JP2007142220A - ワーク用チャック装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空源に通じる吸引孔8を中央に備えたチャックテーブル3の円形のテーブル面3aに、テーブル面3aと同等以上の大きさを有する支持プレート4を介して吸着パッド5を取り付け、支持プレート4の中央部に吸引孔8に通じる中継孔を形成し、吸着パッド5に、中継孔9を取り囲む複数の環状の吸着溝を同心状に形成すると共に、これらの吸着溝と中継孔とを連通させるための連通溝を放射状に形成する。
【選択図】図1
Description
上記主軸2とチャックテーブル3とは、図示したように一体に形成しても良いが、図7に示すようにそれらを別体に形成し、螺子6で相互に連結しても良い。
しかし、上記連通溝12を、吸着パッド5に形成することなく、支持プレート4のパッド取付面4aに形成しても良い。この場合でも、該支持プレート4をチャックテーブル3に取り付ける前に該連通溝12を加工することができるので、テーブル面3aに直接連通溝12を形成する従来品に比べ、その加工は容易である。
なお、この第4実施形態において、上記支持プレート4を、その厚さに応じて図6の第2実施形態と同じように、螺子18でチャックテーブル3のテーブル面3aに取り付けることもできる。
また、図11に示すように、ワーク30の外周の一部に直線状のオリエンテーションフラット30eが形成されている場合には、支持プレート4及び吸着パッド5を、このワーク30と相似形で該ワーク30より小径に形成することもできる。即ち、外周の一部に直線部19を有する形に形成することができる。この場合、チャックテーブル3のテーブル面3aは円形のままで良いため、このような特殊な形状のワーク30に対しても対応が容易になる。
3 チャックテーブル
3a テーブル面
4 支持プレート
4a パッド取付面
5 吸着パッド
8 吸引孔
9 中継孔
11 吸着溝
12 連通溝
30 ワーク
Claims (5)
- 真空源に通じる吸引孔を中央に有するチャックテーブルの円形のテーブル面に、該テーブル面と同等以上の大きさを有する支持プレートを介して吸着パッドを取り付け、該支持プレートに上記吸引孔に通じる中継孔を形成すると共に、吸着パッドに、該中継孔を取り囲むように位置してこの中継孔に連通する環状の吸着溝を形成したことを特徴とするワーク用チャック装置。
- 上記テーブル面と支持プレートのパッド取付面とが、上記吸引孔及び中継孔が開口する部分を除いては平面をなし、上記吸着パッドに、上記吸着溝と中継孔とを相互に連通させるための連通溝が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のチャック装置。
- 上記支持プレートと吸着パッドとが、互いに同じ外形形状及び大きさを有することを特徴とする請求項1又は2に記載のチャック装置。
- 上記支持プレートがテーブル面より大きく形成されていて、該テーブル面の周囲にはみ出した状態に取り付けられていることを特徴とする請求項1から3の何れかに記載のチャック装置。
- 上記支持プレートが、加工時のワークの撓みに応じて弾性変形可能な程度に柔軟性を有することを特徴とする請求項1から4の何れかに記載のチャック装置。
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