JP2008043910A - 液滴塗布装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】塗布対象物に対して、直交3軸であるXYZ軸方向に相対的に移動自在なシリンジ保持ブロック50と、これに設けられた複数のシリンジ31A,31Bと、シリンジ31A,31Bの先端部にそれぞれ設けられたニードル32A,32Bとを備え、シリンジ31A,31Bは、XY軸方向に相対位置調整自在であり、シリンジ31A,31Bはシリンジ保持ブロック50のXYZ軸方向の移動により同時に駆動される構成である。
【選択図】図1
Description
塗布対象物に対して、直交3軸であるXYZ軸方向に相対的に移動自在なシリンジ保持ブロックと、
前記シリンジ保持ブロックに設けられた複数のシリンジと、
前記複数のシリンジの先端部にそれぞれ設けられたニードルとを備え、
前記複数のシリンジは、XY軸方向に相対位置調整自在であり、
前記複数のシリンジは前記シリンジ保持ブロックのXYZ軸方向の移動により同時に駆動されることを特徴としている。
塗布対象物に対して、直交3軸であるXYZ軸方向に相対的に移動自在なシリンジ保持ブロックと、
前記シリンジ保持ブロックに設けられた複数のシリンジと、
前記複数のシリンジの先端部にそれぞれ設けられたニードルと、
前記ニードルの先端面をこれに対向する側から撮像する第1の撮像装置とを備え、
前記複数のシリンジは、XY軸方向に相対位置調整自在であり、
前記複数のシリンジは前記シリンジ保持ブロックのXYZ軸方向の移動により同時に駆動されるようになっており、
前記塗布対象物の複数の塗布点の配列ピッチと前記ニードルの先端の配列ピッチとを、前記第1の撮像装置の撮像画像に基づいて前記複数のシリンジの相対位置調整を行うことにより合致させることを特徴としている。
第1のニードルの位置校正は、液滴吐出前の第1のニードルの先端面を対向側より第1の撮像装置で撮像し、第1の撮像装置座標における所定の基準位置に前記第1のニードルの基準点を合致させて行い、
前記塗布対象物の複数の塗布点の配列ピッチだけ前記保持ブロックを移動させた後、
第2のニードルの位置校正は、液滴吐出前の第2のニードルの先端面を対向側より第1の撮像装置で撮像し、前記第1の撮像装置の撮像画像に基づいて前記第2のニードルが設けられたシリンジを前記保持ブロックに対してXY軸方向に位置調整して、第1の撮像装置座標における前記所定の基準位置に前記第2のニードルの基準点を合致させて行い、
全てのニードルの位置校正の終了後に、各ニードル先端より液滴を吐出するとともに前記保持ブロックを移動させて前記塗布対象物の複数箇所に同時に液滴を塗布することを特徴としている。
さらに、本発明の他の態様の液滴塗布方法は、シリンジ保持ブロックに設けられた複数のシリンジと、前記複数のシリンジの先端部にそれぞれ設けられたニードルとを用い、塗布対象物に対して、前記保持ブロックを直交3軸であるXYZ軸方向に相対的に移動させて前記塗布対象物に前記ニードル先端より吐出した液滴を塗布する方法であって、
第1のニードルの位置は、液滴吐出前の第1のニードルを第1の撮像装置で撮像可能な位置まで移動させて前記第1のニードルの先端面を対向側より撮像し、第1の撮像装置座標における所定の基準点と、前記第1のニードルの基準点とのXY軸方向の差異を求めて基準位置として記憶し、
前記塗布対象物の複数の塗布点の配列ピッチだけ前記保持ブロックを移動させた後、
第2のニードルの位置校正は、液滴吐出前の第2のニードルの先端面を対向側より第1の撮像装置で撮像し、前記第1の撮像装置の撮像画像に基づいて前記第2のニードルが設けられたシリンジを前記保持ブロックに対してXY軸方向に位置調整して、第1の撮像装置座標における前記基準位置に前記第2のニードルの基準点を合致させて行い、
全てのニードルの位置校正の終了後に、各ニードル先端より液滴を吐出するとともに前記保持ブロックを移動させて前記塗布対象物の複数箇所に同時に液滴を塗布することを特徴としている。
Pt=P2+a
で表されるので、XY軸位置調整機構60で第2のニードル32Bを誤差aが無くなるように移動修正する必要がある。
2 基板ローダ
3 ディスペンス部
4 操作パネル
5 基板アンローダ
10 基板搬送系
11,11A 基板
20 液滴
30 ディスペンサ
31,31A,31B シリンジ
32,32A,32B ニードル
33 ディスペンスコントローラ
35 画像処理演算部
36,36A,36B モニタ
37 メインコントローラ
41 第1の撮像装置(下カメラ)
42 第2の撮像装置(横カメラ)
43 照明装置
50 シリンジ保持ブロック
60 XY軸位置調整機構
62 Xプレート
63,73 マイクロメータ
65 引っ張りバネ
67 クランプボルト
72 Yプレート
75 圧縮ばね
77 クランプボルト
80 XYテーブル
90,91,95,96 固定具
S1 予熱ステージ
S2 塗布ステージ
S3 冷却・保温ステージ
Claims (8)
- 塗布対象物に対して、直交3軸であるXYZ軸方向に相対的に移動自在なシリンジ保持ブロックと、
前記シリンジ保持ブロックに設けられた複数のシリンジと、
前記複数のシリンジの先端部にそれぞれ設けられたニードルとを備え、
前記複数のシリンジは、XY軸方向に相対位置調整自在であり、
前記複数のシリンジは前記シリンジ保持ブロックのXYZ軸方向の移動により同時に駆動されることを特徴とする液滴塗布装置。 - 塗布対象物に対して、直交3軸であるXYZ軸方向に相対的に移動自在なシリンジ保持ブロックと、
前記シリンジ保持ブロックに設けられた複数のシリンジと、
前記複数のシリンジの先端部にそれぞれ設けられたニードルと、
前記ニードルの先端面をこれに対向する側から撮像する第1の撮像装置とを備え、
前記複数のシリンジは、XY軸方向に相対位置調整自在であり、
前記複数のシリンジは前記シリンジ保持ブロックのXYZ軸方向の移動により同時に駆動されるようになっており、
前記塗布対象物の複数の塗布点の配列ピッチと前記ニードルの先端の配列ピッチとを、前記第1の撮像装置の撮像画像に基づいて前記複数のシリンジの相対位置調整を行うことにより合致させることを特徴とする液滴塗布装置。 - 前記シリンジはXY軸位置調整機構を介して前記保持ブロックに取り付けられており、前記XY軸位置調整機構は、前記保持ブロックに対してX軸方向に移動自在なXプレートと、前記Xプレートを前記X軸に平行な第1の向きに押す第1螺子機構部と、前記Xプレートを第1の向きの反対向きに付勢する第1バネと、前記Xプレートのクランプ手段と、Y軸方向に移動自在なYプレートと、前記Yプレートを前記Y軸に平行な第2の向きに押す第2螺子機構部と、前記Yプレートを第2の向きの反対向きに付勢する第2バネと、前記Yプレートのクランプ手段とを有する請求項1又は2記載の液滴塗布装置。
- 前記第1螺子機構部及び第2螺子機構部がそれぞれマイクロメータで構成されている請求項3記載の液滴塗布装置。
- 前記複数のシリンジのうちの1個は前記XY軸位置調整機構を介することなく前記保持ブロックに固定されており、残りのシリンジの各々は前記XY軸位置調整機構を介して前記保持ブロックに取り付けられている請求項3又は4記載の液滴塗布装置。
- 液滴を吐出する前記ニードルの先端部を前記ニードルの側方より撮像する第2の撮像装置を有している請求項1,2,3,4又は5記載の液滴塗布装置。
- シリンジ保持ブロックに設けられた複数のシリンジと、前記複数のシリンジの先端部にそれぞれ設けられたニードルとを用い、塗布対象物に対して、前記保持ブロックを直交3軸であるXYZ軸方向に相対的に移動させて前記塗布対象物に前記ニードル先端より吐出した液滴を塗布する液滴塗布方法であって、
第1のニードルの位置校正は、液滴吐出前の第1のニードルの先端面を対向側より第1の撮像装置で撮像し、第1の撮像装置座標における所定の基準位置に前記第1のニードルの基準点を合致させて行い、
前記塗布対象物の複数の塗布点の配列ピッチだけ前記保持ブロックを移動させた後、
第2のニードルの位置校正は、液滴吐出前の第2のニードルの先端面を対向側より第1の撮像装置で撮像し、前記第1の撮像装置の撮像画像に基づいて前記第2のニードルが設けられたシリンジを前記保持ブロックに対してXY軸方向に位置調整して、第1の撮像装置座標における前記所定の基準位置に前記第2のニードルの基準点を合致させて行い、
全てのニードルの位置校正の終了後に、各ニードル先端より液滴を吐出するとともに前記保持ブロックを移動させて前記塗布対象物の複数箇所に同時に液滴を塗布することを特徴とする液滴塗布方法。 - シリンジ保持ブロックに設けられた複数のシリンジと、前記複数のシリンジの先端部にそれぞれ設けられたニードルとを用い、塗布対象物に対して、前記保持ブロックを直交3軸であるXYZ軸方向に相対的に移動させて前記塗布対象物に前記ニードル先端より吐出した液滴を塗布する液滴塗布方法であって、
第1のニードルの位置は、液滴吐出前の第1のニードルを第1の撮像装置で撮像可能な位置まで移動させて前記第1のニードルの先端面を対向側より撮像し、第1の撮像装置座標における所定の基準点と、前記第1のニードルの基準点とのXY軸方向の差異を求めて基準位置として記憶し、
前記塗布対象物の複数の塗布点の配列ピッチだけ前記保持ブロックを移動させた後、
第2のニードルの位置校正は、液滴吐出前の第2のニードルの先端面を対向側より第1の撮像装置で撮像し、前記第1の撮像装置の撮像画像に基づいて前記第2のニードルが設けられたシリンジを前記保持ブロックに対してXY軸方向に位置調整して、第1の撮像装置座標における前記基準位置に前記第2のニードルの基準点を合致させて行い、
全てのニードルの位置校正の終了後に、各ニードル先端より液滴を吐出するとともに前記保持ブロックを移動させて前記塗布対象物の複数箇所に同時に液滴を塗布することを特徴とする液滴塗布方法。
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