JP2010179488A - インプリント装置及びインプリント方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明によれば、モールド2の転写面を基板1の被転写面に押し付けて転写面の凹凸パターンを被転写面に転写するインプリント装置において、モールド2の押し付けを行うためのバネ部材46が備えられる。装置自身のバネ部材46により押し付け力Fiを付与できるので、外部のプレス装置を必要とせず、低廉な設備費と少ないスペースでスループットを向上することができる。
【選択図】図5
Description
Fi=K・δ=K・(H−h) ・・・(1)
K=Fi・α/(ΔH−Δh) ・・・(2)
K≦2.5×104・Fi[N/m] ・・・(3)
2 モールド
6 ボルト
4 インプリント装置
46,48 バネ部材
47 印加子
K バネ定数
Fi 押し付け力
Claims (9)
- モールドの転写面を基板の被転写面に押し付けて前記転写面の凹凸パターンを前記被転写面に転写するインプリント装置において、前記モールドの押し付けを行うためのバネ部材を備えることを特徴とするインプリント装置。
- 前記モールドの押し付けを維持すべく、前記バネ部材を変形状態で固定する固定手段を備えることを特徴とする請求項1記載のインプリント装置。
- 前記バネ部材が印加子を介して前記モールドの押し付けを行うことを特徴とする請求項1又は2記載のインプリント装置。
- 前記バネ部材が、板バネ又はコイルバネからなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のインプリント装置。
- 前記バネ部材が板バネからなり、前記モールド、前記基板及び前記バネ部材が積層状態で配置され、前記バネ部材の中心部に対して前記バネ部材の外周縁部が前記基板側に変形させられることにより前記バネ部材が押し付けを行い、この押し付けを維持すべく、前記バネ部材の外周縁部が装置本体に固定されることを特徴とする請求項1記載のインプリント装置。
- 前記バネ部材のバネ定数KがK≦2.5×104・Fi[N/m](但しFi[N]は所定の押し付け力)を満たすように設定されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のインプリント装置。
- モールドの転写面を基板の被転写面に押し付けて前記転写面の凹凸パターンを前記被転写面に転写するインプリント方法において、バネ部材により前記モールドの押し付けを行うステップを備えることを特徴とするインプリント方法。
- 前記モールドの押し付けを維持すべく、前記バネ部材を変形状態で固定するステップを備えることを特徴とする請求項7記載のインプリント方法。
- 前記バネ部材の固定開始から所定時間を経過した後、前記バネ部材の固定を解除するステップを備えることを特徴とする請求項8記載のインプリント方法。
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JP2013026603A (ja) * | 2011-07-26 | 2013-02-04 | Tokyo Electron Ltd | 印刷装置、印刷システム、印刷方法及びその印刷方法を実行させるためのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
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