JP2008053259A - 半導体集積回路及びその試験方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】試験時間を短縮し、信頼性を向上させることができる半導体集積回路を提供することを課題とする。
【解決手段】レーザ照射により第1のトリミングコードを記憶させるためのレーザヒューズ回路(125)と、電圧印加により第2のトリミングコードを記憶させるための電気ヒューズ回路(126)と、前記第1又は第2のトリミングコードに応じて電位レベル又はタイミングを調整する調整回路(123)とを有することを特徴とする半導体集積回路が提供される。
【選択図】図1
【解決手段】レーザ照射により第1のトリミングコードを記憶させるためのレーザヒューズ回路(125)と、電圧印加により第2のトリミングコードを記憶させるための電気ヒューズ回路(126)と、前記第1又は第2のトリミングコードに応じて電位レベル又はタイミングを調整する調整回路(123)とを有することを特徴とする半導体集積回路が提供される。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体集積回路及びその試験方法に関する。
図11は、半導体メモリチップ121の構成例を示す図である。半導体メモリチップ121は、テストモード信号発生回路122、レーザヒューズ回路125、内部電位発生回路123及びメモリコア(メモリセルアレイ)124を有する。テストモード信号発生回路122は、揮発性メモリを有し、揮発性メモリ内のテストモード信号としてトリミングコード(Trimming Code)TMを出力する。トリミングコードTMは、内部電位のレベルをプラス方向又はマイナス方向に調整するための信号である。レーザヒューズ回路125は、レーザヒューズを有する不揮発性メモリであり、テストモード信号発生回路122と同様に、トリミングコードLFを出力する。内部電位発生回路123は、トリミングコードTM又はLFに応じて、内部電位を生成してメモリコア124に供給する。メモリコア124は、その内部電位を基に動作し、複数のデータを記憶する。
半導体メモリチップ121の試験は2つある。1つは、レーザヒューズ回路125内のレーザヒューズ切断工程前の試験である。もう1つは、レーザヒューズ回路125内のレーザヒューズ切断工程後の試験である。レーザヒューズ切断工程前の試験では、内部電位発生回路123はトリミングコードTMを基に内部電位を生成する。また、レーザヒューズ切断工程後の試験では、内部電位発生回路123はトリミングコードLFを基に内部電位を生成する。
図12は、レーザヒューズ切断工程前の試験工程例を示す図である。以下、半導体ウエハ上の16個の第1〜第16の半導体メモリチップ121の試験を行う場合を例に説明する。
ステップS1201〜S1217は、第1の試験項目のための試験である。まず、ステップS1201では、テスタが第1の半導体メモリチップ121のテストモード信号発生回路122内の揮発性メモリにトリミングコードTMを設定する。次に、ステップS1202では、テスタが第2の半導体メモリチップ121のテストモード信号発生回路122内の揮発性メモリにトリミングコードTMを設定する。次に、テスタは、同様に、第3〜第15の半導体メモリチップ121のテストモード信号発生回路122内の揮発性メモリにトリミングコードTMを設定する。最後に、ステップS1216では、テスタが第16の半導体メモリチップ121のテストモード信号発生回路122内の揮発性メモリにトリミングコードTMを設定する。これにより、第1〜第16の半導体メモリチップ121は、それぞれのトリミングコードTMに応じて、内部電位を生成してメモリコア124に供給する。次に、ステップS1217では、テスタは、第1〜第16の半導体メモリチップ121の第1の試験項目の試験を行う。
第1の試験項目の試験が終了すると、すべての半導体メモリチップ121の電源をオフにして初期化する。すると、テストモード信号発生回路122内の揮発性メモリが記憶していたトリミングコードTMは消える。次に、第2の試験項目の試験を行うために、再びすべての半導体メモリチップ121の電源をオンにする。
次に、ステップS1221〜S1237は、第2の試験項目のための試験である。まず、ステップS1221では、テスタが第1の半導体メモリチップ121のテストモード信号発生回路122内の揮発性メモリにトリミングコードTMを設定する。次に、ステップS1222〜S1236では、テスタが第2〜第16の半導体メモリチップ121のテストモード信号発生回路122内の揮発性メモリにトリミングコードTMを設定する。これにより、第1〜第16の半導体メモリチップ121は、それぞれのトリミングコードTMに応じて、内部電位を生成してメモリコア124に供給する。次に、ステップS1237では、テスタは、第1〜第16の半導体メモリチップ121の第2の試験項目の試験を行う。
第2の試験項目の試験が終了すると、すべての半導体メモリチップ121の電源をオフにして初期化する。すると、テストモード信号発生回路122内の揮発性メモリが記憶していたトリミングコードTMは消える。次に、第3の試験項目の試験を行うために、再びすべての半導体メモリチップ121の電源をオンにする。
次に、ステップS1241〜S1257は、第3の試験項目のための試験である。まず、ステップS1241〜S1256では、テスタが第1〜第16の半導体メモリチップ121のテストモード信号発生回路122内の揮発性メモリにトリミングコードTMを設定する。これにより、第1〜第16の半導体メモリチップ121は、それぞれのトリミングコードTMに応じて、内部電位を生成してメモリコア124に供給する。次に、ステップS1257では、テスタは、第1〜第16の半導体メモリチップ121の第3の試験項目の試験を行う。
第3の試験項目の試験が終了すると、すべての半導体メモリチップ121の電源をオフにして初期化する。すると、テストモード信号発生回路122内の揮発性メモリが記憶していたトリミングコードTMは消える。次に、第4の試験項目の試験を行うために、再びすべての半導体メモリチップ121の電源をオンにする。
次に、ステップS1261〜S1277は、第4の試験項目のための試験である。まず、ステップS1261〜S1276では、テスタが第1〜第16の半導体メモリチップ121のテストモード信号発生回路122内の揮発性メモリにトリミングコードTMを設定する。これにより、第1〜第16の半導体メモリチップ121は、それぞれのトリミングコードTMに応じて、内部電位を生成してメモリコア124に供給する。次に、ステップS1277では、テスタは、第1〜第16の半導体メモリチップ121の第4の試験項目の試験を行う。
第4の試験項目の試験が終了すると、すべての半導体メモリチップ121の電源をオフにして初期化する。すると、テストモード信号発生回路122内の揮発性メモリが記憶していたトリミングコードTMは消える。次に、第5の試験項目の試験を行うために、再びすべての半導体メモリチップ121の電源をオンにする。
次に、ステップS1281〜S1297は、第5の試験項目のための試験である。まず、ステップS1281〜S1296では、テスタが第1〜第16の半導体メモリチップ121のテストモード信号発生回路122内の揮発性メモリにトリミングコードTMを設定する。これにより、第1〜第16の半導体メモリチップ121は、それぞれのトリミングコードTMに応じて、内部電位を生成してメモリコア124に供給する。次に、ステップS1297では、テスタは、第1〜第16の半導体メモリチップ121の第5の試験項目の試験を行う。
以下、同様に、試験項目の数だけ、同様の処理を繰り返す。レーザヒューズ切断前の試験において、不良メモリセルのアドレスの検出を目的としてメモリコア124のライト/リード試験を行う。そのとき、内部電位はトリミングコードLFに応じた状態で行うことが望ましい。しかし、レーザヒューズ切断前であるため、まだ半導体メモリチップ121内部のレーザヒューズ回路(不揮発性ROM)125に適切なトリミングコードLFを記憶させるには至っていない。そこで、あらかじめ内部電位のトリミングコードTMを半導体メモリチップ121内部のテストモード信号発生回路122のラッチ(揮発性の記憶素子)に記憶させた後に、上記のライト/リード試験を行う。また、半導体メモリでは微細化に伴い、非常に多くの項目を試験する必要がある。各項目の試験は電源の起動から行われ、最後に電源遮断で終了する。
また、下記の特許文献1には、ヒューズ部と、デコーダ部と、トランジスタ群とを有するトリミング回路が記載されている。
また、下記の特許文献2には、ヒューズ切断信号に応答して切断される選択ヒューズと、選択ヒューズにより制御されて遅延制御信号またはヒューズコード信号のうち何れか1つを選択して可変遅延回路に出力するマルチプレクサを具備する遅延時間調節回路が記載されている。
また、下記の特許文献3には、プラスチックパッケージ装置に封じ込められた精密トリミングアナログ集積回路のためのヒューズを切断するためのオンチップ回路が記載されている。
レーザヒューズ切断前の試験において、半導体メモリチップ121内部に記憶させるべきトリミングコードTMは16個の半導体メモリチップ121毎に異なるため、トリミングコードTMをチップ内部のラッチに記憶させる動作を、同時に試験するチップ数の回数行った後に各項目の試験を行うことになる。試験時間を短縮するために同時に試験するチップ数を増やすと、トリミングコードTMをチップ内部のラッチに記憶させる動作に費やされる時間が膨大になり、試験時間の短縮効果が十分得られないという課題がある。
本発明の目的は、試験時間を短縮し、信頼性を向上させることができる半導体集積回路及びその試験方法を提供することである。
本発明の一観点によれば、レーザ照射により第1のトリミングコードを記憶させるためのレーザヒューズ回路と、電圧印加により第2のトリミングコードを記憶させるための電気ヒューズ回路と、前記第1又は第2のトリミングコードに応じて電位レベル又はタイミングを調整する調整回路とを有することを特徴とする半導体集積回路が提供される。
電気ヒューズ回路は不揮発性メモリであるので、第1のトリミングコードを1回記憶させれば、その後は電源をオフにしても第1のトリミングコードの記憶を維持することができる。そのため、多数の試験項目が必要な半導体集積回路の試験時間を短縮でき、信頼性の高い、安価な半導体集積回路を提供することができる。
図13は、本発明の実施形態による半導体ウエハ1300の構成例を示す図である。半導体ウエハ1300上には、例えば16個の第1の半導体メモリチップ1301〜第16の半導体メモリチップ1316が形成される。
図14は、第1の半導体メモリチップ1301〜第16の半導体メモリチップ1316及びそれらを試験するためのテスタ1401を示す図である。テスタ1401は、16個の半導体メモリチップ1301〜1316に対して、共通のライトイネーブル信号/WE、アウトプットイネーブル信号/OE及びアドレス信号A0〜A22を出力する。また、テスタ1401は、16個の半導体メモリチップ1301〜1316毎に、別のチップイネーブル信号/CEを出力し、別のデータDQを入出力する。テスタ1401は、16個の半導体メモリチップ1301〜1316を同時に試験することができる。
ウエハ状態で複数の半導体メモリチップ1301〜1316に対して同時に試験を行い、試験時間を短縮する。このとき、アドレス信号A0〜A22の端子やライト/リードを決定する制御端子(/WE,/OE)は複数の半導体チップ1301〜1316で共通にテスタ1401と接続してテスタ1401との接続信号数を削減している。データDQの端子は半導体メモリチップ1301〜1316毎にパス/フェール判定を行う必要があるため、半導体メモリチップ1301〜1316毎にテスタ1401と接続しておく。また、チップ選択制御端子(/CE)は半導体メモリチップ1301〜1316毎の制御を可能とするために、半導体メモリチップ1301〜1316毎にテスタ1401と接続しておく。
図1は、半導体メモリチップ(半導体集積回路)121の構成例を示す図である。半導体メモリチップ121は、上記の半導体メモリチップ1301〜1316に対応する。図1は、図11に対して、電気ヒューズ(eFuse)回路126及びセレクタ127を追加したものである。
半導体メモリチップ121は、テストモード信号発生回路122、レーザヒューズ回路125、電気ヒューズ回路126、セレクタ127、内部電位発生回路123及びメモリコア(メモリセルアレイ)124を有する。テストモード信号発生回路122は、揮発性メモリを有し、揮発性メモリ内のテストモード信号としてトリミングコード(Trimming Code)TMを出力する。トリミングコードTMは、内部電位のレベルをプラス方向又はマイナス方向に調整するための信号である。レーザヒューズ回路125は、レーザヒューズを有する不揮発性メモリであり、テストモード信号発生回路122と同様に、トリミングコードLFを記憶及び出力する。電気ヒューズ回路126は、電気ヒューズを有する不揮発性メモリであり、テストモード信号発生回路122と同様に、トリミングコードEFを記憶及び出力する。セレクタ127は、テストモード信号発生回路122から制御信号CTLを入力し、制御信号CTLに応じて、トリミングコードTM、LF及びEFのうちからいずれか1つを選択して内部電位発生回路123に出力する。内部電位発生回路123は、セレクタ127が出力するトリミングコードに応じて、内部電位を生成してメモリコア124に供給する。メモリコア124は、その内部電位を基に動作し、複数のデータを記憶する。
図15は、半導体メモリチップ121の試験工程例を示す図である。レーザヒューズ回路125内のレーザヒューズは、レーザ照射により切断することができる。レーザヒューズの切断状態又は接続状態に応じて、レーザヒューズにデータ(トリミングコードLF)を記憶させることができる。
ステップS1501では、レーザヒューズ回路125内のレーザヒューズ切断工程の前に半導体ウエハ状態で半導体メモリチップ121の試験を行う。この試験では、多数の試験項目の試験を行う。まず、電気ヒューズ回路126にトリミングコードEFを記憶させる。電気ヒューズ回路126内の電気ヒューズは、その両端に高電圧を印加することにより切断することができる。電気ヒューズの切断状態又は接続状態に応じて、電気ヒューズにトリミングコードEFを記憶させることができる。セレクタ127は、電気ヒューズ回路126が出力するトリミングコードEFを選択して出力する。内部電位発生回路123は、トリミングコードEFに応じて、内部電位を生成してメモリコア124に供給する。メモリコア124は、その内部電位を基に試験のための動作をする。
次に、ステップS1502では、レーザヒューズ切断工程を行う。具体的には、半導体ウエハ1300上の半導体メモリチップ121に対してレーザLSを照射し、半導体メモリチップ121内のレーザヒューズ回路125のレーザヒューズにトリミングコードLFを記憶させる。
次に、ステップS1503では、レーザヒューズ切断工程の後に半導体ウエハ状態で半導体メモリチップ121の試験を行う。セレクタ127は、レーザヒューズ回路125が出力するトリミングコードLFを選択して出力する。内部電位発生回路123は、トリミングコードLFに応じて、内部電位を生成してメモリコア124に供給する。メモリコア124は、その内部電位を基に試験のための動作をする。
また、半導体メモリチップ121は、レーザヒューズ回路125を使用し、メモリコア124内の不良メモリセルを他の冗長メモリセルへ置き換えることができる。レーザヒューズは、配線層にレーザを照射して切断することで書き込みを行う不揮発性のROMである。例えば、未切断状態なら電気的に導通状態で0、切断状態なら電気的に非導通状態で1をレーザヒューズに記憶させることができる。このレーザヒューズに不良メモリセルのアドレスを記憶させることで上記の置き換えを行う。また、内部電位発生回路123は、トランジスタ特性の半導体ウエハ面内バラツキの影響で、発生電圧値が期待していた電圧値からずれてしまうため、これもレーザヒューズ回路125により半導体メモリチップ内部にトリミングコードLFを記憶させ、半導体メモリチップ毎にトリミングが行われる。
このような事情から、半導体メモリチップのウエハ状態での試験は、2つのステップS1501及びS1503の試験がある。ステップS1501は、レーザヒューズ切断前の試験であり、不良メモリセルのアドレスの検出及び内部電位のトリミング値の検出と、冗長メモリセルへの置き換え不能/トリミング不能な半導体メモリチップの選別を行う。ステップS1503は、レーザヒューズ切断後の試験であり、不良メモリセルが冗長メモリセルに置き換えられて正常なライト/リードができること、内部電位が期待していた電位となっていることなどの確認を行う。
図2は、ステップS1501のレーザヒューズ切断工程前の試験工程例を示す図である。まず、ステップS201では、テスタ1401は、第1の半導体メモリチップ1301内の電気ヒューズ回路126にトリミングコードEFを設定する。具体的には、電気ヒューズ回路126内のフリップフロップにトリミングコードEFを記憶させる。次に、ステップS202では、テスタ1401は、第2の半導体メモリチップ1302内の電気ヒューズ回路126にトリミングコードEFを設定する。次に、テスタ1401は、同様に、第3の半導体メモリチップ1303〜第15の半導体メモリチップ1315内の電気ヒューズ回路126にトリミングコードEFを設定する。次に、ステップS216では、テスタ1401は、第16の半導体メモリチップ1316内の電気ヒューズ回路126にトリミングコードEFを設定する。トリミングコードEFは、半導体メモリチップ1301〜1316毎に異なるので別々に設定する。次に、ステップS217では、テスタ1401は、第1の半導体メモリチップ1301〜第16の半導体メモリチップ1316内の電気ヒューズ回路126の電気ヒューズに上記のトリミングコードEFの書き込みを指示する。これにより、半導体メモリチップ1301〜1316は、トリミングコードEFの書き込みを行う。電気ヒューズ回路126には、トリミングコードEFが記憶される。
上記の電気ヒューズへの書き込み処理が終了すると、すべての半導体メモリチップ1301〜1316の電源をオフにして初期化する。電気ヒューズ回路126内の電気ヒューズは、不揮発性メモリであるので、電源をオフにしても、トリミングコードEFの記憶を維持する。次に、第1の試験項目の試験を行うために、再びすべての半導体メモリチップ1301〜1316の電源をオンにする。
次に、ステップS221では、第1の半導体メモリチップ1301〜第16の半導体メモリチップ1316は、電気ヒューズ回路126が記憶するトリミングコードEFに応じて、内部電位を生成してメモリコア124に供給する。次に、ステップS222では、テスタ1401は、第1の半導体メモリチップ1301〜第16の半導体メモリチップ1316の第1の試験項目の試験を行う。
第1の試験項目の試験が終了すると、すべての半導体メモリチップ1301〜1316の電源をオフにして初期化する。電気ヒューズ回路126内の電気ヒューズは、不揮発性メモリであるので、電源をオフしても、トリミングコードEFの記憶を維持する。次に、第2の試験項目の試験を行うために、再びすべての半導体メモリチップ1301〜1316の電源をオンにする。
次に、ステップS231では、第1の半導体メモリチップ1301〜第16の半導体メモリチップ1316は、電気ヒューズ回路126が記憶するトリミングコードEFに応じて、内部電位を生成してメモリコア124に供給する。次に、ステップS232では、テスタ1401は、第1の半導体メモリチップ1301〜第16の半導体メモリチップ1316の第2の試験項目の試験を行う。
第2の試験項目の試験が終了すると、すべての半導体メモリチップ1301〜1316の電源をオフにして初期化する。電気ヒューズ回路126内の電気ヒューズは、不揮発性メモリであるので、電源をオフしても、トリミングコードEFの記憶を維持する。次に、第3の試験項目の試験を行うために、再びすべての半導体メモリチップ1301〜1316の電源をオンにする。
次に、ステップS241では、第1の半導体メモリチップ1301〜第16の半導体メモリチップ1316は、電気ヒューズ回路126が記憶するトリミングコードEFに応じて、内部電位を生成してメモリコア124に供給する。次に、ステップS242では、テスタ1401は、第1の半導体メモリチップ1301〜第16の半導体メモリチップ1316の第3の試験項目の試験を行う。
第3の試験項目の試験が終了すると、すべての半導体メモリチップ1301〜1316の電源をオフにして初期化する。電気ヒューズ回路126内の電気ヒューズは、不揮発性メモリであるので、電源をオフしても、トリミングコードEFの記憶を維持する。次に、第4の試験項目の試験を行うために、再びすべての半導体メモリチップ1301〜1316の電源をオンする。
次に、ステップS251では、第1の半導体メモリチップ1301〜第16の半導体メモリチップ1316は、電気ヒューズ回路126が記憶するトリミングコードEFに応じて、内部電位を生成してメモリコア124に供給する。次に、ステップS252では、テスタ1401は、第1の半導体メモリチップ1301〜第16の半導体メモリチップ1316の第4の試験項目の試験を行う。
以下、同様に、試験項目の数だけ、同様の処理を繰り返す。レーザヒューズ切断前の試験において、不良メモリセルのアドレスの検出を目的としてメモリコア124のライト/リード試験を行う。そのとき、内部電位はトリミングコードLFに応じた状態で行うことが望ましい。しかし、レーザヒューズ切断前であるため、まだ半導体メモリチップ121内部のレーザヒューズ回路(不揮発性ROM)125に適切なトリミングコードLFを記憶させるには至っていない。そこで、あらかじめ電気ヒューズ回路126に内部電位のトリミングコードEFを記憶させた後に、上記のライト/リード試験を行う。
図12では、試験項目毎に16個の半導体メモリチップに対してトリミングコードTMを設定していたため、試験時間が長くなる。本実施形態では、不揮発性メモリである電気ヒューズ回路126にトリミングコードEFを記憶させることにより、試験項目毎に電源をオフにしても、トリミングコードEFの記憶を維持することができるので、試験項目毎にトリミングコードを設定する必要がない。これにより、本実施形態は、図12の場合に比べて、試験時間を短縮することができる。
トリミングコードEFを記憶させる電気ヒューズ回路126を半導体メモリチップに搭載し、各項目の試験開始時にトリミングコードTMを半導体メモリチップ内部のラッチに記憶させる処理を省略することで試験時間を短縮することができる。また、電気ヒューズ回路126は記憶させた値の読み出し動作に内部電位を使用するため、内部電位のトリミングコードの記憶には不向きである。すなわち、内部電位発生後にトリミングコードEFが読み出されるため、起動直後に内部電位が期待している電位以上に上がってしまう恐れがあり、信頼性的に問題がある。そこで、レーザヒューズ切断後は、セレクタ127は、レーザヒューズ回路125のトリミングコードLFを選択し、トリミングコードLFに応じて内部電位を生成することでこの問題を回避することができる。
電気ヒューズ回路126は不揮発性メモリであるので、トリミングコードEFを1回記憶させれば、その後は電源をオフにしてもトリミングコードEFの記憶を維持することができる。そのため、多数の試験項目が必要な半導体集積回路の試験時間を短縮でき、信頼性の高い、安価な半導体集積回路を提供することができる。
図3は半導体メモリチップ121内のテストモード信号発生回路122の構成例を示す回路図であり、図4はその動作例を示すタイミングチャートである。テスタ1401は、テストモード信号発生回路122に対して、信号A5〜A22、/CE、/WE及び/OEを供給することにより、セレクタ127のトリミングコード選択を制御する。トリミングコード選択を制御するには、アドレス信号A5〜A22を1(ハイレベル)にし、チップイネーブル信号/CEをローレベルにし、ライトイネーブル信号/WEをローレベルにし、アウトプットイネーブル信号/OEとして4個のパルスを入力する。パワーオンリセット信号PORは、電源投入時にハイレベルのパルスを有する信号である。パワーオンリセット信号PORにより、リセット信号RSTは、4個のフリップフロップ(FF)をリセットする。アウトプットイネーブル信号/OEの4個のパルスにより、最終段のフリップフロップは信号TEST−ENTRYとしてハイレベルのパルスを出力する。
図5は図3に接続されるテストモード信号発生回路122の構成例を示す回路図であり、図6はアドレス信号及びトリミングコードの種類の対応を示す図である。
アドレス信号A3及びA4が0(ローレベル)のとき、テストモードはリセットされ、テストモードイネーブル信号TM−EN及び電気ヒューズイネーブル信号EF−ENがローレベルになり、後述するようにセレクタ127はレーザヒューズ回路125のトリミングコードLFを選択する。
また、アドレス信号A3が1(ハイレベル)、アドレス信号A4が0(ローレベル)のとき、テストモードにエントリし、テストモードイネーブル信号TM−ENがハイレベル、電気ヒューズイネーブル信号EF−ENがローレベルになり、後述するようにセレクタ127はテストモード信号発生回路122のトリミングコードTMを選択する。このトリミングコードTMは、例えば3ビットのトリミングコードTM0〜TM2である。テスタ1401が出力する3ビットのアドレス信号A0〜A2が3ビットのトリミングコードTM0〜TM2として出力される。スイッチ501は、制御信号がハイレベルになると閉じる。
また、アドレス信号A3が0(ローレベル)、アドレス信号A4が1(ハイレベル)のとき、テストモードにエントリし、テストモードイネーブル信号TM−ENがローレベル、電気ヒューズイネーブル信号EF−ENがハイレベルになり、後述するようにセレクタ127は電気ヒューズ回路126のトリミングコードEFを選択する。
なお、パワーオンリセット信号PORにより、電源投入時には、信号TM0〜TM2、TM−EN及びEF−ENはローレベルにリセットされる。
図7は、図1のセレクタ127及び内部電位発生回路123の構成例を示す回路図である。トリミングコードデコーダ及びセレクタ701は図1のセレクタ127に対応し、残りの回路は図1の内部電位発生回路123に対応する。
トリミングコードデコーダ及びセレクタ701は、図5の信号TM−EN及びEF−ENがローレベルのときにはトリミングコードLFを選択及びデコードして出力し、信号TM−ENがハイレベルのときにはトリミングコードTMを選択及びデコードして出力し、信号EF−ENがハイレベルのときにはトリミングコードEFを選択及びデコードして出力する。この際、トリミングコードデコーダ及びセレクタ701は、トリミングコードをデコードし、−2、−1、0、+1、+2を示すいずれかの信号をハイレベルにしてスイッチ705に出力する。トリミングコードデコーダ及びセレクタ701の詳細は、後に図8を参照しながら説明する。
スイッチ705は、トリミングコードデコーダ及びセレクタ701からハイレベルの信号を入力すると閉じ、ローレベルの信号を入力すると開く。「−2」の信号は内部電位を2レベル低くすることを意味し、「−1」の信号は内部電位を1レベル低くすることを意味し、「0」の信号は内部電位のレベル調整が±0であることを意味し、「+1」の信号は内部電位を1レベル高くすることを意味し、「+2」の信号は内部電位を2レベル高くすることを意味する。
基準電位発生回路702は、電源電圧VDDの供給を受け、基準電位VREF0を生成する。コンパレータ703は、+入力端子に基準電位VREF0を入力し、−入力端子にスイッチ705からの電位VREF2を入力し、基準電位VREF1を出力する。この際、コンパレータ703は、入力電位VREF0及びVREF2が等しくなるように、基準電位VREF1を出力する。
例えば、トリミングコードデコーダ及びセレクタ701が「0」の出力信号をハイレベルにした場合、抵抗分割により、電位VREF2は、基準電位VREF1の1/2の電位になる。例えば、基準電位VREF0が0.5Vの場合、コンパレータ703は、電位VREF2がVREF0と同じ0.5Vになるように、基準電位VREF1を出力する。その結果、基準電位VREF1は1Vになる。なお、テスタ1401は、パッド704を介して、基準電位VREF1を入力したり、基準電位VREF1を検出することができる。
コンパレータ706は、基準電位VREF1及びポンプ回路707の出力電圧を抵抗分割した電位を入力し、電位VPP−ENを出力する。ポンプ回路707は、電位VPP−ENに応じて昇圧し、内部電位VPPを出力する。内部電位VPPは、電源電圧VDDより高い電位にすることができる。例えば、基準電位VREF1が1Vの場合、抵抗分割の抵抗比を2:1にすれば、内部電位VPPを3Vにすることができる。
また、コンパレータ708は、基準電位VREF1及び出力電位VGを抵抗分割した電位を入力し、電位VGを出力する。nチャネル電界効果トランジスタ709は、ゲートに電位VGの線が接続され、ドレインに電源電位VDDの端子が接続され、ソースに内部電位VIIの端子が接続される。トランジスタ709は、電源電圧VDDより低い電位VIIを生成することができる。
以上のように、トリミングコードに応じて、電源電圧VDDを基に内部電位VPP及びVIIを生成することができる。例えば、電源電圧VDDは1.8V、内部電位VPPは3V、内部電位VIIは1.6Vである。
図8は、図7のトリミングコードデコーダ及びセレクタ701の構成例を示す回路図である。3ビットのトリミングコードTM0〜TM2は図7のトリミングコードTM、3ビットのトリミングコードEF0〜EF2は図7のトリミングコードEF、3ビットのトリミングコードLF0〜LF2は図7のトリミングコードLFに対応する。
セレクタ800aは、イネーブル信号EF−ENが1のときにはトリミングコードEF0を選択及び出力し、イネーブル信号EF−ENが0のときにはトリミングコードLF0を選択及び出力する。
セレクタ800bは、イネーブル信号TM−ENが1のときにはトリミングコードTM0を選択及び出力し、イネーブル信号TM−ENが0のときにはセレクタ800aが出力するトリミングコードEF0又はLF0を選択及び出力する。
セレクタ801aは、イネーブル信号EF−ENが1のときにはトリミングコードEF1を選択及び出力し、イネーブル信号EF−ENが0のときにはトリミングコードLF1を選択及び出力する。
セレクタ801bは、イネーブル信号TM−ENが1のときにはトリミングコードTM1を選択及び出力し、イネーブル信号TM−ENが0のときにはセレクタ801aが出力するトリミングコードEF1又はLF1を選択及び出力する。
セレクタ802aは、イネーブル信号EF−ENが1のときにはトリミングコードEF2を選択及び出力し、イネーブル信号EF−ENが0のときにはトリミングコードLF2を選択及び出力する。
セレクタ802bは、イネーブル信号TM−ENが1のときにはトリミングコードTM2を選択及び出力し、イネーブル信号TM−ENが0のときにはセレクタ802aが出力するトリミングコードEF2又はLF2を選択及び出力する。
否定(NOT)回路811は「+2」を示す信号、NOT回路812は「+1」を示す信号、NOT回路813は「0」を示す信号、NOT回路814は「−1」を示す信号、NOT回路815は「−2」を示す信号を出力する。
図9は、図1の電気ヒューズ回路126の構成例を示す図である。電気ヒューズ回路126は、3個の電気ヒューズ回路を有し、3個の電気ヒューズ回路は3ビットのトリミングコードEF0〜EF2を記憶及び出力する。電圧制御回路901は、電圧VRRを生成し、3個の電気ヒューズ回路に供給する。以下、各電気ヒューズ回路の構成例を示す。
以下、電界効果トランジスタを単にトランジスタという。電気ヒューズキャパシタ101は、電圧VRR及びノードn3間に接続される。nチャネルトランジスタ102は、保護トランジスタであり、ゲートが電圧(内部電位)VPPに接続され、ドレインがノードn3に接続され、ソースがノードn2に接続される。電圧VPPは、例えば3Vである。nチャネルトランジスタ103は、ライト回路であり、ゲートがライト信号WRTに接続され、ドレインがノードn2に接続され、ソースがグランドに接続される。
次に、リード回路110の構成を説明する。nチャネルトランジスタ111は、ゲートがリード信号RDに接続され、ドレインがノードn2に接続され、ソースがノードn4に接続される。nチャネルトランジスタ113は、ゲートがノードn5に接続され、ドレインがノードn4に接続され、ソースが抵抗114を介してグランドに接続される。pチャネルトランジスタ112は、ゲートがノードn5に接続され、ソースが電圧(内部電位)VIIに接続され、ドレインがノードn4に接続される。電圧VIIは、例えば1.6Vである。否定論理積(NAND)回路115は、電源電圧VIIに接続され、入力端子がノードn4及び信号RSTbの線に接続され、出力端子がノードn5に接続される。否定(NOT)回路116は、入力端子がノードn5に接続され、出力端子が信号EF0、EF1又はEF2の線に接続される。以下、信号EF0の場合を例に説明する。
ライト信号WRTがハイレベルになると、トランジスタ103がオンする。キャパシタ101には、高電圧VRR(例えば8V)が印加される。電気ヒューズはキャパシタ101で構成され、何もしない状態では電気的に非導通状態である。このキャパシタ101の両端子間に高電圧(例えば8V)を印加すると、キャパシタ101の絶縁膜が破壊されて電気的に導通状態になる。この2つの状態をデータ0及び1に割り当てる。例えば、キャパシタ101の絶縁膜が破壊されていない状態で電気的に非導通なら0、絶縁膜が破壊された状態で電気的に導通なら1と割り当てる。このキャパシタ101は、不揮発性ROMとして使用することができる。
キャパシタ(電気ヒューズ)101への書き込み動作について説明する。まず、電圧制御回路901は、キャパシタ101の電圧VRRを高電圧(例えば8V)に昇圧する。このとき、キャパシタ101のもう一方の端子ノードn3はフローティング状態であるため、ノードn3の電位も上昇する。この状態ではまだキャパシタ101の両端子間の電位差は小さい。その後、ライト信号WRTをハイレベルにし、書き込みトランジスタ103をオンさせ、ノードn3をグランドとして、キャパシタ101の両端子間に高電圧を印加し、キャパシタ101の絶縁膜を破壊する。これに対し、ライト信号WRTがローレベルのとき、ノードn3はフローティング状態のままであり、キャパシタ101の両端子間に高電圧が印加されず、キャパシタ101は非導通状態を維持する。
図10は、電気ヒューズ回路126を含む半導体メモリチップ121の電源起動時のタイミングチャートである。電源電圧VDDは、半導体メモリチップの電源電圧であり、例えば1.8Vである。電源起動により、電圧VDD、VRR及びRDが徐々に上昇する。やがて、電圧VRRは約1.6Vを維持する。信号RSTbは、ローレベルを維持する。図9において、信号RSTbがローレベルであるとき、ノードn5はハイレベルになる。すると、トランジスタ112がオフし、トランジスタ113がオンする。その結果、ノードn4はフローティング状態からローレベルになる。その後、信号RSTbがローレベルからハイレベルになる。キャパシタ101が導通状態であるときには、ノードn4がハイレベルになり、出力信号EF0はハイレベルになる。これに対し、キャパシタ101が非導通状態であるときには、ノードn4がローレベルになり、出力信号EF0はローレベルになる。その後、電圧VRR及びリード信号RDがグランドになり、トランジスタ111はオフし、出力信号EF0は維持される。リード回路110は、上記の動作により、キャパシタ101の状態を信号EF0として出力する。
なお、内部電位発生回路(調整回路)123は、トリミングコードに応じて内部電位レベルを調整する場合を例に説明したが、調整回路123は、トリミングコードに応じて、メモリコア124の信号のタイミングを調整するようにしてもよい。
上記実施形態は、何れも本発明を実施するにあたっての具体化の例を示したものに過ぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されてはならないものである。すなわち、本発明はその技術思想、またはその主要な特徴から逸脱することなく、様々な形で実施することができる。
121 半導体メモリチップ
122 テストモード信号発生回路
123 内部電位発生回路
124 メモリコア
125 レーザヒューズ回路
126 電気ヒューズ回路
127 セレクタ
122 テストモード信号発生回路
123 内部電位発生回路
124 メモリコア
125 レーザヒューズ回路
126 電気ヒューズ回路
127 セレクタ
Claims (10)
- レーザ照射により第1のトリミングコードを記憶させるためのレーザヒューズ回路と、
電圧印加により第2のトリミングコードを記憶させるための電気ヒューズ回路と、
前記第1又は第2のトリミングコードに応じて電位レベル又はタイミングを調整する調整回路と
を有することを特徴とする半導体集積回路。 - さらに、前記レーザヒューズ回路が記憶する第1のトリミングコード又は前記電気ヒューズ回路が記憶する第2のトリミングコードを選択するセレクタを有し、
前記調整回路は、前記セレクタにより選択された第1又は第2のトリミングコードに応じて電位レベル又はタイミングを調整することを特徴とする請求項1記載の半導体集積回路。 - 前記セレクタは、レーザ照射により前記レーザヒューズ回路に前記第1のトリミングコードを記憶させる前は、前記第2のトリミングコードを選択することを特徴とする請求項2記載の半導体集積回路。
- 前記セレクタは、レーザ照射により前記レーザヒューズ回路に前記第1のトリミングコードを記憶させた後は、前記第1のトリミングコードを選択することを特徴とする請求項3記載の半導体集積回路。
- 前記セレクタは、前記第1のトリミングコード、前記第2のトリミングコード及び外部から入力される第3のトリミングコードのうちのいずれか1つを選択し、
前記調整回路は、前記セレクタにより選択された第1、第2又は第3のトリミングコードに応じて電位レベル又はタイミングを調整することを特徴とする請求項1記載の半導体集積回路。 - 前記調整回路は、前記第1又は第2のトリミングコードに応じて電位レベルを調整することを特徴とする請求項1記載の半導体集積回路。
- さらに、前記調整回路により調整された電位を用いて複数のデータを記憶するメモリセルアレイを有することを特徴とする請求項6記載の半導体集積回路。
- 請求項1記載の半導体集積回路の試験方法であって、
電圧印加により前記電気ヒューズ回路に前記第2のトリミングコードを記憶させる電圧印加ステップと、
前記電圧印加ステップの後、前記第2のトリミングコードに応じて電位レベル又はタイミングを調整して第1の試験を行う第1の試験ステップと、
前記第1の試験ステップの後、レーザ照射により前記レーザヒューズ回路に前記第1のトリミングコードを記憶させるレーザ照射ステップと、
前記レーザ照射ステップの後、前記第1のトリミングコードに応じて電位レベル又はタイミングを調整して第2の試験を行う第2の試験ステップと
を有することを特徴とする半導体集積回路の試験方法。 - 前記電圧印加ステップは、半導体ウエハ上の複数の半導体集積回路に別々の第2のトリミングコードを記憶させることができることを特徴とする請求項8記載の半導体集積回路の試験方法。
- 前記第1の試験ステップは、複数の試験項目の試験を行う際に、各試験項目の試験が終了する毎に半導体集積回路の電源をオフにすることを特徴とする請求項8記載の半導体集積回路の試験方法。
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