JP2008047446A - 大気圧プラズマ発生装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】反応空間2からプラズマ化した第1の不活性ガスから成る一次プラズマ11を吹き出させるプラズマ発生部としての反応容器3と、反応空間2から吹き出した一次プラズマ11が衝突するように第2の不活性ガスに適量の反応性ガスが混合された混合ガス13から成る混合ガス領域15を形成し、プラズマ化した混合ガスから成る二次プラズマ16を発生するプラズマ展開部としての混合ガス空間12と、反応容器3を包囲しかつ混合ガス空間12と混合ガス領域へのガス供給路14を形成する放熱部材7とを備えた構成とした。
【選択図】図1
Description
まず、本発明の大気圧プラズマ発生装置の第1の実施形態について,図1〜図5を参照して説明する。
次に、本発明の大気圧プラズマ発生装置の第2の実施形態について,図6を参照して説明する。なお、以下の実施形態の説明においては、先行する実施形態と共通の構成要素について同一の参照符号を付して説明を省略し、主として相違点についてのみ説明する。
次に、本発明の大気圧プラズマ発生装置の第3の実施形態について,図7、図8を参照して説明する。
次に、本発明の大気圧プラズマ発生装置の第4の実施形態について,図9、図10を参照して説明する。
2 反応空間
3 反応容器(プラズマ発生部)
3b 下端の吹き出し口
4 アンテナ
7 非導電性放熱部材
10 第1の不活性ガス
11 一次プラズマ
12 混合ガス空間(プラズマ展開部)
13 混合ガス
14 ガス供給路
15 混合ガス領域
16 二次プラズマ
21 大気圧プラズマ処理装置
22 ロボット装置
24 可動ヘッド
51 強制冷却手段
52 温度検出手段
55 制御部
Claims (8)
- 反応空間と反応空間に第1の不活性ガスを供給する第1の不活性ガス供給手段と反応空間に高周波電界を印加する高周波電源とを有し、反応空間からプラズマ化した第1の不活性ガスから成る一次プラズマを吹き出させるプラズマ発生部と、反応空間から吹き出した一次プラズマが衝突するように第2の不活性ガスに適量の反応性ガスが混合された混合ガス領域を形成し、プラズマ化した混合ガスから成る二次プラズマを発生するプラズマ展開部と、プラズマ発生部の反応空間を包囲しかつプラズマ展開部の混合ガス領域を形成するとともに混合ガス領域へのガス供給路を有する放熱部材とを備えたことを特徴とする大気圧プラズマ発生装置。
- 放熱部材が、アルミナ、サファイヤ、アルミナイトライド、シリコンナイトライド、窒化ホウ素、炭化珪素の中から選ばれた材質から成る非導電性放熱部材から成ることを特徴とする請求項1記載の大気圧プラズマ発生装置。
- 混合ガス領域に第2の不活性ガスと反応性ガスを予め混合した混合ガスを供給する混合ガス供給手段を設けたことを特徴とする請求項1記載の大気圧プラズマ発生装置。
- 混合ガス領域に第2の不活性ガスを供給する第2の不活性ガス供給手段と、混合ガス領域に反応性ガスを供給する反応性ガス供給手段とを別に設けたことを特徴とする請求項1記載の大気圧プラズマ発生装置。
- 第1の不活性ガスと第2の不活性ガスは、同種の不活性ガスであることを特徴とする請求項1記載の大気圧プラズマ発生装置。
- 第1の不活性ガス及び第2の不活性ガスは、アルゴン、ヘリウム、キセノン、ネオン、窒素、又はこれらの1種又は複数種の混合ガスから選ばれたものであることを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載の大気圧プラズマ発生装置。
- 放熱部材の温度を検出する温度検出手段と、放熱部材を冷却する強制冷却手段と、強制冷却手段を動作制御する制御部とを備え、制御部は温度検出手段による検出温度が第1の設定値以上になったときに強制冷却手段を動作させ、第1の設定値より低い温度に設定された第2の設定値以下になったときに強制冷却手段の動作を停止させることを特徴とする請求項1記載の大気圧プラズマ発生装置。
- 請求項1〜6の何れかに記載の大気圧プラズマ発生装置を、ロボット装置のX、Y、Z方向に移動可能な可動ヘッドに搭載したことを特徴とする大気圧プラズマ処理装置。
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