JP2007318861A - 静電アクチュエータ - Google Patents
静電アクチュエータ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007318861A JP2007318861A JP2006143875A JP2006143875A JP2007318861A JP 2007318861 A JP2007318861 A JP 2007318861A JP 2006143875 A JP2006143875 A JP 2006143875A JP 2006143875 A JP2006143875 A JP 2006143875A JP 2007318861 A JP2007318861 A JP 2007318861A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- electrostatic
- movable
- substrate
- elastic means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N1/00—Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
- H02N1/002—Electrostatic motors
- H02N1/006—Electrostatic motors of the gap-closing type
Landscapes
- Micromachines (AREA)
Abstract
【解決手段】第1電極と、前記第1電極に対向し、相対的に前記対向する方向に移動可能に所定の間隔をもって配設された第2電極と、前記第1電極と前記第2電極との間に静電引力を生成させるための静電気力生成手段と、前記第1電極と前記第2電極との間の静電引力による仕事を弾性エネルギーとして蓄積するための弾性手段と、前記弾性手段の前記弾性エネルギーの開放により駆動される出力部とを備えた動作部と、前記動作部が表面上に配置された基板と、前記基板表面に沿っての前記動作部と前記基板との間欠的な相対的移動を制御する制御手段と、を備え、前記動作部と前記基板との相対的移動を可能とする。
【選択図】 図6
Description
Fe=ε・ε0・S・V2/2d2 ・・・・(1)
として表される。
3 上固定部材
4 下固定部材
5,6,22,32,42,42’,56,56’,57,57’,61,61’,62,62’,76,76’ 非線形板ばね
7,8,11,12,18 静電吸着用電極
10,20,30,40,50,60,70 静電アクチュエータ
13,14 支持部材
15,16 可動部材
17 出力シート
21,31,41,51,67 基板
24 電極
27,37,47 固定電極
28,48,58,68 出力部
35,36,46,45 静電固定用電極(ラチエット電極)
52,53 支持部
65,66 枠体
Claims (12)
- 第1電極と、前記第1電極に対向し、相対的に前記対向する方向に移動可能に所定の間隔をもって配設された第2電極と、前記第1電極と前記第2電極との間に静電引力を生成させるための静電気力生成手段と、前記第1電極と前記第2電極との間の静電引力による仕事を弾性エネルギーとして蓄積するための弾性手段と、前記弾性手段の前記弾性エネルギーの開放により駆動される出力部と、を備えた動作部と、前記動作部が表面上に配置された基板と、前記基板表面に沿っての前記動作部と前記基板との間欠的な相対的移動を制御する制御手段と、を備える静電アクチュエータ。
- 前記第1電極と前記第2電極が共に可動電極であることを特徴する請求項1記載の静電アクチュエータ。
- 前記第1電極と前記第2電極の一方が固定電極、他方が可動電極であることを特徴する請求項1記載の静電アクチュエータ。
- 前記弾性手段は、前記第1電極と前記第2電極との間に配設された非線形ばねであることを特徴する請求項2又は請求項3記載の静電アクチュエータ。
- 前記弾性手段は、前記可動電極の外方に付設された非線形ばねであることを特徴する請求項2記載の静電アクチュエータ。
- 前記弾性手段は、前記可動電極を挟んで前記固定電極と対向する支持部と前記可動電極との間に配設された非線形ばねであることを特徴する請求項3記載の静電アクチュエータ。
- 前記弾性手段が前記可動電極と一体的に形成されていることを特徴とする請求項4ないし請求項6のいずれか1項記載の静電アクチュエータ。
- 前記出力部が前記弾性手段に脱着可能に設けられていることを特徴とする請求項4記載の静電アクチュエータ。
- 前記出力部が前記動作部に接続されていることを特徴とする請求項1ないし請求項7のいずれか1項記載の静電アクチュエータ。
- 基板上に配された第1電極と、前記第1電極に対向し、前記対向する方向に移動可能に所定の間隔をもって配設された第2電極と、前記第1電極と前記第2電極との間に静電引力を生成させるための静電気力生成手段と、前記第1電極と前記第2電極との間に配され静電引力による仕事を弾性エネルギーとして蓄積するための弾性手段と、前記弾性手段の前記弾性エネルギーの開放により駆動される前記弾性手段に接続された出力部と、前記基板表面に沿っての前記弾性手段と前記基板との間欠的な相対的移動を制御する制御手段と、を備える静電アクチュエータ。
- 前記弾性手段と前記第2電極とが一体的に形成されていることを特徴とする請求項10記載の静電アクチュエータ。
- 所定の間隔をもって隔離され対向する下基板及び上基板と、前記下基板の中央開口に配した第1可動電極と、前記上基板の中央開口に配した前記第1可動電極に対向する第2可動電極と、前記第1可動電極と前記第2可動電極との間に静電引力を生成させるための静電気力生成手段と、前記第1可動電極と前記第2可動電極との間の静電引力による仕事を弾性エネルギーとして蓄積するための弾性手段と、前記弾性手段の前記弾性エネルギーの開放により駆動される前記弾性手段に接続された出力部と、前記下基板表面に沿っての前記弾性手段と前記下基板との間欠的な相対的移動を制御する制御手段と、を備える静電アクチュエータ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006143875A JP4882065B2 (ja) | 2006-05-24 | 2006-05-24 | 静電アクチュエータ |
PCT/JP2007/060535 WO2007136096A1 (ja) | 2006-05-24 | 2007-05-23 | 静電アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006143875A JP4882065B2 (ja) | 2006-05-24 | 2006-05-24 | 静電アクチュエータ |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011171655A Division JP5283239B2 (ja) | 2011-08-05 | 2011-08-05 | 静電アクチュエータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007318861A true JP2007318861A (ja) | 2007-12-06 |
JP4882065B2 JP4882065B2 (ja) | 2012-02-22 |
Family
ID=38723406
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006143875A Active JP4882065B2 (ja) | 2006-05-24 | 2006-05-24 | 静電アクチュエータ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4882065B2 (ja) |
WO (1) | WO2007136096A1 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012039449A1 (ja) * | 2010-09-24 | 2012-03-29 | 国立大学法人静岡大学 | インチワーム式アクチュエータ |
CN103368446A (zh) * | 2012-09-14 | 2013-10-23 | 国家纳米科学中心 | 静电发电机及其制备方法和自驱动传感系统 |
JP5541156B2 (ja) * | 2008-04-08 | 2014-07-09 | コニカミノルタ株式会社 | アクチュエータアレイシート |
JP2022063659A (ja) * | 2020-10-12 | 2022-04-22 | トヨタ自動車株式会社 | アクチュエータ |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR3074793B1 (fr) * | 2017-12-12 | 2021-07-16 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif microelectromecanique et/ou nanoelectromecanique offrant une robustesse augmentee |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0496662A (ja) * | 1990-08-08 | 1992-03-30 | Ricoh Co Ltd | リニア駆動装置 |
JPH04109884A (ja) * | 1990-08-27 | 1992-04-10 | Ricoh Co Ltd | 静電モータ |
JPH06217561A (ja) * | 1992-08-31 | 1994-08-05 | Terunobu Akiyama | 微小可動体 |
-
2006
- 2006-05-24 JP JP2006143875A patent/JP4882065B2/ja active Active
-
2007
- 2007-05-23 WO PCT/JP2007/060535 patent/WO2007136096A1/ja active Application Filing
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0496662A (ja) * | 1990-08-08 | 1992-03-30 | Ricoh Co Ltd | リニア駆動装置 |
JPH04109884A (ja) * | 1990-08-27 | 1992-04-10 | Ricoh Co Ltd | 静電モータ |
JPH06217561A (ja) * | 1992-08-31 | 1994-08-05 | Terunobu Akiyama | 微小可動体 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5541156B2 (ja) * | 2008-04-08 | 2014-07-09 | コニカミノルタ株式会社 | アクチュエータアレイシート |
WO2012039449A1 (ja) * | 2010-09-24 | 2012-03-29 | 国立大学法人静岡大学 | インチワーム式アクチュエータ |
JP5764845B2 (ja) * | 2010-09-24 | 2015-08-19 | 国立大学法人静岡大学 | インチワーム式アクチュエータ |
US9450469B2 (en) | 2010-09-24 | 2016-09-20 | National University Corporation Shizuoka University | Inchworm actuator |
CN103368446A (zh) * | 2012-09-14 | 2013-10-23 | 国家纳米科学中心 | 静电发电机及其制备方法和自驱动传感系统 |
JP2022063659A (ja) * | 2020-10-12 | 2022-04-22 | トヨタ自動車株式会社 | アクチュエータ |
JP7287374B2 (ja) | 2020-10-12 | 2023-06-06 | トヨタ自動車株式会社 | アクチュエータ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2007136096A1 (ja) | 2007-11-29 |
JP4882065B2 (ja) | 2012-02-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW543059B (en) | A longitudinal piezoelectric latching relay | |
Zhu et al. | Bidirectional electrothermal actuator with Z-shaped beams | |
JP2007318861A (ja) | 静電アクチュエータ | |
JP2008099399A (ja) | 圧電アクチュエータおよび与圧方法 | |
TWI549572B (zh) | 軟性裝置曲率固定元件與變形固定曲率方法 | |
JP2006158113A (ja) | 圧電型発電機構 | |
JP2019510457A (ja) | 圧電駆動装置 | |
JP2009122602A (ja) | 駆動装置 | |
EP2772684B1 (en) | System for cooling devices | |
JP5283239B2 (ja) | 静電アクチュエータ | |
WO2019062376A1 (zh) | 摄像模组 | |
KR101124871B1 (ko) | 렌즈의 압전기적 이동을 위한 장치, 방법 및 컴퓨터 판독 가능한 매체 | |
JP2005055489A (ja) | 触覚ディスプレイ及び直動機構 | |
Konishi et al. | Parallel linear actuator system with high accuracy and large stroke | |
JP2006154390A (ja) | レンズ駆動装置及び、撮像装置 | |
JP2001268948A (ja) | 静電アクチュエータおよびそれを用いた動作機構 | |
JP4910589B2 (ja) | 撮像ユニットおよび撮像装置 | |
KR100359029B1 (ko) | 웨이퍼 접합장치의 스페이서 이동용 슬라이드장치 | |
Lee et al. | Scaling limitations for flexural beams used in electromechanical devices | |
JP5521553B2 (ja) | アクチュエータ機構 | |
JP5160299B2 (ja) | 微細可動デバイス及びその駆動方法 | |
JP2009288757A (ja) | 点字表示装置 | |
KR20070101511A (ko) | 초소형 압전 리니어 모터 | |
JP2008061465A (ja) | 多位置安定型作動構造体とその制御方法および計画方法 | |
JP4625951B2 (ja) | 静電アクチュエータ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081204 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110607 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20110805 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Effective date: 20111108 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |