JP2007327755A - 被検体欠陥部等の検出装置及びその検出方法 - Google Patents
被検体欠陥部等の検出装置及びその検出方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 被検体を加熱又は冷却する第1の手段と、第1の手段による加熱又は冷却と同時に第1の手段とは逆の熱作用である同被検体を冷却又は加熱する第2の手段と、被検体の同時加熱及び冷却中に被検体から放射される赤外線を検出する赤外線検出手段と、を含む。被検体を同時に加熱及び冷却し、赤外線放射量を増加させて連続的な処理の製品の検出精度を向上させる。
【選択図】図1
Description
赤外線量から得られる被検体の表面温度分布に基いて被検体の欠陥部を検出するとよい。
[実施例1]
ここでは、鉄系焼結体製品Rにクラック欠陥がある場合を示す。表面温度が120℃程度となるまでロッドヒータにより加熱した加熱受台上に薄板状鉄系焼結体製品Rを載置させる。加熱受台124はこの温度を維持した状態で薄板状鉄系焼結体製品Rを冷却工程へ搬送する。このとき、薄板状鉄系焼結体製品の上面の温度は、加熱受台124による加熱により約100℃に保たれ、搬送速度は、4mm/secの速度である。
次に、異物付着による欠陥検出例を示す。
3 高温領域
4 低温領域
5 熱移動
10 検出装置
12 加熱装置
12A 加熱搬送装置
122 搬送装置
124 加熱受台
126 載置面
127 磁力吸着部
132 第1温度調節装置
14 冷却装置
14A 冷却ガス供給装置
144 噴射ノズル
145 ノズル口
16 赤外線検出装置
162 赤外線撮像装置
17 視野範囲
18 表示装置
20 制御装置
40 クラック欠陥
50 異物部分
60a・・・ 等温線
Wa 線幅
R 被検体
L 赤外線
Claims (19)
- 被検体を加熱又は冷却する第1の手段と、
第1の手段による加熱又は冷却と同時に第1の手段とは逆の熱作用を加えるべく同被検体を冷却又は加熱する第2の手段と、
被検体の同時加熱及び冷却中に被検体から放射される赤外線を検出する赤外線検出手段と、を含むことを特徴とする被検体欠陥部等の検出装置。 - 赤外線検出手段は、被検体に対して相対的に移動しながら被検体から放射される赤外線を検出することを特徴とする請求項1記載の被検体欠陥部等の検出装置。
- 加熱又は冷却する手段のいずれかが加熱流体又は冷却流体を直接に被検体に吹き付けて作用させるものであることを特徴とする請求項1または2記載の被検体欠陥部等の検出装置。
- 加熱又は冷却する手段のいずれかが被検体を上面に着脱自在に載置させて移動する加熱搬送装置あるいは冷却移動装置からなる請求項1ないし3のいずれかに記載の被検体欠陥部等の検出装置。
- 移動中の被検体の進行方向前部側から順次後部側にかけて相反する熱作用を生じさせる流体を被検体に加えることを特徴とする請求項3又は4記載の被検体欠陥部等の検出装置。
- 加熱又は冷却作用を生じさせる流体は搬送移動される被検体の進行方向に対して交差する線状又は帯状に供給されることを特徴とする請求項3ないし5のいずれかに記載の被検体欠陥部等の検出装置。
- 加熱流体又は冷却流体は、一定の流量で被検体の表面に当てられることを特徴とする請求項3ないし6のいずれかに記載の被検体欠陥部等の検出装置。
- 冷却手段は、連続又は不連続に開口する所定方向に向けた噴射ノズルを有する冷却ガス供給装置からなることを特徴とする請求項3ないし7のいずれかに記載の被検体欠陥部等の検出装置。
- 赤外線検出手段は、加熱搬送装置により加熱かつ搬送されている被検体を冷却装置による冷却中に被検体上面の熱分布状態を検出することを特徴とする請求項2ないし8のいずれかに記載の被検体欠陥部等の検出装置。
- 被検体は、表裏面を有する板状の物体からなり、その表裏面にそれぞれ相反する熱作用が加えられることを特徴とする請求項1ないし9のいずれかに記載の被検体欠陥部等の検出装置。
- 同時に加えられる冷却及び加熱作用について、そのうちの冷却又は加熱のいずれかは被検体の少なくとも略全面を冷却又は加熱するように加えられることを特徴とする請求項10記載の被検体欠陥部等の検出装置。
- 同時に加えられる冷却及び加熱作用について、それらのいずれか又は両方について、被検体に作用させる温度の調節が可能であることを特徴とする請求項1ないし11のいずれかに記載の被検体欠陥部等の検出装置。
- 加熱搬送装置あるいは冷却移動装置が、被検体を磁力及び空気吸引力を含む吸引手段により着脱自在に吸着する吸着機構が設けられていることを特徴とする請求項4ないし12のいずれかに記載の被検体欠陥部等の検出装置。
- 被検体を同時に加熱及び冷却させつつ、被検体から放射される赤外線量を検出することにより被検体の表面の温度分布を計測し、その温度分布に基いて被検体の欠陥部等を検出することを特徴とする被検体欠陥部等の検出方法。
- 被検体を同時に加熱及び冷却する手段が搬送装置に搬送される受台に一体的に組み込まれ、被検体を受台に載置させて移動可能状態で被検体の下面側から加熱又は冷却させることを特徴とする請求項14記載の被検体欠陥部等の検査方法。
- 加熱又は冷却する手段のいずれかが加熱流体又は冷却流体を直接に被検体に吹き付けて作用させるものであることを特徴とする請求項14または15記載の被検体欠陥部等の検出方法。
- 被検体を受台上に載置させた状態で搬送移動させつつ上面側から冷却用流体又は加熱用流体を吹き付けながら被検体の同時冷却及び加熱を行なうことを特徴とする請求項14ないし16のいずれかに記載の被検体欠陥部等の検出方法。
- 下面から加熱又は冷却されながら移動する被検体に逆の熱作用となる冷却又は加熱流体を吹き付けるとともに、赤外線検出手段を介して被検体の同時加熱及び冷却中に被検体から放射される赤外線量を検出し、
赤外線量から得られる被検体の表面温度分布に基いて被検体の欠陥部を検出することを特徴とする被検体欠陥部等の検出方法。 - 被検体の表面温度分布に基いてモニタ画面に等温線を表示し、さらに欠陥部を検出判定した際に該モニタ画面に等温線の断層状の表示を行わせることを特徴とする請求項18記載の被検体欠陥部等の検査方法。
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