JP2009244144A - 赤外線検出による被検体用台及びそれを用いた被検体欠陥部等の赤外線検査方法 - Google Patents
赤外線検出による被検体用台及びそれを用いた被検体欠陥部等の赤外線検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009244144A JP2009244144A JP2008091976A JP2008091976A JP2009244144A JP 2009244144 A JP2009244144 A JP 2009244144A JP 2008091976 A JP2008091976 A JP 2008091976A JP 2008091976 A JP2008091976 A JP 2008091976A JP 2009244144 A JP2009244144 A JP 2009244144A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- subject
- infrared
- heating
- temperature
- inspection object
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
【解決手段】 被検体の赤外線検査に用いる被検体用の金属製台は、被検体を同時に加熱及び冷却させつつ、被検体から放射される赤外線量を検出することにより被検体の表面の温度分布を計測し、その温度分布に基づく被検体の欠陥部等の検出に用いられる。
被検体用台は、被検体を着脱自在に載置させ、被検体の加熱用熱を直接に伝導する。台上に被検体を載置状態で被検体の下面と密着当接する面粗さ10<Ra<250又は1250<Ra<1700の上面を含む。
【選択図】図1
Description
(1)縦横サイズ60mm×60mm、厚さ50mmの直方体形状アルミニウム材(5000系)の上面を数種類の異なる粗さの研磨材で研磨加工したものと、市販購入品で非研磨加工での同様のアルミニウム材と、を本発明の被検体用の台10と見立て、それぞれの上に50mm×50mm×3mmの薄板状鉄系焼結体を載置し、台を加熱、薄板状鉄系焼結体上面を冷却しながら赤外線カメラにより薄板状鉄系焼結体の表面温度を測定した。薄板状鉄系焼結体の表面には予めキズをナイフ等で刻設し、その周囲を○形でマーキング表示し、欠陥部を故意に形成してその周囲の正常な温度域との変化の状態をグラフ表示した。台の加熱装置による加熱温度は120℃、冷却風は5℃とし、5mm程度の至近距離から被検体に向けて冷風を吹きつけた。
(2)図10は、複数回上面を研磨加工した台(図14上、再研磨)上に載置され、加熱冷却下に検出した被検体の赤外線カメラ画像の1つであり、図11に示すようにキズ40の範囲(d)について経時的に20データを取得し、それぞれのデータについて図12のように欠陥40部分を示すと判別される突出する温度位置((a)70.31)と、それに最も近い両側であって、キズの周囲の正常部分と判断される2つの両ベース値の位置((b)68.79、(c)68.92)と、欠陥40部分の温度値から両側の正常値の平均を差し引いた値(欠陥―左右平均)を算出し温度差δとして示した(図13参照)。そして、それらの温度差δについてデータ数20で平均した温度差(デルタ(大文字))(1.17)を得た。そして、それぞれの20データ平均温度差(デルタ(大文字))を9種類の粒度番手のサンドペーバー研磨材および外部委託による研磨加工による上面研磨加工台について測定し、表及びグラフ化した。なお、図12中、キズの両側最近傍の(b)、(c)の正常値のさらに両側のより突出した温度の部分は図10の画像中の鉛筆等によるマーキング部分である。
(3)研磨材の粒度の120番、320番、600番、1000番が日本研紙株式会社製のものを用い、2000番、4000番、8000番についてKOVAX株式会社製を用い、さらに複数回の研磨による再研磨については金属研磨材(日本磨料工業株式会社製)(アルミナ系鉱物20%)を用い、加工は外部委託加工のものである。各研磨加工品について表面粗さ測定装置を用い、表面粗さ(Å)を測定した。
(4)図14に上記のデータによる表面粗さ(R)と平均温度差(デルタ(大文字))の数値を表にし、さらに図15においてグラフ表示した。グラフより平均温度差(デルタ(大文字))が1℃を超える表面粗さ範囲(10<Ra<250又は1250<Ra<1700[Å])において、図12に示したように正常なベースラインの温度値に比較してそれらを周囲とした欠陥部での温度((a)70.31℃)は顕著に突出しており、視覚での判定においてさえも容易に欠陥部の有無、位置を特定することが可能であることが分かる。
3 高温領域
4 低温領域
5 熱移動
10 被検体用台
10A 台上面
40 クラック欠陥
100 赤外線検査システム
102 加熱支持装置
104 冷却装置
106 赤外線検出装置
108 判定処理装置
111 加熱装置
140 赤外線撮像装置
144 表示装置
R 被検体
Claims (3)
- 被検体を同時に加熱及び冷却させつつ、被検体から放射される赤外線量を検出することにより被検体の表面の温度分布を計測し、その温度分布に基づく被検体の欠陥部等の検出に用いられる金属製台であり、
被検体を着脱自在に載置させ、被検体の加熱用熱を直接に伝導する台であって、載置状態で被検体の下面と密着当接する面粗さ10<Ra<250又は1250<Ra<1700[Å]の上面を含むことを特徴とする赤外線検出による被検体用台。 - 台本体を加熱して被検体に直接熱作用を行なう加熱装置が設けられていることを特徴とする請求項1記載の赤外線検出による被検体用台。
- 被検体を加熱する第1の工程と、
第1の工程による加熱と同時に第1の工程とは逆の熱作用を加えるべく同被検体を冷却する第2の工程と、
被検体の同時加熱及び冷却中に被検体から放射される赤外線量から得られる被検体の表面温度分布に基いて被検体の欠陥部を検出する赤外線検出工程と、を含み、
第1の工程において被検体を着脱自在に載置させ、被検体の加熱用熱を直接に伝導する台であって、載置状態で被検体の下面と密着当接する面粗さ10<Ra<250又は1250<Ra<1700[Å]の上面を含む台を用意し、
台上面に被検体を載置した状態で上面の面粗さによる被検体の赤外線低放射下で被検体の欠陥部等を検出することを特徴とする被検体用台を用いた被検体欠陥部等の赤外線検査方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008091976A JP5333817B2 (ja) | 2008-03-31 | 2008-03-31 | 被検体欠陥部等の赤外線検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008091976A JP5333817B2 (ja) | 2008-03-31 | 2008-03-31 | 被検体欠陥部等の赤外線検査方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009244144A true JP2009244144A (ja) | 2009-10-22 |
JP2009244144A5 JP2009244144A5 (ja) | 2011-08-11 |
JP5333817B2 JP5333817B2 (ja) | 2013-11-06 |
Family
ID=41306196
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008091976A Expired - Fee Related JP5333817B2 (ja) | 2008-03-31 | 2008-03-31 | 被検体欠陥部等の赤外線検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5333817B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101326655B1 (ko) * | 2012-02-29 | 2013-11-08 | 한국표준과학연구원 | 전도 및 근접복사열 가열수단을 이용한 적외선 열화상 부품 결함 측정 장치 |
KR20160031119A (ko) * | 2014-09-11 | 2016-03-22 | 한국표준과학연구원 | 열전도 억제장치를 이용한 적외선 열화상 비파괴 검사 시스템 및 검사방법 |
JP2018096937A (ja) * | 2016-12-16 | 2018-06-21 | 国立研究開発法人理化学研究所 | 検査装置、検査方法及びプログラム |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110095502B (zh) * | 2019-05-13 | 2021-10-22 | 合肥工业大学 | 一种发射电磁或微波进行红外道路病害无损检测的装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001249094A (ja) * | 2000-03-06 | 2001-09-14 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 半導体素子の発熱分布計測方法 |
JP2003198024A (ja) * | 2001-12-25 | 2003-07-11 | Tokuyama Corp | ヒートシンクサブマウント及びその製造方法 |
JP2007194442A (ja) * | 2006-01-20 | 2007-08-02 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 半導体装置 |
JP2007327755A (ja) * | 2006-06-06 | 2007-12-20 | Kyushu Nogeden:Kk | 被検体欠陥部等の検出装置及びその検出方法 |
-
2008
- 2008-03-31 JP JP2008091976A patent/JP5333817B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001249094A (ja) * | 2000-03-06 | 2001-09-14 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 半導体素子の発熱分布計測方法 |
JP2003198024A (ja) * | 2001-12-25 | 2003-07-11 | Tokuyama Corp | ヒートシンクサブマウント及びその製造方法 |
JP2007194442A (ja) * | 2006-01-20 | 2007-08-02 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 半導体装置 |
JP2007327755A (ja) * | 2006-06-06 | 2007-12-20 | Kyushu Nogeden:Kk | 被検体欠陥部等の検出装置及びその検出方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101326655B1 (ko) * | 2012-02-29 | 2013-11-08 | 한국표준과학연구원 | 전도 및 근접복사열 가열수단을 이용한 적외선 열화상 부품 결함 측정 장치 |
KR20160031119A (ko) * | 2014-09-11 | 2016-03-22 | 한국표준과학연구원 | 열전도 억제장치를 이용한 적외선 열화상 비파괴 검사 시스템 및 검사방법 |
KR101643461B1 (ko) * | 2014-09-11 | 2016-07-28 | 한국표준과학연구원 | 열전도 억제장치를 이용한 적외선 열화상 비파괴 검사 시스템 및 검사방법 |
JP2018096937A (ja) * | 2016-12-16 | 2018-06-21 | 国立研究開発法人理化学研究所 | 検査装置、検査方法及びプログラム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5333817B2 (ja) | 2013-11-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4218037B2 (ja) | 被検体欠陥部等の検出装置 | |
JP5333817B2 (ja) | 被検体欠陥部等の赤外線検査方法 | |
ES2233081T3 (es) | Dispositivo para realizar un control de cuerpos sin contacto. | |
TWI515820B (zh) | A substrate stage and a substrate processing device | |
US7484386B2 (en) | Method and apparatus for controlling a treatment process in safety glass production | |
CN109060825B (zh) | 基于脉冲气流激励红外成像的无损检测方法及其实施装置 | |
JP2012508456A5 (ja) | ||
JP2009244144A5 (ja) | ||
US20070132469A1 (en) | Inspection device and method | |
US20150153293A1 (en) | Thermographic inspection system | |
TW201620675A (zh) | 磨削裝置 | |
US8310667B2 (en) | Wafer surface inspection apparatus and wafer surface inspection method | |
JP2004309217A (ja) | コーティング被膜疲労試験装置およびコーティング被膜疲労試験方法 | |
JP2014044063A (ja) | 板状体の欠陥検査方法及び欠陥検査装置 | |
JP2004117194A (ja) | トンネル覆工の内部欠陥検査装置 | |
KR20200064130A (ko) | 레이저 가공 시스템용 장치, 이를 이용한 레이저 가공 시스템 및 광학 소자의 초점 위치를 조정하는 방법 | |
JP4565252B2 (ja) | 移動物品の欠陥部等の検出方法 | |
TWI734323B (zh) | 一種光罩冷卻裝置及光刻設備 | |
JP5724272B2 (ja) | 鋼板表面検査方法および装置 | |
KR102294188B1 (ko) | 프로브 헤드 및 이를 포함하는 프로브 검사장치 | |
JP2019517983A (ja) | 可撓性ガラスリボンを分離するときに亀裂先端に機械的に誘起された応力を管理する装置及び方法 | |
CN210180980U (zh) | 超声激励热波成像系统及超声激励热波检测装置 | |
JP5103690B2 (ja) | はんだボールの半導体製品基板への接合状態検査方法及びその検査システム | |
JP5135544B2 (ja) | 下面検査装置および下面検査方法 | |
JP2011203163A (ja) | 欠陥検査装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110326 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110623 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20120423 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120511 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120604 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120724 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120924 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130312 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130510 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130618 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130717 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5333817 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |