JP6247254B2 - 研磨パッド及びその製造方法 - Google Patents
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Description
1.炭化ケイ素基板の化学機械研磨に用いられる研磨パッドであって、
人工皮革及び該人工皮革に含浸される高分子弾性体を含む第1の研磨材と、
第1の研磨材同士を接着する接着剤からなり、第1の研磨材よりも硬度が高い第2の研磨材とを含み、
研磨パッドの研磨面に第1の研磨材の研磨面及び第2の研磨材の研磨面が交互に配置されていることを特徴とする研磨パッド。
2.第1の研磨材の研磨面が前記人工皮革の表面と交わる切断面であることを特徴とする前記1に記載の研磨パッド。
3.第1の研磨材の硬度がASKER C 75〜85の範囲内であることを特徴とする前記1に記載の研磨パッド。
4.第2の研磨材の硬度がASKER C 90〜98の範囲内であることを特徴とする前記1に記載の研磨パッド。
5.第2の研磨材同士の間隔が0.5mm〜5.0mmの範囲内であることを特徴とする前記1に記載の研磨パッド。
6.炭化ケイ素基板の化学機械研磨に用いられる研磨パッドの製造方法であって、
人工皮革を切断して複数の一次材料を形成し、
各一次材料に高分子弾性体を含浸して複数の二次材料を形成し、
各二次材料の表面及び/又は裏面に接着剤を塗布し、二次材料同士を前記接着剤で接着して積層体を形成し、
前記積層体を切断して二次材料からなる第1の層と前記接着剤からなる第2の層が交互に配置された切断面からなる研磨面を形成する工程を含む方法。
まず、原材料である人工皮革を切断することによって、複数の一次材料を形成する(図5参照)。一次材料は、人工皮革の切断片である。この工程では、原材料である人工皮革の表面と裏面との間を縦断するように人工皮革が切断される。
次に、一次材料に高分子弾性体を含浸して、複数の二次材料を形成する(図5参照)。二次材料は、人工皮革の切断片に高分子弾性体を含浸させたものである。この工程では、例えば、一次材料をポリウレタン系エラストマー溶液に浸漬し、次いで、エラストマーを凝固させることによって、二次材料が形成される。この方法によれば、人工皮革を圧縮しないで第1の研磨材10の硬度を高めることができる。したがって、この方法によって製造された第1の研磨材10は、人工皮革を圧縮する方法で製造されたものよりも多くの又は大きい空隙が内部に残存しているので、スラリーの保持性能が高い。
次に、複数の二次材料のそれぞれの表面及び/又は裏面に接着剤を塗布し、その接着剤で二次材料同士を接着して積層体を形成する(図5参照)。積層体は、接着強度を高めるために加圧されてもよい。
次に、積層体を切断して、切断面からなる研磨面30を有する三次材料を形成する。このとき、積層体は、研磨面30に二次材料からなる層(第1の研磨材10)と接着剤からなる層(第2の研磨材20)が交互に配置されるように切断される。このように積層体が切断されることによって、研磨面30には、第1の研磨材10の研磨面と第2の研磨材20の研磨面が存在することになる。三次材料の裏面(研磨面30と反対の面)には、両面テープ50が貼付される。
次に、三次材料の研磨面30に溝40が形成される。溝40は、プレス加工又は切削加工によって形成することができる。
最後に、プレス加工などにより、三次材料を円形に成形して、研磨パッドが完成する。
20 第2の研磨材
30 研磨パッドの研磨面
40 溝
50 両面テープ
Claims (6)
- 炭化ケイ素基板の化学機械研磨に用いられる研磨パッドであって、
人工皮革及び該人工皮革に含浸される高分子弾性体を含む第1の研磨材と、
第1の研磨材同士を接着する接着剤からなり、第1の研磨材よりも硬度が高い第2の研磨材とを含み、
研磨パッドの研磨面に第1の研磨材の研磨面及び第2の研磨材の研磨面が交互に配置されていることを特徴とする研磨パッド。 - 第1の研磨材の研磨面が前記人工皮革の表面と交わる切断面であることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
- 第1の研磨材の硬度がASKER C 75〜85の範囲内であることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
- 第2の研磨材の硬度がASKER C 90〜98の範囲内であることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
- 第2の研磨材同士の間隔が0.5mm〜5.0mmの範囲内であることを特徴とする請求項1に記載の研磨パッド。
- 炭化ケイ素基板の化学機械研磨に用いられる研磨パッドの製造方法であって、
人工皮革を切断して複数の一次材料を形成し、
各一次材料に高分子弾性体を含浸して複数の二次材料を形成し、
各二次材料の表面及び/又は裏面に接着剤を塗布し、二次材料同士を前記接着剤で接着して積層体を形成し、
前記積層体を切断して二次材料からなる第1の層と前記接着剤からなる第2の層が交互に配置された切断面からなる研磨面を形成する工程を含む方法。
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JP2015138489A JP6247254B2 (ja) | 2015-07-10 | 2015-07-10 | 研磨パッド及びその製造方法 |
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JP6247254B2 true JP6247254B2 (ja) | 2017-12-13 |
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JP2015138489A Active JP6247254B2 (ja) | 2015-07-10 | 2015-07-10 | 研磨パッド及びその製造方法 |
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