JP5206185B2 - 高純度クロロポリシランの製造方法 - Google Patents
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Description
本発明で製造できるクロロポリシランは、<式1>SinCl2n+2(但しnは2以上の整数)で表されるものである。クロロポリシランの具体例としてはSi2Cl6、Si3Cl8、Si4Cl10、Si5Cl12、Si6Cl14の中から一つ以上を選択するものであり、これらの成分の中で1つ以上のCl基をH、Br、IなどのCl以外の1価の基と置換したものも含まれる。これらの内で好ましいのは、クロロポリシランの主成分がSi2Cl6、Si3Cl8、Si4Cl10のいずれかであるものであり、より好ましくは主成分がSi2Cl6であるものである。
分析装置 :ガスクロマトグラフ(型式「5890」)、ヒューレットパッカード社製
検出器 :TCD
検出器温度:300℃
カラム :「TC−5」(長さ25m、内径0.53mm)、GLサイエンス社製
キャリアーガス:ヘリウム
試料注入口温度:270℃
カラム昇温条件:50℃〜300℃(昇温速度:毎分10℃)
チャートに現れた成分ピークの面積の全ピーク面積に対する比を、各成分の質量組成比の推定値として用いた。全ピーク面積の合計に対する成分ピーク面積の百分率を面積%と呼ぶ。
クロロポリシランに含まれる金属不純分の量は、クロロポリシランをフレームレス型原子吸光分析装置に直接注入して測定サンプル中の金属成分の濃度を測定した。
ろ過後にフィルター上に残ったろ過残渣(ケーキ)は、フィルターがメンブランフィルターの場合はかき取りによって、フィルターが焼結フィルターや非焼結金網フィルターなどの凹凸のあるもので、ケーキのかきとりが難しい場合は逆方向から窒素ガスを吹きつけたりしてケーキを取り外して分析した。ケーキは粉状であるので、粘着テープの粘着面に粉を載せて試料台上にセットし、蛍光X線分析法によって元素分析を行った。
蛍光X線分析は株式会社リガク製のZSX−100e型蛍光X線分析装置を用い、ファンダメンタルパラメータ法による解析を行なって原子番号が9番(フッ素)以上の元素についての定量計算を行なった。
図1の概略図で示される処理装置(材質:SUS316)でクロロポリシランを含む液(以下、原料クロロポリシランと呼ぶ)の処理を行なった。図1の2で示す処理前クロロポリシラン加圧槽に、表1に示す組成の原料ポリクロロシラン100kgと、四塩化珪素を原料とする熱CVD装置で発生した多結晶シリコン微粒子のうち、電子顕微鏡で計測した体積基準の平均粒径が0.08μmである多結晶シリコン微粒子10gを入れ、液温20℃で図1の1で示す窒素を毎分1リットルの速度でバブリングさせることによって30分間攪拌した。その後、1の窒素によって加圧槽内を0.5MPaに加圧し、4の非焼結金網フィルター(SUS−316L製、公称ろ過精度2μm,製品名CUNOマイクロスクリーンESM 20インチカートリッジ型)を経て5の受器に毎分3kgの速度でろ液がたまるように流量調節バルブ6を調節しながら全量をろ過した。
実施例1と同じ方法で多結晶シリコン微粒子を加えた原料クロロポリシラン500kgを、実施例1と同じろ過装置でろ過したところ、400kgをろ過した時点で流量調節バルブ6を全開にしても、毎分3kgの流出量が得られなくなったので、いったんろ過を中止した。フィルターハウジングのジャケットをスチーム加熱で80℃に加温し、乾燥された窒素を24時間流してろ過装置内を乾燥させた後、5%TMAH水溶液を2時間フィルターに流通させた。次に、イオン交換水を流通させ、フィルターハウジングのジャケットをスチーム加熱で80℃に加温して、乾燥窒素気流で十分に乾燥し、フィルターを再生した。ここで、フィルターハウジングの温度を25℃に戻し実施例1と同じようにバルブ6とフィルターハウジング3の間を開放して目開き0.2μのメンブランフィルターをあてがい、受器5側から1MPaの高圧窒素を流通させて4のフィルターのケーキを逆洗してメンブランフィルターに捕集したが、メンブランフィルターには何も付着しなかった。
比較例1では実施例1と同じ、金属不純分を含む原料クロロポリシランに、非イオン性固体微粒子を接触させることなく、ろ過と蒸留のみを行って高純度化を試みた。
2:処理前クロロポリシラン加圧槽
3:フィルターハウジング
4:フィルターカートリッジ
5:ろ過後クロロポリシラン受器
6:流量調節バルブ
Claims (4)
- <式1> SinCl2n+2 (但しnは2以上の整数である) で表わされるクロロポリシランを含む液体中の金属不純分を、該液体と、電子顕微鏡観察による平均1次粒径が10nm以上10μm以下の固体珪素を含む、非イオン性固体微粒子とを接触させる第一工程と、該固体微粒子を分離する第二工程とを含むことによって除去する、高純度クロロポリシランの製造方法
- 固体微粒子を分離する第二工程が、フィルターによるろ別であることを特徴とする請求項1の高純度クロロポリシランの製造方法。
- 固体微粒子を分離する第二工程で使用したフィルターをアルカリ性液体によって洗浄し、再生使用することを特徴とする請求項1または2の高純度クロロポリシランの製造方法。
- アルカリ性液体が水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)を含むことを特徴とする請求項3の高純度クロロポリシランの製造方法。
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