JP2007509494A - 位置決め装置および電子部品を移送する方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】 図1
Description
−第一の平らな支持体の下方のその支持平面に沿って、第二の平らな支持体を変位させること;
−第二の支持体の変位の間に、第一の支持体上に配置されたチップの位置データを、少なくともある部位において光学的に透明である材料から成る第二の支持体の下方に配置されたカメラ装置によって検出すること;
−カメラ装置の上方の第二の支持体上の所定の位置を位置決めすること;
−所定の位置の位置データを、カメラ装置によって検出すること;および
−第一の支持体、また必要に応じて排出装置および/もしくは第二の支持体を、それらに接続された位置決め装置によって支持平面内でそれらを互いに対して変位および/もしくは回転させて整列させること。ここで、カメラ装置を、第二の支持体上の所定の位置を備えた、第一の支持体上に配置された、取り除こうとするチップ、および排出装置とともに、想像上の共通の直線上に配置する。
本発明に係る位置決め方法のある可能な実施形態の時間的な過程は、8種類の異なる時間信号の形で示し、全400msにわたっており、また、とりわけチップの位置データおよび排出装置の位置データの検出の間の、基板の変位動きの処理を示す。
2 基板帯片
2a 結合位置
3 駆動ローラー
4 駆動ローラー
5 ウエハーホルダー
6 チップ
6a 外そうとするチップ
7 排出装置
8 排出針
9 支持体
10 カメラ装置
11 直線
12 結合接点接続
13 アンテナ
14 アンテナ
15 アンテナ
16 光学的に透明な部位
Claims (18)
- 少なくとも1個の電子部品(6、6a)、特にチップを、第一の平らな支持体(1)から、前記第一の支持体に平行に延びる第二の平らな支持体(2)上の少なくとも1カ所の所定の位置(2a)に移送するための位置決め装置であって、前記部品(6a)を排出の動きによって前記第一の支持体(1)から取り除くための排出装置(7、8)を備え、前記所定の位置(2a)の位置データ、前記第一の支持体(1)から取り除こうとする前記部品(6a) の位置データおよび必要に応じて前記排出装置(7、8)の位置データを検出するためのカメラ装置(10)を特徴とし、前記排出装置(7、8)は前記カメラ装置(10)とともに本質的に想像上の共通の直線(11)上に配置される、位置決め装置。
- 前記第一の支持体(1)および前記第二の支持体(2)が、各々それらを前記共通の直線(11)に対して位置決めするための第一の位置決め装置および第二の位置決め装置(5;3、4)に接続されていることを特徴とする、請求項1に記載の位置決め装置。
- 前記第一および前記第二の平らな支持体(1、2)のその支持平面における変位を、前記第一および第二の位置決め装置(5;3、4)各々によって実行することができることを特徴とする、請求項2に記載の位置決め装置。
- 前記第一および/もしくは第二の支持体(1、2)のその支持平面に垂直な回転軸回りの回転を、前記第一および/もしくは第二の位置決め装置(5;3、4)によって実行することができることを特徴とする、請求項2もしくは3に記載の位置決め装置。
- 前記排出装置(7、8)が、それを、前記共通の直線(11)に対して、前記支持平面に対して平行に実行される変位によって位置決めするための第三の位置決め装置に接続されていることを特徴とする、前記請求項のいずれかに記載の位置決め装置。
- 前記第一の平らな支持体(1)がウエハーとして設計され、前記第二の平らな支持体(2)が帯片形の基板として設計されることを特徴とする、前記請求項のいずれかに記載の位置決め装置。
- 前記帯片形の基板が、光学的に透明な材料から成ることを特徴とする、請求項6に記載の位置決め装置。
- 前記帯片形の基板は、部分的に孔の空いた材料から成ることを特徴とする、請求項6に記載の位置決め装置。
- 前記電子部品(6a)を移送する前に適用されたさらなる部品(13、14、15)が、前記帯片形の基板上に配置されることを特徴とする、請求項6〜8のいずれかに記載の位置決め装置。
- 前記部品(6a)を前記基板に結合するための結合接点(12)が、前記帯片形の基板上の前記所定の位置(2a)に配置されることを特徴とする、請求項6〜9のいずれかに記載の位置決め装置。
- 第二の支持体(2)は、互いに離間された個別の基板素子を備えることを特徴とする、前記請求項のいずれかに記載の位置決め装置。
- 前記カメラ装置(10)が第二の支持体(2)の下方に配置され、前記共通の直線(11)が、前記カメラ装置(10)を通って垂直方向に延びることを特徴とする、前記請求項のいずれかに記載の位置決め装置。
- 光学的に透明な材料から成る第二の支持体(2)の一部を支持するための平らな支持体素子(9)が、前記カメラ装置(10)と前記第二の支持体(2)との間に配置されることを特徴とする、前記請求項のいずれかに記載の位置決め装置。
- 前記支持体素子(9)が、前記直線(11)に沿って垂直方向に変位可能であり、好ましくは加熱され得ることを特徴とする請求項13に記載の位置決め装置。
- 前記カメラ装置(10)は、前記検出された位置データを評価および比較するための評価装置を備えることを特徴とする、前記請求項のいずれかに記載の位置決め装置。
- 前記位置決め装置(5;3、4)を、前記比較される位置データの関数として制御するための制御装置を特徴とする、請求項15に記載の位置決め装置。
- 少なくとも1個の電子部品(6、6a)、特にチップを、第一の平らな支持体(1)から、前記第一の支持体に平行に延びる第二の平らな支持体(2)上の少なくとも一カ所の所定の位置(2a)へ移送する位置決め方法であって、前記部品(6a)を前記第一の支持体(1)から、排出の動きによって取り除くための排出装置(7、8)を備え、以下の工程を特徴とする方法:
−前記第一の平らな支持体(1)の下方の前記第二の平らな支持体(2)の平面に沿って、前記第二の平らな支持体(2)を変位させる工程;
−前記第二の支持体(2)の変位の間に、少なくともある部位において光学的に透明である材料から成る前記第二の支持体(2)の下方に配置されたカメラ装置(10)によって前記第一の支持体(1)上に配置された前記電子部品(6a)の位置データを検出する工程;
−所定の位置(2a)を前記カメラ装置(10)の上方の前記第二の支持体(2)上に位置決めする工程;
−前記所定の位置(2a)の位置データを、前記カメラ装置(10)によって検出する工程;および
−前記第一の支持体(1)、また必要に応じて前記排出装置(7、8)および/もしくは前記第二の支持体(2)を、前記支持平面内で互いに対してそれらを変位および/もしくは回転させて、それらに接続された位置決め装置(5;3、4)によって整列させ、前記カメラ装置(10)、前記第二の支持体(2)上の前記所定の位置(2a)、前記第一の支持体(1)上に配置された前記電子部品(6a)および前記排出装置(7、8)が想像上の共通の直線(11)上に位置するようにする工程。 - 帯片形の基板として設計された前記第二の支持体(2)を、その支持平面中で、前記第一の支持体(1)から連続的に取り除こうとする前記電子部品(6、6a)同士の間の距離、前記第一の支持体(1)の変位速度および前記第二の支持体(2)の光学的に透明な部位(16)の位置データから計算される変位速度で動かし、前記カメラ装置(10)が、前記光学的に透明な部位(16)を通して前記第二の支持体(2)の変位の間に位置データを検出することを特徴とする、請求項17に記載の方法。
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