JP2008095144A - 高温高濃度過硫酸溶液の生成方法および生成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電解反応により溶液に10〜18Mの濃度で含まれる硫酸イオンから過硫酸イオンを生成する電解反応装置(電解反応槽5、直流電源6)と、硫酸イオンを含む溶液の貯留槽1と、該貯留槽1から前記溶液を被電解液として前記電解反応装置へ移送し、前記電解反応装置から電解溶液を前記貯留槽1へ移送する循環ライン(送り管2a、戻り管2b)と、前記電解反応装置で生成された高濃度過硫酸溶液を過硫酸使用側(洗浄槽20)に供給する過硫酸供給ライン7と、該過硫酸供給ラインに、10〜18Mの濃度で硫酸イオンを含む高温溶液を供給して前記過硫酸イオンを含む溶液に混合する高温硫酸溶液供給ライン28を備える。
【選択図】図1
Description
導電性ダイヤモンド電極は、シリコンウエハ等の半導体材料を基板とし、このウエハ表面に導電性ダイヤモンド薄膜を合成させた後に、ウエハを溶解させたものや、基板を用いない条件で板状に析出合成した自立型導電性多結晶ダイヤモンドを挙げることができる。
なお、被電解液の硫酸濃度は2〜9M程度にすると電解による過硫酸イオン生成効率は大きくなるが、電解した溶液を洗浄液として使用する場合には硫酸濃度は電子材料基板からのレジスト等有機物の除去効果に大きく影響する。レジスト等有機物の剥離・溶解効果は硫酸濃度の低下に伴い低下する。そこで、発明者らは種々実験を繰り返し、硫酸濃度が10M〜18Mの範囲が、電解効率、洗浄効率を考慮して適切な濃度であることを見出している。
なお、貯留槽と電解反応装置を循環する溶液は、電解の結果、比較的高温になるので、貯留槽に移送する際や電解反応装置に移送する際に熱交換器などの被電解液冷却手段を設けて冷却するのが望ましい。これにより貯留槽と電解反応装置を循環する溶液は、10〜70℃の範囲内に維持して良好な電解反応を可能にするとともに、電解反応により生成される過硫酸イオンの自己分解を抑制することができる。
ただし、電解反応において過硫酸イオン濃度を高めた高濃度過硫酸溶液は、温度が比較的低く、過硫酸の自己分解による十分な酸化力を得ることができない。これに対し高濃度過硫酸溶液を加熱して使用側に供給することが考えられるが、加熱に時間を要すると使用前に過硫酸イオンの自己分解が進行してしまい過硫酸イオン濃度が低下してしまう。このため、本発明では、短時間で高濃度過硫酸溶液を昇温させる手段として、高濃度過硫酸溶液に10〜18Mの濃度で硫酸イオンを含む高温の溶液を混合して短時間での加熱を可能としている。なお、高濃度過硫酸溶液は、該混合による負荷を軽減するため、混合前に過硫酸イオンの分解が進行しない80℃以下の温度にまで第1過硫酸供給ライン加熱手段により加熱することができる。第1過硫酸供給ライン加熱手段には、ヒータ、熱交換器などの適宜の加熱装置などを用いることができる。
硫酸イオンを含む高温の溶液は、高温硫酸溶液供給ラインを通して供給することができ、該ラインに設けたヒータなどの高温硫酸溶液供給ライン加熱手段により好適には、130〜200℃に加熱して高濃度過硫酸溶液に混合する。また、硫酸イオンを含む高温の溶液における硫酸濃度は、洗浄能力の面から10〜18Mであることが必要とされ、さらに電解に供される溶液と同等の硫酸イオン濃度を有するものが望ましい。
また、前記高濃度過硫酸溶液と硫酸イオンを含む高温の溶液との混合比は1:10〜1:1が望ましい。これらの条件で2液を混合することにより、規定の溶液温度、硫酸イオン濃度、過硫酸イオン濃度の洗浄液を確実に作成することができる。
洗浄液の適温としては、100℃〜190℃を示すことができる。該温度範囲を下回ると、過硫酸による剥離洗浄効果が低下する。一方、200℃を超えると、洗浄液が沸騰してしまいレジストを十分に酸化できない上に、硫酸ミストによる危険性の問題があるので、洗浄液の適温は上記範囲内である。なお、洗浄液が沸騰しないように洗浄液温度よりも沸点が高くなるような硫酸イオン濃度にしておくのが望ましい。
以下に、本発明の一実施形態を図1、2に基づいて説明する。
この実施形態の高温高濃度過硫酸溶液の生成装置では、過硫酸を電解反応により製造する過硫酸供給システム10を備えており、先ず、該過硫酸供給システム10の構成を図2に基づいて説明する。
過硫酸供給システム10では、濃硫酸溶液を被電解液として収容する貯留槽1が備えられ、該貯留槽1に、循環ラインの送り管2a、戻り管2bが接続されており、該送り管2aには、被電解液を送液するための送液ポンプ3が介設されている。送液ポンプ3の下流側には、送液される被電解液を冷却するための冷却器4が被電解液冷却手段として介設されている。その下流側で、送り管2aが電解反応槽5の入口側に接続されている。なお、上記冷却器は、戻り管2b側に設けて電解反応槽5の出口側で送液される電解液を冷却するように構成してもよい。
上記電解反応槽5、直流電源6によって、本発明の電解反応装置が構成されている。
また、過硫酸供給システム10に設けられた補給ライン8には、系外から新たに供給される、硫酸イオンを含む溶液や過硫酸使用側で使用されて過硫酸イオン濃度が低下した後に回収された回収溶液などが供給されるように構成されており、該ライン8には冷却器9が介設されている。
過硫酸供給システム10側では、貯留槽1内に10〜18M(この実施形態では14.5M)の濃度とした硫酸溶液を収容する。該貯留槽1の溶液は送液ポンプ3によって送り管2aを通して順次、電解反応槽5に送液される。この際には、冷却器4によって溶液が好適には約40℃に冷却される。電解反応槽5では、直流電源6によって陽極5a、陰極5b間に通電がなされている。この通電によって、バイポーラ電極5cが分極し、陽極、陰極が出現する。電解反応槽5に送液される溶液は、これら電極間に通水される。この際に通液線速度が1〜10,000m/hrとなるように送液ポンプ3の出力を設定するのが望ましい。なお、上記通電では、ダイヤモンド電極表面での電流密度が10〜100,000A/m2となるように通電制御するのが望ましい。
過硫酸供給ライン7では、高濃度過硫酸溶液は、送液ポンプ11で送液されつつ、ヒータ12により好適には、過硫酸の自己分解速度が非常に高くならない温度、例えば70℃以下(この実施形態では60℃)に昇温される。ただし、該加熱を省略することも可能である。
過硫酸供給ライン7で移送される高濃度過硫酸溶液は、過硫酸使用側へと移送されるが、その際にヒータ12の下流側B部で、高温硫酸溶液供給ライン13から供給される高温の硫酸溶液と混合される。なお、上記高濃度過硫酸溶液と高温硫酸溶液との混合では、容量混合比を1:10〜1:1とするのが望ましい。この高濃度過硫酸溶液と高温(好適には130〜200℃)の溶液とが過硫酸供給ライン7で合流すると、溶液は瞬時に好適には100〜190℃に昇温して高温高濃度過硫酸溶液として過硫酸使用側に供給される。
次に、過硫酸使用側として洗浄部が接続された実施形態を図3に基づいて説明する。なお、上記実施形態と同様の構成については同一の符号を付してその説明を省略または簡略化する。
洗浄槽20内には、収容された洗浄液を加熱するヒータ21が設けられている。さらに洗浄槽20には、排液側にSS除去フィルタ25およびポンプ27を介設した送り管26が接続されており、該送り管26はポンプ27の下流側A部で、前記過硫酸供給システム10の補給ライン8と、高温硫酸溶液供給ラインに相当する還流管28とに分岐接続されている。還流管28には、高温硫酸溶液供給ライン加熱手段に相当するヒータ29が介設されている。さらに還流管28は、前記過硫酸供給ライン7において、ヒータ23の下流側であって洗浄槽20の上流側B部で合流している。
過硫酸供給システム10側では、貯留槽1内に10〜18M(この実施形態では14.5M)の濃度とした硫酸溶液を収容し、送液ポンプ3によって送り管2aを通して順次、電解反応槽5に送液する。この際には、冷却器4によって溶液が好適には約40℃に冷却される。電解反応槽5では、前記実施形態と同様に電解反応がなされて高濃度の過硫酸イオンを含む硫酸溶液が得られる。
過硫酸供給ライン7で移送される高濃度過硫酸溶液は、洗浄槽20側へと移送されて蓄積されるが、その際にヒータ23の下流側B部で、還流管28から供給される高温の硫酸溶液と混合される。該溶液は、洗浄槽20に蓄積された過硫酸イオンおよび硫酸イオンを含む洗浄液を回収したものであり、過硫酸イオンは自己分解によって当初より濃度が低下している。この回収溶液はポンプ27によって送り管26を介して送液される。なお、送り管26を移送される回収溶液は、洗浄中は全量が還流管28に送られる。また本発明としては、送り管26を移送される回収溶液の少量が補給ライン8に送液され、残部は還流管28に送られるように構成してもよい。なお、上記高濃度過硫酸溶液と高温硫酸溶液との混合では、容量混合比を1:3〜1:5とするのが望ましい。
洗浄槽20では、上記高温高濃度過硫酸溶液が洗浄液として次第に蓄積される。なお、この際に、洗浄槽20では、ヒータ21によって槽内の溶液温度を好適には100〜190℃(この実施形態では150℃程度)に維持する。
補給ライン8に移送された少量の洗浄液は、冷却器9で40℃程度に冷却された後、被電解液として過硫酸供給システム10の貯留槽1または電解反応槽5に直接供給される。この際に、電解反応槽5では電解が継続しつつ過硫酸イオンを生成するのが望ましい。
なお、補給に用いられる濃硫酸溶液は、系外から新たに供給される濃硫酸溶液でもよく、また、過硫酸使用側で自己分解によって過硫酸イオンが低下した後に回収された回収液のいずれでもよい。
なお、上記実施形態2では、洗浄部としてバッチ式の洗浄槽を備えるものについて説明をしたが、本発明では、洗浄液を枚葉式の洗浄部に適用するものであってもよい。以下に、一実施形態として噴流形成装置を備える使用例について図4に基づいて説明する。なお、前記実施形態と同様の構成については同一の符号を付してその説明を省略または簡略化する。
洗浄部では、噴流形成装置としてノズル34を備えており、該ノズル34の先端側噴出部が洗浄槽30内に位置している。ノズル34は、過硫酸供給ライン7から供給される過硫酸イオンを含む濃硫酸溶液の噴流を下方に向けて噴出するように構成されている。
また、洗浄槽30内には、ノズル34の噴出方向に、基板載置台102が設置され、該基板載置台102に被洗浄材である半導体基板100が載置される。該基板載置台102またはノズル34は、半導体基板100の表面上に噴流がむらなく当たるように相対的に移動可能とするのが望ましい。また、洗浄槽30の洗浄液排液部では、回収管35が接続され、該回収管35は回収貯留槽36に接続されている。回収貯留槽36には、SS除去フィルタ37、送液ポンプ39を介して送り管38が接続されており、該送り管38は送液ポンプ39の下流側A部で、前記過硫酸供給システム10の補給ライン8と、高温硫酸溶液供給ラインに相当する還流管40とに分岐接続されている。還流管40には、高温硫酸溶液供給ライン加熱手段に相当するヒータ41が介設されている。さらに還流管40は、前記過硫酸供給ライン7における前記ヒータ32の下流側であって前記赤外線ヒータ33の上流側のB部で合流している。また、補給ライン8には冷却器9が介設されている。
過硫酸供給システム10で生成された過硫酸イオンを高濃度で含む濃硫酸溶液は、送液ポンプ31によって過硫酸供給ライン7を通して洗浄槽30側へと移送され、ノズル34に供給される。この際に、溶液は過硫酸供給ライン7の上流側でヒータ32で過硫酸の自己分解速度が非常に高くならない温度、例えば50〜60℃に加熱される。ただし、この加熱のための構成は省略することもできる。さらに、過硫酸イオンを高濃度で含む濃硫酸溶液は、洗浄槽30側へと移送されて洗浄に供されるが、その際にヒータ32の下流側B部で、還流管40で送液される高温の洗浄液と混合される。該洗浄液は、洗浄槽30で回収された過硫酸イオンおよび硫酸イオンを含む溶液であり、回収管35で回収されて回収貯留槽36に一旦貯留した後、ポンプ39で送り管38を介して送液される。なお、送り管38を移送される洗浄液は、洗浄中は全量が還流管40に送られる。また本発明としては、送り管38を移送される洗浄液の少量が補給ライン8に送液され、残部は還流管40に送られるように構成してもよい。なお、上記高濃度過硫酸溶液と高温硫酸溶液との混合では、容量混合比を1:1〜1:3とするのが望ましい。
さらに高温高濃度過硫酸溶液は、赤外線ヒータ33で好適には150〜190℃(この実施形態では170℃程度)に加熱されて洗浄槽30に供給される。
上記実施形態では、洗浄部としてバッチ式の洗浄槽を備えるものについて、洗浄槽で回収した溶液により高温硫酸溶液を得るものとしたが、本発明としては、系外から高温硫酸溶液を供給するものであってもよい。以下に、該実施形態を図5に基づいて説明する。なお、前記各実施形態と同様の構成については同一の符号を付してその説明を省略または簡略化する。
洗浄部では、噴流形成装置としてノズル34を備え、該ノズル34の先端側噴出部が洗浄槽30内に位置している。また、洗浄槽30の洗浄液排液部では、洗浄に用いた洗浄液は過硫酸供給システムに送液することなく排液されるように構成されている。
硫酸貯留槽51には、硫酸濃度を10〜18M(この実施形態では14.5M)とした硫酸を貯留して、過硫酸供給システム10に供給をして過硫酸イオンを電解反応により生成する。該過硫酸供給システム10で生成され、過硫酸イオンを高濃度で含む濃硫酸溶液は、送液ポンプ31によって過硫酸供給ライン7を通して洗浄槽30側へと移送され、ノズル34側に供給される。この際に、溶液はヒータ32で過硫酸の自己分解速度が非常に高くならない温度、例えば50〜60℃に加熱される。ただし、この加熱のための構成は省略することもできる。さらに、過硫酸イオンを高濃度で含む濃硫酸溶液は、過硫酸供給ライン7のB部で高温硫酸溶液供給ライン33から供給される高温高濃度硫酸溶液と混合されて、瞬時に130℃程度に加熱される。なお、上記高濃度過硫酸溶液と高温硫酸溶液との混合では、容量混合比を1:2とする。高温硫酸溶液供給ライン33では、硫酸貯留槽51に貯留されている常温の硫酸をヒータ52により170℃に加熱して供給する。B部での上記混合により得られた高温高濃度過硫酸溶液は、さらに赤外線ヒータ33で170℃程度に加熱された後、ノズル34に供給される。
一方、過硫酸供給システム10では、電解された過硫酸イオンを含む濃硫酸溶液が不足すると、過硫酸供給ライン7による過硫酸供給を停止した後、好適には電解を継続しつつ、上記硫酸貯留槽51から補給ライン8を通して新たな溶液である常温の高濃度硫酸溶液を被電解液として補給する。この被電解液は、過硫酸供給ライン10に備える電解反応装置で電解されて、過硫酸供給ライン7より洗浄槽30に洗浄液として供給することができる。なお、本発明としては、高濃度過硫酸溶液を過硫酸供給ライン7を通して供給する間にも、硫酸貯留槽51を通して被電解液を補給するものであってもよい。
貯留槽に、98%濃硫酸40リットル、超純水10リットルの割合で調製した高濃度硫酸溶液(14.8M)を収容した。電解反応装置では、直径15cm、厚さ0.5mmのボロンドープした導電性ダイヤモンド電極を10枚組み込んだ電解反応槽を2槽直列に配列させた。電解のための有効陽極面積は30dm2であり、電流密度を30A/dm2に設定して電解した。このとき電解反応装置では、過硫酸生成速度が3g/l/hrであることを確認した。貯留槽と電解反応装置との間で溶液を循環しつつ電解を継続することで、溶液中の過硫酸濃度は50g/Lに達した。
貯留槽における過硫酸を含有した溶液は、洗浄液として枚葉式洗浄装置に500ml/min.で送液し、その途中でヒータにより70℃程度まで加熱し、さらに高温高濃度硫酸溶液(14.8M)と混合して170℃程度に昇温してノズルに導入した。基板載置台に保持されたレジスト付きで5インチのシリコンウエハを2min./枚程度の速度で洗浄した。廃液は回収槽に回収した。この処理を3時間連続して行い、60枚の清浄なウエハを得ることができた。またこの間に新たな薬品の添加を行わず、回収槽内の洗浄液のTOC濃度は検出限界以下であった。
実施例1の枚葉式洗浄装置を用い、該洗浄装置には、硫酸:過酸化水素水を4:1で混合し、170℃に加熱した洗浄液を供給するものとした。レジスト付きで5インチのシリコンウエハを2min./枚程度の速度で洗浄した。3時間後、60枚の清浄なウエハを得ることができたが、洗浄廃液が27L程度発生した。
2a 送り管
2b 戻り管
4 冷却器
5 電解反応槽
5a 陽極
5b 陰極
5c バイポーラ電極
6 直流電源
7 過硫酸供給ライン
8 補給ライン
9 冷却器
10 過硫酸供給システム
12 ヒータ
13 高温硫酸溶液供給ライン
14 ヒータ
20 洗浄槽
23 ヒータ
26 送り管
28 還流管
29 ヒータ
30 洗浄槽
32 ヒータ
33 赤外線ヒータ
34 ノズル
35 回収管
36 回収貯留槽
38 送り管
40 還流管
41 ヒータ
50 高温硫酸溶液供給ライン
51 硫酸貯留槽
52 ヒータ
Claims (14)
- 10〜18Mの濃度で硫酸イオンを含む溶液を循環しつつ繰り返し電解反応することにより溶液に含まれる硫酸イオンから過硫酸イオンを生成して高濃度過硫酸溶液を製造し、該高濃度過硫酸溶液を過硫酸使用側に供給する際に、前記高濃度過硫酸溶液に、10〜18Mの濃度で硫酸イオンを含む高温の溶液を混合して高温高濃度過硫酸溶液とすることを特徴とする高温高濃度過硫酸溶液の生成方法。
- 前記電解反応に供される溶液と前記硫酸イオンを含む高温の溶液とが同等の硫酸イオン濃度を有していることを特徴とする請求項1記載の高温高濃度過硫酸溶液の生成方法。
- 前記硫酸イオンを含む高温の溶液は、系外から新たに供給される、硫酸イオンを含む溶液または前記過硫酸使用側で使用されて過硫酸イオン濃度が低下した後に回収された回収溶液を加熱したものであることを特徴とする請求項1または2に記載の高温高濃度過硫酸溶液の生成方法。
- 前記高濃度過硫酸溶液に硫酸イオンを含む高温の溶液を混合した高温高濃度過硫酸溶液をさらに加熱することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の高温高濃度過硫酸溶液の生成方法。
- 前記電解反応において循環される硫酸イオンを含む溶液の温度が10〜70℃であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の高温高濃度過硫酸溶液の生成方法。
- 前記硫酸イオンを含む高温の溶液の温度が、130〜200℃であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の高温高濃度過硫酸溶液の生成方法。
- 前記高濃度過硫酸溶液と硫酸イオンを含む高温の溶液との混合比が1:10〜1:1であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の高温高濃度過硫酸溶液の生成方法。
- 前記過硫酸使用側に供給される高温高濃度過硫酸溶液の温度が、100〜190℃であることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の高温高濃度過硫酸溶液の生成方法。
- 電解反応により溶液に10〜18Mの濃度で含まれる硫酸イオンから過硫酸イオンを生成する電解反応装置と、前記硫酸イオンを含む溶液を貯留する貯留槽と、該貯留槽から前記溶液を被電解液として前記電解反応装置へ移送し、前記電解反応装置から電解された溶液を前記貯留槽へ移送する循環ラインと、前記電解反応装置で生成された過硫酸イオンを含む高濃度過硫酸溶液を過硫酸使用側に供給する過硫酸供給ラインと、該過硫酸供給ラインに10〜18Mの濃度で硫酸イオンを含む高温の溶液を供給して前記過硫酸イオンを含む溶液に混合する高温硫酸溶液供給ラインとを備えることを特徴とする高温高濃度過硫酸溶液の生成装置。
- 前記電解反応装置に移送される被電解液又は、前記電解反応装置から移送される電解液を冷却する被電解液冷却手段を備えることを特徴とする請求項9記載の高温高濃度過硫酸溶液の生成装置。
- 前記電解反応装置に移送する被電解液として、系外から新たに供給される、硫酸イオンを含む溶液または前記過硫酸使用側で使用されて過硫酸イオン濃度が低下した後に回収される回収溶液を補給する補給ラインを備えることを特徴とする請求項9または10に記載の高温高濃度過硫酸溶液の生成装置。
- 前記高温硫酸溶液供給ラインは、系外から新たに供給される、硫酸イオンを含む溶液または前記過硫酸使用側で使用されて過硫酸イオン濃度が低下した後に回収される回収溶液を供給するように構成されているとともに、該溶液を加熱する高温硫酸溶液供給ライン加熱手段を備えることを特徴とする請求項9〜11のいずれかに記載の高温高濃度過硫酸溶液の生成装置。
- 前記過硫酸供給ラインは、前記硫酸イオンを含む高温の溶液の混合前に前記過硫酸イオンを含む溶液を加熱する第1の過硫酸供給ライン加熱手段と、前記混合後に前記過硫酸イオンを含む溶液を加熱する第2の過硫酸供給ライン加熱手段とを備えることを特徴とする請求項9〜12のいずれかに記載の高温高濃度過硫酸溶液の生成装置。
- 前記過硫酸使用側が、過硫酸を用いた洗浄システムであることを特徴とする請求項9〜13のいずれかに記載の高温高濃度過硫酸溶液の生成装置。
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