JP2007324273A - シミュレーション方法およびシミュレーションシステム、ならびにマスクパターンの修正方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シミュレーションシステム1は、入力受付部10、算出部30、および決定部40を備えている。入力受付部10は、上記転写パターンの測定寸法の入力を受け付ける。算出部30は、光強度算出部32および修正光強度算出部36を含む。光強度算出部32は、位置毎に光強度を算出する。修正光強度算出部36は、上記光強度と仮の光反応係数との積を含む修正値を上記光強度に加算することにより、修正光強度を算出する。決定部40は、当該シミュレーションにおける転写パターンの計算寸法を規定する対をなす2箇所のエッジでの光強度の閾値を定数とし、回帰計算によって、上記修正光強度の下で上記計算寸法と上記測定寸法との差が極小となるように上記閾値および上記光反応係数を決定する。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明によるシミュレーションシステムの第1実施形態を示すブロック図である。シミュレーションシステム1は、光フォトリソグラフィにより所定のマスクパターンをウエハ上に転写したときの転写パターンに関する情報をシミュレーションにより取得するシミュレーションシステムであって、入力受付部10、記憶部20、算出部30、および決定部40を備えている。
Im(x,y)= I(x,y) + coef * I(x,y) * slope(x,y) …(2)
(A)設計値(マスクCD)、測定値(測定CD)は分かっている。
(B)リソグラフィ・シミュレーション中では計算によって光強度分布が与えられ、光強度勾配も計算より与えられる。よって光強度分布と光強度勾配の積も求められる。
(C)仮にcoefを与えることで、修正後の光強度が求められる。
(D)エッジを決める閾値は、固定値で未定定数αとする。
(E)修正後の光強度が与えられ、計算値(計算CD)を為す両端部での閾値が、同一であるので、閾値を振ることで、計算値(計算CD)が測定値(測定CD)と一致する値は一意に求まる。この場合、CDを計算する領域が対称か非対称か無関係に計算できる。
(F)回帰計算によって、計算値(計算CD)と測定値(測定CD)の差を極小とする条件によって、リソグラフィ・モデルを決定する。この時、未定定数であった、光化学反応の比率coef、閾値αも決定される。
(a)設計値(設計CD)と測定値(測定CD)を準備する(S11)。
(b)光学パラメータを仮決めする(S12)。
(c)位置(x,y)での光強度I(x,y)を算出する(S13)。
(d)x,yでの偏微分に基づいて次式のように光強度勾配slope(x,y)を算出する(S14)。
slope(x,y)=[ {(∂/∂x) I(x,y)}2 + {(∂/∂y) I(x,y)}2 ]1/2 …(3)
(e)次式のように、光強度勾配に光強度を乗算する(S15)。
I(x,y) * slope(x,y) …(4)
(f)仮の光反応係数coefを与えて、光強度勾配がナノメートルで急峻である領域での光化学反応に相当する光強度信号が次式のように与えられる(S16)。
coef * I(x,y) * slope(x,y) …(5)
(g)従来の光強度に、光強度勾配がナノメートルで急峻である領域での光化学反応に対応した光強度信を足すことで、次式のように修正光強度信号が得られる(S17)。
Im(x,y)= I(x,y) + coef * I(x,y) * slope(x,y) …(6)
(h)修正光強度信号Im(x,y)下で、閾値を振ることで、測定CDと一致する計算値CDとなる2箇所のエッジx01(正確な表記では(x01,y00)),x02(正確な表記では(x02,y00))とその2箇所のエッジで等しい閾値Th0を求める(S18)。
(i)得られた閾値を回帰計算(統計処理)に掛ける(S19)。
(j)計算値(計算CD)と測定値(測定CD)の差を最小とする条件を満たせば、未定定数であった光学パラメータと、光学反応係数coef、閾値が決まり、リソグラフィ・モデルが完成する。そうでない場合、光学パラメータと、光化学反応比率coefを変えて条件を満たすまで繰り返す(S20)。係数coefは、強度を次元の無いものに置き換えれば、例えば0.02〜0.2[μm]である。本実施形態を実施したところ、係数coefが上記範囲内にあるとき、回帰計算が収束した。
本発明によるシミュレーションシステムおよびシミュレーション方法の第2実施形態を説明する。第2実施形態に係るシミュレーションシステムのブロック構成は、第1実施形態と同様である(図1参照)。
図6は、本発明によるシミュレーションシステムの第3実施形態を示すブロック図である。シミュレーションシステム3は、光フォトリソグラフィにより所定のマスクパターンをウエハ上に転写したときの転写パターンに関する情報をシミュレーションにより取得するシミュレーションシステムであって、入力受付部10、記憶部20、算出部30、および決定部40を備えている。入力受付部10および記憶部20の構成は、第1実施形態と同様である。
slope_diff(x,y)=[ {(∂/∂x) Idiff(x,y)}2 + {(∂/∂y) Idiff(x,y)}2 ]1/2 …(7)
Idiff(x,y) * slope_diff(x,y) …(8)
仮の光反応係数coefを与えて、光強度勾配がナノメートルで急峻である領域での光化学反応に相当する光強度信が次式のように与えられる(S36)。
coef * Idiff(x,y) * slope_diff(x,y) …(9)
従来の光強度に、光強度勾配がナノメートルで急峻である領域での光化学反応に対応した光強度信を足すことで、次式のように修正拡散後光強度信号Idiff_m(x,y)が求められる(S37)。
Idiff_m(x,y)= Idiff(x,y) + coef * Idiff(x,y) * slope_diff(x,y) …(10)
以下のステップでは、この修正拡散後光強度信号Idiff_m(x,y)を「修正光強度信号」として扱う。
3 シミュレーションシステム
10 入力受付部
20 記憶部
30 算出部
32 光強度算出部
33 拡散後光強度算出部
34 光強度勾配算出部
35 拡散後光強度勾配算出部
36 修正光強度算出部
40 決定部
Claims (5)
- 光フォトリソグラフィにより所定のマスクパターンをウエハ上に転写したときの転写パターンに関する情報をシミュレーションにより取得するシミュレーション方法であって、
前記転写パターンの測定寸法の入力を受け付けるステップと、
位置毎に光強度を算出するステップと、
前記光強度に基づいて前記位置毎に光強度勾配を算出するステップと、
前記光強度と仮の光反応係数と前記光強度勾配との積を修正値として前記光強度に加算することにより、修正光強度を算出するステップと、
当該シミュレーションにおける前記転写パターンの計算寸法を規定する対をなす2箇所のエッジでの光強度の閾値を定数とし、回帰計算によって、前記修正光強度の下で前記計算寸法と前記測定寸法との差が極小となるように前記閾値および前記光反応係数を決定するステップと、
を含むことを特徴とするシミュレーション方法。 - 請求項1に記載のシミュレーション方法において、
前記修正光強度を算出するステップにおいては、前記光強度および前記修正値の和と、仮の拡散長を持つガウス関数との畳み込み積分を前記修正光強度として算出し、
前記閾値および前記光反応係数を決定するステップにおいては、前記閾値および前記光反応係数に加えて、前記拡散長も決定するシミュレーション方法。 - 請求項1に記載のシミュレーション方法において、
前記光強度と仮の拡散長を持つガウス関数との畳み込み積分を拡散後光強度として算出するステップと、
前記拡散後光強度に基づいて前記位置毎に拡散後光強度勾配を算出するステップと、を含み、
前記修正光強度を算出するステップにおいては、前記拡散後光強度と前記光反応係数と前記拡散後光強度勾配との積を前記修正値として前記拡散後光強度に加算することにより、前記修正光強度を算出し、
前記閾値および前記光反応係数を決定するステップにおいては、前記閾値および前記光反応係数に加えて、前記拡散長も決定するシミュレーション方法。 - 請求項1乃至3いずれかに記載のシミュレーション方法により得られるリソグラフィ・モデルを用いて、前記マスクパターンを修正することを特徴とするマスクパターンの修正方法。
- 光フォトリソグラフィにより所定のマスクパターンをウエハ上に転写したときの転写パターンに関する情報をシミュレーションにより取得するシミュレーションシステムであって、
前記転写パターンの測定寸法の入力を受け付ける手段と、
位置毎に光強度を算出する手段と、
前記光強度に基づいて前記位置毎に光強度勾配を算出する手段と、
前記光強度と仮の光反応係数と前記光強度勾配との積を修正値として前記光強度に加算することにより、修正光強度を算出する手段と、
当該シミュレーションにおける前記転写パターンの計算寸法を規定する対をなす2箇所のエッジでの光強度の閾値を定数とし、回帰計算によって、前記修正光強度の下で前記計算寸法と前記測定寸法との差が極小となるように前記閾値および前記光反応係数を決定する手段と、
を備えることを特徴とするシミュレーションシステム。
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