JP2007329367A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007329367A5 JP2007329367A5 JP2006160510A JP2006160510A JP2007329367A5 JP 2007329367 A5 JP2007329367 A5 JP 2007329367A5 JP 2006160510 A JP2006160510 A JP 2006160510A JP 2006160510 A JP2006160510 A JP 2006160510A JP 2007329367 A5 JP2007329367 A5 JP 2007329367A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mold
- drive unit
- resin
- speed
- control system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims 16
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims 16
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 5
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims 1
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006160510A JP4810319B2 (ja) | 2006-06-09 | 2006-06-09 | 加工装置及びデバイス製造方法 |
| US11/755,973 US7785091B2 (en) | 2006-06-09 | 2007-05-31 | Processing apparatus and device manufacturing method |
| TW096120000A TWI366073B (en) | 2006-06-09 | 2007-06-04 | Processing apparatus and device manufacturing method |
| KR1020070055769A KR100870606B1 (ko) | 2006-06-09 | 2007-06-08 | 가공장치 및 디바이스 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006160510A JP4810319B2 (ja) | 2006-06-09 | 2006-06-09 | 加工装置及びデバイス製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2007329367A JP2007329367A (ja) | 2007-12-20 |
| JP2007329367A5 true JP2007329367A5 (enExample) | 2010-05-06 |
| JP4810319B2 JP4810319B2 (ja) | 2011-11-09 |
Family
ID=38929627
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006160510A Expired - Fee Related JP4810319B2 (ja) | 2006-06-09 | 2006-06-09 | 加工装置及びデバイス製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7785091B2 (enExample) |
| JP (1) | JP4810319B2 (enExample) |
| KR (1) | KR100870606B1 (enExample) |
| TW (1) | TWI366073B (enExample) |
Families Citing this family (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5517423B2 (ja) * | 2008-08-26 | 2014-06-11 | キヤノン株式会社 | インプリント装置及びインプリント方法 |
| JP5371349B2 (ja) | 2008-09-19 | 2013-12-18 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および物品の製造方法 |
| JP2010093187A (ja) * | 2008-10-10 | 2010-04-22 | Renesas Technology Corp | 半導体集積回路装置の製造方法 |
| US8652393B2 (en) | 2008-10-24 | 2014-02-18 | Molecular Imprints, Inc. | Strain and kinetics control during separation phase of imprint process |
| US8309008B2 (en) * | 2008-10-30 | 2012-11-13 | Molecular Imprints, Inc. | Separation in an imprint lithography process |
| EP2384875A4 (en) * | 2009-01-30 | 2014-03-12 | Konica Minolta Opto Inc | DEVICE FOR PREPARING A WAFER LENS AND METHOD FOR PRODUCING A WAFER LENS |
| JP5267939B2 (ja) * | 2009-02-03 | 2013-08-21 | 富士電機株式会社 | インプリント装置及びインプリント方法 |
| JP4940262B2 (ja) | 2009-03-25 | 2012-05-30 | 株式会社東芝 | インプリントパターン形成方法 |
| JP5563243B2 (ja) * | 2009-06-01 | 2014-07-30 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、および、物品の製造方法 |
| JP2011009641A (ja) * | 2009-06-29 | 2011-01-13 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法及びインプリント用テンプレート |
| KR101005583B1 (ko) * | 2009-08-04 | 2011-01-05 | 한국기계연구원 | 기판 정렬 모듈 및 이를 구비하는 리소그래피 장치 |
| NL2004945A (en) * | 2009-08-14 | 2011-02-15 | Asml Netherlands Bv | Imprint lithography apparatus and method. |
| JP5583374B2 (ja) * | 2009-09-07 | 2014-09-03 | 株式会社島津製作所 | 光硬化樹脂の特性試験装置、その試験装置で使用する保持具、特性試験方法 |
| KR101770538B1 (ko) * | 2009-10-23 | 2017-08-22 | 프레지던트 앤드 펠로우즈 오브 하바드 칼리지 | 상호 접속부를 위한 자기―정렬 배리어 및 캡핑 층 |
| NL2005735A (en) * | 2009-12-23 | 2011-06-27 | Asml Netherlands Bv | Imprint lithographic apparatus and imprint lithographic method. |
| KR20150008448A (ko) * | 2009-12-26 | 2015-01-22 | 캐논 가부시끼가이샤 | 임프린트 장치 및 물품의 제조 방법 |
| JP5438578B2 (ja) | 2010-03-29 | 2014-03-12 | 富士フイルム株式会社 | 微細凹凸パターンの形成方法及び形成装置 |
| KR100978612B1 (ko) * | 2010-05-25 | 2010-08-27 | (주)아이에스티 코리아 | 자동 평행 조정 스크레이퍼 가공 장치 |
| JP5820707B2 (ja) * | 2011-11-30 | 2015-11-24 | 株式会社Screenホールディングス | パターン転写方法およびパターン転写装置 |
| JP6000712B2 (ja) * | 2012-07-24 | 2016-10-05 | キヤノン株式会社 | 樹脂の製造方法及び樹脂の製造装置 |
| JP6315963B2 (ja) * | 2013-12-09 | 2018-04-25 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、及び物品の製造方法 |
| JP6294686B2 (ja) * | 2014-02-04 | 2018-03-14 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法 |
| JP5745129B2 (ja) * | 2014-04-02 | 2015-07-08 | キヤノン株式会社 | インプリント装置及びインプリント方法 |
| JP2015135975A (ja) * | 2015-02-23 | 2015-07-27 | キヤノン株式会社 | インプリント装置及びインプリント方法 |
| US10534259B2 (en) * | 2017-03-28 | 2020-01-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Method and system for imprint force control |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6309580B1 (en) * | 1995-11-15 | 2001-10-30 | Regents Of The University Of Minnesota | Release surfaces, particularly for use in nanoimprint lithography |
| DE19648844C1 (de) * | 1996-11-26 | 1997-09-18 | Jenoptik Jena Gmbh | Einrichtung und Verfahren zur Abformung mikrosystemtechnischer Strukturen |
| US6873087B1 (en) * | 1999-10-29 | 2005-03-29 | Board Of Regents, The University Of Texas System | High precision orientation alignment and gap control stages for imprint lithography processes |
| JPWO2004093171A1 (ja) * | 2003-04-11 | 2006-07-06 | Scivax株式会社 | パターン形成装置、パターン形成方法 |
| US7396475B2 (en) * | 2003-04-25 | 2008-07-08 | Molecular Imprints, Inc. | Method of forming stepped structures employing imprint lithography |
| US7157036B2 (en) * | 2003-06-17 | 2007-01-02 | Molecular Imprints, Inc | Method to reduce adhesion between a conformable region and a pattern of a mold |
| JP4217551B2 (ja) * | 2003-07-02 | 2009-02-04 | キヤノン株式会社 | 微細加工方法及び微細加工装置 |
| KR20050019557A (ko) * | 2003-08-19 | 2005-03-03 | 엘지전자 주식회사 | 나노 임프린트 방법 및 이에 이용되는 고분자 조성물 |
| JP2005101201A (ja) * | 2003-09-24 | 2005-04-14 | Canon Inc | ナノインプリント装置 |
| JP2005191444A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Bussan Nanotech Research Institute Inc | パターン転写装置、型の洗浄方法、パターン転写方法 |
| JP4787993B2 (ja) * | 2005-04-22 | 2011-10-05 | 株式会社日立製作所 | インプリント方式の転写印刷方法、および転写印刷版 |
-
2006
- 2006-06-09 JP JP2006160510A patent/JP4810319B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-05-31 US US11/755,973 patent/US7785091B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-06-04 TW TW096120000A patent/TWI366073B/zh not_active IP Right Cessation
- 2007-06-08 KR KR1020070055769A patent/KR100870606B1/ko not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2007329367A5 (enExample) | ||
| WO2008018935A3 (en) | Ultrasonic press using servo motor with integrated linear actuator | |
| WO2008094342A3 (en) | Belt-driven robotic gripping device and method for operating | |
| WO2009001678A1 (ja) | トルク制御装置とその制御方法 | |
| JP2012186390A5 (enExample) | ||
| EP1669627A3 (en) | Clutch connection control device, clutch connection control method, and saddle-ride type vehicle | |
| JP2010504883A5 (enExample) | ||
| WO2009051247A1 (ja) | 旋回駆動制御装置及びこれを含む建設機械 | |
| WO2009031654A1 (ja) | 駆動制御方法、駆動制御装置、ステージ制御方法、ステージ制御装置、露光方法、露光装置及び計測装置 | |
| JP2005273761A5 (enExample) | ||
| JP2012234913A5 (enExample) | ||
| JP2010057212A5 (enExample) | ||
| JP2009042328A5 (enExample) | ||
| JP6077462B2 (ja) | 単一モータ駆動グラビアシリンダチャック機構 | |
| EP1795320A3 (en) | Apparatus and method for dehumidifying and drying resin pellets | |
| JP2011076014A5 (enExample) | ||
| BRPI0720157A2 (pt) | Dispositivo e método de união de filetes de urdume de camadas de filetes de vários urdumes | |
| TW202207352A (zh) | 片貼附裝置以及片貼附方法 | |
| SG165400A1 (en) | Substrate cleaning apparatus, substrate cleaning method, substrate cleaning program and program recording medium | |
| JP2007148026A5 (enExample) | ||
| DK1780037T3 (da) | Indretning til limning af de udvendige flader af bogblokke | |
| JP2004085838A5 (enExample) | ||
| JP5814105B2 (ja) | 金型自動交換装置 | |
| ATE439200T1 (de) | Vorrichtung zum setzen von befestigungselementen | |
| JP2021067761A5 (enExample) |