JP2008049221A - 着色フォトレジストの塗布方法及び塗布装置並びにカラーフィルタの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】バキュームテーブル上にガラス基板22を載置する前に、ガラス基板の温度を該バキュームテーブルの温度に合わせておくこと。基板の温度をバキュームテーブルの温度に合わせる機構が温調チャンバー80であること。バキュームテーブルが温調されていること。
【選択図】図6
Description
この表示装置に用いるカラーフィルタは、多くの場合、画素として形成されて使用されるものである。表示装置用カラーフィルタの画素を形成する方法として、これまで実用されてきた方法には、フォトリソグラフィー法、印刷法などがあげられる。
しかし、カラーフィルタを製造するガラス基板の大型化に伴い、例えば、550mm×650mm程度以上の大きさのガラス基板においては、着色フォトレジストの塗布装置として、スリットコータとスピンコータを併用したコータを用いる方法、すなわち、ガラス基板上に着色フォトレジストをスリットコータで塗布して塗布膜を形成し、塗布膜が形成されたガラス基板をスピンコータで回転し塗布膜を延展させ塗膜とする塗布装置が採用されはじめた。
しかし、この塗布装置では、大型のガラス基板を回転させるモーターなどの機械的制約から、装置を更に大型化するのは難しい。
図1、及び図2に示すように、模式的に示すスリットコータ(20)は、フレーム(24)と塗布ステージ(30)、スリットノズル(23)、及び着色フォトレジストの吐出調整機構(25)で構成されている。
スリットノズル(23)は塗布ステージ(30)右方、フレーム(24)上方の待機位置(P1)に設けられ、ガラス基板(22)上に着色フォトレジストを塗布する際には矢印で示すように、スリットノズル(23)は左方に移動し、塗布ステージ(30)上に載置・固定されたガラス基板(22)上に着色フォトレジストを塗布するようになっている。
次に、塗布ステージ(30)右方、フレーム(24)上方の待機位置(P1)のスリットノズル(23)が、矢印で示すように、塗布ステージ(30)上に固定されたガラス基板(22)上を右方から左方へと移動しながらガラス基板(22)上に着色フォトレジストを塗布する。
このスリットノズルの待機位置(P1)にて、スリットノズル(23)の洗浄など、着色フォトレジストの吐出調整が行われる。
着色フォトレジストの塗布は、ガラス基板(22)をバキュームテーブル(31)に密着させた状態で行う。
洗浄後に塗布装置に搬送され、バキュームテーブル(31)に密着されたガラス基板(22)の、図5(b)に符号(A)で示すバキュームテーブル(31)に接触した部分は、ガラス基板(22)より高い温度のバキュームテーブル(31)からの熱伝導によって、その温度は上昇し、バキュームテーブル(31)の温度に近づき始める。
このように、開口部(34)の位置に対応してガラス基板(22)上には局部的な温度差がある状態で、ガラス基板(22)上に着色フォトレジストの塗布が行われるために、バキュームテーブル(31)に接触した部分の塗布膜の膜厚と、接触していない部分の塗布膜の膜厚との間には膜厚差が生じることになる。
このような外観(濃度)ムラは解消するようにと強く要望されている。
この感光性組成物は、沸点100℃以上の溶剤を三種以上含み、溶剤を三種以上含むことで表面張力を調節して、感光性組成物がガラス基板上でレベリングし易くすることが出来るようにしたものである。
るとしたものである。
また、上記公報におけるコーティング方法は、この感光性組成物をガラス基板にコーティングする際に、スリットコータを用いることを特徴としている。
この技法は、ガラス基板上に着色フォトレジストなどの着色塗布液をスリットコータで塗布して塗布膜を形成し、形成した塗布膜をスピンコータで平滑化・乾燥させガラス基板上へ着色被膜を形成する際に、スジムラや段ムラを原因としたムラは観視されず、着色被膜の表面平滑性の優れた、良好な表示装置用カラーフィルタを製造することのできる着色被膜の形成方法である。
基板を載置する前に、基板の温度を該バキュームテーブルの温度に合わせておくことを特徴とする着色フォトレジストの塗布方法である。
図6は、本発明による着色フォトレジストの塗布装置の一実施例の概略を示す側面図である。図6に示すように、ウエット洗浄装置(50)と塗布装置(70)との間は、コンベア装置(60)で連結されており、このコンベア装置(60)の上方に温調チャンバー(80)が設けられている。
この塗布装置(70)は、基板を吸着する開口部を設けたバキュームテーブルを備えた塗布ステージを有している。
ガラス基板(22)は、図6中、白太矢印で示すように、左方から搬送されウエット洗浄装置(50)にてウエット洗浄が施された後に、コンベア装置(60)によって塗布装置(70)へと搬送され、塗布装置(70)において着色フォトレジストが塗布される。
つまり、バキュームテーブル(31)上にガラス基板(22)を載置する前に、ガラス基板(22)の温度を、塗布ステージ(30)のバキュームテーブル(31)の温度と同じ温度に合わせておく。この同じ温度に合わせる精度は、バキュームテーブル(31)の温度に対してガラス基板(22)の温度が±0.3℃以内であることが好ましい。
前記符号(A)で示す密着部分においては相互に熱伝導は殆どなく、また、符号(B)で示す開口部(34)においても、開口部の温度は間接的にバキュームテーブル(31)の温度を保持しているので、同様に相互に熱伝導は殆どない。
図8に示すように、バキュームテーブル(31)内には導管(40)が備えられており、矢印で示すように、外部からの温調水の循環によってバキュームテーブル(31)は一定の温度、例えば、23℃に保持されるようになっている。
しかし、この温調機構は、間接的に保持している開口部(空気)(34)の温度をより確かなものとする効果がある。すなわち、温調機構を設けることによって、前記温調されたエアー(82)の吹き付けにより、ガラス基板(22)の温度をバキュームテーブル(31)の温度に合わせたことによる、膜厚差の減少といった効果をより一層確かなものとすることが可能となる。
22・・・ガラス基板
24・・・フレーム
23・・・スリットノズル
25・・・吐出調整機構
30・・・塗布ステージ
31・・・バキュームテーブル
32・・・筐体
33・・・リフトピン
34・・・開口部
35・・・中空部
36・・・排気口
40・・・導管
50・・・ウエット洗浄装置
60・・・コンベア装置
61・・・コロコンベア
70・・・塗布装置
80・・・温調チャンバー
81・・・エアナイフ
82・・・温調されたエアー
D1・・・バキュームテーブルの上面から突出したリフトピンの高さ
P1・・・待機位置
Claims (6)
- 基板を吸着する開口部を設けたバキュームテーブルを備えた塗布ステージの該バキュームテーブル上に、ウエット洗浄した後の基板を載置して該基板上に着色フォトレジストを塗布する着色フォトレジストの塗布方法において、該バキュームテーブル上に基板を載置する前に、基板の温度を該バキュームテーブルの温度に合わせておくことを特徴とする着色フォトレジストの塗布方法。
- 前記基板の温度をバキュームテーブルの温度に合わせる機構が、温調チャンバーであることを特徴とする請求項1記載の着色フォトレジストの塗布方法。
- 前記バキュームテーブルが、温調されていることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の着色フォトレジストの塗布方法。
- ウエット洗浄装置と、基板を吸着する開口部を設けたバキュームテーブルを備えた塗布ステージを有する塗布装置との間に、基板の温度をバキュームテーブルの温度に合わせる温調チャンバーを設けたことを特徴とする着色フォトレジストの塗布装置。
- 前記バキュームテーブルに温調機構を設けたことを特徴とする請求項4記載の着色フォトレジストの塗布装置。
- 基板上に着色フォトレジストを塗布して塗布膜を形成し、この塗布膜にフォトマスクを介して露光、現像処理を行うことにより基板上に所望パターンの着色画素を形成するカラーフィルタの製造方法において、ウエット洗浄した後の基板の温度を、塗布膜を形成する塗布装置の塗布ステージの温度に合わせる温調を行うことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
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