JP2008085090A - 半導体レーザ装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】Si基板1上にDBRミラー2を形成し、DBRミラー2上にn型の導電層4を形成し、導電層4上の一部に発光層5を形成し、導電層4上の発光層5の側面に絶縁層7を形成し、絶縁層7及び発光層5上にp型の導電層8を形成し、導電層8上に、発光層5の直上に位置するようにDBRミラー9を形成し、導電層4と電気的に接続した電極10を形成し、導電層8上に電極11を形成する。
【選択図】図1
Description
DBRミラーに絶縁膜であるSiO2を用いた場合、発光層を挟むDBRミラーの上面などに電極を形成して、DBRミラーを介して発光層に電流を注入することができない。そのため、例えば、DBRミラーの面積(共振器面積)より発光層の面積を十分大きくして、発光層の上面のスペースなどに上部電極を形成していた(例えば、特許文献1参照。)。
K. Toshikiyo, et al., "Enhanced optical properties of Si1-xGex alloy nanocrystals in a planar microcavity", J. Appl. Phys. 93, 2178(2003)
一般的に、発光層を広げて電極構造を形成するには、共振器面積の100倍程度に発光層面積を広げなければならない。例えば、共振器の直径を3μm、電極幅を30μmとすると、発光層面積は最低でも共振器面積の121倍となってしまう。
図1は、第1の実施の形態の半導体レーザ装置の構成を示す断面図である。
また、図2は、第1の実施の形態の半導体レーザ装置の上面図である。
導電層4は、単結晶Si層3上に結晶成長で形成されており、n型不純物が添加された単結晶構造となっている。これは、導電層4の上部に母材がSi系材料である発光層5を単結晶で形成するためである。発光層5の上部のp型の導電層6も、発光層5の結晶性を悪化させないように結晶成長で形成されており、単結晶構造となっている。
図3〜図6は、第1の実施の形態の半導体レーザ装置の各製造工程における断面図である。
発光層5としては、アンドープのSiGeC層を成長温度650℃で50nm成長する。その後、量子ドット5aとしてIII−V族化合物のInAsSbを成長する。InAsSbの成長の際には、成長温度500℃で、III族のInの供給量を2ML、V族のAsとSbの供給量がIII族の供給量の10倍になるようにする。その後、SiGeCによるキャップ層を成長温度500℃で50nm成長する。
MOVPE法によるSiGeCの成長には、例えばジシラン(Si2H6)、ゲルマン(GeH4)、モノメチルシラン(SiH3CH3)を用いればよい。InAsSbの成長には、例えばトリメチルインジウム(TMIn)、アルシン(AsH3)、トリメチルアンチモン(TMSb)を用いればよい。
導電層6を成長した後、リソグラフィ及びエッチングによって、導電層4上の一部に発光層5と導電層6によるメサを形成し、その後、SiO2による絶縁層7を例えばCVDによって堆積する(図5(A))。
また、上記では、量子ドット5aの材料としてInAs1-xSbxの場合を挙げたが、この材料に限定されるものではなく、他の直接遷移型の化合物半導体、例えばインジウムガリウムアンチモン(In1-xGaxSb)、窒化インジウムアンチモン(InSb1-xNx)、窒化インジウム砒素(InAs1-xNx)であってもよい。
また、上記では、共振器面積と発光層5の面積が同程度になるようにしたが、発光層5の面積を共振器面積よりも小さくなるようにしてもよい。
また、電極10、11は必ずしもリング状にする必要はないし、図1のように、共振器部分を中心にして左右対称に絶縁層7や導電層8を形成しなくてもよい。
比較のために、発光層面積を共振器面積より広げて電極を形成する従来の構造における変化も併せて示している。
本実施の形態の半導体レーザ装置は、発光層5の面積を共振器面積と同程度とできるため、図のように、共振器直径を小さくするほど閾値電流を小さくすることができる。従来構造と比較して5μmのときで1/25、2μmのときで1/121まで閾値電流を低減することが可能になる。
図8は、第2の実施の形態の半導体レーザ装置の構成を示す断面図である。
第1の実施の形態の半導体レーザ装置と同一の構成要素については、同一符号とし説明を省略する。
n型の単結晶Si層23の上部には、第1の実施の形態の半導体レーザ装置と同様に、n型SiGeCによる導電層4が結晶成長にて形成されている。導電層4の上部の構成は第1の実施の形態の半導体レーザ装置とほぼ同じであるが、DBRミラー22が導電性を有しているため、電極24を導電層4上ではなく、n型のSi基板21の裏面に形成している。
また、上記ではSi基板21、DBRミラー22、単結晶Si層23、導電層4をn型として、導電層6、8をp型としたが、この導電型を逆にしてもよいことはいうまでもない。
図9は、第3の実施の形態の半導体レーザ装置の構成を示す断面図である。
第1の実施の形態の半導体レーザ装置と同一の構成要素については同一符号とし、説明を省略する。
第3の実施の形態の半導体レーザ装置の製造の際には、まず、変調回路形成部31でMOSFETの形成を行う。これは、始めに面発光レーザを形成すると、n+領域36、37の形成時におけるイオン活性化アニール処理などの際に、発光層5部分も高熱になり、欠陥が生じる恐れがあるためである。
続いてリソグラフィ及びエッチングにより、ゲート絶縁膜34とポリシリコンゲート35をパターニングする(図10(B))。次に、ソース領域及びドレイン領域の形成のために絶縁膜33を嵩上げするとともにソース領域及びドレイン領域をパターニングする。そして、絶縁膜33の開口部より例えば、n型不純物であるAsを1×1021cm-3の濃度で注入し、n+領域36、37を形成する(図11(A))。その後、面発光レーザ形成部30の絶縁膜33を除去して、図4〜図6で示した工程によって面発光レーザを形成する(図11(B))。なお、電極形成は例えば最後に行う。ここで、面発光レーザ形成部30の導電層4上の電極と、変調回路形成部31のn+領域37の電極とを共通の電極40とすることで、図9に示すような第3の実施の形態の半導体レーザ装置が形成される。
(付記1) 面発光型の半導体レーザ装置において、
半導体基板上に形成された多層膜からなる第1の反射層と、
前記第1の反射層上に形成された第1導電型の第1の導電層と、
前記第1の導電層上の一部に形成された発光層と、
前記第1の導電層上の前記発光層の側面に形成された絶縁層と、
前記絶縁層及び前記発光層上に形成された第2導電型の第2の導電層と、
前記第2の導電層上に、前記発光層の直上に位置するように形成された多層膜からなる第2の反射層と、
前記第1の導電層と電気的に接続した第1の電極と、
前記第2の導電層上に形成された第2の電極と、
を有することを特徴とする半導体レーザ装置。
(付記3) 前記第1の導電層は、単結晶層であることを特徴とする付記1乃至2記載の半導体レーザ装置。
(付記6) 前記第1の反射層及び前記第2の反射層は、絶縁膜を有する前記多層膜から構成されていることを特徴とする付記1乃至5記載の半導体レーザ装置。
半導体基板上に多層膜からなる第1の反射層を形成し、
前記第1の反射層上に第1導電型の第1の導電層を形成し、
前記第1の導電層上の一部に発光層を形成し、
前記第1の導電層上の前記発光層の側面に絶縁層を形成し、
前記絶縁層及び前記発光層上に第2導電型の第2の導電層を形成し、
前記第2の導電層上に、前記発光層の直上に位置するように多層膜からなる第2の反射層を形成し、
前記第1の導電層と電気的に接続した第1の電極を形成し、
前記第2の導電層上に第2の電極を形成することを特徴とする半導体レーザ装置の製造方法。
(付記12) 前記第1の導電層は単結晶層であり、前記発光層を前記第1の導電層上に結晶成長により形成することを特徴とする付記10乃至11記載の半導体レーザ装置の製造方法。
(付記15) 前記第1の反射層及び前記第2の反射層は、絶縁膜を有する前記多層膜から構成されていることを特徴とする付記10乃至14記載の半導体レーザ装置の製造方法。
2、9 DBRミラー
2a、9a Si層
2b、9b SiO2層
3 単結晶Si層
4 導電層(n型)
5 発光層
6、8 導電層(p型)
7 絶縁層
10、11 電極
Claims (10)
- 面発光型の半導体レーザ装置において、
半導体基板上に形成された多層膜からなる第1の反射層と、
前記第1の反射層上に形成された第1導電型の第1の導電層と、
前記第1の導電層上の一部に形成された発光層と、
前記第1の導電層上の前記発光層の側面に形成された絶縁層と、
前記絶縁層及び前記発光層上に形成された第2導電型の第2の導電層と、
前記第2の導電層上に、前記発光層の直上に位置するように形成された多層膜からなる第2の反射層と、
前記第1の導電層と電気的に接続した第1の電極と、
前記第2の導電層上に形成された第2の電極と、
を有することを特徴とする半導体レーザ装置。 - 前記第2の導電層は、第2導電型のシリコン層または第2導電型のシリコン化合物層であることを特徴とする請求項1記載の半導体レーザ装置。
- 前記第1の導電層は、単結晶層であることを特徴とする請求項1乃至2記載の半導体レーザ装置。
- 前記発光層は、III−V族化合物の量子ドットを含むシリコンゲルマニウムカーボン(Si1-x-yGexCy(0<x≦1,0≦y≦0.005))層を有していることを特徴とする請求項1乃至3記載の半導体レーザ装置。
- 前記発光層と、前記第2の導電層との間に第2導電型の単結晶層を有することを特徴とする請求項1乃至4記載の半導体レーザ装置。
- 前記第1の反射層及び前記第2の反射層は、絶縁膜を有する前記多層膜から構成されていることを特徴とする請求項1乃至5記載の半導体レーザ装置。
- 前記半導体基板及び前記第1の反射層は第1導電型であり、前記半導体基板の裏面に前記第1の電極を配置したことを特徴とする請求項1乃至5記載の半導体レーザ装置。
- 前記第1の反射層は、第1導電型のシリコンゲルマニウム層及び第1導電型のシリコン層の前記多層膜から構成されていることを特徴とする請求項7記載の半導体レーザ装置。
- 前記半導体基板上に、第1導電型のソース領域またはドレイン領域を前記第1の導電層と電気的に接続したMOSFETによる変調回路を更に有することを特徴とする請求項6記載の半導体レーザ装置。
- 面発光型の半導体レーザ装置の製造方法において、
半導体基板上に多層膜からなる第1の反射層を形成し、
前記第1の反射層上に第1導電型の第1の導電層を形成し、
前記第1の導電層上の一部に発光層を形成し、
前記第1の導電層上の前記発光層の側面に絶縁層を形成し、
前記絶縁層及び前記発光層上に第2導電型の第2の導電層を形成し、
前記第2の導電層上に、前記発光層の直上に位置するように多層膜からなる第2の反射層を形成し、
前記第1の導電層と電気的に接続した第1の電極を形成し、
前記第2の導電層上に第2の電極を形成することを特徴とする半導体レーザ装置の製造方法。
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