JP2008034857A - 磁気トンネル接合素子およびその形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 MRAMセル構造36は、NiFeまたはCoFeB/NiFe層からなるフリー層50の上に形成された低磁化のNiFeHfインナー層51と、Taからなる中間層52と、Ruからなるアウター層53とを積層してなる低磁化のキャップ層54を備える。NiFeHfインナー層51は、例えば、NiFeターゲットおよびHfターゲットを、それぞれ400W,200Wのパワーで同時並行スパッタすることで形成される。Hf含有量を高めると、NiFeHfインナー層51の酸素吸着能力が向上する。また、膜厚調整により、MR比、RA値および磁歪の値を変化させ得る。フリー層50上にNiFeHfインナー層51を設けることで、フリー層50とキャップ層54との格子整合を改善でき、デッド層を抑制できる。
【選択図】 図1
Description
また、特に、MgOからなるトンネルバリア層を備えたMTJ素子に、本発明のNiFeHfインナー層を含むキャップ層を適用した場合には、このNiFeHfインナー層で覆われたフリー層が負のHin(ピンド層とフリー層間の層間結合磁界)を生じるので、正のHinを持つ従来のMTJ素子(例えばRu層で覆われたフリー層を備えたMTJ素子)よりも確実に高いdR/R値を得ることができる。
また、NiFeターゲットとHfターゲットの同時並行スパッタリングによりNiFeHfインナー層を形成するようにした場合には、NiFeHfインナー層のHf含有量を容易かつ適切に変化させることができ、TMRまたはMRAMへの応用例においてMTJ性能が向上するようなキャップ層組成を得ることができる。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係るMRAM構造の要部を表すものである。このMRAMセル構造36は、シリコンまたは他の半導体で構成された、トランジスタやダイオード等の素子を含む基板38を含んでいる。基板38の上には、酸化アルミニウム(Al2 O3 )または酸化シリコン等からなる第1の絶縁層39が設けられている。第1の絶縁層39の中には、例えば銅からなる第1の導電線が第1の絶縁層39と共面となるように(表面同士が一致するように)設けられている。ここで、第1の導電線は、電流を+y方向または−y方向に流すために用いられるワード線40である。第1の導電線は、当業者の間では必要に応じて、ディジット線(digit line)、データ線、ロー線(row line)、あるいはカラム線(column line )とも呼ばれる。ワード線40の両側壁および底面は、薄い拡散バリア層またはクラッド層によって包まれていてもよい。ワード線40および第1の絶縁層39の上には、酸化アルミニウムまたは酸化シリコン等からなる第2の絶縁層41が設けられている。第2の絶縁層41の上には、基板38に設けられたトランジスタ(図示せず)に接続された下部導電層45が形成されている。下部導電層45は、通常、図示しない絶縁層と共面となるように(表面同士が一致するように)形成される。一例として、下部導電層45は、シード層42、導電層43およびキャップ層44を積層してなる複合層の構造をとる。
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。
図4は、本発明の第2の実施の形態に係るTMR読出ヘッド60の断面構造を表すものである。本実施の形態では、MTJ素子が、下部導電体(以下、下部(S1)シールド62という。)と、上部導電体(以下、上部(S2)シールド75という。)との間に配設されている。MTJ積層構造のフリー層70の上には、dR/Rを向上させると共に許容し得る磁歪λs をもたらすために、NiFeHfインナー層71を含むキャップ層74が形成されている。
SiO2/Si基板上に形成された膜厚50nmのNiFeHfインナー層の磁気モーメント(Bs)を確認するための実験を行った。5PVDチャンバを3つ備えたアネルバ社製の薄膜スパッタリング装置「C−7100−Ex」を用い、同時並行スパッタリングによって、NiFeHfインナー層を形成した。5PVDチャンバはそれぞれ、5つのターゲット、酸化チャンバおよびスパッタエッチングチャンバを備えている。少なくとも1つの5PVDチャンバは同時並行スパッタリングが可能である。NiFeターゲットおよびHfターゲットは、互いに対向するようにポジション2およびポジション4にそれぞれ配置した。表1に示した膜厚50nmのNiFeHfインナー層の磁気モーメント(Bs)はB−Hルーパにより測定した。
本実施の形態のキャップ層を用いることで実現される磁気特性の向上を確認するため、基板上に、パターニングされていないMTJ積層構造を形成した。本実施例では、トンネルバリア層をMgOで形成し、フリー層を膜厚3.3nmのNi79Fe21層とした。キャップ層は、NiFeHf/Ta/Ru構造とした。NiFeHfインナー層の厚さは約2.5nmとし、Ta中間層の厚さは3.0nmとし、Ruアウター層の厚さは10nmとした。
本実施の形態のキャップ層を用いて実現される磁気特性の向上を確認するため、基板上に、パターニングされていないMTJ積層構造を形成した。本実施例では、トンネルバリア層をAlOxとし、フリー層は膜厚3.3nmのNi79Fe21層とした。トンネルバリア層は、膜厚0.8nmのAl層を酸化することにより形成した。キャップ層は、NiFeHf/Ta/Ru構造とした。NiFeHfインナー層の厚さは約2.5nmとし、Ta中間層の厚さは3.0nmとし、Ruアウター層の厚さは10nmとした。表3の列6に示したように、参考(比較例)として、Ru3/Ta3/Ru10に代表される標準的なキャップ層もNi79Fe21フリー層の上に形成した。シード層、AFM層、ピンド層は実施例2と同様である。107 /4π[A/m]の磁界を印加しながらMTJ積層構造を280℃で5時間アニールした。
Claims (20)
- 磁気デバイスの上部導電層と下部導電層との間に設けられた磁気トンネル接合(MTJ)素子であって、
フリー層の上に形成された低磁化NiFeHf(ニッケル鉄ハフニウム)層を含んで構成された複合キャップ層を備えた
ことを特徴とする磁気トンネル接合素子。 - 前記磁気デバイスが、NiFe(ニッケル鉄)からなるフリー層を有するMRAM(磁気ランダムアクセスメモリ)素子、またはFeCo(鉄コバルト)層もしくはFeCoB(鉄コバルトボロン)層の上にNiFe層を積層してなるフリー層を有するTMR(トンネル磁気抵抗効果)読出ヘッドであり、かつ、前記低磁化NiFeHf層が前記フリー層のうちのNiFe層の上に形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の磁気トンネル接合素子。 - 前記複合キャップ層は、
前記低磁化NiFeHf層の上に形成されたTa(タンタル)層と、
このTa層の上に形成されたRu(ルテニウム)層と
を含むことを特徴とする請求項1に記載の磁気トンネル接合素子。 - 前記下部導電層の上に順に積層されたシード層、反強磁性(AFM)層、ピンド層およびトンネルバリア層をさらに備え、
前記トンネルバリア層の上に前記フリー層が形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の磁気トンネル接合素子。 - 前記トンネルバリア層は、AlOx(酸化アルミニウム)、AlTiOx(アルミニウムチタン酸化物)、またはMgO(酸化マグネシウム)からなり、前記フリー層はNiFeからなる
ことを特徴とする請求項4に記載の磁気トンネル接合素子。 - 前記トンネルバリア層はMgOからなり、前記フリー層はFeCoB層の上にNiFe層を積層してなる積層構造を有する
ことを特徴とする請求項4に記載の磁気トンネル接合素子。 - 前記低磁化NiFeHf層は1nmから5nmの膜厚を有する
ことを特徴とする請求項1に記載の磁気トンネル接合素子。 - 前記低磁化NiFeHf層のFe含有量および前記NiFeからなるフリー層のFe含有量は、いずれも8原子%から21原子%である
ことを特徴とする請求項2に記載の磁気トンネル接合素子。 - 基板上に磁気トンネル接合素子を形成する方法であって、
磁気トンネル接合積層構造の一部をなすフリー層を形成するステップ(a)と、
前記フリー層の上に、NiFeHfインナー層を有する低磁化複合キャップ層を形成するステップ(b)と
を含み、
前記ステップ(b)において、前記NiFeHfインナー層を前記フリー層に接するように形成する
ことを特徴とする磁気トンネル接合素子の形成方法。 - 前記基板をMRAM構造の下部導電体またはTMR読出ヘッドの下部シールドとし、
前記磁気トンネル接合積層構造を、前記基板上に順に形成された、シード層、反強磁性層、ピンド層およびトンネルバリア層を含むように形成し、かつ、
前記フリー層を前記トンネルバリア層の上に形成する
ことを特徴とする請求項9に記載の磁気トンネル接合素子の形成方法。 - 前記フリー層をNiFeにより形成し、前記トンネルバリア層をAlOx、AlTiOxまたはMgOにより形成する
ことを特徴とする請求項10に記載の磁気トンネル接合素子の形成方法。 - FeCoBa層を含むように前記フリー層を形成し、前記トンネルバリア層をMgOにより形成する
ことを特徴とする請求項10に記載の磁気トンネル接合素子の形成方法。 - 複数のチャンバを有する低圧スパッタ成膜システムを用いて前記磁気トンネル接合積層構造のすべての層を形成し、2つのターゲットを同時並行スパッタ(co-sputtering )することが可能なチャンバ内で前記ステップ(b)を行う
ことを特徴とする請求項9に記載の磁気トンネル接合素子の形成方法。 - NiFeターゲットとHfターゲットとを並行スパッタすることにより、NiFeからなるフリー層の上に前記NiFeHfインナー層を形成する
ことを特徴とする請求項13に記載の磁気トンネル接合素子の形成方法。 - 100ワットから300ワットのフォワードパワー(forward power)をHfターゲットに印加すると共に、200ワットから600ワットのフォワードパワーをNiFeターゲットに印加することにより、前記NiFeHfインナー層を成膜する
ことを特徴とする請求項14に記載の磁気トンネル接合素子の形成方法。 - NiFeターゲットのFe含有量は、NiFeからなる前記フリー層のFe含有量と等しく8原子%から21原子%であり、前記NiFeHfインナー層の膜厚は1nmから5nmである
ことを特徴とする請求項14に記載の磁気トンネル接合素子の形成方法。 - 前記低磁化複合キャップ層が、前記NiFeHfインナー層の上に設けられるTa層と、このTa層の上に設けられるRu層とを含むようにする
ことを特徴とする請求項9に記載の磁気トンネル接合素子の形成方法。 - すべての層を形成したのち、107 /4π[A/m](=10000[Oe])の磁界を印加しつつ5時間にわたって所定の温度下で前記磁気トンネル接合積層構造をアニールするステップをさらに含み、
前記トンネルバリア層をAlOxで形成する場合には、前記所定の温度を250°Cから280°Cとし、
前記トンネルバリア層をMgOで形成する場合には、前記所定の温度を300°Cから350°Cとする
ことを特徴とする請求項10に記載の磁気トンネル接合素子の形成方法。 - 前記Hfターゲットに印加するフォワードパワーを上げることにより、前記NiFeHfインナー層のHf含有量を増加させ、これにより、前記低磁化複合キャップ層の酸素吸着能力を高める
ことを特徴とする請求項14に記載の磁気トンネル接合素子の形成方法。 - 前記NiFeHfインナー層の膜厚を変化させることにより、磁気トンネル接合素子のMR比(dR/R)、接合面積抵抗値(RA)および磁歪の値を調整する
ことを特徴とする請求項16に記載の磁気トンネル接合素子の形成方法。
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