JP2007524033A - 振動ダンパ - Google Patents

Abstract

事前圧縮型の振動ダンパは、機器の真空排気の間におけるポンプによる前記機器への振動の伝達を抑制するために設けられる。
【選択図】 図４

Description

本発明は、振動ダンパに関する。

振動ダンパは、ポンプ作動の間に、例えば、ターボ分子ポンプのような高真空ポンプから真空排気される機器に伝達される振動を減少させるために使用される。振動ダンパは、機械的振動に対して敏感な機器を真空排気するために真空ポンプを使用する場合に、特に利点がある。例えば、真空排気される走査型電子顕微鏡に伝達される振動は、その顕微鏡によって行われる測定に不正確さをもたらすおそれがあり、また、加工工具に伝達される振動は、それによって、製造される製品に特定形状からのずれを引き起こすおそれがある。

図２を参照すると、振動ダンパ０は、一般的に、真空排気される機器７の流体排出口９と真空ポンプ８の流体入口１０との間に連結される。図１は、公知の振動ダンパ０の構成を一層詳細に示している。振動ダンパ０は、その各々が、鋼製ベローズ４のそれぞれの端部に溶接された２つのフランジ２、３を含む。各フランジ２、３は、その中に形成された開口２ａ、２ｂを有し、これらの開口２ａ、２ｂは、軸線方向に整列している。ベローズ４は、ポンプ８によって機器７からポンプ吸引された流体のための、振動ダンパ０を通る流路４ａを形成する。

流路４ａ内の流体が、低圧、つまり真空状態であり、また、大気圧による外力が振動ダンパ０を圧縮するように作用する場合の圧縮力の下で、ベローズ４が潰れるのを防止するために、機械的支持体５が設けられる。図１に示す例では、機械的支持体５は、フランジ２、３間でベローズ４を囲む弾性円筒体として形成される。

機器が真空状態でない時にフランジ３から垂下したポンプ８の重量の下でベローズ４が伸長するのを防止するために、相互連結部材６ａ、６ｂが設けられる。図１に示す例では、部材６ａは、フランジ２の頂面に溶接されたＶ字形の金属ストラップの形態であり、また部材６ｂは、フランジ３の底面に溶接された同様なストラップの形態であって、部材６ａ、６ｂは、連結されるようになっている。図示した例では、ダンパ０が何らの他の構成要素にも結合されていない時には、部材６ａ、６ｂは、接触した状態になっていない。

ポンプ８から機器７への振動の伝達を抑制するパラメータは、ダンパ０の剛性（ｋ）である。ベローズ４は一般的に、その低い固有の軸線方向の剛性の観点で、流路４ａを形成して、機器７に対する振動の伝達を最小にするように選択される。相互連結ストラップ６ａ、６ｂは、振動ダンパ０が圧縮荷重を受けるような真空状態の下にある時は、接触状態になっていない。その結果、振動伝達の主要経路は、機械的支持体５を通るものとなる。

図２に示すように、機器７とポンプ８との間に配置された振動ダンパは、ポンプ８を機器７に向けて付勢するように作用する、大気と、真空状態との間の圧力差に関連して、ポンプ８の下端部に作用する大きな静的な力を受ける。この力は、ダンパ０の機械的支持体５によって支えられなくてはならない。しかしながら、公知の弾性的な機械的支持体５が、そのような荷重状態に曝された場合には、非線形の漸増する剛性特性を示す、それらの超弾性により、機械的支持体は次第に硬直化し、又は、高い剛性になる。そのような圧縮荷重状態の下では、この高い剛性は、機器７に対する振動の伝達を減少させるよりも、むしろ増大させる。更に、公知の弾性的な機械的支持体５は、一般的に、座屈モードにおいて破損する。

本発明の１つの目的は、これらの先行技術による振動ダンパに関連する問題点を実質的に減少させた振動ダンパを提供することである。

本発明の１つの態様によると、機器の真空排気の間におけるポンプによる前記機器への振動の伝達を抑制するための振動ダンパを提供し、このダンパは、ポンプによって機器から吸引された流体を周囲大気から隔離するためのベローズ装置と、ダンパの使用中にベローズ装置の軸線方向の圧縮を制限するための手段とを含み、ダンパは軸線方向に、予め圧縮される。

実際的には、ダンパの伸長の許容される大きさは、ベローズの可撓性、機器の設置位置内で使用可能な空間及び真空ポンプに取付けられた周辺装置の可撓性によって決まる。これは一般的には、５ｍｍから１０ｍｍである。ポンプに加わる静的力の大きさも予め決っているので、振動ダンパの剛性特性は限定される。最も簡単には、力と変位との関係は、剛性が一定値を有するように、図６の線１９で示すような直線状とすることができる。上述したような先行技術による公知のシステムでは、機械的支持体は弾性材料で形成される。そのような材料は、それらが漸増する剛性特性を有するような超弾性荷重と変形の関係を有する。このタイプの関係は、図６に曲線２０で表している。一般的な荷重状況（Ｆで表している）においては、剛性曲線２０は、剛性値の増大を示す急勾配になっていることが理解できる。本ダンパに関連した剛性特性は、設計では図６に線１８で表したように荷重がかかっている時には小さく、機器への振動の伝達が最小になるようにするのが望ましい。しかしながら、ダンパ１の全許容伸長は、上に述べたように予め決められており、従って機器とポンプとの間への取付け前におけるダンパの予めの圧縮により、図６に線１７で表すように低い変位において、はるかに高い剛性特性を与えることができ、伸長限界値を越えることなく、ダンパによって必要な適用荷重を支えることができるようになる。従って、はるかに低い剛性、その結果として、より良好な振動伝達特性を有する機械的支持体を得ることができる。

本発明の別の態様によると、機器の真空排気の間におけるポンプによる前記機器への振動の伝達を抑制するための振動ダンパを提供し、このダンパは、ポンプによって機器から吸引された流体を周囲大気から隔離するための、軸線の周りで延びるベローズ装置と、ダンパがベローズ装置を圧縮する傾向にある軸線方向の外力を受けた時に張力を受けるように、引張り状態で軸線の周りに配置された抵抗手段とを含み、抵抗手段の伸長に対する抵抗力が、ベローズ装置の軸線方向の圧縮力に対抗する。

公知の振動ダンパに関連する更なる問題点は、ロータ焼付きによるポンプ破損の場合に、それらダンパが安全に関わる可能性がある固有の脆弱さを示すことである。ポンプ焼付き時には、ロータの角運動量に関連した大量のエネルギーが存在し、このエネルギーを放散させる必要がある。幾つかの状況では、ロータブレードがロータからもぎ取られ、従って内部構成要素の破壊及び変形が起こる時に、エネルギーの大部分が吸収されることになり、それ故に、破損は、ポンプハウジング内に限定されることになる。しかしながら、ベル形ロータを備えたポンプのような幾つかのポンプでは、ロータが、その各々が大きな衝撃力をもつ多量の回転モーメントを有する少数の部分片に分裂する傾向がある。各部分片がポンプハウジングに衝突する時に、大きなトルクが、ロータからポンプハウジングに伝達される可能性がある。その結果、ポンプハウジングは、回転する傾向になる。ポンプが取付けられた機器は、大きな質量になり、かつ、移動しない傾向になるので、応力の最大点は、機器とポンプとが一体に連結されている振動ダンパの位置に存在することになる。従来型の振動ダンパは、そのような回転荷重に対して最小の抵抗力しか有しておらず、また、損傷し、その結果ポンプが機器から外れて、更なる損傷又は傷害を引き起こす。

従って、本発明の更なる目的は、真空ポンプのあらゆるそのような回転運動を阻止し、その結果システムの安全性を高めた振動ダンパを提供することである。

本発明の別の態様によると、機器の真空排気の間におけるポンプによる前記機器への振動の伝達を抑制するための振動ダンパを提供し、このダンパは、ポンプによって機器から吸引された流体を周囲大気から隔離するためのベローズ装置を含み、ベローズ装置の一端部は、少なくとも１つの部材が、そこからベローズ装置の他端部に向かって軸線方向に延びるフランジに結合され、また、本ダンパは、ベローズ装置の一端部が他端部に対して回転すると、少なくとも１つの部材に接触して、それらの端部間の相対的回転運動を阻止するための手段を含む。

添付図面を参照しながら、単に実施例として、本発明を以下に詳細に説明する。

図２は、本発明の振動ダンパ１を組み込むのに適した一般的な真空システムを示す。従って、この図２に示した構成要素を、後続する図面と共に参照することにする。

図３、図４及び図５に示すように、振動ダンパ１は、該ダンパ１を機器７の流体排出口９のフランジに連結するための第１のフランジ１１と、前記ダンパ１を真空ポンプ８の流体入口１０に連結するための第２のフランジ１２とを含む。ダンパ１は更に、その両端部において気密シールを用いてそれぞれのフランジ１１、１２に結合されて機器７から真空ポンプ８までの流体流路を形成する、ほぼ円筒形状の回旋状ベローズのようなコンプライアントガス障壁又は遮蔽体１３を含む。ベローズ１３の領域内には、２つのＶ字形状の相互連結ストラップ１４、１５が設けられる。一方のストラップ１４は、その両端部が直径方向の対向位置において第１のフランジ１１に溶接される。他方のストラップ１５は、その両端部が、これもまた、第２のフランジ１２の直径方向の対向位置において、第２のフランジ１２に溶接される。これら２つのストラップ１４、１５は、それらの中央部分において、出会いかつ重なり合って、２つのストラップは協働して、ベローズが所定の軸線方向変位を越えて伸長するのを防止するリンク機構を形成するようになる。図１に示す従来型のダンパとは対照的に、２つの連結ストラップ１４、１５は、ダンパ１が、その平衡位置から永続的に圧縮されるように予め張力をかけられる。言い換えると、その不作動で無荷重の状態において、振動ダンパ１は、荷重状態、つまり、予め圧縮された状態にある。

大きな圧縮荷重に耐えることができる弾性構造体１６が、ベローズ１３の周りに延びている。この構造体１６の構成は、主として引張り状態において撓む構成を形成することによって、圧縮荷重の加わる構造体に関連する座屈損傷モードを回避するように設計された。図３及び図５に示すように、この実施例では、４つの支持部材２１が第１のフランジ１１に結合され、また、４つの付加的支持部材２２が第２のフランジ１２に結合される。これらの支持部材２１、２２は各々、それらが直接結合されていないフランジに向かって軸線方向に延びる。各々の支持部材２１、２２の遠位端には、円周方向に延びるタブ２４、２５が結合される。タブ２４、２５の各々の端部に取付けられるのは、この実施形態では一般的に金属コイル引張りスプリングである引張りスプリング２３の形態をした抵抗要素である。各々の引張りスプリング２３は、その一端部において、第１のフランジ１１に間接的に取付けられたタブ２４に取付けられ、また他端部において、第２のフランジ１２に間接的に取付けられたタブ２５に取付けられる。

真空ポンプ８が機器７から真空排気する時、機器７、ダンパ１、ポンプ８、及び、それらと流体連通したあらゆる装置とを組み込んだ真空システム全体内の圧力が低下し、外部の大気圧と内部の低圧力と間の差の結果として、ポンプ８に作用する大きな静荷重が生じるようになる。この荷重により、真空システムの長さの縮小が生じ、その結果、振動ダンパ１の軸線方向の長さを短縮させる。このダンパ１の圧縮は、フランジ１１、１２を互いに向かって移動させる。その結果、タブ２４、２５は、互いから離れる方向に軸線方向に移動し、スプリング２３が各々、引張り状態で作用して、ダンパ１内に軸線方向の圧縮荷重に対する抵抗力が生じる。

ポンプ機構の振動に関連する振動力が機器７に伝達されるのを抑制するために、振動ダンパ１は、コンプライアントである必要がある。言い換えると、ダンパ１は、可能な限り低い剛性値（一般に「ｋ」で表される）を有しなくてはならない。従って、ガス障壁１３のためのベローズの構成は、そのような構成要素が非常に低い軸線方向の剛性値を有するように選択される。従って、荷重の下での剛性特性は、弾性構造体１６によって決まる。ダンパ１に初期荷重（又は、予めの圧縮力）を加えておくことによって、初期荷重に対する変位の特性１７は非常に急勾配であり（図６参照）、これは、この実施例では、相互連結されたストラップ１４、１５である予め圧縮する手段によって決まるような大きな有効剛性値に対応する。軸線方向の圧縮変位が、初期の予めの圧縮限界値を越えて、連結されたストラップ１４、１５が平衡状態に戻り、かつ、互いの間の接触を失うと、非常に低い剛性特性値が作用するようになる。このより低い剛性値（図６の線１８の浅い勾配によって表される）は、ベローズ１３による幾らかの貢献（一般的におよそ２０％）と共に、抵抗構造体１６内の引張りスプリング２３によって決まる。

幾つかの従来型の振動ダンパでは、このダンパの軸線方向の長さが大きく、発生するコンダクタンス損失が大きくなるおそれがある。図３の振動ダンパでは、そのような損失はあまり大きくないが、より高品質の真空を達成するために構成を改善することが望ましいような幾つかの用途が存在する。真空システムのコンダクタンスにおける改善は、短い長さの大きい直系の開口を維持することによって達成されることが広く知られている。図７及び図８には、改善したコンダクタンスを示すダンパ３０を例示している。

このダンパ３０では、スプリング支持部材３６が一方のフランジ３１のみに取付けられ、このスプリング支持部材３６は、他方のフランジ３２内のクリアランスホール３７を貫通して突出する。支持部材３６には、各々の支持部材３６の拡大直径部分３４によって形成された肩部３５が設けられ、第２のフランジ３２がこの肩部を越えることが阻止される。この機構により、ストラップ１４を必要とせず、それによって流体流路から障害物を一掃することを可能にした状態でダンパ１の事前圧縮が効果的に行われる。

スプリング３８が、部材３６の遠位端３４からフランジ３２の底面（図８に示すように）に取付けられる。その結果、スプリング３８の全てが、フランジ３１、３２の下方に設置される。この簡略化により、振動ダンパ１のフランジ１１、１２間の空間よりも短い空間がダンパ３０のフランジ３１、３２間に形成される。フランジ間の距離を減少させることによって、ダンパ３０のコンダクタンスが改善される。更に、振動ダンパ３０の同一の断面に対して（以前の実施形態のダンパ１と比較して）、より大きな直径のベローズ構成要素３９を導入して、ダンパ３０のコンダクタンス値を更に高め、従って改善した品質の真空を得ることができる。

図９及び図１０は、図３、図４及び図５に示す振動ダンパ１と同様な別の実施例のダンパ４０を示す。しかしながら、図３に示す振動ダンパ１の円周方向に延びるタブ２４、２５は、振動ダンパ４０では、完全リング４６、４７で置き換えられている。これらの干渉リング４６、４７は、それらがスプリング４５のための取付け点を形成してダンパが引張モードにより、軸線方向の圧縮荷重に抵抗するのを可能にする点で、タブ２４、２５と同じ機能を果たす。更に、干渉リング４６、４７には、クリアランスホール４８、４９が設けられ、支持部材４３、４４が、前記クリアランスホール４８、４９を貫通して延びている。

真空システムの通常作動中、真空ダンパ４０内での全ての運動は、軸線方向であり、クリアランスホール４８、４９を設けたことにより、支持部材４３と干渉リング４７との間、又は、支持部材４４と干渉リング４６との間には何らの接触も生じない。しかしながら、真空ポンプ８が焼付いて、角運動量が真空ポンプ８のハウジングに伝達され、該ハウジングを機器７に対して回転させるようになった場合には、各干渉リング４６、４７が回転し始めることになり、従って、支持部材４４、４３に対して接触した状態になる。ポンプ８を更に回転させるためには、これらの支持部材４４、４３の各々は、変形しなくてはならない。そのような変形は、システムから、より多くのエネルギーを取り出し、従って、真空ポンプ８が機器７から分離されることになる可能性を低下させる。従って、更なる破壊又は傷害を回避することができる。

次に、図８を参照すると、真空ポンプの焼付きの場合に、クリアランスホール３７を備えたフランジ３２は、支持部材３８と組み合わされて、図９及び図１０の干渉リング４６、４７として作用することになることに注目することができる。

振動ダンパの構成要素は、図１１に示すように、ポンプ５０の本体内に直接組み込んで上記の利点の全てを有する統合型ユニットを形成することができる。ポンプ５０は、公知の構成のステータ５１とロータ５２とを含む。ポンプの入口構成要素５４は、図１１に示すように、ポンプ５０のハウジングの残余部分から分離され、入口５４をハウジングの残余部分に結合するように、コンプライアント構造体を、それらの間に挿入して、ポンプの作動中に真空排気されることになる機器（図示せず）へのポンプ５０からの振動の伝達を抑制するのを可能にする。ガス障壁又は遮蔽体は、前述のダンパ１におけるのと同様のコンプライアント鋼製のベローズ構成要素５３によって形成して、ポンプ外部の大気状態をポンプ内部の真空状態から隔離する。ベローズ構成要素５３は、一端部において、ポンプ５０のステータ５１に直接結合され、また、他端部において、ポンプの入口構成要素５４に結合される。本説明において前に説明したように、作動中に、真空システムの長さは圧縮される傾向になる。この実施形態では、圧縮に対する抵抗力は、引張りスプリング５５によって与えられる。これらのスプリングは、それぞれの端部において、ポンプ５０のステータ５１と入口構成要素５４とに結合されて、ポンプ５０が圧縮力を受けた時にスプリング５５が伸長するようになる。このようにして、作動中の座屈モードにおける構成要素の破損の可能性が回避される。

要約すると、本発明は、ダンパの設計内にはるかに低い剛性値を組み込むことを可能にする、予め圧縮される振動ダンパを提供する。この低い剛性値は、真空ポンプから真空排気されている機器に振動が伝達されるのを抑制するために望ましい。

更に、一般的な圧縮抵抗構造体は、圧縮撓みではなく、引張り撓みを受け、座屈力が回避されるようになった等価な構造体によって置き換えられた。

最後に、ポンプ破損時における真空システムの破壊を減少させる可能性を高めるような回転阻止構成を設けることによって、使用時における真空システムの安全性を改善したダンパを提供する。

従来型の振動ダンパの概略断面図である。 振動ダンパを使用することができる真空システムの概略図である。 本発明の１つの実施形態による振動ダンパの概略斜視図である。 図３の振動ダンパの概略断面図である。 図３に示す振動ダンパの圧縮外力抵抗手段の平面展開図である。 図３の振動ダンパに望ましい剛性特性のタイプを示すグラフである。 圧縮抵抗手段の別の構成を備えた、本発明の別の実施形態の概略断面図である。 図７の圧縮力抵抗手段の平面展開図である。 回転防止特性を有する振動ダンパの実施形態の概略断面図である。 図９の圧縮抵抗手段の平面展開図である。 図７に示すものと同様な振動ダンパを組み込んだ真空ポンプの概略図である。

符号の説明

１ 振動ダンパ
７ 機器
８ 真空ポンプ
９ 流体排出口
１０ 流体入口
１１、１２ フランジ
１３ ベローズ
１４、１５ 相互連結ストラップ
１６ 弾性構造体
２１、２２ 支持部材
２３ 引張りスプリング
２４、２５ タブ

Claims (31)

1. 機器の真空排気の間におけるポンプによる前記機器への振動の伝達を抑制するための振動ダンパであって、
   前記ポンプによって前記機器から吸引された流体を周囲大気から隔離するためのベローズ装置と、
   前記ダンパの使用中に前記ベローズ装置の軸線方向の圧縮を制限するための手段と、を含み、
   前記ダンパが、軸線方向に予め圧縮される、
   ことを特徴とする振動ダンパ。
2. 前記ベローズ装置が、前記ポンプと一体形であることを特徴とする、請求項１に記載の振動ダンパ。
3. 前記ベローズ装置の一端部が、前記ポンプに直接取付けられることを特徴とする、請求項１又は請求項２に記載の振動ダンパ。
4. 前記ベローズ装置の一端部が、前記ポンプのハウジングと一体形になったフランジに直接取付けられることを特徴とする、請求項３に記載の振動ダンパ。
5. 前記ベローズ装置の他端部が、前記ポンプを前記機器に連結するためのフランジに取付けられることを特徴とする、請求項３又は請求項４に記載の振動ダンパ。
6. 前記機器とポンプとの間に、前記ダンパを連結するための手段を含むことを特徴とする、請求項１に記載の振動ダンパ。
7. 前記連結手段が、第１のフランジ及び第２のフランジを含み、前記第１のフランジ、第２のフランジは、各々が、前記ベローズ装置のそれぞれの端部に取付けられ、かつ、前記ポンプ及び機器のそれぞれの１つに連結可能であることを特徴とする、請求項６に記載の振動ダンパ。
8. 前記ベローズ装置が、前記ポンプによって前記機器から吸引された流体の流路の少なくとも一部を形成することを特徴とする、請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の振動ダンパ。
9. 前記ダンパが、前記ベローズ装置の軸線方向の伸長を制限するための手段によって、軸全方向に予め圧縮されることを特徴とする、請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の振動ダンパ。
10. 前記伸長を制限するための手段が、前記ベローズ装置の少なくとも一端部に取付けられることを特徴とする、請求項９に記載の振動ダンパ。
11. 前記伸長を制限するための手段が、第１の協働部材及び第２の協働部材を含み、第１の協働部材、第２の協働部材は、各々が、前記ベローズ装置のそれぞれの端部に取付けられることを特徴とする、請求項９又は請求項１０に記載の振動ダンパ。
12. 各部材が、該部材が協働して前記ベローズ装置の端部を互いに引き付けて前記ダンパを予め圧縮するように、前記ベローズ装置のそれぞれの端部上の直径方向の対向位置に取付けられたＶ字形部材を含むことを特徴とする、請求項１１に記載の振動ダンパ。
13. 各部材が、それぞれのフランジを介して前記ベローズ装置のそれぞれの端部に結合されることを特徴とする、請求項７に従属した場合の請求項１１又は請求項１２に記載の振動ダンパ。
14. 前記伸長を制限するための手段が、前記フランジの一方に取付けられ、かつ、他方のフランジに係合して前記ダンパを予め圧縮する、軸線方向に延びる部材を含むことを特徴とする、請求項７及び請求項９に記載の振動ダンパ。
15. 前記軸線方向に延びる部材が、前記他方のフランジ内に設置された開口を貫通し、前記軸線方向に延びる部材の遠位端部分が、前記他方のフランジに係合することを特徴とする、請求項１４に記載の振動ダンパ。
16. 前記軸線方向の圧縮を制限するための手段が、前記ダンパが前記ベローズ装置を圧縮する傾向にある軸線方向の外力を受けた時に張力を受けるように引張り状態で配置された抵抗手段を含み、前記抵抗手段の伸長に対する抵抗力が、前記ベローズ装置の軸線方向の圧縮力に対抗することを特徴とする、請求項１から請求項１５のいずれか１項に記載の振動ダンパ。
17. 前記ベローズ装置が軸線の周りで延び、前記抵抗手段が、前記軸線の周りに配置されることを特徴とする、請求項１６に記載の振動ダンパ。
18. 機器の真空排気の間におけるポンプによる前記機器への振動の伝達を抑制するための振動ダンパであって、
    前記ポンプによって前記機器から吸引された流体を周囲大気から隔離するための、軸線の周りで延びるベローズ装置と、
    前記ダンパが前記ベローズ装置を圧縮する傾向にある軸線方向の外力を受けた時に張力を受けるように引張り状態で前記軸線の周りに配置された抵抗手段とを含み、
    前記抵抗手段の伸長に対する抵抗力が、前記ベローズ装置の軸線方向の圧縮力に対抗する、
    ことを特徴とする振動ダンパ。
19. 前記抵抗手段が、前記ダンパの周りに配置されることを特徴とする、請求項１６から請求項１８のいずれか１項に記載の振動ダンパ。
20. 前記抵抗手段が、前記ポンプの周りに配置されることを特徴とする、請求項２に従属した場合の請求項１６又は請求項１９に記載の振動ダンパ。
21. 前記抵抗手段が、前記ポンプのハウジングに取付けられることを特徴とする、請求項２０に記載の振動ダンパ。
22. 前記抵抗手段が、前記ベローズ装置の周りに配置されることを特徴とする、請求項１６から請求項１９のいずれか１項に記載の振動ダンパ。
23. 前記抵抗手段が、複数の抵抗要素を含むことを特徴とする、請求項１６から請求項２２のいずれか１項に記載の振動ダンパ。
24. 各抵抗要素が、金属コイルの引張りスプリングを含むことを特徴とする、請求項２３に記載の振動ダンパ。
25. 前記抵抗要素の各々が、前記軸線に直角に延びる平面に対して傾斜していることを特徴とする、請求項２３又は請求項２４に記載の振動ダンパ。
26. 各抵抗要素が、一端部において第１の半径方向に延びるフランジに取付けられ、また他端部において第２の半径方向に延びるフランジに取付けられ、前記第１の半径方向に延びるフランジと、前記第２の半径方向に延びるフランジは、軸線方向に分離していることを特徴とする、請求項２３から請求項２５のいずれか１項に記載の振動ダンパ。
27. 前記抵抗要素の一端部が、支持部材を介して前記第１の半径方向に延びるフランジに取付けられることを特徴とする、請求項２６に記載の振動ダンパ。
28. 前記支持部材が、前記第２の半径方向に延びるフランジ内の開口を貫通して延びることを特徴とする、請求項２７に記載の振動ダンパ。
29. 前記抵抗要素の他端部が、前記第２の半径方向に延びるフランジに直接取付けられることを特徴とする、請求項２７又は請求項２８に記載の振動ダンパ。
30. 前記一方のフランジが他方のフランジに対して回転するときに、前記支持部材に接触して、それらのフランジ間の相対的な回転運動を阻止するための手段を含むことを特徴とする、請求項２７から請求項２９のいずれか１項に記載の振動ダンパ。
31. 請求項１から請求項５、請求項８及び請求項２９のいずれか１項に記載されている振動ダンパを含むことを特徴とするポンプ。

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