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Claims (57)
- フィード液をゼオライトに接触させて精製無機ハロゲン化物又はオキシハロゲン化物液を生成することを含む、無機ハロゲン化物又はオキシハロゲン化物フィード液を精製する方法。
- ゼオライトが、水素型のY型ゼオライトである、請求項1に記載の方法。
- ゼオライトが、少なくとも約5のシリカ/アルミナ比を有する、請求項1に記載の方法。
- ゼオライトが、精製無機ハロゲン化物又はオキシハロゲン化物液への、アルカリ金属又はアルカリ土類金属の実質的混入が防がれるような濃度のアルカリ金属又はアルカリ土類金属を含有する、請求項1に記載の方法。
- ゼオライトが、約3重量%未満のNa2Oを含有する、請求項1に記載の方法。
- ゼオライトが、約0.05重量%未満のNa2Oを含有する、請求項5に記載の方法。
- ゼオライトが、約90ミクロンを超える大きさのゼオライト粒子を含む、請求項1に記載の方法。
- ゼオライトが、約400ミクロンを超える大きさのゼオライト粒子を含む、請求項7に記載の方法。
- ゼオライトが、少なくとも約5のシリカ/アルミナ比を有する、請求項1に記載の方法。
- ゼオライトが、少なくとも約80のシリカ/アルミナ比を有する、請求項9に記載の方法。
- ゼオライトが、約20〜約30オングストロームの平均孔径を有する、請求項1に記載の方法。
- ゼオライトが、約24〜約26オングストロームの平均孔径を有する、請求項11に記載の方法。
- ゼオライトが、水素型のY型ゼオライトであり、約5.1のSiO2/Al2O3モル比を有し、約2.8のNa2O重量%を有し、約24.5オングストロームの単位セルサイズを有し、約730m2/グラムのBET表面積を有する、請求項1に記載の方法。
- ゼオライトが、水素型のY型ゼオライトであり、約80のSiO2/Al2O3モル比を有し、約0.03のNa2O重量%を有し、約24.2オングストロームの単位セルサイズを有し、約780m2/グラムのBET表面積を有する、請求項1に記載の方法。
- ゼオライトが、不活性雰囲気下で加熱され、その中に存在する揮発性種が除去されている、請求項1に記載の方法。
- ゼオライトが、不活性雰囲気下で、少なくとも約150℃の温度まで加熱されている、請求項15に記載の方法。
- 無機ハロゲン化物又はオキシハロゲン化物が、SiCl4、GeCl4及びPOCl3からなる群から選択される、請求項1に記載の方法。
- 金属不純物がフィード液から除去される、請求項1に記載の方法。
- 金属不純物が金属イオンである、請求項18に記載の方法。
- 金属不純物が、アルミニウム、アンチモン、バリウム、カルシウム、クロム、コバルト、銅、鉄、マグネシウム、マンガン、ニッケル、カリウム、ナトリウム、ストロンチウム、スズ及び亜鉛からなる群から選択される、請求項18に記載の方法。
- 分子性不純物がフィード液から除去される、請求項1に記載の方法。
- 分子性不純物が、C−H、Si−H、Si−OH、O−H、C−O及びH−Clからなる群から選択される化学結合を含有する、請求項21に記載の方法。
- 金属不純物及び分子性不純物の両方がフィード液から除去される、請求項1に記載の方法。
- フィード液をシリカゲルに接触させる段階をさらに含む、請求項1に記載の方法。
- フィード液が、少なくとも1つのゼオライト及びシリカゲルの混合物と接触させられる、請求項1に記載の方法。
- フィード液が、2以上のゼオライトの混合物と接触させられる、請求項1に記載の方法。
- フィード液が、連続工程においてゼオライトと接触させられる、請求項1に記載の方法。
- ゼオライトが、使い捨て液体濾過ハウジング中に含有される、請求項1に記載の方法。
- a)液体注入口及び液体排出口を含む液体濾過ハウジング、及び
b)水素型のY型ゼオライト
を含む、無機ハロゲン化物又はオキシハロゲン化物フィード液を精製する装置。 - ゼオライト保持装置をさらに含む、請求項29に記載の装置。
- 液体濾過ハウジングが、無機ハロゲン化物又はオキシハロゲン化物液を汚染させにくい耐薬品性材料から構成される、請求項29に記載の装置。
- ゼオライトが、少なくとも約5のシリカ/アルミナ比を有する、請求項29に記載の装置。
- ゼオライトが、精製無機ハロゲン化物又はオキシハロゲン化物液への、アルカリ金属又はアルカリ土類金属の実質的混入が防がれるような濃度のアルカリ金属又はアルカリ土類金属を含有する、請求項29に記載の装置。
- ゼオライトが、約3重量%未満のNa2Oを含有する、請求項29に記載の装置。
- ゼオライトが、約0.05重量%未満のNa2Oを含有する、請求項34に記載の装置。
- ゼオライトが、約90ミクロンを超える大きさのゼオライト粒子を含む、請求項29に記載の装置。
- ゼオライトが、約400ミクロンを超える大きさのゼオライト粒子を含む、請求項36に記載の装置。
- ゼオライトが、少なくとも約5のシリカ/アルミナ比を有する、請求項29に記載の装置。
- ゼオライトが、少なくとも約80のシリカ/アルミナ比を有する、請求項38に記載の装置。
- ゼオライトが、約20〜約30オングストロームの平均孔径を有する、請求項29に記載の装置。
- ゼオライトが、約24〜約26オングストロームの平均孔径を有する、請求項40に記載の装置。
- ゼオライトが、約5.1のSiO2/Al2O3モル比を有し、約2.8のNa2O重量%を有し、約24.5オングストロームの単位セルサイズを有し、及び約730m2/グラムのBET表面積を有する、請求項29に記載の装置。
- ゼオライトが、約80のSiO2/Al2O3モル比を有し、約0.03のNa2O重量%を有し、約24.2オングストロームの単位セルサイズを有し、及び約780m2/グラムのBET表面積を有する、請求項29に記載の装置。
- ゼオライトが揮発性種を実質的に含まない、請求項29に記載の装置。
- ゼオライトが不活性雰囲気下で加熱され、その中に存在する揮発性種が除去されている、請求項29に記載の装置。
- ゼオライトが、不活性雰囲気下で少なくとも約150℃の温度まで加熱されている、請求項45に記載の装置。
- 液体濾過ハウジングが使い捨てである、請求項29に記載の装置。
- 液体濾過ハウジングが、ペルフルオロアルコキシ(PFA)から構成されている、請求項29に記載の装置。
- 液体濾過ハウジングが、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)から構成されている、請求項29に記載の装置。
- 液体濾過ハウジングを製造プロセスに連結する液体導管をさらに含む、請求項29に記載の装置。
- 液体導管が、ペルフルオロアルコキシ(PFA)又はポリテトラフルオロエチレン(PTFE)から構成されている、請求項50に記載の装置。
- フィード液を水素型のゼオライトに接触させて精製無機ハロゲン化物又はオキシハロゲン化物液を生成することを含む、無機ハロゲン化物又はオキシハロゲン化物フィード液を精製する方法。
- ゼオライトが、5.1〜80のシリカ/アルミナ比を有する、請求項1に記載の方法。
- ゼオライトが、5.1〜12のシリカ/アルミナ比を有する、請求項1に記載の方法。
- ゼオライトが、0.03〜2.8重量%のNa2Oを含有する、請求項1に記載の方法。
- ゼオライトが、5.1〜80のシリカ/アルミナ比を有する、請求項29に記載の装置。
- ゼオライトが、0.03〜2.8重量%のNa2Oを含有する、請求項29に記載の方法。
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