JP2008030175A

JP2008030175A - ロアチャックパッド

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Publication number: JP2008030175A
Application number: JP2006208342A
Authority: JP
Inventors: Setsuko Kondo; セツ子近藤
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2006-07-31
Filing date: 2006-07-31
Publication date: 2008-02-14
Anticipated expiration: 2026-07-31
Also published as: JP5008922B2

Abstract

【課題】吸着保持力が良好で、かつ不純物、研磨剤などが表面に付着しにくいロアチャックパッドを提供する。
【解決手段】表裏面を貫通する空気透過穴が設けられたロアチャックパッド本体の一方の面に粘着層が設けられたロアチャックパッドにおいて、前記ロアチャックパッド本体は延伸多孔質ポリフロロテトラエチレンより成ることを特徴とする。前記ｅＰＴＦＥは弾性に優れており、かつはっ水性で、金属イオンその他シリコンウエハの嫌う不純物を吸着しにくいため、吸着保持力が良好で、かつ不純物が表面に付着しないロアチャックパッドを提供できる。また、ｅＰＴＦＥであるため、酸、アルカリなどに対する耐薬品性も良好であり、研磨剤を使用した場合においても侵される危険がないという利点もある。
【選択図】なし

Description

本発明はロアチャックパッド、さらに詳細にはウエハを研磨するに際して前記ウエハを吸引保持する真空チャック装置に、前記ウエハと前記真空チャック装置の真空チャック面との間に介装されるロアチャックパッドに関する。

たとえばウエハのエッジを研磨するに際しては、図６に示すように円筒状に捲回され、かつ回転する研磨布などの研磨パッド１に、ウエハ２のエッジ２１を回転させて接触させて研磨することが行われている。前記ウエハ２を保持し、回転させるチャック装置には、ウエハ２を吸引することによりチャック面３に吸着させ保持する真空チャック装置が知られている。前述のチャック面３は、たとえば特開平９−９２７１０号に開示されているように多孔質板あるいは空気透過穴が形成された金属板が使用されており、この多孔あるいは穴を介して空気を吸引することによりウエハ２をチャック面３に保持するようになっている。

このようにウエハ２をチャック面３に保持するに際しては、上述の文献及び特開平９−２７２０５４号に記載されているように、弾性のあるロアチャックパッド４を介して前記ウエハ２をチャック面３に保持することが行われている。

前記特開平９−９２７１０号によれば、ロアチャックパッドとして、厚さ１０〜１０００μｍのポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂などを用い、口径が０．１〜１００μｍの範囲内で、できるだけ同一口径の貫通孔を多数、一様に開けたシートを使用している。
特開平９−９２７１０号公報特開平９-２７２０５４号公報

上述のようなロアチャックパッドは基本的にウエハの面を研磨するものであり、図３に示すようなウエハのエッジを研磨するものではない。このようなエッジを研磨するロアチャックパッドとしては、ポリエステル製の不織布などが使用されている。

しかしながら、このようなポリエステル製の不織布からなるロアチャックパッドは、ウエハの吸着保持力がそれほど大きくないとともに、使用時間の経過とともに劣化が起きて、ウエハの吸着保持力がさらに低下し、ウエハのエッジ加工中に落下する場合があった。加えて、エッジ加工中に不織布であることから、繊維埃のような不純物を発生し、また不純物、研磨剤を吸着などして、前記ロアチャックパッドの表面の清浄度を低下させるという欠点もある。このため、前記ロアチャックパッドはしばしば洗浄する必要があるが、洗浄のためのシャワーリンス、クリーニングのためのこすり洗いなどを繰り返すことによって、吸着力が低下するため、頻繁に交換する必要があった。

本発明は上述の欠点を除去するためなされたものであり、吸着保持力が良好で、かつ不純物、研磨剤などが表面に付着しにくいロアチャックパッドを提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本発明によるロアチャックパッドは、表裏面を貫通する空気透過穴が設けられたロアチャックパッド本体の一方の面に粘着層が設けられたロアチャックパッドにおいて、前記ロアチャックパッド本体は延伸多孔質ポリフロロテトラエチレンより成ることを特徴とする。

本発明によれば、ロアチャックパッド本体に延伸多孔質ポリフロロテトラエチレン（ｅＰＴＦＥ）を使用している。前記ｅＰＴＦＥは弾性に優れており、かつはっ水性で、金属イオンその他シリコンウエハの嫌う不純物を吸着しにくいため、吸着保持力が良好で、かつ不純物が表面に付着しないロアチャックパッドを提供できる。また、ｅＰＴＦＥであるため、酸、アルカリなどに対する耐薬品性も良好であり、研磨剤を使用した場合においても侵される危険がないという利点もある。

本発明によるロアチャックパッドは、表裏面を貫通する空気透過穴が設けられたロアチャックパッド本体の一方の面に粘着層が設けられたロアチャックパッドにおいて、前記ロアチャックパッド本体は延伸多孔質ポリフロロテトラエチレンより成ることを特徴とする。

本発明による好ましい形態にあっては、前記ロアチャックパッド本体の厚さは、０．５〜１．５ｍｍであることを特徴とし、前記ロアチャックパッド本体の比重は、０．６〜１．７であることを特徴とする。

さらに本発明による他の好ましい形態においては、前記ロアチャックパッド本体の圧縮率は、６０〜２０％であり、復元率は、１５〜４０％であることを特徴とする。

上述のような好ましい形態において、本発明によるロアチャックパッドは、前記ロアチャック本体は、一部の円弧部分が切りかかれた截弧円形状であり、２つの円形帯状で、かつ同心円状の空気透過溝と外側の円形帯状の空気透過溝を直線帯状に接続する中央部の空気透過溝が設けられていることを特徴とする。

さらに、好ましい形態では、ウエハのエッジを研磨するために用いることを特徴とする。

図１は本発明のロアチャックパッドの平面図、図２はその断面図であるが、これらの図より明らかなように、ロアチャックパッド４は、この実施例では、一部の円弧部分が切りかかれた截弧円形状であり、所定のパターン構造を有する空気透過溝４１が形成されている。この実施例において、前記パターン構造は、２つの円形帯状で、かつ同心円状の空気透過溝４１１、４１２と外側の円形帯状の空気透過穴４１１を直線帯状に接続する中央部の空気透過穴４１３が設けられている。符号４３は空気透過穴４１２、４１２及び４１３によってロアチャックパッド４がばらばらにならないようにするためのブリッジである。

さらに、図２に示すように、本発明によるロアチャックパッドによれば、前記ロアチャックパッド本体４０の下部にはロアチャックパッド４の下面に設けられた粘着層４２を介して剥離フィルム５が貼着されている。この剥離フィルム５としては、たとえば剥離処理をされたポリエステルフィルム、剥離紙等を使用することが可能である。

前記ロアチャックパッド４を使用するにあたっては、前記剥離フィルム５を剥離して、チャック面３に貼着するとともに、前記ブリッジ４３を切断除去する。

このようなロアチャックパッド４におけるロアチャックパッド本体４０は延伸多孔質ポリフロロテトラエチレン（ｅＰＴＦＥと言う）で製造されている。前記ｅＰＴＦＥは、特公昭５１−１８９９１号に記載されたポリフロロテトラエチレンであり、高度の延伸加工技術により、柔軟で強じんな繊維構造としたシートであり（たとえば、特開平１１−８０７０５号参照）、シール材として使用されている。

このようなロアチャックパッド本体４０の厚さは、好ましくは、０．５〜１．５ｍｍであるのがよい。０．５ｍｍ未満であると、強度が小さくなりすぎ、耐久性を損なう恐れを生じるとともに、固着されたチャック面の凹凸をロアチャックパッド表面に浮き上がらせる恐れも生じる。一方１．５ｍｍを越えると、厚みのばらつきによって均一な研磨を行えない恐れを生じる。特に好ましくは１ｍｍ前後である。

上述のロアチャックパッド本体４０の比重は、好ましくは０．６〜１．７である。一般に、比重が小さいほうが密着性が良好であるが、小さすぎると強度が小さくなる恐れがあり、一方比重が大きすぎると密着性（吸着保持性）が低下する恐れがある。

さらに、ロアチャックパッド本体４０の圧縮率は、好ましくは６０〜２０％（２５℃、ＪＩＳ−Ｒ−３４５３で測定）であるのがよい。

また、ロアチャックパッド本体４０の復元率は、好ましくは１５〜４０％（２５℃、ＪＩＳ−Ｒ−３４５３で測定）であるのがよい。

上述の圧縮率及び復元率で表わしたロアチャックパッド本体４０の柔らかさが大きいほど吸着保持力は大きいが、柔らかすぎると回転中に歪みを生じる恐れがあり、良好にウエハを研磨できない恐れがある。したがって上記範囲の圧縮率および復元率を使用している。

具体例として、厚さ１ｍｍ、比重０．６、圧縮率５６．８％、復元率１７．９％のロアチャックパッド本体を備えたロアチャックパッドをチャック面に貼着し、吸引保持した結果、従来のものと比較して１．５倍強の吸引保持力を示した。このため回転加工時の押し付けエッジ加工保持力が上昇した。

以上、本発明によれば、ロアチャックパッド本体に延伸多孔質ポリフロロテトラエチレン（ｅＰＴＦＥ）を使用している。前記ｅＰＴＦＥは弾性に優れており、かつはっ水性で、金属イオンその他シリコンウエハの嫌う不純物を吸着しにくいため、吸着保持力が良好で、かつ不純物が表面に付着しないロアチャックパッドを提供できる。また、ｅＰＴＦＥであるため、酸、アルカリなどに対する耐薬品性も良好であり、研磨剤を使用した場合においても侵される危険がないという利点もある。

本発明のロアチャックパッドの一例の平面図。本発明のロアチャックパッドの一例の断面図。ロアチャックパッドの使用状態を説明する説明図。

符号の説明

１研磨パッド
２ウエハ
３チャック面
４ロアチャックパッド
４０ロアチャックパッド本体
４１空気透過穴
４２粘着層
４３ブリッジ
５剥離フィルム

Claims

表裏面を貫通する空気透過穴が設けられたロアチャックパッド本体の一方の面に粘着層が設けられたロアチャックパッドにおいて、前記ロアチャックパッド本体は延伸多孔質ポリフロロテトラエチレンより成ることを特徴とするロアチャックパッド。
前記ロアチャックパッド本体の厚さは、０．５〜１．５ｍｍであることを特徴とする請求項１記載のロアチャックパッド。
前記ロアチャックパッド本体の比重は、０．６〜１．７であることを特徴とする請求項１または２記載のロアチャックパッド。
前記ロアチャックパッド本体の圧縮率は、６０〜２０％であることを特徴とする請求項１から３記載のいずれかのロアチャックパッド。
前記ロアチャックパッド本体の復元率は、１５〜４０％であることを特徴とする請求項１から４記載のいずれかのロアチャックパッド。
前記ロアチャックパッド本体は、一部の円弧部分が切りかかれた截弧円形状であり、２つの円形帯状で、かつ同心円状の空気透過溝と外側の円形帯状の空気透過溝を直線帯状に接続する中央部の空気透過溝が設けられていることを特徴とする請求項１から５記載のいずれかのロアチャックパッド。
ウエハのエッジを研磨するために用いることを特徴とする請求項１から６記載のいずれかのロアチャックパッド。