JP2008068489A - 液体吐出ヘッド、画像形成装置、液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents

液体吐出ヘッド、画像形成装置、液体吐出ヘッドの製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】振動板部材のようにダイヤフラム部分や共通液室のダンパー部を構成する厚みの薄い部分がある部材に製造工程中でブリッジ部に有する構成としたとき、ブリッジ部を除去するときのブリッジ部周辺の変形が顕著になって接合不良を生じることがある。
【解決手段】ノズル板、流路部材2、振動板部材3を積層して接合することで液室ユニットが構成され、振動板部材3は、製造工程中で外周にブリッジ部61を4箇所に有しており、このブリッジ部61を除く振動板部材3の外形形状と流路部材2の外形形状は平面的に見て略同じである。
【選択図】図3

Description

本発明は液体吐出ヘッド、画像形成装置、液体吐出ヘッドの製造方法に関する。
プリンタ、ファクシミリ、複写装置、これらの複合機等の画像形成装置として、例えば、記録液(液体)の液滴を吐出する液体吐出ヘッドで構成した記録ヘッドを含む液体吐出装置を用いて、媒体(以下「用紙」ともいうが材質を限定するものではなく、また、被記録媒体、記録媒体、転写材、記録紙なども同義で使用する。)を搬送しながら、液体としての記録液(以下、インクともいう。)を用紙に付着させて画像形成(記録、印刷、印写、印字も同義語で用いる。)を行ものがある。
なお、画像形成装置は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味し、また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与することをも意味する。また、液体とは記録液、インクに限るものではなく、画像形成を行うことができる液体であれば特に限定されるものではない。また、液体吐出装置とは、液体吐出ヘッドから液体を吐出する装置を意味し、画像を形成するものに限らない。
ところで、液体吐出ヘッドは、例えば、液滴を吐出するノズルを形成したノズル板、ノズルが連通する液室を形成する流路部材(流路板)、液室の1つの壁面を形成する振動板部材などの複数の薄層の部材を積層して接着剤などで接合して構成される液室ユニットと、液室内の液体を加圧するエネルギーを発生するエネルギー発生手段を備えるアクチュエータユニットとで構成される。
従来、例えば、特許文献1には、部品の位置決め精度と接合強度を向上させるために、インク流路を形成したヘッドボディとノズルを形成したノズルプレートの外形形状を同一にすることが記載されている。
特開昭63−005949号公報
その他、従来の液体吐出ヘッドとしては、特許文献2ないし4に記載されているようなものもある。
特開2002−059548号公報 特開2002−248765号公報 特開2003−300327号公報
上述したように薄層の複数の部材を積層、接合して液体吐出ヘッドを組立てるとき、搬送の利便性を向上するため、製造工程中では部材の外周に部材同士を繋ぐブリッジ部を設けている。例えば、図11に示すように、振動板部材501の外周には対向する側面にそれぞれ2個のブリッジ部502、503が形成されており、複数の振動板部材501をブリッジ部502、503で繋いで搬送するようにしている。この製造工程中で用いるブリッジ部は図11に示すように破線で示す部分をカットすることでヘッドとして組み立てた後も残る場合と、ヘッド組立て時にブリッジ部を完全に除去する場合もある。
ところが、特に、振動板部材のように、ノズル板と比較して、ダイヤフラム部分や共通液室のダンパー部を構成する厚みの薄い部分がある部材のブリッジ部に有する構成では、ブリッジ部周辺の変形が顕著になって接合不良を生じることがある。
この点について図12を参照して説明する。ここでは、4箇所にブリッジ部502が形成された振動板部材501を示している。ブリッジ部501の寸法は、振動板部材501の外形線から垂直方向に約0.1mm、平行方向に約1mm程度である。ブリッジ部501は、一般的に用いられるシャー型のカッター等でカットされるが、カットする際にカッターの移動方向に折れ曲がり変形する。この場合、振動板部材501の外形形状よりも小さい流路部材と振動板部材501を加圧接合すると、図12に示すように、振動板部材501のブリッジ部502の周辺部504(半円で示す部分:概略半径r=3mmの領域部分)に起こる変形を矯正することができないので、この変形部分が流路部材と接合されないことで接合不良が生じる。
本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、ブリッジ部を有する振動板部材の変形を矯正して接合不良を低減し、接合不良に起因する初期不良を低減した液体吐出ヘッド、この液体吐出ヘッドを備える画像形成装置、この液体吐出ヘッドを製造する液体吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、液滴を吐出するノズルが連通する液室を形成する流路部材と、前記液室の壁面を形成する振動板部材とを積層して接合することで液室ユニットが構成された液体吐出ヘッドにおいて、前記振動板部材は外周に設けられたブリッジ部を切断して形成され、前記ブリッジ部を除く前記振動板部材の外形形状と前記流路部材の外形形状が平面的に見て略同じである構成とした。
ここで、前記流路部材に接合される前記ノズルを形成したノズル板を備え、このノズル板は外周に設けられたブリッジ部を切断して形成され、前記振動板部材のブリッジ部と前記ノズル板のブリッジ部とは平面的に見て異なる位置に設けられている構成とできる。
本発明に係る画像形成装置は、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えたものである。
本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法は、液滴を吐出するノズルが連通する液室を形成する流路部材と、前記液室の壁面を形成する振動板部材とを積層して接合することで液室ユニットが構成された液体吐出ヘッドを製造する方法において、外周にブリッジ部を有する前記振動板部材と、前記ブリッジ部を除く前記振動板部材の外形形状と略同じ外形形状を有する前記流路部材とを、2つの加圧ブロックを用いて加圧するとき、前記振動板部材のブリッジ部が変形している側の加圧ブロックの外形形状が前記ブリッジ部を除く前記振動板部材の外形形状と略同じである構成とした。
ここで、前記加圧ブロックと前記振動板部材の位置決めを行う加圧治具を用いる構成とできる。
本発明に係る液体吐出ヘッドによれば、振動板部材は外周に設けられたブリッジ部を切断して形成され、ブリッジ部を除く振動板部材の外形形状と流路部材の外形形状が略同じである構成としたので、振動板部材のブリッジ部周辺の変形を流路部材で受け、矯正することで初期不良を低減し、接合不良に起因するその他の初期不良を低減することができる。
本発明に係る画像形成装置によれば、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、初期不良が少なく、低コストで高品質の画像形成装置を得ることができる。
本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法によれば、外周にブリッジ部を有する振動板部材と、ブリッジ部を除く振動板部材の外形形状と略同じ外形形状を有する流路部材とを、2つの加圧ブロックを用いて加圧するとき、振動板部材のブリッジ部が変形している側の加圧ブロックの外形形状がブリッジ部を除く振動板部材の外形形状と略同じである構成としたので、加圧接合時のブリッジ部と加圧ブロックの干渉を避けて、接合不良を防ぎ、接合不良に起因するその他の初期不良を低減することができる。
以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明に係る液体吐出ヘッドの第1実施形態について図1ないし図3を参照して説明する。なお、図1は同ヘッドの概略分解斜視説明図、図2は同ヘッドの液室長手方向に沿う断面説明図、図3は図2のノズル部分の拡大説明図である。
この液体吐出ヘッドは、ノズル板1と、流路部材2と、振動板部材3と、アクチュエータ基板4と、フレーム部材5を積層して構成されノズル板1、流路部材2及び振動板部材3によって液室ユニットが構成される。
ている。
ノズル板1には液滴を吐出するノズル11が例えば150dpiピッチで形成され、液滴吐出側の面には図示しないがフッ素系の撥水処理膜が形成されている。このノズル板1は、樹脂部材、ニッケルなどの金属部材、あるいは樹脂部材と金属部材の積層部材などで形成される。
流路部材2は、ノズル11が連通路21を介して連通する加圧液室22などが形成されている。この流路部材2は例えばシリコン基板のエッチングにより形成している。
振動板部材3には、液室22に対応し、かつ液室22の一面を形成するダイヤフラム状の振動板(ダイヤフラム部)31が形成され、この振動板31には凸部32が形成されている。この振動板部材3は例えば第1ないし第3層3a、3b、3cのNi電鋳部材で形成されている。アクチュエータ基板4には液室22に対応して圧電素子41がノズル孔11の並びに沿って配列され、圧電素子41の上端面は振動板部材3の振動板31の凸部32に接合されている。
また、振動板部材3の外周部側には各液室22にインクを供給する共通液室51を形成したフレーム部材5を接合している。共通液室51からは振動板部材3に形成した貫通穴33を介して液室22にインクが供給され、共通液室51には外部からインク供給路52を介してインクが供給される。
この振動板部材3は、外周に設けられたブリッジ部61を切断して形成されている。図1及び図2ではブリッジ部61を省略して図示しているが、前述したように、2つの振動板部材を繋ぐブリッジ部は中央部をカットしてヘッドとして組み立てた後も残っている場合と、ヘッド組立て時にブリッジ部を完全に除去する場合もある。
このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、例えば圧電素子41に印加する電圧を基準電位から下げることによって圧電素子41が収縮し、振動板31が下降して液室22の容積が膨張することで、液室22内にインクが流入し、その後圧電素子41に印加する電圧を上げて圧電素子41を伸長させ、振動板31をノズル孔11方向に変形させて液室6の容積/体積を収縮させることにより、液室22内のインクが加圧され、ノズル11からインクの滴が吐出(噴射)される。
そして、圧電素子41に印加する電圧を基準電位に戻すことによって振動板31が初期位置に復元し、液室22が膨張して負圧が発生するので、このとき、共通液室51から液室22内にインクが充填される。そこで、ノズル11のメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次の液滴吐出のための動作に移行する。
なお、このヘッドの駆動方法については上記の例(引き−押し打ち)に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行うこともできる。
そこで、この液体吐出ヘッドの製造工程中の流路部材1及び振動板部材3について図3及び図4を参照して説明する。
この振動板部材3は、製造工程中で外周にブリッジ部61を4箇所に有しており、このブリッジ部61を除く振動板部材31の外形形状と流路部材1の外形形状は図4に示すように平面的に見て略同じである。なお、「略同じ」とは、ブリッジ部を有する振動板部材に対して接合する流路部材の寸法差が片側0〜−1mm以内であることをいう。
このように、振動板部材3が製造工程中で外周にブリッジ部61を有し、このブリッジ部61を除く振動板部材31の外形形状と流路部材1の外形形状は平面的に見て略同じである構成とすることで、振動板部材3のブリッジ部61の周辺の変形部分を、流路部材1で受け、変形を矯正することができ、ブリッジ部周辺の変形量が抑えることができるので、接合不良やこれに伴う初期不良(例えば滴速度異常による不良など)を低減することができる。
次に、振動板部材3のブリッジ部61の位置について図5を参照して説明する。なお、図5は液室ユニットの模式的斜視説明図である。
振動板部材3と共に液室ユニットを構成するノズル板2にもブリッジ部62を設ける場合、振動板部材3のブリッジ部61とノズル板2のブリッジ部62が平面的に見て同じ位置にあると、お互いのブリッジ部61、62が干渉し合い、ブリッジ部61、62周辺が浮いた状態になり接合不良となる。このノズル板2のブリッジ部62も前述した振動板部材3のブリッジ部61と同様にヘッド組立て後も残す場合と残さない場合がある。
そこで、振動板部材3と共に液室ユニットを構成するノズル板2にもブリッジ部62を設ける場合であって、振動板部材3のブリッジ部61とノズル板2のブリッジ部62とが互いに近づく方向に曲がて設けられている場合には、図5に示すように、振動板部材3のブリッジ部61とノズル板2のブリッジ部62が平面的に見て異なる位置にずらして設けることで、お互いのブリッジ部61、62が干渉することがなく、接合不良を防止できる。
次に、振動板部材3のブリッジ部61の向きについて図6を参照して説明する。なお、図6は液室ユニットの模式的側面説明図である。
前述したようにブリッジ部はカットするときにカッター(切断手段)の移動方向に折れ曲がる。ノズル板2において、ブリッジ部62がノズルの吐出面側に向くと、接合時に使用する加圧ブロックと干渉し、加圧不良となる。また、ブリッジ部62がヘッド組立て後もそのまま残っている場合にはワイピングができないといった不具合が起こる。振動板3においては、ブリッジ部61が流路部材1と逆方向に向くと、接合時に使用する加圧ブロックと干渉し、加圧不良となる。
そこで、振動板部材3のブリッジ部61とノズル板2のブリッジ部62とは互いに向き合うように変形方向を設定する。そして、この場合には上述したように、ブリッジ部61とブリッジ部62とを平面的に見て位置をずらして設けることが干渉を避けるために好ましい。
次に、本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法で用いる加圧ブロックについて図7を参照して説明する。なお、図7は同加圧ブロックの説明に供する説明図である。
液体吐出ヘッドを製造するときには、振動板部材3と流路部材1の少なくともいずれかに接着剤を塗布して、振動板部材3と流路部材1とを積層し、加圧ブロック71、72の間で挟んで加圧して接合する。
この場合、振動板部材3のブリッジ部61が変形している方向の加圧ブロック71の外形形状が振動板部材3の外形形状よりも大きいと、加圧ブロック71とブリッジ部61が干渉してブリッジ部61周辺部分で接合不良が生じることになる。
そこで、振動板部材3のブリッジ部61が変形している方向の加圧ブロック71の外形形状は振動板部材3のブリッジ部61を除く外形形状と略同じにする。これにより、加圧ブロック71とブリッジ部61が干渉してブリッジ部61周辺部分で接合不良が生じることを防止できる。なお、「略同じ」とは、振動板部材に対する加圧ブロックの寸法差が片側+0.1〜−1mm以内にあることをいう。
次に、本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法で用いる加圧治具について図8を参照して説明する。なお、図8は同加圧治具の説明に供する説明図である。
上述したように振動板部材3のブリッジ部61が変形している方向の加圧ブロック71の外形形状を振動板部材3のブリッジ部61を除く外形形状と略同じにしても、双方の位置がずれていると接合不良の原因になる。
そこで、加圧治具(加圧ブロックホルダ)81によって、ブリッジ部61を有する振動板部材3(ただし、ブリッジ部61の変形方向は上記の説明とは逆方向である。)と加圧ブロック71とを位置決めすることで、接合不良の発生を防止する。この加圧冶具81には振動板部材3のブリッジ部61を逃げる逃げ部81aが形成されている。つまり、ブリッジ部61の向きが下向きである場合には、加圧ブロック71と干渉することがあるので、逃げ部81aを設けて干渉しないようにしている。
このように、液室ユニットを構成する部材の積層及び接合の際に使用する加圧冶具によって、液室構成部材の積層及び接合時に部材のブリッジ部を逃げ、かつ加圧ブロックと振動板との位置決めを行うことで、双方の位置が決まり、接合不良及び接合不良による初期不良低減を図れる。
次に、本発明に係る液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置を含む画像形成装置の他の例について図9及び図10を参照して説明する。なお、図9は同装置の機構部の全体構成を説明する概略構成図、図10は同機構部の要部平面説明図である。
この画像形成装置はシリアル型画像形成装置であり、左右の側板201A、201Bに横架したガイド部材である主従のガイドロッド231、232でキャリッジ233を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して矢示方向(キャリッジ主走査方向)に移動走査する。
このキャリッジ233には、イエロー(Y)、シアン(C)、マゼンタ(M)、ブラック(K)の各色のインク滴を吐出するための本発明に係る液体吐出ヘッドからなる記録ヘッド234a、234b(区別しないときは「記録ヘッド234」という。)を複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。
記録ヘッド234は、それぞれ2つのノズル列を有し、記録ヘッド234aの一方のノズル列はブラック(K)の液滴を、他方のノズル列はシアン(C)の液滴を、記録ヘッド234bの一方のノズル列はマゼンタ(M)の液滴を、他方のノズル列はイエロー(Y)の液滴を、それぞれ吐出する。
また、キャリッジ233には、記録ヘッド234のノズル列に対応して各色のインクを供給するためのヘッドタンク235a、235b(区別しないときは「ヘッドタンク35」という。)を搭載している。このサブタンク235には各色の供給チューブ36を介して、各色のインクカートリッジ210k、210c、210m、210yから各色のインクが補充供給される。
一方、給紙トレイ202の用紙積載部(圧板)241上に積載した用紙242を給紙するための給紙部として、用紙積載部241から用紙242を1枚ずつ分離給送する半月コロ(給紙コロ)243及び給紙コロ243に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド244を備え、この分離パッド244は給紙コロ243側に付勢されている。
そして、この給紙部から給紙された用紙242を記録ヘッド234の下方側に送り込むために、用紙242を案内するガイド部材245と、カウンタローラ246と、搬送ガイド部材247と、先端加圧コロ249を有する押さえ部材248とを備えるとともに、給送された用紙242を静電吸着して記録ヘッド234に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト251を備えている。
この搬送ベルト251は、無端状ベルトであり、搬送ローラ252とテンションローラ253との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向(副走査方向)に周回するように構成している。また、この搬送ベルト251の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ256を備えている。この帯電ローラ256は、搬送ベルト251の表層に接触し、搬送ベルト251の回動に従動して回転するように配置されている。この搬送ベルト251は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ252が回転駆動されることによって図20のベルト搬送方向に周回移動する。
さらに、記録ヘッド234で記録された用紙242を排紙するための排紙部として、搬送ベルト251から用紙242を分離するための分離爪261と、排紙ローラ262及び排紙コロ263とを備え、排紙ローラ262の下方に排紙トレイ203を備えている。
また、装置本体の背面部には両面ユニット271が着脱自在に装着されている。この両面ユニット271は搬送ベルト251の逆方向回転で戻される用紙242を取り込んで反転させて再度カウンタローラ246と搬送ベルト251との間に給紙する。また、この両面ユニット271の上面は手差しトレイ272としている。
さらに、キャリッジ233の走査方向一方側の非印字領域には、記録ヘッド234のノズルの状態を維持し、回復するための維持回復機構281を配置している。この維持回復機構281には、記録ヘッド234の各ノズル面をキャピングするための各キャップ部材(以下「キャップ」という。)282a、282b(区別しないときは「キャップ282」という。)と、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード283と、増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け284などを備えている。
また、キャリッジ233の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける液体回収容器であるインク回収ユニット(空吐出受け)288を配置し、このインク回収ユニット288には記録ヘッド234のノズル列方向に沿った開口部289などを備えている。
このように構成したこの画像形成装置においては、給紙トレイ202から用紙242が1枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙242はガイド245で案内され、搬送ベルト251とカウンタローラ246との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド237で案内されて先端加圧コロ249で搬送ベルト251に押し付けられ、略90°搬送方向を転換される。
このとき、帯電ローラ256に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され、搬送ベルト251が交番する帯電電圧パターン、すなわち、周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。このプラス、マイナス交互に帯電した搬送ベルト251上に用紙242が給送されると、用紙242が搬送ベルト251に吸着され、搬送ベルト251の周回移動によって用紙242が副走査方向に搬送される。
そこで、キャリッジ233を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド234を駆動することにより、停止している用紙242にインク滴を吐出して1行分を記録し、用紙242を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙242の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙242を排紙トレイ203に排紙する。
このようにこの画像形成装置は本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、接合不良が少なく、低コストで高画質画像を記録できるようになる。
なお、上記実施形態では本発明をプリンタ構成の画像形成装置に適用した例で説明したが、これに限るものではなく、例えば、プリンタ/ファックス/コピア複合機などの画像形成装置に適用することができる。また、インク以外の液体である記録液、DNA試料、レジストなどの液体を用いる液体吐出装置や画像形成装置にも適用することができる。
本発明に係る液体吐出ヘッドの一実施形態を示す分解斜視図である。 同ヘッドの液室並び方向と直交する方向に沿う断面説明図である。 同ヘッドの振動板部材と流路部材の説明に供する模式的斜視説明図である。 同じく振動板部材と流路部材の説明に供する模式的平面説明図である。 同じく振動板部材のブリッジ部とノズル板のブリッジ部との位置関係の説明に供する模式的斜視説明図である。 同じく振動板部材のブリッジ部とノズル板のブリッジ部との変形方向の説明に供する側面説明図である。 本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法の説明に供する説明図である。 同じく液体吐出ヘッドの製造方法の説明に供する説明図である。 本発明に係る画像形成装置の一例を示す全体構成図である。 同じく要部平面説明図である。 液室構成部材のブリッジ部の機能の説明に供する平面説明図である。 同じくブリッジ部を切除することによる部材の変形の説明に供する平面説明図である。
符号の説明
1…ノズル板
2…流路部材
3…振動板部材
4…アクチュエータ基板
5…フレーム部材
11…ノズル
21…連通路
22…液室
31…振動板
41…圧電素子
51…共通液室
61、62…ブリッジ部
71、72…加圧ブロック
81…冶具
233…キャリッジ
234…記録ヘッド

Claims (5)

  1. 液滴を吐出するノズルが連通する液室を形成する流路部材と、前記液室の壁面を形成する振動板部材とを積層して接合することで液室ユニットが構成された液体吐出ヘッドにおいて、
    前記振動板部材は外周に設けられたブリッジ部を切断して形成され、前記ブリッジ部を除く前記振動板部材の外形形状と前記流路部材の外形形状が平面的に見て略同じである
    ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
  2. 請求項1に記載の液体吐出ヘッドにおいて、前記流路部材に接合される前記ノズルを形成したノズル板を備え、このノズル板は外周に設けられたブリッジ部を切断して形成され、前記振動板部材のブリッジ部と前記ノズル板のブリッジ部とは平面的に見て異なる位置に設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
  3. 液体吐出ヘッドを備えて画像を形成する画像形成装置において、請求項1又は2に記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。
  4. 液滴を吐出するノズルが連通する液室を形成する流路部材と、前記液室の壁面を形成する振動板部材とを積層して接合することで液室ユニットが構成された液体吐出ヘッドを製造する方法において、
    外周にブリッジ部を有する前記振動板部材と、前記ブリッジ部を除く前記振動板部材の外形形状と略同じ外形形状を有する前記流路部材とを、2つの加圧ブロックを用いて加圧するとき、
    前記振動板部材のブリッジ部が変形している側の加圧ブロックの外形形状が前記ブリッジ部を除く前記振動板部材の外形形状と略同じである
    ことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
  5. 請求項4に記載の液体吐出ヘッドの製造方法において、前記加圧ブロックと前記振動板部材の位置決めを行う加圧治具を用いることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
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