JP2007509291A5

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Publication number: JP2007509291A5
Application number: JP2006535423A
Authority: JP
Filing date: 2004-10-18
Publication date: 2007-12-06
Anticipated expiration: 2024-10-18

Claims

流体制御弁（１００）であって、
弁座（１１０）と、
前記弁座を通る流路と、
ダイアフラム（１０８）と、
常閉空気圧式アクチュエータ（１２４）と、
弁制御室（１１４）と、
空気圧供給管路（１１６）と、
パイロット弁（１４４）とを備え、
前記ダイアフラムは、前記弁座と前記弁制御室との間に分散され、
前記常閉空気圧式アクチュエータは、前記ダイアフラムをたわませて前記弁座を密封することにより前記流路を通常閉じるように構成され、
前記空気圧供給管路は、前記常閉空気圧式アクチュエータと流体により連絡し、
前記空気圧供給管路は、前記パイロット弁を通じて前記弁制御室と流体により連絡する、流体制御弁。
前記パイロット弁は、ノーマルオープン３方弁であり、
前記制御室は、前記パイロット弁が作動されていない場合に前記パイロット弁を通じて前記空気圧供給管路と連絡し、
前記制御室は、前記パイロット弁が作動されている場合に前記パイロット弁により前記空気圧供給管路から切断され、
前記制御室は、前記パイロット弁が作動されている場合に前記パイロット弁を通じて放出管路と連絡する請求項１に記載の流体制御弁。
前記空気圧式アクチュエータは、弁棒（１１８）を含み、
前記弁棒は、前記弁制御室の壁（１１２）を貫き、
スライディングシール（１２２）が、前記弁棒と前記弁制御室の前記壁との間に分散される請求項１に記載の流体制御弁。
流体制御弁（１００）であって、
入口（１１０´）および出口（１０６）を備える弁本体（１０２）と、
前記弁本体内に形成される弁室底部であって、前記口のうちの第１の口は、前記弁室底部の実質的中心で前記弁底部内に流体により直列連絡する形で接続される弁室底部とを有し、
前記口のうちの第２の口は、前記弁室底部の中心から実質的に外れる前記弁底部に流体により直列連絡する形で接続され、
前記流体制御弁はさらに、前記第１の口の周辺の前記弁室底部の内側に配置される弁シール（１１０´´）と、
実質的に柔軟な部材（１０８）から作られた弁室上部とを有し、
前記実質的に柔軟な部材の中心は、通常、前記弁室底部から実質的に離れたところに配置され、
前記弁室上部は、前記弁室を弁制御室（１１４）から隔て、
前記弁制御室は、流体接続口（１１６）を備え、
前記弁制御室は、平行移動可能な弁棒（１１８）を備え、
前記平行移動可能な弁棒は、流体供給管路（１３０）を通る加圧流体により作動され、
前記流体制御弁はさらに、前記流体供給管路と前記流体接続口との間を流体により直列連絡するパイロット制御弁（１４４）を有し、
前記パイロット制御弁内の流体経路は、通常、前記流体供給管路を前記流体接続口に接続し、
前記パイロット弁内の前記流体経路は、前記パイロット弁が作動されたときに前記流体供給管路を前記流体接続口から切断し、前記パイロット弁が作動されたときに前記流体接続口を放出管路（１５６）に接続し、
前記弁棒は、通常スプリング（１２８）で圧縮され、前記弁室と前記制御室との間で前記柔軟な部材を圧してたわませて、前記柔軟な部材を前記弁シールに適合させ且つ前記弁シールを実質的に密封し、
流体は、前記流体供給管路を通して送られ、これにより前記弁棒を作動させ、前記弁室と前記制御室との間で前記柔軟な部材から前記弁棒を平行移動で離し、
前記流体は、前記パイロット弁が作動されない場合に前記パイロット弁内の前記流体経路を通じて前記弁制御室に送られ、それにより、前記弁室と前記制御室との間で前記柔軟な部材をたわませて、前記弁シールを実質的に密封し、
前記流体は、前記パイロット弁が作動された場合に前記弁制御室から放出され、前記柔軟な部材がたわんでいない位置に戻ることで前記流体制御弁を開放する、流体制御弁。
流体制御弁を操作する方法であって、
前記弁を、空気圧により操作できない不活性状態で閉じたままに機械的に保持する工程と、
前記弁を、空気圧で開放および閉鎖できる活性状態に変更する工程と、
前記弁を空気圧で開放および閉鎖する工程とを含む方法。
前記変更する工程は、機械式弁アクチュエータを空気圧で作動させる工程を含む請求項５に記載の方法。
前記機械的に保持する工程は、前記弁をスプリングで閉じたままに保持する工程を含む請求項５に記載の方法。
流体制御弁を操作する方法であって、
前記弁ダイアフラムを機械式アクチュエータにより閉じたままに保持する工程と、
前記機械式アクチュエータを解除する工程と、
前記弁ダイアフラムを空気圧で開放および閉鎖する工程とを含む方法。
前記解除は空気圧により実行される請求項８に記載の方法。
前記解除とともに、前記弁を閉じたままに保持するために空気圧を機械式圧力の代わりに使用する請求項８に記載の方法。
流体制御弁（１００、５０）であって、
弁座（１１０）と、
前記弁座を通る流路（１１０´）と、
柔軟な部材（１０８、６２）と、
空気圧式アクチュエータ（１２４、６４）と、
柔軟な部材室（１０７、５４）と、
柔軟な部材室排出口（１１６、５６）と、
排出管路（７０）とを備え、
前記柔軟な部材は、前記弁座と前記柔軟な部材室との間に分散され、
前記空気圧式アクチュエータは、前記柔軟な部材をたわませて前記弁座を密封することにより前記流路を閉じるように構成され、
前記柔軟な部材室は、圧力密封され、
前記流路は、柔軟な部材の不具合が生じたときに周囲環境から圧力密封されたままとなる流体制御弁。
前記柔軟な部材は、金属製ダイアフラムを含む請求項１１に記載の流体制御弁。
前記柔軟な部材は、金属製ベローズを含む請求項１１に記載の流体制御弁。
前記柔軟な部材室は、さらに、前記柔軟な部材に不具合が生じた後に排気される請求項１１に記載の流体制御弁。
流体制御弁を操作する方法であって、
弁制御室、弁座、前記弁座を通る流体通路、弁ダイアフラム及び弁アクチュエータを有する弁を提供する工程と、
前記弁ダイアフラムを、不活性状態で、前記弁アクチュエータの力により閉じたままに保持する工程と、
前記弁ダイアフラムに対する前記弁アクチュエータの力を空圧的に減少させ、前記弁室内の圧力を変化させ、前記弁ダイアフラムを閉じたままに保持して活性遮断弁状態にする工程と、を含む方法。
前記弁ダイアフラムは、前記弁制御室と前記弁座との間に位置し、前記弁室内の圧力を変化させる工程は、前記弁室内の圧力を大きくする工程を含む、請求項１５に記載の方法。
前記提供する工程はさらに、前記弁アクチュエータに接続されたピストンを提供する工程を含み、前記空圧的に減少させる工程は、前記接続されたピストンに、前記弁ダイアフラムから離れる方向に空圧的に力を与える工程を含む、請求項１５に記載の方法。
前記ピストンに対する前記力を解放して、前記ダイアフラムが故障したときに、前記弁座を通る流れが生じないようにする工程をさらに含む、請求項１７に記載の方法。
前記弁制御室内の圧力を解放して、前記弁座を通る前記流体通路を開いて、活性開放弁状態にする工程をさらに含む、請求項１５に記載の方法。
前記提供する工程はさらに、パイロット弁を提供する工程を含み、前記解放する工程は、前記パイロット弁を通じて、前記弁制御室を排気する工程を含む、請求項１９に記載の方法。
前記パイロット弁は、ノーマルオープン３方弁であり、前記提供する工程はさらに、加圧流体源を提供する工程を含み、前記弁室内の圧力を変化させる工程は、前記弁室を前記圧力源に接続する工程を含み、前記解放する工程はさらに、前記パイロット弁を作動させて、前記弁室を前記圧力源から切断する工程を含む、請求項２０に記載の方法。
前記パイロット弁を作動停止させて、前記弁室を前記加圧流体源に接続することで、前記流体が前記弁座を通って流れないようにする工程をさらに含む、請求項２１に記載の方法。
前記流体が前記弁座を通って流れないようにする工程の応答時間が、１ミリ秒以下である、請求項２２に記載の方法。
前記流体が前記弁座を通って流れないようにする工程の応答時間が、２分の１ミリ秒以下である、請求項２２に記載の方法。
前記弁座を通る流体通路の伝導性を調整する工程をさらに含み、前記調整は、前記流体弁の外部で実行される、請求項１５に記載の方法。
前記提供する工程はさらに、前記弁アクチュエータが解放されたとき、前記弁アクチュエータと前記弁ダイアフラムとの間の制限されたギャップを提供する工程を含み、前記調整する工程は、前記弁アクチュエータの行程を調整することで前記制限されたギャップの寸法を制御する工程を含む、請求項２５に記載の方法。
前記流体制御弁を用いて、原子層蒸着（ＡＬＤ）装置への、ガスのパルス送出を制御する工程をさらに含む、請求項１５に記載の方法。