JP5267939B2 - インプリント装置及びインプリント方法 - Google Patents
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Description
Fi=K・δ=K・(H−h) ・・・(1)
K=Fi・α/(ΔH−Δh) ・・・(2)
K≦2.5×104・Fi[N/m] ・・・(3)
2 モールド
6 ボルト
4 インプリント装置
46,48 バネ部材
47 印加子
K バネ定数
Fi 押し付け力
Claims (3)
- モールドの転写面を基板の被転写面に押し付けて前記転写面の凹凸パターンを前記被転写面に転写するインプリント装置において、前記モールドの押し付けを行うためのバネ部材と、前記モールドの押し付けを維持すべく、前記バネ部材を変形状態で固定する固定手段とを備え、前記バネ部材が印加子を介して前記モールドの押し付けを行い、前記バネ部材が板バネからなり、前記モールド、前記基板及び前記バネ部材が積層状態で配置され、前記バネ部材の中心部に対して前記バネ部材の外周縁部が前記基板側に変形させられることにより前記バネ部材が押し付けを行い、前記固定手段が、前記バネ部材の外周縁部を装置本体に固定することを特徴とするインプリント装置。
- 前記バネ部材のバネ定数KがK≦2.5×104・Fi[N/m](但しFi[N]は所定の押し付け力)を満たすように設定されていることを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。
- モールドの転写面を基板の被転写面に押し付けて前記転写面の凹凸パターンを前記被転写面に転写するインプリント方法において、
前記モールド、前記基板、板バネからなるバネ部材及び印加子を積層状態で配置するステップと、
前記バネ部材により前記印加子を介して前記モールドの押し付けを行うステップであって、前記バネ部材の中心部に対して前記バネ部材の外周縁部が前記基板側に変形させられることにより前記バネ部材が押し付けを行うステップと、
前記モールドの押し付けを維持すべく、前記バネ部材を変形させた状態で前記バネ部材の外周縁部を装置本体に固定するステップと、
を備えることを特徴とするインプリント方法。
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