JP2008091469A - 半導体製造装置、半導体製造方法及び電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェハ7に形成されている配線接続孔に対して絶縁体バリアー膜を形成する手段1031等と、絶縁体バリアー膜に紫外線を照射する手段3等とを有する。詳しくは、ウェハ7が載置されるヒーター6が設置される第一領域Bと、ヒーター6上のウェハ7に紫外線を照射するランプ3が設置される第二領域Aとの間を仕切る仕切り板1068と、第二領域Aに配置されていてクリーニングを行うプラズマ発生用の電極1064とを備える。
【選択図】 図5
Description
ウェハに形成されている配線接続孔に対して絶縁体バリアー膜を形成する手段と、
前記絶縁体バリアー膜に紫外線を照射する手段とを有する。
前記ウェハの載置台が設置される第一領域と、前記載置台上のウェハに紫外線を照射する光源が設置される第二領域との間を仕切る仕切り部材と、
前記第二領域に配置されていて前記クリーニングを行うプラズマ発生用の電極とを備えると、光源からの照射光が電極によって遮られることなく、載置台上のウェハに到達するため好ましい。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1の半導体製造装置の模式的な構成図である。本実施形態では、主として、絶縁体バリアー膜を改質する装置について説明する。
なお、ステップS1,S2,S4の条件を、一例として、以下のように変更することも可能である。
ステップS1:例えば50cc/minの流量のSi(CH3)3Hガス(3MSガス)と、20cc/minの流量のNH3ガスとの混合ガスを用いる。
また、ステップS2での使用ガスをN2H4ガスからNH3ガスに代え、かつ、H2Oガスを50〜200cc/minの流量を例えば、25〜50cc/minとすることも可能である。係る場合には、絶縁物バリアー膜として、SiONH膜が形成される。
実施形態1の半導体装置は、絶縁物バリアー膜の厚さが、相対的に小さい場合には好ましい。しかし、絶縁物バリアー膜の厚さが、相対的に大きい場合には以下の観点から、対策が必要である。
図5に示したチャンバー15は、以下のように変形することが可能である。すなわち、ウェハ7とランプ3との間に設けられている網目状のアース電極1067を、ランプ3の上側に設けたチャンバー15とすることもできる。係る場合には、アース電極1067は、網目状としなくてもよく、例えば板状とすればよい。
本発明者は、絶縁物バリアー膜の水素成分の結合基を切断することで、絶縁物バリアー膜を均一で高密度とすることができることを見出した。また、本発明者は、遷移金属の酸化に必要な波長或いはC−H結合を切断するのに必要な波長以下の光を照射すること、H絶縁物バリアー膜を不活性ガス又はO2ガスを1〜2%程度、好ましくは1%以下含む不活性ガス雰囲気で紫外線アニールすることで、絶縁物バリアー膜を緻密とすることができ、かつ、リーク電流が流れにくくなることを見出した。
上記変形例2と同趣旨の変形例であるが、図5に示すチャンバー15を図1の第一チャンバー1として用いることも可能である。この場合、第二チャンバー2のランプ3は、チャンバー15内のランプと同一又は異なる波長のものとする。係る場合にも、上記変形例2と同様の効果が得られる。
実施形態1,2で説明した半導体装置を用いて製造した半導体デバイスは、絶縁物バリアー膜の表面の空孔が密閉されていて、十分にバリアー効果が高い。このため、この半導体デバイスは、小型・薄型である。このことから、この半導体デバイスは、以下のような電子機器に好適に用いることができる。
テレビジョン、パーソナルコンピュータなどに付帯する、液晶・プラズマ・有機EL(electroluminescence)などの表示装置には、各画素を独立的に駆動するための半導体デバイスが備えられている。
ディジタルカメラ・ディジタルスチルカメラなどにも、表示装置の場合と同様に、小型化・薄型化の需要が高い。特に、ディジタルカメラ等は、通常、携帯されることが多いので、本実施形態の半導体デバイスを採用して、小型化を実現するとよい。したがって、撮像装置に、本実施形態の半導体デバイスを採用すると、撮像装置の小型化が可能となる。
ファクシミリ等の画像形成装置は、近年、電話などとともに、複合型のものが多い。したがって、画像形成装置はもとより、この種の複合機は、小型化が要求される。したがって、画像形成装置及びこれを含む複合機に、本実施形態の半導体デバイスを採用すると、これら画像形成装置等の小型化が可能となる。
例えば、CD・MD・DVDを含む光磁気記録媒体に対する情報読取等を行う光ピックアップ部には、光磁気記録媒体からの光を電気信号に光電変換素子と、光電変換素子によって変換された光信号を転送するための薄膜トランジスタとを備える半導体デバイスが備えられている。したがって、光学装置に、本実施形態の半導体デバイスを採用すると、これら光学装置の小型化が可能となる。
2 第二チャンバー
3 ランプ
4 石英パイプ
5 不活性ガス
7 ウェハ
6 ヒーター
8 ピン
9 受光センサー
Claims (8)
- ウェハに形成されている配線接続孔に対して絶縁体バリアー膜を形成する手段と、
前記絶縁体バリアー膜に紫外線を照射する手段とを有する半導体製造装置。 - 前記各手段は、同一又は異なるチャンバーに設けられている請求項1記載の半導体製造装置。
- 前記各手段が同一のチャンバーに設けられており、
前記ウェハが載置される載置台が設置される第一領域と、前記載置台上のウェハに紫外線を照射する光源が設置される第二領域との間を仕切る仕切り部材と、
前記第二領域に配置されていてクリーニングを行うプラズマ発生用の電極とを備える請求項1記載の半導体製造装置。 - 前記各手段は、同一のウェハに対して、複数の絶縁体バリアー膜を重ねて形成し、かつ、各絶縁体バリアー膜に対して紫外線を照射する請求項1記載の半導体製造装置。
- 前記絶縁体バリアー膜は、原子層成長法によって形成する請求項1記載の半導体製造装置。
- 前記光源は、互いに波長が異なる光を照射する請求項1記載の半導体製造装置。
- ウェハに形成されている配線接続孔に対して絶縁体バリアー膜を形成し、
前記絶縁体バリアー膜に紫外線を照射する半導体製造方法。 - 請求項7に示す半導体製造方法によって製造された半導体デバイスを備える電子機器。
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JP2006268429A JP2008091469A (ja) | 2006-09-29 | 2006-09-29 | 半導体製造装置、半導体製造方法及び電子機器 |
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JP2010103484A (ja) * | 2008-09-29 | 2010-05-06 | Adeka Corp | 半導体デバイス、その製造装置及び製造方法 |
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JP2005175405A (ja) * | 2003-12-15 | 2005-06-30 | Nec Corp | 積層構造体並びに半導体装置及びその製造方法 |
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2006
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