JP2007332396A - スケール除去方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】銅の酸化物が付着した構成部材を備えた循環水系にスルファミン酸を添加した水溶液を供給して、循環水系の構成部材を洗浄する洗浄工程と、水による循環水系をリンスするリンス工程とを具備し、各工程の完了を検知手段により検知することを特徴とするスケール除去方法。
【選択図】 なし
Description
更に、銅製の熱交換器の洗浄剤として、硝酸で酸化銅を溶解後、EDTA(エチレンジアミン四酢酸の略称)ナトリウム塩で銅イオンを補足する方法が採られている。
本発明において、まず、銅の酸化物が付着した構成部材を備えた循環水系にスルファミン酸を添加した水溶液を循環又は通過させて供給することにより洗浄を行う(洗浄工程)ことにより、循環水が接する銅部材表面の酸化銅を除去する。その際、酸化第二銅だけが選択的に溶解し、銅表面には酸化第一銅が残る。ここで、スルファミン酸により酸化第二銅は銅母材との密着力が弱まり洗浄液中に分散する。その時には洗浄液中に酸化第二銅の黒色物が浮遊しているが、しばらく循環すると酸化第二銅が溶解し洗浄液が透明になる。これを濁度で検知する。請求項6で述べる「濁度」とはこの濁度を意味し、洗浄液が透明になる時を洗浄完了と判断し、洗浄工程の洗浄完了時間を決定する。なお、前記構成部材例えばプラスチック配管やセラミック抵抗等の循環水路に付着している酸化物は、酸化第二銅なので、この洗浄で表面に付着していた酸化銅は洗浄除去される。従って、請求項5の「洗浄完了時間」は、酸化第二銅の溶解が完了する時間をもって設定することができる。
(実施例)
まず、アミドスルフォン酸(H2NSO3H)3%水溶液を純水(蒸留水、イオン交換水)で調合する。ここで、アミドスルフォン酸だけでなく、アミドスルフォン酸のN−アルキル誘導体(通称スルファミン酸)であれば代替できる。また、アミドスルフォン酸の濃度は3%以上であれば、酸化第二銅の溶解性は変わらない。20℃と40℃で試験したが、溶解性はほとんど変わらなかった。下記表1は、酸化第二銅粉末の溶解性を試験した結果を示す。
Claims (7)
- 銅の酸化物が付着した構成部材を備えた循環水系にスルファミン酸を添加した水溶液を供給して、循環水系の構成部材を洗浄する洗浄工程と、水による循環水系をリンスするリンス工程とを具備し、各工程の完了を検知手段により検知することを特徴とするスケール除去方法。
- 前記洗浄工程で使用する洗浄液のスルファミン酸濃度は0.1〜10質量%であることを特徴とする請求項1記載のスケール除去方法。
- 前記洗浄工程に使用する洗浄液のスルファミン酸はアミドスルフォン酸であることを特徴とする請求項1もしくは請求項2記載のスケール除去方法。
- 前記洗浄工程に使用する洗浄液の温度は20〜40℃であることを特徴とする請求項1乃至3いずれか記載のスケール除去方法。
- 前記洗浄工程の洗浄完了時間は、酸化第二銅の溶解が完了する時間であることを特徴とする請求項1乃至4いずれか記載のスケール除去方法。
- 前記洗浄工程の洗浄完了時間は、循環水の濁度又は透明度を測定して決めることを特徴とする請求項1乃至5いずれか記載のスケール除去方法。
- 前記リンス工程のリンス完了時間は、循環水の電導度を測定して決めることを特徴とする請求項1乃至6いずれか記載のスケール除去方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006162674A JP4825591B2 (ja) | 2006-06-12 | 2006-06-12 | スケール除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2007332396A true JP2007332396A (ja) | 2007-12-27 |
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Country Status (1)
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