前記1つの磁歪膜は、
一方の磁気異方性が付与された第1部位と、
他方の磁気異方性が付与された第2部位と、
前記第1部位と前記第2部位との間に設けられ、前記第1部位及び前記第2部位の磁気異方性が区別できる長さを有する第3部位とを有することを特徴とする磁歪式トルクセンサ。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の磁歪式トルクセンサの製造方法であって、
前記軸部材の表面に前記1つの磁歪膜を形成する磁歪膜形成工程と、
前記軸部材に捩りトルクを加えた状態で高周波加熱する熱処理工程とを有し、
前記熱処理工程は、
前記軸部材に形成された前記1つの磁歪膜の第1部位に対向する位置に加熱コイルを配置して、前記軸部材に一方向に捩りトルクを加えた状態で高周波加熱し、磁気異方性を付与する第1熱処理工程と、
前記軸部材に形成された前記1つの磁歪膜の第2部位に対向する位置に加熱コイルを配置して、前記軸部材に他方向に捩りトルクを加えた状態で高周波加熱し、磁気異方性を付与する第2熱処理工程とを有することを特徴とする磁歪式トルクセンサの製造方法。 - 請求項6記載の磁歪式トルクセンサの製造方法において、
前記磁歪膜形成工程は、
前記軸部材にNi−Feめっき処理を施して、前記軸部材の表面に前記1つの磁歪膜を形成することを特徴とする磁歪式トルクセンサの製造方法。
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