JPH11125309A - 真空防振継手 - Google Patents
真空防振継手Info
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- JPH11125309A JPH11125309A JP9293071A JP29307197A JPH11125309A JP H11125309 A JPH11125309 A JP H11125309A JP 9293071 A JP9293071 A JP 9293071A JP 29307197 A JP29307197 A JP 29307197A JP H11125309 A JPH11125309 A JP H11125309A
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- JP
- Japan
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- bellows
- vibration
- vacuum
- fulcrum
- vacuum pump
- Prior art date
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L27/00—Adjustable joints, Joints allowing movement
- F16L27/10—Adjustable joints, Joints allowing movement comprising a flexible connection only, e.g. for damping vibrations
- F16L27/107—Adjustable joints, Joints allowing movement comprising a flexible connection only, e.g. for damping vibrations the ends of the pipe being interconnected by a flexible sleeve
- F16L27/11—Adjustable joints, Joints allowing movement comprising a flexible connection only, e.g. for damping vibrations the ends of the pipe being interconnected by a flexible sleeve the sleeve having the form of a bellows with multiple corrugations
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L51/00—Expansion-compensation arrangements for pipe-lines
- F16L51/02—Expansion-compensation arrangements for pipe-lines making use of bellows or an expansible folded or corrugated tube
- F16L51/025—Expansion-compensation arrangements for pipe-lines making use of bellows or an expansible folded or corrugated tube with several corrugations
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L51/00—Expansion-compensation arrangements for pipe-lines
- F16L51/02—Expansion-compensation arrangements for pipe-lines making use of bellows or an expansible folded or corrugated tube
- F16L51/028—Expansion-compensation arrangements for pipe-lines making use of bellows or an expansible folded or corrugated tube with the expansion or contraction of each corrugation being limited
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Joints Allowing Movement (AREA)
- Vibration Prevention Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 大口径であっても剛性の低いベローズを利用
可能とし、高い防振効果を得ることである。 【解決手段】 振動発生源となる真空ポンプと、排気が
施される真空チャンバとを真空排気可能な状態で結合す
る真空防振継手であって、一端側が前記真空ポンプに結
合され、他端側が前記真空チャンバに結合され、内部を
排気通路１４とするベローズ１１と、このベローズ１１
が所定量伸縮方向に圧縮されたとき、このベローズの伸
縮方向への圧縮に逆らうとともに前記伸縮方向以外の方
向の振動を前記べローズに伝える支持装置２０を有する
ことを特徴としている。
可能とし、高い防振効果を得ることである。 【解決手段】 振動発生源となる真空ポンプと、排気が
施される真空チャンバとを真空排気可能な状態で結合す
る真空防振継手であって、一端側が前記真空ポンプに結
合され、他端側が前記真空チャンバに結合され、内部を
排気通路１４とするベローズ１１と、このベローズ１１
が所定量伸縮方向に圧縮されたとき、このベローズの伸
縮方向への圧縮に逆らうとともに前記伸縮方向以外の方
向の振動を前記べローズに伝える支持装置２０を有する
ことを特徴としている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空チャンバを真
空ポンプで排気する場合に真空ポンプの振動が真空チャ
ンバに伝達するのを防止する真空防振継手に関するもの
である。
空ポンプで排気する場合に真空ポンプの振動が真空チャ
ンバに伝達するのを防止する真空防振継手に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来から、ベローズ単体もしくはベロー
ズとダンパとを組み合わせたものは、伝達する振動を減
衰できることから、防振機能を有する真空防振継手とし
て利用されている。図５は、その使用例を示す断面略図
である。
ズとダンパとを組み合わせたものは、伝達する振動を減
衰できることから、防振機能を有する真空防振継手とし
て利用されている。図５は、その使用例を示す断面略図
である。
【０００３】図５において、１１はベローズ、１２はこ
のベローズ１１の上部フランジ、１３は前記ベローズ１
１の下部フランジ、１４は前記ベローズ１１の内部の排
気通路、１５，１６は前記上部，下部フランジ１２，１
３に設けられた透孔であり、以上で真空防振継手１００
が構成されている。２００は排気を施すべき真空チャン
バ、３００は真空ポンプである。ベローズ１１は真空に
排気されることで上部フランジ１２と下部フランジ１３
は大気圧により圧縮され、ベローズ１１が縮む。この時
ベローズ１１の剛性が低いとベローズ１１がつぶされて
しまい真空ポンプ３００の振動は真空チャンバ２００に
直接伝達されて真空防振継手１００としての機能を果さ
なくなる。また、ベローズ１１の剛性を上げると防振性
能が低くなる。
のベローズ１１の上部フランジ、１３は前記ベローズ１
１の下部フランジ、１４は前記ベローズ１１の内部の排
気通路、１５，１６は前記上部，下部フランジ１２，１
３に設けられた透孔であり、以上で真空防振継手１００
が構成されている。２００は排気を施すべき真空チャン
バ、３００は真空ポンプである。ベローズ１１は真空に
排気されることで上部フランジ１２と下部フランジ１３
は大気圧により圧縮され、ベローズ１１が縮む。この時
ベローズ１１の剛性が低いとベローズ１１がつぶされて
しまい真空ポンプ３００の振動は真空チャンバ２００に
直接伝達されて真空防振継手１００としての機能を果さ
なくなる。また、ベローズ１１の剛性を上げると防振性
能が低くなる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ベローズ１１が上部フ
ランジ１２と下部フランジ１３から受ける圧縮力はベロ
ーズ１１の開口面積に比例するため、真空防振継手１０
０の径が大口径化するに従い、より剛性の高いベローズ
１１を使わざるを得ず、防振性能が悪くなってしまう。
ランジ１２と下部フランジ１３から受ける圧縮力はベロ
ーズ１１の開口面積に比例するため、真空防振継手１０
０の径が大口径化するに従い、より剛性の高いベローズ
１１を使わざるを得ず、防振性能が悪くなってしまう。
【０００５】本発明は、このように真空防振継手１００
の径が大口径の場合にでも剛性の低いベローズの使用を
可能とし、高い防振性能を実現することを目的としてい
る。
の径が大口径の場合にでも剛性の低いベローズの使用を
可能とし、高い防振性能を実現することを目的としてい
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明にかかる真空防振
継手は、振動発生源となる真空ポンプと、排気が施され
る真空チャンバとを真空排気可能な状態で結合する真空
防振継手であって、一端側が前記真空ポンプに結合さ
れ、他端側が前記真空チャンバに結合され、内部を排気
通路とするベローズと、このベローズが所定量伸縮方向
に圧縮されたとき、このベローズの伸縮方向への圧縮に
逆らうとともに、前記伸縮方向以外の方向の振動を前記
べローズに伝える支持装置を備えたものである。
継手は、振動発生源となる真空ポンプと、排気が施され
る真空チャンバとを真空排気可能な状態で結合する真空
防振継手であって、一端側が前記真空ポンプに結合さ
れ、他端側が前記真空チャンバに結合され、内部を排気
通路とするベローズと、このベローズが所定量伸縮方向
に圧縮されたとき、このベローズの伸縮方向への圧縮に
逆らうとともに、前記伸縮方向以外の方向の振動を前記
べローズに伝える支持装置を備えたものである。
【０００７】また、この真空防振継手を所定段数重ね合
わせたものである。
わせたものである。
【０００８】
〔実施の形態１〕図１は、本発明の真空防振継手の実施
の形態１の基本的構成を示すもので、図１（ａ）は断面
略図で、端面部分を示し、図１（ｂ）は、図１（ａ）の
矢印Ａ方向から見た形状の一部分を示す側面図である。
これらの図で図５と同一符号は同一部分を示す。ただし
図１では図５の真空チャンバ２００，真空ポンプ３００
は省略してある。１００Ａは本発明による真空防振継手
であり、図５との相違点は一方向に自由な支持装置２０
をＸ軸方向に設けた点である。すなわち２１，２２は前
記上部フランジ１２に固定された支持部、２３，２４は
前記下部フランジ１３に固定された支持部である。支持
部２１，２３は図１（ｂ）に示す２５を線接触による支
点としての作用をする。また、支持部２２，２４も同じ
く２６を線接触による支点としての作用をし、上部フラ
ンジ１２と下部フランジ１３は線接触による支点２５，
２６を結ぶ直線、すなわちＸ軸方向に関して回転可能と
なっている。そして、支持部２１と２３および２２と２
４によりそれぞれ支持装置２０が形成されている。
の形態１の基本的構成を示すもので、図１（ａ）は断面
略図で、端面部分を示し、図１（ｂ）は、図１（ａ）の
矢印Ａ方向から見た形状の一部分を示す側面図である。
これらの図で図５と同一符号は同一部分を示す。ただし
図１では図５の真空チャンバ２００，真空ポンプ３００
は省略してある。１００Ａは本発明による真空防振継手
であり、図５との相違点は一方向に自由な支持装置２０
をＸ軸方向に設けた点である。すなわち２１，２２は前
記上部フランジ１２に固定された支持部、２３，２４は
前記下部フランジ１３に固定された支持部である。支持
部２１，２３は図１（ｂ）に示す２５を線接触による支
点としての作用をする。また、支持部２２，２４も同じ
く２６を線接触による支点としての作用をし、上部フラ
ンジ１２と下部フランジ１３は線接触による支点２５，
２６を結ぶ直線、すなわちＸ軸方向に関して回転可能と
なっている。そして、支持部２１と２３および２２と２
４によりそれぞれ支持装置２０が形成されている。
【０００９】なお、支点２５，２６はベローズ１１か排
気により所定量伸縮方向に圧縮されたとき線接触により
形成されるもので、ベローズ１１の変位が小さいときは
図示はされないが支持部２１，２３と２２，２４の部分
が所定の間隔で離れているので支点２５，２６は支点と
しての作用をしていない。
気により所定量伸縮方向に圧縮されたとき線接触により
形成されるもので、ベローズ１１の変位が小さいときは
図示はされないが支持部２１，２３と２２，２４の部分
が所定の間隔で離れているので支点２５，２６は支点と
しての作用をしていない。
【００１０】次に動作について説明する。図１におい
て、上部が真空チャンバ２００に下部が真空ポンプ３０
０に接続され排気が行われた場合（図５参照）、上部フ
ランジ１２は吸引による負圧により下向きの力が働きベ
ローズ１１は圧縮力を受ける。従来はこの力がベローズ
１１に加わりベローズ１１が縮むのであるが、本発明に
おいては、当初離れていた支持部２１，２３が接触して
支点２５としての作用をするとともに、支点２５の部分
で互いに突っ張る。また、支持部２２，２４も接触して
支点２６としての作用をするとともに、支点２６の部分
が互いに突っ張るためにベローズ１１はこれ以上圧縮を
受けない。このため、剛性の低いベローズ１１を使用す
ることが可能となる。そして図１の構成では紙面に垂直
方向、すなわち、支点２５，２６の線接触の方向と直交
する方向の振動を支点２５と支点２６を結ぶ直線を中心
軸として上部フランジ１２が振り子運動により振動伝達
を減衰させる。
て、上部が真空チャンバ２００に下部が真空ポンプ３０
０に接続され排気が行われた場合（図５参照）、上部フ
ランジ１２は吸引による負圧により下向きの力が働きベ
ローズ１１は圧縮力を受ける。従来はこの力がベローズ
１１に加わりベローズ１１が縮むのであるが、本発明に
おいては、当初離れていた支持部２１，２３が接触して
支点２５としての作用をするとともに、支点２５の部分
で互いに突っ張る。また、支持部２２，２４も接触して
支点２６としての作用をするとともに、支点２６の部分
が互いに突っ張るためにベローズ１１はこれ以上圧縮を
受けない。このため、剛性の低いベローズ１１を使用す
ることが可能となる。そして図１の構成では紙面に垂直
方向、すなわち、支点２５，２６の線接触の方向と直交
する方向の振動を支点２５と支点２６を結ぶ直線を中心
軸として上部フランジ１２が振り子運動により振動伝達
を減衰させる。
【００１１】〔実施の形態２〕図２は、図１に示した真
空防振継手１００Ａを多段（図示は２段）に接続した実
施の形態２の構成を示すもので、図２（ａ）は斜視図、
図２（ｂ）は図２（ａ）の支持装置２０の他の形状を示
す斜視図である。この図で、図１と同一符号は同一部分
を示し、１００Ａ−１，１００Ａ−２は同型の真空防振
継手であるが、各支持装置２０の相対位置がずれるよう
にＺ軸まわりに９０度回転させた状態で真空防振継手１
００Ａ−１，１００Ａ−２が２段重ねあわせて接続され
ている。これによって真空防振継手１００Ａ−１はＹ軸
方向の振動をＸ軸まわりの回転に、真空防振継手１００
Ａ−２はＸ軸方向の振動をＹ軸まわりの回転に変えるこ
とで防振を図っている。なお、図２ではベローズ１１を
簡略化して示してある。また、図２（ａ）において、支
持装置２０は図１と同じ線接触のものが使用され、図２
（ｂ）において支持装置３０は、図２（ａ）のものに代
えて、上部フランジ１２に固定された円錐形の支持部３
１，下部フランジ１３に固定された円柱形の支持部３２
が設けられ、支持部３１の支点３３が支持部３２の円錐
状に凹んだ台面３４でピボット軸受のように１点で支持
されている。
空防振継手１００Ａを多段（図示は２段）に接続した実
施の形態２の構成を示すもので、図２（ａ）は斜視図、
図２（ｂ）は図２（ａ）の支持装置２０の他の形状を示
す斜視図である。この図で、図１と同一符号は同一部分
を示し、１００Ａ−１，１００Ａ−２は同型の真空防振
継手であるが、各支持装置２０の相対位置がずれるよう
にＺ軸まわりに９０度回転させた状態で真空防振継手１
００Ａ−１，１００Ａ−２が２段重ねあわせて接続され
ている。これによって真空防振継手１００Ａ−１はＹ軸
方向の振動をＸ軸まわりの回転に、真空防振継手１００
Ａ−２はＸ軸方向の振動をＹ軸まわりの回転に変えるこ
とで防振を図っている。なお、図２ではベローズ１１を
簡略化して示してある。また、図２（ａ）において、支
持装置２０は図１と同じ線接触のものが使用され、図２
（ｂ）において支持装置３０は、図２（ａ）のものに代
えて、上部フランジ１２に固定された円錐形の支持部３
１，下部フランジ１３に固定された円柱形の支持部３２
が設けられ、支持部３１の支点３３が支持部３２の円錐
状に凹んだ台面３４でピボット軸受のように１点で支持
されている。
【００１２】なお、図２（ａ），（ｂ）においても、ベ
ローズ１１の変位が小さいときは、支持部２１，２３と
３１，３３の部分が所定の間隔で離れているので、支点
２５，３３は支点としての作用をしていない。
ローズ１１の変位が小さいときは、支持部２１，２３と
３１，３３の部分が所定の間隔で離れているので、支点
２５，３３は支点としての作用をしていない。
【００１３】図２の構造では振動がある場合、最上面フ
ランジ１２と最下面フランジ１３が傾くが、図２をさら
に多段に接続することで、最上面フランジ１２と最下面
フランジ１３の面の平行を保ったままで防振を図ること
ができる。
ランジ１２と最下面フランジ１３が傾くが、図２をさら
に多段に接続することで、最上面フランジ１２と最下面
フランジ１３の面の平行を保ったままで防振を図ること
ができる。
【００１４】〔実施の形態３〕図３は、簡単な構造で２
方向の防振を行う真空防振継手の例で、図３（ａ）は断
面略図、図３（ｂ）は平面図である。
方向の防振を行う真空防振継手の例で、図３（ａ）は断
面略図、図３（ｂ）は平面図である。
【００１５】図３において、図１と同一符号は同一部分
を示し、１００Ｂは真空防振継手、４０は支持装置、４
１は前記上部フランジ１２に固定された支持部、４２は
前記下部フランジ１３に固定された支持部であり、支持
部４１の下端部は図示はされないが円錐形に形成され、
支持部４２の上端は円柱形に形成されている。そして、
支持部４１の円錐形部分の頂点が支点４３となって支持
部４２の上面で円錐形に凹んだ台面４４で、ピボット軸
受けのように１点で支持されている。この一点支持の構
造により図２と同等の２方向の防振が期待できる。
を示し、１００Ｂは真空防振継手、４０は支持装置、４
１は前記上部フランジ１２に固定された支持部、４２は
前記下部フランジ１３に固定された支持部であり、支持
部４１の下端部は図示はされないが円錐形に形成され、
支持部４２の上端は円柱形に形成されている。そして、
支持部４１の円錐形部分の頂点が支点４３となって支持
部４２の上面で円錐形に凹んだ台面４４で、ピボット軸
受けのように１点で支持されている。この一点支持の構
造により図２と同等の２方向の防振が期待できる。
【００１６】なお、図３においてもベローズ１１の変位
が小さいときは支持部４１，４２とは支点４３と台面４
４の部分が所定の間隔で離れているので支点４３は支点
としての作用をしていない。
が小さいときは支持部４１，４２とは支点４３と台面４
４の部分が所定の間隔で離れているので支点４３は支点
としての作用をしていない。
【００１７】
【実施例】図４は、本発明の一実施例を示す２方向の防
振を行う真空防振継手を示すもので、図４（ａ）は斜視
図、図４（ｂ），（ｃ）は図４（ａ）のピンの頭部にナ
ットを使用した例を示す断面図である。
振を行う真空防振継手を示すもので、図４（ａ）は斜視
図、図４（ｂ），（ｃ）は図４（ａ）のピンの頭部にナ
ットを使用した例を示す断面図である。
【００１８】図４（ａ）において、図１と同一符号は同
一部分を示す。ただし、図４では図５の真空チャンバ２
００，真空ポンプ３００およびベローズ１１の図示は省
略してある。１００Ｃは真空防振継手で、図１〜図３と
の相違点は上部フランジ１２と下部フランジ１３との間
に中間リング５１を設けたものである。また、上部フラ
ンジ１２と下部フランジ１３には図１に示すベローズ１
１（図示省略）が取り付けられ、また、外周には突起部
１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１３ａ，１３ｂ１３ｃが外方
に向けて突出して形成されている。なお、図４（ａ）に
おいては、円周に対して等分に８個所形成されている。
そして、中間リング５１の内周は上，下部フランジ１
２，１３の外周、すなわち、突起部１２ａ，１２ｂ，１
３ａ，１３ｂの基部とほぼ同じ大きさであり、中間リン
グ５１の外側は突起部１２ａ，１３ａの外側とほぼ同じ
大きさに形成されている。なお、突起部１２ｃ，１３ｃ
は突起部の位置関係を説明するものに便宣上取り付けた
突起部であり、動作上は不要である。
一部分を示す。ただし、図４では図５の真空チャンバ２
００，真空ポンプ３００およびベローズ１１の図示は省
略してある。１００Ｃは真空防振継手で、図１〜図３と
の相違点は上部フランジ１２と下部フランジ１３との間
に中間リング５１を設けたものである。また、上部フラ
ンジ１２と下部フランジ１３には図１に示すベローズ１
１（図示省略）が取り付けられ、また、外周には突起部
１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１３ａ，１３ｂ１３ｃが外方
に向けて突出して形成されている。なお、図４（ａ）に
おいては、円周に対して等分に８個所形成されている。
そして、中間リング５１の内周は上，下部フランジ１
２，１３の外周、すなわち、突起部１２ａ，１２ｂ，１
３ａ，１３ｂの基部とほぼ同じ大きさであり、中間リン
グ５１の外側は突起部１２ａ，１３ａの外側とほぼ同じ
大きさに形成されている。なお、突起部１２ｃ，１３ｃ
は突起部の位置関係を説明するものに便宣上取り付けた
突起部であり、動作上は不要である。
【００１９】また、上部フランジ１２のＸ軸方向と下部
フランジ１３のＹ軸方向に位置する各突起部１２ａ，１
３ａには、それぞれナイフエッジが形成された支持装置
６０が設けられ、上部フランジ１２のＸ軸方向の支持部
６１は中間リング５１に対して６２を線接触によるエッ
ジ状の支点としており、下部フランジ１３のＹ軸方向の
支持部６１も中間リング５１に対して６２を線接触によ
るエッジ状の支点としている。また、５２は前記支点６
２の受けで、線状に形成されている。
フランジ１３のＹ軸方向に位置する各突起部１２ａ，１
３ａには、それぞれナイフエッジが形成された支持装置
６０が設けられ、上部フランジ１２のＸ軸方向の支持部
６１は中間リング５１に対して６２を線接触によるエッ
ジ状の支点としており、下部フランジ１３のＹ軸方向の
支持部６１も中間リング５１に対して６２を線接触によ
るエッジ状の支点としている。また、５２は前記支点６
２の受けで、線状に形成されている。
【００２０】そして、上部フランジ１２は支点６２によ
ってＸ軸方向を回転の中心軸として回転可能に、また下
部フランジ１３は支点６２によってＹ軸方向を回転の中
心軸として回転可能となっており、Ｘ軸方向とＹ軸方向
の支点６２はほぼ同一平面に形成されている。
ってＸ軸方向を回転の中心軸として回転可能に、また下
部フランジ１３は支点６２によってＹ軸方向を回転の中
心軸として回転可能となっており、Ｘ軸方向とＹ軸方向
の支点６２はほぼ同一平面に形成されている。
【００２１】また、上部フランジ１２と下部フランジ１
３において、Ｘ軸とＹ軸の中間で、支持装置６０が設け
られた突起部１２ａ，１３ａの一方向側に隣り合わせる
各突起部１２ｂにはピン７１Ｂ，７１Ｄが、突起部１３
ｂにはピン７１Ａ，７１Ｃが固着され、これらのピン７
１Ａ〜７１Ｄには頭部７２が形成され、かつ、各ピン７
１Ａ〜７１Ｄが貫通する透孔５３がそれぞれ中間リング
５１に形成されている。そして、各透孔５３は各ピン７
１Ａ〜７１Ｄの外径に対して十分に余裕のある内径で形
成され、各ピン７１Ａ〜７１Ｄが上下動する場合に各ピ
ン７１Ａ〜７１Ｄが接触しないようになっている。
３において、Ｘ軸とＹ軸の中間で、支持装置６０が設け
られた突起部１２ａ，１３ａの一方向側に隣り合わせる
各突起部１２ｂにはピン７１Ｂ，７１Ｄが、突起部１３
ｂにはピン７１Ａ，７１Ｃが固着され、これらのピン７
１Ａ〜７１Ｄには頭部７２が形成され、かつ、各ピン７
１Ａ〜７１Ｄが貫通する透孔５３がそれぞれ中間リング
５１に形成されている。そして、各透孔５３は各ピン７
１Ａ〜７１Ｄの外径に対して十分に余裕のある内径で形
成され、各ピン７１Ａ〜７１Ｄが上下動する場合に各ピ
ン７１Ａ〜７１Ｄが接触しないようになっている。
【００２２】また、図４（ｂ），（ｃ）は、図４（ａ）
の各ピン７１Ａ〜７１Ｄの上部にねじ７３を形成し、か
つ、ねじ７３に螺合する２個のナット７４，７５が設け
られ、ナット７４，７５がゆるまないようになってい
る。また、図４（ｃ）には軟質の合成樹脂やゴム等から
なるダンパ７６が設けられている。
の各ピン７１Ａ〜７１Ｄの上部にねじ７３を形成し、か
つ、ねじ７３に螺合する２個のナット７４，７５が設け
られ、ナット７４，７５がゆるまないようになってい
る。また、図４（ｃ）には軟質の合成樹脂やゴム等から
なるダンパ７６が設けられている。
【００２３】なお、図４（ｂ），（ｃ）においてはピン
７１Ａ，７１Ｃの場合を例にしたもので、図示はされな
いが、ピン７１Ｂ，７１Ｄの場合は上部フランジ１２に
取り付けられるのでピン７１Ｂ，７１Ｄの位置が逆の位
置になる。
７１Ａ，７１Ｃの場合を例にしたもので、図示はされな
いが、ピン７１Ｂ，７１Ｄの場合は上部フランジ１２に
取り付けられるのでピン７１Ｂ，７１Ｄの位置が逆の位
置になる。
【００２４】次に動作について説明する。
【００２５】図４（ａ）において、図示しないベローズ
の変位が小さいときは支持部６１と中間リング５１とは
支点６２と受け５２との部分が所定の間隔で離れている
ので支点６２は支点としての作用をしていない。
の変位が小さいときは支持部６１と中間リング５１とは
支点６２と受け５２との部分が所定の間隔で離れている
ので支点６２は支点としての作用をしていない。
【００２６】そして、図示しないベローズが圧縮されて
支点６２と受け５２とが接触する。さらに、例えば、下
部フランジ１３がＸ軸方向に位置する矢印Ｂで示す突起
部１３ｃの部分が上方に押されるとすると、Ｙ軸方向に
位置する支点６２がＹ軸を中心軸として回転が発生す
る。この場合、上部フランジ１２と中間リング５１との
間の位置関係は変化がなく、下部フランジ１３の矢印Ｂ
部分の突起部１３ｃが中間リング５１の方向に上昇する
ので、支点６２を中心軸として回転しピン７１Ａが下降
してピン７１Ａの頭７２が中間リング５１に接近する。
このとき、矢印Ｂ部分で押される力が小さい場合はピン
７１Ａの変位が少ないので頭７２が中間リング５１に接
触することがないが、押される力が大きいとピン７１Ａ
の変位が多くなって頭７２が中間リング５１に接触する
ので、それより大きな力がかかっても中間リング５１は
それ以上の変位が生ずることがなく、ピン７１Ａ側で図
１に示すベローズ１１が所定以上に伸長するのを防止す
る構成になっている。また、下部フランジ１３の突起部
１３ｃが矢印Ｂ方向と逆方向（下方）に力が加わると、
逆まわりの回転となってピン７１Ｃが下降し、上記に説
明したピン７１Ａと同様の動作をする。
支点６２と受け５２とが接触する。さらに、例えば、下
部フランジ１３がＸ軸方向に位置する矢印Ｂで示す突起
部１３ｃの部分が上方に押されるとすると、Ｙ軸方向に
位置する支点６２がＹ軸を中心軸として回転が発生す
る。この場合、上部フランジ１２と中間リング５１との
間の位置関係は変化がなく、下部フランジ１３の矢印Ｂ
部分の突起部１３ｃが中間リング５１の方向に上昇する
ので、支点６２を中心軸として回転しピン７１Ａが下降
してピン７１Ａの頭７２が中間リング５１に接近する。
このとき、矢印Ｂ部分で押される力が小さい場合はピン
７１Ａの変位が少ないので頭７２が中間リング５１に接
触することがないが、押される力が大きいとピン７１Ａ
の変位が多くなって頭７２が中間リング５１に接触する
ので、それより大きな力がかかっても中間リング５１は
それ以上の変位が生ずることがなく、ピン７１Ａ側で図
１に示すベローズ１１が所定以上に伸長するのを防止す
る構成になっている。また、下部フランジ１３の突起部
１３ｃが矢印Ｂ方向と逆方向（下方）に力が加わると、
逆まわりの回転となってピン７１Ｃが下降し、上記に説
明したピン７１Ａと同様の動作をする。
【００２７】また、上部フランジ１２がＹ軸方向に位置
する突起部１２ｃが矢印Ｃ部分下方に押されるとする
と、Ｘ軸方向に位置する支点６２がＸ軸を中心軸として
回転が発生する。この時下部フランジ１３と中間リング
５１との間の位置関係は変化がなく、上部フランジ１２
の矢印Ｃ部分の突起１２ｃが中間リング５１の方向に下
降するので支点６２を中心軸として回転し、ピン７１Ｄ
が上昇してピン７１Ｄの頭７２が中間リング５１に接近
する。また、上部フランジ１２の突起部１２ｃが矢印Ｃ
方向と逆方向（上方）に力が加わると、逆まわりの回転
となってピン７１Ｂが上昇しピン７１Ｄと同様の動作を
する。
する突起部１２ｃが矢印Ｃ部分下方に押されるとする
と、Ｘ軸方向に位置する支点６２がＸ軸を中心軸として
回転が発生する。この時下部フランジ１３と中間リング
５１との間の位置関係は変化がなく、上部フランジ１２
の矢印Ｃ部分の突起１２ｃが中間リング５１の方向に下
降するので支点６２を中心軸として回転し、ピン７１Ｄ
が上昇してピン７１Ｄの頭７２が中間リング５１に接近
する。また、上部フランジ１２の突起部１２ｃが矢印Ｃ
方向と逆方向（上方）に力が加わると、逆まわりの回転
となってピン７１Ｂが上昇しピン７１Ｄと同様の動作を
する。
【００２８】また、図４（ｂ），（ｃ）に示すように、
ピン７１Ａ〜７１Ｄの上方にナット７４，７５を設けた
ことにより、下部フランジ１３が回動する大きさの調節
が可能となっている。
ピン７１Ａ〜７１Ｄの上方にナット７４，７５を設けた
ことにより、下部フランジ１３が回動する大きさの調節
が可能となっている。
【００２９】また、図４（ｃ）に示すように中間リング
５１とナット７５との間にゴムまたは合成樹脂からなる
軟質の弾性を有するダンパ７６を設けることにより、ナ
ット７５の当接による衝撃を防いだり、振動による真空
防振継手の共振を制御する。
５１とナット７５との間にゴムまたは合成樹脂からなる
軟質の弾性を有するダンパ７６を設けることにより、ナ
ット７５の当接による衝撃を防いだり、振動による真空
防振継手の共振を制御する。
【００３０】このように、図１の真空防振継手１００Ａ
ではＸ軸方向に対しＹ軸方向の回転軸が空間的に回動す
る位置関係にあり、同一平面内で一方向のみ防振であっ
たが、図４では回転軸が同一平面内で交差する構造とな
っており、２方向の防振が期待できる。
ではＸ軸方向に対しＹ軸方向の回転軸が空間的に回動す
る位置関係にあり、同一平面内で一方向のみ防振であっ
たが、図４では回転軸が同一平面内で交差する構造とな
っており、２方向の防振が期待できる。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の真空防振
継手は振動発生源となる真空ポンプと、排気が施される
真空チャンバとを真空排気可能な状態に結合する真空防
振継手であって、一端側が前記真空ポンプに結合され、
他端側が前記真空チャンバに結合され、内部を排気通路
とするベローズと、このベローズが所定量伸縮方向に圧
縮されたとき、このベローズの伸縮方向への圧縮に逆ら
うとともに、前記伸縮方向以外の方向の振動を前記べロ
ーズに伝える支持装置を有するので、ベローズ両端間を
支持し圧縮力に耐えることでベローズが圧縮されること
を防ぎ、防振効果の高いすなわち剛性の低いベローズを
利用することで効果的に防振を行える。
継手は振動発生源となる真空ポンプと、排気が施される
真空チャンバとを真空排気可能な状態に結合する真空防
振継手であって、一端側が前記真空ポンプに結合され、
他端側が前記真空チャンバに結合され、内部を排気通路
とするベローズと、このベローズが所定量伸縮方向に圧
縮されたとき、このベローズの伸縮方向への圧縮に逆ら
うとともに、前記伸縮方向以外の方向の振動を前記べロ
ーズに伝える支持装置を有するので、ベローズ両端間を
支持し圧縮力に耐えることでベローズが圧縮されること
を防ぎ、防振効果の高いすなわち剛性の低いベローズを
利用することで効果的に防振を行える。
【００３２】また、真空防振継手を多段に重ね合わせた
ので、多方向の振動に対して防振作用をもたせることが
できる。
ので、多方向の振動に対して防振作用をもたせることが
できる。
【図１】本発明の真空防振継手の実施の形態の基本的構
成を示すもので、図１（ａ）は断面略図、図１（ｂ）は
図１（ａ）の矢印Ａ方向からを見た形状の一部を示す側
面図である。
成を示すもので、図１（ａ）は断面略図、図１（ｂ）は
図１（ａ）の矢印Ａ方向からを見た形状の一部を示す側
面図である。
【図２】本発明を多段にして２方向の防振を図った真空
防振継手の実施の形態を示す図で、図２（ａ）は斜視
図、図２（ｂ）は図２（ａ）の支持装置の他の形状を示
す斜視図である。
防振継手の実施の形態を示す図で、図２（ａ）は斜視
図、図２（ｂ）は図２（ａ）の支持装置の他の形状を示
す斜視図である。
【図３】本発明を基にして簡単な構造で２方向の防振を
図った真空防振継手の実施の形態を示すもので、図３
（ａ）は断面略図、図３（ｂ）は平面図である。
図った真空防振継手の実施の形態を示すもので、図３
（ａ）は断面略図、図３（ｂ）は平面図である。
【図４】本発明の一実施例を示すもので、図４（ａ）は
斜視図、図４（ｂ），（ｃ）は図４（ａ）のピンの頭部
にナットを使用した例を示す断面図である。
斜視図、図４（ｂ），（ｃ）は図４（ａ）のピンの頭部
にナットを使用した例を示す断面図である。
【図５】ベローズを真空防振継手として使用する従来例
を示す断面図である。
を示す断面図である。
１１ ベローズ １２ 上部フランジ １３ 下部フランジ １４ 排気通路 １５，１６ 透孔 ２０，３０，４０，６０ 支持装置 ２１，２２，２３，２４，３１，３２，４１，４２，６
１ 支持部 ２５，２６，３３，４３，６２ 支点 ５１ 中間リング ５２ 受け ７１Ａ〜７１Ｄ ピン １００Ａ，１００Ａ−１，１００Ａ−２，１００Ｂ，１
００Ｃ 真空防振継手
１ 支持部 ２５，２６，３３，４３，６２ 支点 ５１ 中間リング ５２ 受け ７１Ａ〜７１Ｄ ピン １００Ａ，１００Ａ−１，１００Ａ−２，１００Ｂ，１
００Ｃ 真空防振継手
Claims (2)
- 【請求項１】 振動発生源となる真空ポンプと、排気が
施される真空チャンバとを真空排気可能な状態に結合す
る真空防振継手であって、一端側が前記真空ポンプに結
合され、他端側が前記真空チャンバに結合され、内部を
排気通路とするベローズと、このベローズが所定量伸縮
方向に圧縮されたとき、このベローズの伸縮方向への圧
縮に逆らうとともに、前記伸縮方向以外の方向の振動を
前記べローズに伝える支持装置を備えたことを特徴とす
る真空防振継手。 - 【請求項２】 請求項１に記載の真空防振継手を所定段
数重ね合わせたことを特徴とする真空防振継手。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29307197A JP3343581B2 (ja) | 1997-10-27 | 1997-10-27 | 真空防振継手 |
| US09/173,713 US6065780A (en) | 1997-10-27 | 1998-10-16 | Vibration-isolator joint for vacuum device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29307197A JP3343581B2 (ja) | 1997-10-27 | 1997-10-27 | 真空防振継手 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11125309A true JPH11125309A (ja) | 1999-05-11 |
| JP3343581B2 JP3343581B2 (ja) | 2002-11-11 |
Family
ID=17790081
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29307197A Expired - Lifetime JP3343581B2 (ja) | 1997-10-27 | 1997-10-27 | 真空防振継手 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6065780A (ja) |
| JP (1) | JP3343581B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007524033A (ja) * | 2004-02-06 | 2007-08-23 | ザ ビーオーシー グループ ピーエルシー | 振動ダンパ |
| WO2008111335A1 (ja) * | 2007-03-13 | 2008-09-18 | Edwards Japan Limited | 真空ポンプ防振構造とその構造を備えた真空ポンプ |
| JP2009097673A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Kurashiki Kako Co Ltd | 防振継手 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE29922230U1 (de) * | 1999-12-17 | 2001-06-07 | Voss Armaturen | Leitungsverbinder insbesondere für Kraftstoffleitungen |
| US6885101B2 (en) * | 2002-08-29 | 2005-04-26 | Micron Technology, Inc. | Methods for wafer-level packaging of microelectronic devices and microelectronic devices formed by such methods |
| JP4190918B2 (ja) * | 2003-03-11 | 2008-12-03 | シャープ株式会社 | 真空処理装置 |
| FR2867823B1 (fr) * | 2004-03-22 | 2006-07-14 | Cit Alcatel | Raccord amortisseur pour pompe a vide |
| US8033576B2 (en) * | 2007-10-12 | 2011-10-11 | Flex-Hose Co. Inc. | Pipe guide for expansion joint |
| DE102015002105A1 (de) * | 2015-02-23 | 2016-09-08 | Man Diesel & Turbo Se | Kompensator |
| GB2598762B (en) * | 2020-09-11 | 2024-01-31 | Thermo Fisher Scient Bremen Gmbh | Coupling for connecting analytical systems with vibrational isolation |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US1499050A (en) * | 1921-06-17 | 1924-06-24 | Ernest L Broome | Flexible expansion joint |
| US3038553A (en) * | 1960-08-26 | 1962-06-12 | Melville F Peters | Flexible fluid coupling and sound attenuating assemblies |
| DE29611142U1 (de) * | 1996-06-25 | 1996-09-05 | Feodor Burgmann Dichtungswerke GmbH & Co, 82515 Wolfratshausen | Entkopplungselement für Schwingungen in Rohrleitungen |
-
1997
- 1997-10-27 JP JP29307197A patent/JP3343581B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1998
- 1998-10-16 US US09/173,713 patent/US6065780A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007524033A (ja) * | 2004-02-06 | 2007-08-23 | ザ ビーオーシー グループ ピーエルシー | 振動ダンパ |
| WO2008111335A1 (ja) * | 2007-03-13 | 2008-09-18 | Edwards Japan Limited | 真空ポンプ防振構造とその構造を備えた真空ポンプ |
| JP2009097673A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Kurashiki Kako Co Ltd | 防振継手 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6065780A (en) | 2000-05-23 |
| JP3343581B2 (ja) | 2002-11-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |