JP2008049398A - レーザ穴あけ方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】耐熱性の低いシート状部材に狭いピッチで穴あけを行う場合でも、波打ち変形等の発生を抑制可能なレーザ穴あけ方法を提供する。
【解決手段】本実施形態にかかるレーザ穴あけ方法では、分割領域n5の穴あけ予定箇所14に対してレーザ光を照射した後、分割領域n5と隣り合う分割領域n4の穴あけ予定箇所14をスキップし、分割領域n5から距離が隔てられた分割領域n3の穴あけ予定箇所14に対してレーザ光を照射する。分割領域n4に対するレーザ光の照射は、分割領域n3,n1,n6の後に実施される。分割領域n5で穴あけ加工を行うと、分割領域n5だけでなく分割領域n4も熱を持つことになるが、分割領域n4には熱を持っているときにはレーザ光を照射せず、降温後にあらためてレーザ光を照射することになる。よって、分割領域n4に熱が蓄積される可能性が低くなり、シート2の変形が抑制される。
【選択図】図2

Description

本発明は、レーザ穴あけ方法に関するものであって、特に印刷配線板の製造工程におけるレーザ穴あけ方法に関する。
従来の印刷配線板の製造方法として、絶縁性の樹脂材料からなる樹脂シートを銅箔で挟んで加熱成型したのち、樹脂シートと銅箔とに穴を形成し、形成した穴に導電ペーストを充填するものが知られている。穴の形成工程では、例えば特許文献1に示されるように、銅箔の穴形成箇所(穴あけ予定箇所に相当)をエッチングにより除去し、この銅箔をマスクとしてマスク開口より大きな径のレーザ光を照射することで樹脂シートに穴あけ加工する、いわゆるコンフォーマル穴あけを行うことがある。また、例えば特許文献2に開示するように、所望の径に絞ったレーザ光をエッチングされていない銅箔に照射し、銅箔と樹脂シートとを同時に穴をあける、いわゆるダイレクト穴あけを行うこともある。そのほか、樹脂シートを加熱成型したのち、レーザ光の照射やドリル等により樹脂シートに穴を形成してから、銅めっきを樹脂シートに施すものも知られている。
特開平8−279679号公報 特開2001−135911号公報
上述した方法はいずれも、加熱成型後の硬化した樹脂シートに対して穴をあけるものである。これに対して近年では、加熱成型前の樹脂シートにレーザ光を照射して穴あけ加工を行った後、形成された穴に導電ペーストを充填し、銅箔等で挟み込み加熱成型する方法が用いられてきている。この方法では、樹脂シートの穴形成箇所の並び順に従ってレーザ光を順次照射していくのが一般的である。図10(a)は、この方法により穴あけ加工が施された加熱成型前の樹脂シートを示す斜視図であり、図10(b)は図10(a)に示した加熱成型前の樹脂シートのX−X線断面図である。
図10に示す樹脂シート20としては、モノマー等の樹脂原料やアルミ系材料等の充填材やガラスクロスやアラミド不織布等を組み合わせたプリプレグと呼ばれるものが用いられる。このような樹脂シート20に対して、例えばパルス型炭酸ガスレーザを照射して穴あけ加工をする場合には、波長が約9.4μmの遠赤外線レーザ光の熱で樹脂及び充填材やガラスクロスを除去することになる。このとき、レーザ光線の中央温度は2000℃以上と非常に高くなっている。樹脂シート20は耐熱性が低く、100℃前後で軟化又は溶融してしまうため、図10(a)に示されるように貫通穴40を狭いピッチ(例えば約0.3mm以下のピッチ)で連続形成すると、図10(b)に示されるように樹脂シート20が熱の蓄積により波打ってしまうことがある。また、樹脂シート20に含まれる樹脂が溶融して、隣接する貫通穴40を塞いでしまうこともある。なお、加熱成型前の樹脂シート20において波打ち変形が発生し始めるピッチは、穴形成箇所の密集度合いによって、およそ0.4mmから0.2mmまでばらつくことがある。本発明者が波打ち変形した部分を顕微鏡で観察したところ、貫通穴40が密集した部分では、貫通穴40間に気泡の発生が見られるなど、樹脂が100℃を超える温度に熱せられた痕跡が見られた。
このように、樹脂シート20が波打った状態では、貫通穴40へ導電性ペーストを充填する時にペースト印刷機のテーブル/シート状材料/スキージの相互の間に隙間ができるなどして、均一な導電性ペーストの充填が困難となる。その結果、導通不良を起こす可能性や、銅箔等との加熱成型後にも波うち変形が残ってしまう可能性が生じ、印刷配線板としては不良品となってしまうことがある。なお、炭酸ガスレーザに代わって、YAGレーザの第3又は第4高調波を用いた紫外線YAG(UV−YAG)レーザを印刷配線板の製造に使用することがあるが、UV−YAGレーザは高主力の紫外線を用いるため、樹脂の光化学分解(アブレーション加工)時に高熱が発生する。そのため、実質的には紫外線と熱とによる加工となり、炭酸ガスレーザを用いた場合と同様の問題が生じる。
近年、印刷配線板に実装する半導体パッケージの小型化が進んでおり、例えばCSPなどと呼ばれるパッケージでは、接続バンプのピッチが0.3mmを下回ることがある。また、半導体パッケージの小型化に伴い、高密度接続が可能な配線板のニーズが高まっている。しかしながら従来の方法では、上述したように、穴形成箇所が密集すると波打ち変形等が生じやすくなるため、高密度接続が可能な配線板を製造することが難しい。
そこで本発明は、耐熱性の低いシート状部材に狭いピッチで穴あけを行う場合でも、波打ち変形等の発生を抑制することができるレーザ穴あけ方法を提供することを目的とする。
このような目的を達成するために、本発明者は様々な検討を行った。
樹脂シートを銅箔で挟んで加熱成型した後に穴をあける場合、高速なバースト加工法に代わって、1.5倍程度の時間がかかるサイクル加工法を用いることがある。バースト加工法では、穴形成箇所に数ショットのパルスレーザ光を連続照射し、その穴形成箇所にて穴をあけた後に、次の穴あけ予定箇所にパルスレーザ光を照射する。この方法では穴底側の銅箔に熱が蓄積されやすく、穴底側の銅箔の厚みが薄い場合には、かかる銅箔にダメージを与えてしまうことがある。これに対してサイクル加工法では、全ての穴あけ予定箇所に対して1ショットずつレーザ光を照射する、という工程を複数回繰り返す。この方法では穴あけ予定箇所における熱の蓄積が少なく、穴底側の銅箔へのダメージを抑制することができる。
上述した事実を踏まえ、本発明者は当初、バースト加工法ではなくサイクル加工法を適用すれば、加熱成型前の樹脂シートに狭いピッチで穴あけを行う場合でも、波打ち変形等の発生を抑えられるのではないかと考えた。そこで、穴形成箇所が種々のパターンで設定された加熱成型前の樹脂シートを用意し、バースト加工法とサイクル加工法とで穴あけ加工を試みた。その結果、穴形成箇所の密度(以下、穴密度と呼ぶ)が低い場合には、バースト加工法で穴あけ加工を十分良好に行うことができた。しかしながら、穴密度が高くなると、より具体的には穴形成箇所のピッチが例えば0.05〜0.3mmになると、バースト加工法で穴あけ加工を良好に行うことが困難となり、サイクル加工法を用いないと樹脂シートが波打つ現象が発生した。また、あるパターンでは、サイクル加工法を用いても樹脂シートが波打ってしまうことが判明した。あるパターンとは、例えば、穴密度が低いエリアの中に、5mm×5mm程度の大きさを有し且つ穴形成箇所のピッチが0.2mm程度と狭くなっている部分、つまり穴密度が高い部分が複数個偏在するパターンであり、このようなパターンは、CSP等の小型・高密度パッケージを実装する基板に想定されるものである。
一般に印刷配線板用のレーザ加工機は、XYテーブルによる500mm程度の広い移動と、ガルバノスキャナによる30mm〜50mmの狭い移動との組合せで動作するようになっている。サイクル加工法では、例えば30mm×30mmのガルバノスキャン範囲内で1ショットの照射を数回繰り返すことになる。このガルバノスキャン範囲内に、5mm×5mm程度の大きさを有し且つ穴あけ予定箇所のピッチが極めて狭くなっている部分が複数個偏在すると、1ショットで2000℃以上になるレーザ光を、短時間に複数回、極めて狭い範囲に照射することになる。これによって樹脂シートに熱が蓄積され、サイクル加工法を用いたにもかかわらず、材料が波打つ現象が発生するのだと本発明者は推測した。
以上のことから本発明者は、以下の発明を完成させるに至った。
すなわち本発明のレーザ穴あけ方法は、シート状部材の複数の穴あけ予定箇所に対してレーザ光を順次照射することにより、穴あけ加工を行うレーザ穴あけ方法であって、複数の穴あけ予定箇所の少なくとも一部については、一の穴あけ予定箇所に対してレーザ光を照射した後、当該一の穴あけ予定箇所から所定の範囲内に位置する穴あけ予定箇所をスキップして、所定の範囲外に位置する穴あけ予定箇所に対してレーザ光を照射することを特徴とするものである。
本発明のレーザ穴あけ方法では、ある穴あけ予定箇所に対してレーザ光を照射すると、この近くに位置する穴あけ予定箇所についてはスキップし、離れたところに位置する穴あけ予定箇所にレーザ光を照射する。したがって、レーザ光の照射により熱を持った領域にレーザ光を照射してしまう、という事態を回避することができ、熱の蓄積を抑えることができる。よって、耐熱性の低いシート状部材に狭いピッチで穴あけを行う場合でも、シート状部材が波打ったり、シート状部材が溶融して隣の穴を塞ぐということが生じにくくなる。
また、本発明のレーザ穴あけ方法では、穴あけ予定箇所について順序を決める準備工程と、準備工程にて決められた穴あけ予定箇所の順序に従って、穴あけ予定箇所にレーザ光を照射する照射工程と、を有し、準備工程は、シート状部材を複数の分割領域に分割する分割工程と、分割工程にて分割された分割領域について順序を決定する第1の順序決定工程と、第1の順序決定工程にて決定された分割領域の順序に従って、穴あけ予定箇所の順序を決定する第2の順序決定工程と、を含み、複数の分割領域のうち少なくとも一部は穴あけ予定箇所を含んでおり、第1の順序決定工程では、隣り合う分割領域同士については分割領域の順序を非連続とすることが好ましい。
この場合には、隣り合う分割領域にレーザ光を続けて照射することが抑制されるので、シート状部材に熱が蓄積されることをより確実に抑制できる。
また、本発明のレーザ穴あけ方法では、分割工程は、シート状部材を複数の分割領域に分割すると共に、隣り合う分割領域同士が同一のグループに属するように、複数の分割領域を複数のグループに分類し、第1の順序決定工程は、分割領域について、グループ内における優先順序を決定する第1工程と、第1工程にて決定された優先順序に従って分割領域の順序を決定する第2工程と、を含み、第2工程では、優先順序が同一であり且つ属するグループが異なる分割領域同士については分割領域の順序を連続させることが好ましい。
この場合には、あるグループに属する一部の分割領域にレーザ光を照射したら、次は他のグループに属する一部の分割領域にレーザ光を照射する、ということが可能となる。各グループは隣り合う分割領域で構成されているため、属するグループが異なる分割領域同士は、十分な間隔を有する可能性が高くなる。よって、近隣に位置する分割領域にレーザ光を続けて照射することが抑制されるので、シート状部材における波打ち変形等の発生を抑制することができる。
また、本発明のレーザ穴あけ方法では、複数の分割領域は、シート状部材を列状に分割してなる領域であることが好ましい。また、複数の分割領域は、シート状部材を格子状に分割してなる領域であることが好ましい。この場合、分割領域が規則的に並ぶこととなるので、分割領域の位置関係を容易に把握することができる。
また、本発明のレーザ穴あけ方法では、シート状部材における穴あけ予定箇所の分布状況を検出する検出工程を更に含み、分割工程では、検出工程にて検出された穴あけ予定箇所の分布状況に基づいて、シート状部材の一部を複数の分割領域に分割することが好ましい。この場合、例えば穴あけ予定箇所が密集したエリアのみを対象として、上記した手順で穴あけ加工を行うことが可能となる。
また、本発明のレーザ穴あけ方法では、シート状部材が、樹脂を含む混合物からなることが好ましい。また、本発明のレーザ穴あけ方法では、レーザ光は、パルス型炭酸ガスレーザ又は紫外線YAGレーザであることが好ましい。この場合には、シート状部材の波打ち変形等をより確実に抑制することができる。
本発明によれば、耐熱性の低いシート状部材に狭いピッチで穴あけを行う場合でも、波打ち変形等の発生を抑制可能なレーザ穴あけ方法を提供することができる。
以下、本発明に係るレーザ穴あけ方法の好適な実施形態について図面を参照して説明する。なお、以下の説明では、同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明は省略する。また、上下左右等の位置関係は、特に断らない限り、図面に示す位置関係に基づくものとする。
(第1実施形態)
図1は、第1実施形態にかかるレーザ穴あけ方法により穴あけされたシートを示す斜視図である。図2は、第1実施形態にかかるレーザ穴あけ方法を説明するための図である。
本実施形態にかかるレーザ穴あけ方法は、シート(シート状部材)2に予め定めた穴あけ予定箇所14にレーザ光を照射することにより、貫通穴4(穴)を形成するものである。本実施形態において、シート2は樹脂を含む混合物からなるシートである。穴あけ予定箇所14は、6行6列に所定の配列ピッチDで配列されている。
本実施形態にかかるレーザ穴あけ方法では、36個の穴あけ予定箇所14の一部については、一の穴あけ予定箇所14に対してレーザ光を照射した後、当該一の穴あけ予定箇所14から所定の範囲内に位置する穴あけ予定箇所14をスキップして、所定の範囲外に位置する穴あけ予定箇所14に対してレーザ光を照射する。ここで、本実施形態における「一の穴あけ予定箇所14から所定の範囲内」に位置する穴あけ予定箇所14とは、「一の穴あけ予定箇所14の周辺領域であって、一の穴あけ予定箇所14にレーザ光を照射したときに当該照射による熱の影響を受ける領域」に位置する予定箇所14を指し、より具体的には「一の穴あけ予定箇所14が含まれる分割領域と隣り合う分割領域」に位置する穴あけ予定箇所14を指す。以下、本実施形態にかかるレーザ穴あけ方法について詳しく説明する。
まず、36個の穴あけ予定箇所14について順序を決める(準備工程)。かかる順序を決めるにあたって、図2(a)に示すように、シート2を複数の分割領域に分割する(分割工程)。分割領域はシート2を列状に分割してなるものであり、より具体的には、シート2をn1〜n6行と対応するように6つに分割した領域である。以降、n1〜n6行に位置する分割領域をそれぞれ分割領域n1〜n6と呼ぶこととする。分割領域n1〜n6にはそれぞれ、m1〜m6列に位置する6つの穴あけ予定箇所14が含まれている。
シート2を分割領域n1〜n6に分割したのち、図2(b)に示すように、分割領域n1〜n6を複数のグループに分類する。このとき、隣り合う分割領域同士が同一のグループに属するようにする。より具体的には、隣接する2つの分割領域が一つのグループに含まれるよう、シート2を2行ずつに区切る。これにより、分割領域n5,n6はグループA1に属し、分割領域n3,n4はグループA2に属し、分割領域n1,n2はグループA3に属することとなる。
分割領域n1〜n6をグループA1〜A3に分類したのち、分割領域n1〜n6の加工順序(順序)を決定する(第1の順序決定工程)。分割領域n1〜n6の加工順序を決定するにはまず、分割領域n1〜n6それぞれについて、グループA1〜A3内における優先順序を決定する(第1工程)。
より具体的には、図2(b)に示すように分割領域n1〜n6の優先順序を決定する。なお、図2(b)中、B1は優先順序が1番目であることを示し、B2は優先順序が2番目であることを示す。優先順序の並びはグループA1〜A3で共通とする。すなわち、各グループにおいて、下の行に位置する分割領域の優先順序を1番目とし、上の行に位置する分割領域の優先順序を2番目とする。
次に、決定された優先順序に従って、分割領域n1〜n6の加工順序(順序)を決定する(第2工程)。このとき、優先順序が同一であり且つ属するグループが異なる分割領域同士については、加工順序が連続するようにする。一方、隣り合う分割領域同士については、加工順序が非連続となるようにする。
より具体的には、図2(c)に示すように分割領域n1〜n6の加工順序を決定する。図2(c)中、T1〜T6は分割領域n1〜n6の加工順序を示す。すなわち、グループA1において優先順序が1番目である分割領域n5を1番目とし、グループA2において優先順序が1番目である分割領域n3を2番目とし、グループA3において優先順序が1番目である分割領域n1を3番目とする。グループA1において優先順序が2番目である分割領域n6を4番目とし、グループA2において優先順序が2番目である分割領域n4を5番目とし、グループA3において優先順序が2番目である分割領域n2を6番目とする。隣り合う分割領域、例えば分割領域n5と分割領域n4とは、順序が1番目、5番目となっており、非連続となっている。
分割領域n1〜n6の加工順序が決定したら、この加工順序に従って、36個の穴あけ予定箇所14の加工順序を決定する(第2の順序決定工程)。
より具体的には、穴あけ予定箇所14の加工順序を、分割領域n1〜n6の加工順序と対応させる。すなわち、分割領域n5の6つの穴あけ予定箇所14、分割領域n3の6つの穴あけ予定箇所14、分割領域n1の6つの穴あけ予定箇所14、分割領域n6の6つの穴あけ予定箇所14、分割領域n4の6つの穴あけ予定箇所14、分割領域n2の6つの穴あけ予定箇所14、の順とする。なお、分割領域n1〜n6それぞれに含まれる6つの穴あけ予定箇所14については加工順序を問わない。例えば図2に示すm1列からm6列に向かう順であってもよいし、m6列からm1列に向かう順であってもよい。また、ランダムであってもよい。
以上のようにして、36個の穴あけ予定箇所14の加工順序を決める。穴あけ予定箇所14の加工順序を決めるための一連の処理は、レーザ穴あけ機や、レーザ穴あけ機に接続されたCADにおいて実行される。CADに実行させる場合には、CADが穴あけ予定箇所14の位置データを解析するタイミングで実行させることが好ましい。また、レーザ穴あけ機に実行させる場合には、レーザ穴あけ機が穴あけ予定箇所14の位置をガルバノスキャンに適した座標系に変換するタイミングで実行させることが好ましい。
穴あけ予定箇所14の加工順序を決定したら、この加工順序に従って、穴あけ予定箇所14にレーザ光を照射する。レーザ光としては、パルス型炭酸ガスレーザ又は紫外線YAGレーザを用いることができる。
より具体的には、分割領域n5の6つの穴あけ予定箇所14にレーザ光を照射したのち、分割領域n3の6つの穴あけ予定箇所14にレーザ光を照射する。その後、分割領域n1の6つの穴あけ予定箇所14、分割領域n6の6つの穴あけ予定箇所14、分割領域n4の6つの穴あけ予定箇所14、分割領域n2の6つの穴あけ予定箇所14、の順でレーザ光を照射していく。これにより、シート2に36個の貫通穴4が形成されることとなる。なお本実施形態では、レーザ光の照射にサイクル加工法を適用することとする。
以上述べたように、本実施形態にかかるレーザ穴あけ方法では、例えば分割領域n5の穴あけ予定箇所14に対してレーザ光を照射した後、分割領域n5と隣り合う分割領域n4の穴あけ予定箇所14をスキップし、分割領域n5から距離が隔てられた分割領域n3の穴あけ予定箇所14に対してレーザ光を照射する。
分割領域n4に対するレーザ光の照射は、分割領域n3,n1,n6の後に実施される。分割領域n5にレーザ光を照射すると、分割領域n5だけでなく分割領域n4も熱を持つことになるが、かかる分割領域n4に対しては、熱を持っているときにはレーザ光を照射せず降温後にあらためてレーザ光を照射することになる。よって、分割領域n4に熱が蓄積される可能性が低くなり、シート2の変形が抑制される。なお、降温後の温度としては、2000℃未満が好ましく、1000℃以下がより好ましく、500℃以下が特に好ましく、100℃以下が最も好ましい。このような温度となったときにレーザ光が照射されるように、穴あけ予定箇所14の加工順序、ひいては分割領域n5の加工順序や優先順序を決定する。
また、本実施形態にかかるレーザ穴あけ方法では、穴あけ予定箇所14の加工順序を決めておき、この加工順序に従って各穴あけ予定箇所14にレーザ光を照射する。穴あけ予定箇所14の加工順序は分割領域n1〜n6の加工順序に基づいて決まり、隣り合う分割領域、例えば分割領域n1,n2に設定された加工順序は非連続となっている。したがって、隣り合う分割領域にレーザ光を続けて照射する可能性を低減することができる。
また、本実施形態にかかるレーザ穴あけ方法では、例えばグループA1に属する分割領域n5にレーザ光を照射したら、次はグループA2に属する分割領域n3にレーザ光を照射する。グループA1〜A3それぞれは隣り合う分割領域で構成されているため、属するグループが異なる分割領域同士は、十分な間隔を有する可能性が高くなる。よって、近隣に位置する分割領域にレーザ光を続けて照射する可能性をより確実に低減できる。
(第2実施形態)
図3は、第2実施形態にかかるレーザ穴あけ加工方法を説明するための図である。本実施形態にかかるレーザ穴あけ加工方法では、図3(a)に示すように、まず、シート2を複数の分割領域に分割し、一つの分割領域に一つの穴あけ予定箇所14が含まれるようにする。より具体的には、シート2を6行6列の格子状に分割することで、36個の分割領域に分割する。
シート2を36個の分割領域に分割したのち、これらを9つのグループA1〜A9に分類する。より具体的には、隣接する4個の分割領域が一つのグループに含まれるよう、シート2を2行2列に区切る。
36個の分割領域を9つのグループA1〜A9に分類したのち、図3(a)示すように各分割領域について、各グループ内における優先順序を決定する。なお、図3(a)中、B1〜B4は優先順序が1〜4番目であることを示す。優先順序の並びはグループA1〜A9で共通にする。すなわち、各グループにおいて左下に位置する分割領域の優先順序を1番目とし、右下に位置する分割領域の優先順序を2番目とし、左上に位置する分割領域の優先順序を3番目とし、右上に位置する分割領域の優先順序を4番目とする。
続いて、決定された優先順序に基づき、分割領域の加工順序を決定する。このとき、優先順序が同一であり且つ属するグループが異なる分割領域同士については、加工順序を連続させる、隣り合う分割領域同士については加工順序を非連続とする。36個の分割領域の順序を図3(b)に示す順とする。なお、図3(b)中、T1〜T36は加工順序が1〜36番目であることを示す。
36個の分割領域の加工順序が決定したら、この加工順序に基づき、穴あけ予定箇所14の加工順序を決定する。そして、決定した加工順序に従って、レーザ光を照射する。一つの分割領域には穴あけ予定箇所14が一つしか含まれていないため、穴あけ予定箇所14の加工順序は分割領域の加工順序と同じになる。なお、本実施形態では第1実施形態と同様に、レーザ光の照射にサイクル加工法を適用する。
このようなレーザ穴あけ加工方法においても、隣り合う分割領域に対して続けてレーザ光を照射することがないため、熱の蓄積を抑制することができる。
(第3実施形態)
図4は、第3実施形態にかかるレーザ穴あけ加工方法を説明するための図である。本実施形態にかかるレーザ穴あけ加工方法では、第2実施形態と同様に、シート2を36個の分割領域に分割する。そして、これらを4つのグループA1〜A4に分類する。より具体的には、より具体的には、隣接する9個の分割領域が一つのグループに含まれるよう、シート2を3行3列に区切る。
36個の分割領域を4つのグループA1〜A4に分類したのち、図4(a)示すように各分割領域について、各グループ内における優先順序を決定する。なお、図4(a)中、B1〜B9は優先順序が1〜9番目であることを示す。優先順序の並びはグループA1〜A4で共通にする。続いて、決定された優先順序に基づき、分割領域の加工順序を決定する。このとき、優先順序が同一であり且つ属するグループが異なる分割領域同士については、加工順序を連続させる。また、隣り合う分割領域同士については加工順序を非連続とする。36個の分割領域の加工順序を図4(b)のT1〜T36に示す順とする。
36個の分割領域の加工順序が決定したら、この加工順序に基づき、穴あけ予定箇所14の加工順序を決定する。そして、決定した加工順序に従って、レーザ光を照射する。一つの分割領域には穴あけ予定箇所14が一つしか含まれていないため、穴あけ予定箇所14の加工順序は分割領域の加工順序と同じになる。なお、本実施形態では第1実施形態と同様に、レーザ光の照射にサイクル加工法を適用する。このようなレーザ穴あけ加工方法においても、隣り合う分割領域に対して続けてレーザ光を照射することがないため、熱の蓄積を抑制することができる。
(第4実施形態)
図5は、第4実施形態にかかるレーザ穴あけ加工方法を説明するための図である。本実施形態にかかるレーザ穴あけ加工方法では、第1実施形態と同様に、まず、シート2を6個の分割領域に分割する。シート2を6個の分割領域に分割したのち、これらを2つのグループA1,A2に分類する。より具体的には、隣接する3つの分割領域が一つのグループに含まれるよう、シート2を3行ずつに区切る。6個の分割領域を2つのグループA1,A2に分類したのち、各分割領域について、各グループ内における優先順序を決定する。優先順序の並びはグループA1,A2で共通とし、具体的には図5(a)示すようにする。
続いて、決定された優先順序に基づき、分割領域の加工順序を決定する。このとき、優先順序が同一であり且つ属するグループが異なる分割領域同士については、加工順序を連続させる。また、隣り合う分割領域同士については加工順序を非連続とする。6個の分割領域の加工順序を図5(b)に示す順とする。
6個の分割領域の加工順序が決定したら、この順序に基づき、36個の穴あけ予定箇所14の加工順序を決定する。より具体的には、穴あけ予定箇所14の順序を、分割領域n4の6つの穴あけ予定箇所14、分割領域n1の6つの穴あけ予定箇所14、分割領域n5の6つの穴あけ予定箇所14、分割領域n2の6つの穴あけ予定箇所14、分割領域n6の6つの穴あけ予定箇所14、分割領域n3の6つの穴あけ予定箇所14、の順とする。なお、各分割領域に含まれる6つの穴あけ予定箇所14については加工の順序を問わない。
決定した穴あけ予定箇所14の加工順序に従って、穴あけ予定箇所14にレーザ光を照射する。なお、本実施形態では第1実施形態と同様に、レーザ光の照射にサイクル加工法を適用する。このようなレーザ穴あけ加工方法においても、隣り合う領域に対して、連続して穴あけ加工を行うことがないため、レーザ光照射により熱を持っている部分に更にレーザ光を照射してしまう可能性が低くなる。よって、シート2に狭いピッチで穴あけを行う場合でも、熱の蓄積によるシート2の変形が抑制される。
(第5実施形態)
図6は、第5実施形態にかかるレーザ穴あけ加工方法を説明するための図である。本実施形態にかかるレーザ穴あけ加工方法では、第3実施形態と同様に、シート2を36個の分割領域に分割する。そして、これらを6つのグループA1〜A6に分類する。より具体的には、隣接する6つの分割領域が一つのグループに含まれるよう、シート2を2行3列に区切る。
36個の分割領域を6つのグループA1〜A6に分類したのち、各分割領域について、各グループ内における優先順序を決定する。優先順序の並びはグループA1〜A6で共通とし、具体的には図6(a)示すようにする。続いて、決定された優先順序に基づき、分割領域の加工順序を決定する。このとき、優先順序が同一であり且つ属するグループが異なる分割領域同士については、加工順序を連続させる。また、隣り合う分割領域同士については加工順序を非連続とする。36個の分割領域の順序を図6(b)のT1〜T36に示す順とする。
36個の分割領域の加工順序が決定したら、この加工順序に基づき、穴あけ予定箇所14の加工順序を決定する。そして、決定した加工順序に従って、レーザ光を照射する。一つの分割領域には穴あけ予定箇所14が一つしか含まれていないため、穴あけ予定箇所14の加工順序は分割領域の加工順序と同じになる。なお、本実施形態では第1実施形態と同様に、レーザ光の照射にサイクル加工法を適用する。このようなレーザ穴あけ加工方法においても、隣り合う分割領域に対して続けてレーザ光を照射することがないため、熱の蓄積を抑制することができる。
(第6実施形態)
図7は、第6実施形態にかかるレーザ穴あけ加工方法を説明するための図である。本実施形態にかかるレーザ穴あけ加工方法では、第2実施形態と同様に、シート2を36個の分割領域に分割する。そして、これらを4つのグループA1〜A4に分類する。より具体的には、隣接する9個の分割領域が一つのグループに含まれるよう、シート2を3行3列に区切る。36個の分割領域を4つのグループA1〜A4に分類したのち、各分割領域について、各グループ内における優先順序を決定する。優先順序の並びはグループA1〜A4で共通とし、具体的には図7(a)にB1〜B3で示すような順とする。なお、n4行m1列に位置する分割領域、n5行m2列に位置する分割領域、及びn6行m3列に位置する分割領域は優先順序がB1で同一となっている。
続いて、決定された優先順序に基づき、分割領域の加工順序を決定する。このとき、優先順序が同一であり且つ属するグループが異なる分割領域同士については、加工順序を連続させる。また、隣り合う分割領域同士については加工順序を非連続とする。36個の分割領域の順序を図7(b)に示す順とする。なお、優先順序が同一であり、且つ属するグループが同じ分割領域については、加工順序が限定されない。したがって、本実施形態では、n4行m1列に位置する領域の順序をT5とし、n5行m2列に位置する領域の順序をT4とし、n6行m3列に位置する領域の順序をT1としているが、これに限られず、例えばn4行m1列に位置する領域の順序をT1とし、n5行m2列に位置する領域の順序をT5とし、n6行m3列に位置する領域の順序をT4としてもよい。
36個の分割領域の加工順序が決定したら、この加工順序に基づき、穴あけ予定箇所14の加工順序を決定する。そして、決定した加工順序に従って、レーザ光を照射する。一つの分割領域には穴あけ予定箇所14が一つしか含まれていないため、穴あけ予定箇所14の加工順序は分割領域の加工順序と同じになる。なお、本実施形態では第1実施形態と同様に、レーザ光の照射にサイクル加工法を適用する。このようなレーザ穴あけ加工方法においても、隣り合う分割領域に対して続けてレーザ光を照射することがないため、熱の蓄積を抑制することができる。
以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。
例えば、第1〜6実施形態では、穴あけ予定箇所14は6行6列で配列されているとしたが、図8に示すように穴あけ予定箇所14はランダムに分散されているとしてもよい。この場合には、シート2を、図8(a)に示すように列状の分割領域に、あるいは図8(b)に示すように格子状の分割領域に区切り、分割領域の境界をまたがっている穴あけ予定箇所14については、いずれかの一つの領域に属するものとみなして加工することが好ましい。なお、シート2を格子状に分割する場合には、分割領域に含まれる穴あけ予定箇所14の数を1個とするのが理想であるが、図8(b)に示すように、穴あけ予定箇所14が含まれない分割領域や、穴あけ予定箇所14が2〜4個含まれる分割領域が生じてしまうことがある。このようなケースでも特に問題は無いが、穴あけ予定箇所14が3個以上含まれる分割領域が生じてしまうようであれば、シート2をより細かく分割したり(例えば0.3mm幅だったところを0.2mm幅の格子状にする)、グループ化する分割領域の数を増加させる(例えば4だったところを9にする)などして、一つの分割領域に含まれる穴あけ予定箇所14の数を2個以下とすることが好ましい。このようにすれば、熱の蓄積をより抑制することができる。
また、第1〜6実施形態では分割領域を得る際にシート2全体を分割しているが、例えば、シート2における穴あけ予定箇所14の分布状況を検出しておき(検出工程)、検出された分布状況に基づいて、シート2の一部を複数の分割領域に分割するとしてもよい。この場合、シート2のうち、穴あけ予定箇所14が密集したエリアのみに上述した処理を適用することが可能となるため、加工時間の短縮を図ることができる。
また、第1〜6実施形態ではレーザ光の照射にサイクル加工法を適用しているが、バースト加工法を適用するとしてもよい。ただし、シート2における波打ち変形等の発生をより効果的に抑制するという観点からすれば、サイクル加工法を用いることが好ましい。
また、第1〜6実施形態では、シート2を列状あるいは格子状に分割することで分割領域を得ているが、シート2の分割形状はこれに限られない。また、分割領域の数やグループの数も上述したものに限られない。
以下、実施例及び比較例に基づいて本発明をより具体的に説明するが、本発明は以下に限定されるものではない。なお、以下に示す実施例及び比較例では、CADを制御することで穴あけ予定箇所の加工順序を決定した。また、穴あけ予定箇所は400個であり、20行20列に配列されることとした。
(シートの作製)
厚さ40μmのガラス布エポキシプリプレグ(日立化成工業(株)製、製品名:GEA−679FG)を準備した。また、このガラス布エポキシプリプレグの両面に、厚さ12μmのPETフィルムを熱ラミネートしたものも用意した。以下、PETフィルムがラミネートされたガラス布エポキシプリプレグを「PET付シート」と呼び、PETフィルムがラミネートされていないガラス布エポキシプリプレグを「単体シート」と呼ぶ。
(実施例1)
第1実施形態と同様にして、穴あけ予定箇所の加工順序を決定した。ただし、穴あけ予定箇所の配列が20行20列であることに伴い、分割領域を20個、グループを10個とした点で第1実施形態と相違している。穴あけ予定箇所の加工順序を決定したのち、第1実施形態と同様にして、PET付シートに穴あけ加工を行った。
(実施例2)
第2実施形態と同様にして、穴あけ予定箇所の加工順序を決定した。ただし、穴あけ予定箇所が20行20列であることに伴い、分割領域を400個、グループを10個としたとなった点で第2実施形態と相違している。穴あけ予定箇所の加工順序を決定したのち、第2実施形態と同様にして、PET付シートに穴あけ加工を行った。なお、レーザ光の照射にサイクル加工法を適用した。
(実施例3)
本実施例では、実際には20行20列で並んでいる穴あけ予定箇所を、仮想的に1行1列分追加して21行21列とし、隣接する9個の分割領域が一つのグループに含まれるようPET付シートを3行3列毎に区切ったうえで、第3実施形態と同様に穴あけ予定箇所の加工順序を決定した。穴あけ予定箇所の加工順序を決定したのち、第3実施形態と同様にして、PET付シートに穴あけ加工を行った。ただし、上述のように区切ったことで生じる、実際には穴あけ予定箇所が配されていない1行1列分については、穴あけ加工を行わないこととした。これにより、かかる1行1列分についても熱の蓄積を抑制するための冷却時間を設けることができる。なお、本実施例におけるレーザ光の照射には、サイクル加工法を適用した。
(実施例4)
レーザ光の照射にバースト加工法を適用した点以外は、実施例1と同様にして穴あけ加工を行った。
(実施例5)
レーザ光の照射にバースト加工法を適用した点以外は、実施例2と同様にして穴あけ加工を行った。
(実施例6)
レーザ光の照射にバースト加工法を適用した点以外は、実施例3と同様にして穴あけ加工を行った。
(実施例7)
単体シートを適用した点以外は、実施例1と同様にして穴あけ加工を行った。
(実施例8)
単体シートを適用した点以外は、実施例2と同様にして穴あけ加工を行った。
(実施例9)
単体シートを適用した点以外は、実施例3と同様にして穴あけ加工を行った。
(比較例1)
穴あけ予定箇所の加工順序を、図9に示すT1〜T36に基づく順とした。すなわち、隣り合う穴あけ予定箇所14同士は、加工順序が常に連続するようにした。穴あけ予定箇所の加工順序を決定したのち、PET付シートに穴あけ加工を行った。
(比較例2)
レーザ光の照射にバースト加工法を適用した点以外は、比較例1と同様にして穴あけ加工を行った。
(比較例3)
単体シートを適用した点以外は、比較例1と同様にして穴あけ加工を行った。
穴あけ予定箇所の径を80μmとし、穴あけ予定箇所の配列ピッチ(図1に示す符号Dに相当)を150μm、175μm、200μm、225μm、250μm、275μm、及び300μmとして、実施例1〜9及び比較例1〜3において穴を形成したときに、PET付シートあるいは単体シートに波うち変形が生じているか否か、および、PET付シートあるいは単体シートに樹脂溶融による穴の閉塞が生じているか否かをそれぞれ調べた。その結果を表1に示す。表1では、○印は波打ち変形が生じなかったことを示し、△印は波打ち変形が僅かに生じたことを示し、×印は波打ち変形が明らかに生じたことを示し、××印は樹脂溶融による穴の閉塞が生じたことを示す。
Figure 2008049398
表1に示すように、実施例1〜9では、波打ち変形や穴の閉塞が比較例1〜3と比べて生じにくくなっていることが確認された。また、実施例2,3,5,6,8,9の結果が実施例1,4,7の結果よりも良好なことから、1つの分割領域に含まれる穴あけ予定箇所の数を少なくしたほうが、波打ち変形や穴の閉塞が抑制されることが分かった。また、実施例3,6,9の結果が実施例2,5,6の結果よりも良好なことから、1つのグループに含まれる分割領域の数を多くしたほうが、波打ち変形や穴の閉塞が抑制されることが分かった。
以上のことから、シート状の樹脂材料に密集したレーザ穴を明ける場合には、穴あけの順序を入れ替え、熱の蓄積を軽減することによって、波うち及び樹脂の溶融による隣接穴の閉塞が防止でき、産業的に有用であり配線板の高密度化に貢献できることが明らかとなった。
第1実施形態にかかるレーザ穴あけ方法により穴あけされたシートを示す斜視図である。 第1実施形態にかかるレーザ穴あけ方法を説明するための図である。 第2実施形態にかかるレーザ穴あけ方法を説明するための図である。 第3実施形態にかかるレーザ穴あけ方法を説明するための図である。 第4実施形態にかかるレーザ穴あけ方法を説明するための図である。 第5実施形態にかかるレーザ穴あけ方法を説明するための図である。 第6実施形態にかかるレーザ穴あけ方法を説明するための図である。 穴あけ予定箇所の変形例を示す図である。 比較例におけるレーザ穴あけ方法を説明するための図である。 従来のレーザ穴あけ方法を説明するための図である。
符号の説明
2…シート、4…貫通穴、14…穴あけ予定箇所、A1〜A4…グループ、B1〜B36…分割領域の加工順序、T1〜T36…穴あけ予定箇所の加工順序、D…配列ピッチ。

Claims (8)

  1. シート状部材の複数の穴あけ予定箇所に対してレーザ光を順次照射することにより、穴あけ加工を行うレーザ穴あけ方法であって、
    前記複数の穴あけ予定箇所の少なくとも一部については、一の前記穴あけ予定箇所に対して前記レーザ光を照射した後、当該一の穴あけ予定箇所から所定の範囲内に位置する前記穴あけ予定箇所をスキップして、所定の範囲外に位置する前記穴あけ予定箇所に対して前記レーザ光を照射することを特徴とするレーザ穴あけ方法。
  2. 前記穴あけ予定箇所について順序を決める準備工程と、
    前記準備工程にて決められた前記穴あけ予定箇所の順序に従って、前記穴あけ予定箇所に前記レーザ光を照射する照射工程と、
    を有し、
    前記準備工程は、
    前記シート状部材を複数の分割領域に分割する分割工程と、
    前記分割工程にて分割された前記分割領域について順序を決定する第1の順序決定工程と、
    前記第1の順序決定工程にて決定された前記分割領域の順序に従って、前記穴あけ予定箇所の順序を決定する第2の順序決定工程と、を含み、
    前記複数の分割領域のうち少なくとも一部は前記穴あけ予定箇所を含んでおり、
    前記第1の順序決定工程では、隣り合う前記分割領域同士については前記分割領域の順序を非連続とすることを特徴とする請求項1に記載のレーザ穴あけ方法。
  3. 前記分割工程は、
    前記シート状部材を前記複数の分割領域に分割すると共に、隣り合う前記分割領域同士が同一のグループに属するように、前記複数の分割領域を複数のグループに分類し、
    前記第1の順序決定工程は、
    前記分割領域について、前記グループ内における優先順序を決定する第1工程と、
    前記第1工程にて決定された前記優先順序に従って前記分割領域の順序を決定する第2工程と、
    を含み、
    前記第2工程では、前記優先順序が同一であり且つ属する前記グループが異なる前記分割領域同士については前記分割領域の順序を連続させることを特徴とする請求項2に記載のレーザ穴あけ方法。
  4. 前記分割領域は、前記シート状部材を列状に分割してなることを特徴とする請求項2又は3に記載のレーザ穴あけ方法。
  5. 前記分割領域は、前記シート状部材を格子状に分割してなることを特徴とする請求項2又は3に記載のレーザ穴あけ方法。
  6. 前記準備工程は、前記シート状部材における前記穴あけ予定箇所の分布状況を検出する検出工程を更に含み、
    前記分割工程では、前記検出工程にて検出された前記穴あけ予定箇所の分布状況に基づいて、前記シート状部材の一部を複数の前記分割領域に分割することを特徴とする請求項2〜5の何れか一項に記載のレーザ穴あけ方法。
  7. 前記シート状部材が、樹脂を含む混合物からなることを特徴とする請求項1〜6の何れか一項に記載のレーザ穴あけ方法。
  8. 前記レーザ光は、パルス型炭酸ガスレーザ又は紫外線YAGレーザであることを特徴とする請求項1〜7の何れか一項に記載のレーザ穴あけ方法。
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