KR100359029B1 - 웨이퍼 접합장치의 스페이서 이동용 슬라이드장치 - Google Patents

웨이퍼 접합장치의 스페이서 이동용 슬라이드장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 두 장의 기판간의 웨이퍼 레벨 진공 패키징(Wafer Level Vacuum Packaging : WLVP)을 위한 웨이퍼 접합장치의 스페이서 이동용 슬라이딩장치에 관한 것이다.
종래의 슬라이딩장치는 기판을 가압하는 작동과 가압 후 기판 사이에 위치한 스페이서를 기판 바깥으로 빠지게 하는 작동이 별개로 구성되어 장비생산단가 상승을 야기하고 전기적인 장치로서 제어함으로써 내구성의 문제를 발생시키며, 접합공정상에서도 스페이서 탈착의 시점이라는 공정의 복잡화라는 단점이 있다.
본 발명은 웨이퍼가 놓여져 있는 접합장치 몸체, 스페이서를 빠지게 하는 슬라이더, 웨이퍼를 고정시키고 슬라이더를 누르는 압착부로 구성되어 있고, 접합시킬 웨이퍼의 중심을 누르는 동시에 진공접합을 위해 웨이퍼 사이에 위치한 스페이서를 웨이퍼를 누르는 힘에 의해 자동적으로 미끄러지게 함으로써 별도의 작동없이 연속적으로 빠지게 할 수 있도록 이루어진 발명임.

Description

웨이퍼 접합장치의 스페이서 이동용 슬라이드장치{Sliding type wafer bonding device with automatic spacer push and pull}
본 발명은 웨이퍼 레벨 진공 패키징을 위한 지그의 개발과 그에 따른 접합장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 아래쪽으로 누르는 힘에 의해 미끄럼이동되는 슬라이딩 장치를 이용해 웨이퍼 사이에 간격을 유지하고 있는 스페이서를 웨이퍼 바깥쪽으로 연속적이고 자동적으로 빠지게 함으로써, 진공패키징의 고효율화와 작동의 안정성과 신뢰성을 구현한 웨이퍼 접합장치의 스페이서 이동용 슬라이드장치에 관한 것이다.
두 장의 기판을 접합하는 공정 기술은 마이크로 센서 및 액튜에이터를 비롯한 MEMS(Micro-Electro-Mechanical System) 구조물의 제작과 고속·고전압 반도체 소자용 SOI(Silicon-on-Insulator) 기판 제작 등 반도체 소자의 접합과 실장 분야에 해당하는 기술이다. 접합 메커니즘에 의해 분류하여 볼 때 전계와 열을 이용한 정전 열 접합(Electrostatic Bonding)과 화학적 표면처리와 열처리 공정으로 접합을 수행하는 실리콘 직접 접합(Silicon Direct Bonding : SDB)이 기판 접합 공정 분야에서 가장 널리 이용되고 있으며 다음과 같은 특징을 가지고 있다. 첫째, 접합공정이 고체 상태에서 이루어지기 때문에 기체 오염원의 발생 및 구조의 변형을 방지할 수 있다. 둘째, 진공 분위기에서도 접합이 가능하여 소자의 진공 실장에 이용할 수 있다. 셋째, 두 기판간의 접합은 원자 결합을 통해 이루어지기 때문에 강하고 안정적인 접합이 가능하다. 넷째, 기존 반도체 공정과의 호환성이 있어 반도체 소자 제작에 적용이 용이하다.
일반적으로 웨이퍼 즉 기판을 접합시키기 위한 장치에는 웨이퍼 사이의 공간을 유지하기 위한 스페이서가 위치하고 있다가 웨이퍼를 중앙에서 누른 후 별도의 독립적인 작동을 통해 웨이퍼간의 스페이서를 빠지게 하는 작동을 해서 웨이퍼를 접합시키게 된다.
이러한 장치의 일례가 도 1에 도시되어 있다. 도시된 바와 같이, 접합장치는 하부기판(2)을 지지해주는 접합장치 몸체(5), 상부기판(1)과 하부기판(2)을 일정한 간격으로 유지시켜 주는 스페이서(3), 상기 스페이서(3)의 고정 및 동작을 위한 스페이서 몸체(4), 상부기판(1)에 압력을 인가해 상부기판(1)과 하부기판(2)이 접촉될 수 있도록 하는 압력인가장치(6)로 구성되어 있다. 여기서, 상부기판(1)과 하부기판(2)은 실리콘 또는 유리로 이루어진 기판이다.
상기와 같이 구성된 접합장치는 스페이서(3)를 사용하여 초기에 상부기판(1)과 하부기판(2)을 일정한 간격으로 유지시켜준 후, 접합이 가능한 온도와 진공도에 도달했을 때 압력인가장치(6)가 상부기판(1)에 압력을 가하게 되고, 이때 스페이서(3)가 상부기판(1)과 하부기판(2) 밖으로 빠지면서 접촉이 일어나게 되며, 정전 열 접합의 경우 접촉된 두 기판(1,2)에 대한 전압인가를 통해 정전력을 발생시켜 완전한 접합이 일어나게 하거나, 직접 접합의 경우 두 기판(1,2)의 표면이 활성화되어 있어 접촉만으로도 완전한 접합이 일어나게 된다.
그러나 이러한 장치는 기판을 가압하는 작동과 가압 후 기판 사이에 위치한 스페이서를 기판 바깥으로 빠지게 하는 작동이 별개로 구성되어 있어, 장비측면의 경우 스페이서를 빠지게 하는 장치가 추가되어 장비생산단가 상승을 야기하고 전기적인 장치로서 제어함으로써 내구성의 문제를 발생시키며, 접합공정상에서도 스페이서 탈착의 시점이라는 공정의 복잡화라는 단점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 사정을 감안하여 발명한 것으로, 연속적이고 내구적이며 신뢰성 있는 작동형태를 가진 지그를 이용한 웨이퍼 레벨 진공 패키징 장치를 개발하여 기존의 공정시 발생할 수 있는 비접합영역의 발생과 신뢰성 없는 공정 수율, 그리고 높은 생산비용 등을 충분히 극복하기 위하여, 안정적이며 내구적인 기계적인 작동을 통해 한 동작에 기판의 압착과 스페이서의 착탈이 동시에 이루어져서 작동의 안정화와 단순화를 이룩할 수 있도록 된 웨이퍼 접합장치의 스페이서 이동용 슬라이드장치를 제공하고자 함에 발명의 목적이 있다.
도 1은 종래 접합장치의 일예시도,
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 스페이서 몸체의 조립사시도,
도 3은 본 발명의 일실시예에 대한 사용상태도,
도 4는 슬라이더의 작동원리를 설명하기 위한 개요도,
도 5는 푸쉬 디스크가 하강하여 접합장치를 누르는 동작을 나타내는 도면,
도 6a 내지 도 6c는 압력인가장치에 의해 눌리는 웨이퍼가 스페이서가 빠짐에 따라 접합되는 과정을 설명하기 위한 개요도,
도 7은 본 발명에 따른 스페이서 몸체의 다른 실시예를 나타내는 도면이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
1 -- 상부기판, 2 -- 하부기판,
3 -- 스페이서, 4 -- 슬라이더 몸체,
5 -- 접합장치 몸체, 6 -- 압력인가장치,
7 -- 기판장착홈, 9 -- 클램프,
15 -- 슬라이더, 25 -- 접합장치 몸체,
27 -- 스페이서 푸셔, 28 -- 푸쉬 디스크,
35 -- 제2슬라이더.
상기한 목적을 실현하기 위한 본 발명은, 상부기판(1)과 하부기판(2) 사이에 스페이서(3)를 개재시킨후 상부기판(1)에 압력을 가함과 동시에 스페이서 몸체(4)를 통해 상기 스페이서(3)를 상기 기판(1,2) 사이에서 이탈시키면서 상부기판(1)과 하부기판(2)을 접합하도록 이루어진 웨이퍼 접합장치의 스페이서 이동용 슬라이드장치에 있어서, 상기 스페이서 몸체(4)는 슬라이더 가이드홈(11)과 걸림부재 가이드홈(12)이 형성되어 각각의 스프링(13)(14)이 결합된 슬라이더(15)와 걸림부재(16)가 장착된 가이드몸체(17), 슬라이더(15)의 미끄럼을 원활하게 하는 로울러(18)가 장착되어 가이드몸체(17)의 하부에 결합되는 하부덮개(19), 슬라이더(15)의 상단에 위치조절나사(20)로 고정되는 스페이서(3)의 가이드홈(21)이 형성되어 가이드몸체(17)의 상부에 결합되는 상부덮개(22) 그리고 슬라이더(15)가 걸림부재(16)에 괘정되었을 때 이를 해제시키기 위해 하부덮개(19)의 홈(23)을 관통하여 걸림부재(16)의 홈(16a)에 고정되어 있는 괘정해제볼트(24)로 이루어져 하판(25a)과 상판(25b)으로 이루어진 접합장치 몸체(25)의 스페이서몸체 홈(26)에 고정된 구조로 이루어져 있다.
상기 슬라이더(15)의 일측에는 하향 경사면(15a)이 형성되어 푸셔(27)가 경사면(15a)에 직하방의 압력을 가하면 슬라이더(15)가 후진되도록 이루어져 있다.
상기 슬라이더(15)가 내설된 스페이서 몸체(4)는 접합장치 몸체(25)에 120도 또는 90도 간격으로 각각 설치되고, 상기 각 슬라이더(15)에 동시에 직하방의 압력을 가할 수 있도록 푸쉬 디스크(28)의 하방에 슬라이더(15)에 대응되어 푸셔(27)가 설치된 것을 특징으로 하고 있다.
또한, 상기 스페이서 몸체(4)는 기어(34a)가 형성된 제1슬라이더(34)가 내설되어 수직이동할 수 있도록 형성된 가이드홈(31)과 기어(35a)가 형성된 제2슬라이더(35)와 걸림부재(36)가 수평이동할 수 있도록 스프링(37)(38)에 의해 각각 결합설치되는 가이드홈(32) 및 가이드홈(33)이 형성된 가이드몸체(39), 제1슬라이더(34)의 기어(34a)에 맞물려 제1슬라이더(34)의 수직이동에 따라 회전운동하는 제1원통기어(40), 상기 제1원통기어(40)에 맞물리는 제2슬라이더(35)의 기어(35a)와 맞물려 제2슬라이더(35)의 평형을 유지하는 제2원통기어(41)가 장착되어 가이드몸체(39)의 하부에 결합되는 하부덮개(42), 제2슬라이더(35)의 상단에 위치조절나사(20)로 고정되는 스페이서(3)의 가이드홈(21)이 형성되어 가이드몸체(39)의 상부에 결합되는 상부덮개(22) 그리고 제2슬라이더(15)가 후진시 걸림부재(36)에 괘정되었을 때 이를 해제시키기 위해 하부덮개(42)의 홈(23)을 관통하여 걸림부재(36)의 홈(36a)에 고정되어 있는 괘정해제볼트(24)로 이루어진 것을 특징으로 하고 있다.
이하 본 발명의 일실시예에 대해 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 스페이서 몸체의 조립사시도이다.
본 발명에 따른 스페이서 몸체 슬라이딩장치가 장착되는 접합장치 몸체(25)는 하판(25a)과 상판(25b)으로 이루어지고 스페이서 몸체(4)를 고정하기 위한 스페이서몸체 홈(26)이 형성되어 있으며, 상판(25b)에는 접합하고자 하는 기판 즉 웨이퍼를 올려놓는 기판장착홈(7)이 형성되어 있다. 스페이서 몸체(4)는 3개가 120도 간격으로 배치될 수도 있고 4개가 90도 간격으로 배치될 수도 있으며, 본 발명의기술사상을 벗어나지 않는 범위내에서 그 이상으로 배치되어 설치할 수 있음은 당업계에 통상의 지식을 가지고 있는 자라면 명백히 이해할 수 있는 것이다.
가이드몸체(17)에는 슬라이더(15)가 수평방향으로 전후진시 가이드역할을 하는 가이드홈(11)과 슬라이더(15)가 최후방으로 후진되었을 때 슬라이더(15)의 선단이 걸리게 되는 걸림부재(12)의 가이드역할을 하는 가이드홈(12)이 형성되어 있으며, 슬라이더(15)와 걸림부재(16)의 후단에는 각각의 스프링(13)(14)이 설치되어 슬라이더(15)와 걸림부재(16)를 항상 전방방향으로 미치는 힘을 작용시킨다.
가이드몸체(17)의 하부에 결합되는 하부덮개(19)에는 슬라이더(15)의 미끄럼운동을 원활하게 하는 로울러(18)가 다수 장착되어 있고, 가이드몸체(17)의 상부에 결합되는 상부덮개(22)에는 스페이서(3)의 전후진시 가이드역할을 하는 가이드홈(21)이 형성되어 있으며, 스페이서(3)는 위치조절나사(20)에 의하여 슬라이더(15)의 상단에 고정된다.
또한, 슬라이더(15)가 후진되어 걸림부재(16)에 괘정되었을 때 이를 해제시킬 수 있도록 하부덮개(19)의 홈(23)을 관통하여 걸림부재(16)의 홈(16a)에 괘정해제볼트(24)가 고정되어 있다. 괘정해제볼트(24)는 인위적으로 후진시키면 걸림부재(16)의 선단이 슬라이더(15)로부터 이탈되며, 이때 슬라이더(15)는 스프링(13)의 탄발력에 의해 전진하게 된다.
그리고, 상기 슬라이더(15)의 일측에는 경사부(15a)가 형성되어 있는데, 이는 경사부(15a)의 직상방에 설치되는 후술되는 푸셔(27)가 하강하면서 경사부(15a)를 누름에 따라 슬라이더(15)가 점차적으로 후진될 수 있도록 하기 위한 것이다.
도 3은 도 2의 사용상태도를 나타내는 도면으로서, 접합하고자 하는 웨어퍼가 접합장치에 장착된 상태를 나타내는 도면이다.
기판(1,2)을 장착할 때에는 먼저 접합시킬 하부기판(2)을 기판장착홈(7) 위에 올려 놓은 후 스페이서(3)의 탐침부위를 하부기판(2) 위로 전진시켜 놓고 스페이서(3)의 탐침위에 상부기판(1)을 놓는다. 그 위에 유리 홀더(8)를 놓고 이것을 클립(9)으로 고정시켜 스페이서(3)의 움직임에 따라 기판(1,2)이 움직이는 것을 방지한다.
도 4는 슬라이더의 작동원리를 설명하기 위한 개요도이다. 후술되는 푸쉬 디스크(28)가 내려오면서 디스크(28)에 장착된 세개의 스페이서 푸셔(27)가 슬라이더(15)의 경사면(15a)을 누르게 된다. 경사면(15a)에 아래로 향한 힘은 슬라이더(15)를 미끄럼운동에 의해 후진시키면서 스페이서(3)를 바깥쪽으로 밀어내 스페이서(3)의 탐침에 접촉되어 있는 기판(1,2)에서 빠지게 되는 것이다. 이러한 동작은 푸쉬 디스크(28)가 내려와 압력인가장치(6)가 상부기판(1)을 누르는 동시에 일어나게 된다.
도 5는 푸쉬 디스크(28)가 내려와 접합장치(25)를 누르는 동작을 나타낸 그림이다. 가압실린더(60)에 의해 푸쉬 디스크(28)가 내려와 압력인가장치(6)와 상부기판(1)을 누르는 동시에 스페이서 푸셔(27)가 푸셔 구멍(61)을 통해 슬라이더(15)의 경사면(15a)을 눌러 슬라이더(15)를 후진시킴으로써 스페이서(3)를 기판(1,2)바깥쪽으로 빠지게 한다. 접합장치(25)의 하부에는 히터(62)가 장착되어 여러 접합방법에 적용시킬 수 있도록 되어 있다.
도 6a 내지 도 6c는 압력인가장치(6)에 의해 눌리는 상부기판(1)이 스페이서(3)가 빠짐에 따라 접합되는 과정을 설명하기 위한 개요도이다. 도 6a는 압력인가장치(6)와 스페이서 푸셔(27)가 처음 접촉되었을 때의 상태를 나타내는 도면이다. 압력인가장치(6)에 의해 상부기판(1)의 중앙이 접촉되고 다른 비접촉된 영역을 통해 가스들이 빠져나가게 된다. 도 6b에서 푸쉬 디스크(28)가 내려오면서 스페이서(3)가 빠짐에 따라 기판(1,2)의 접촉영역이 넓어지고, 도 6c와 같이 스페이서(3)가 모두 빠지고 기판(1,2)이 압력인가장치(6)에 의해 접합되게 된다.
도 7은 본 발명에 따른 스페이서 몸체의 다른 실시예를 나타내는 도면이다.
스페이서 몸체(4)는 가이드몸체(39)와 상부덮개(22) 및 하부덮개(42)로 이루어져 있다.
상기 가이드몸체(39)에는 일측면에 기어(34a)가 형성된 제1슬라이더(34)가 수직이동할 수 있도록 된 가이드홈(31)과 기어(35a)가 형성된 제2슬라이더(35)와 걸림부재(36)가 수평이동할 수 있도록 스프링(37)(38)에 의해 각각 결합설치되는 가이드홈(32) 및 가이드홈(33)이 각각 형성되어 있다.
상기 하부덮개(42)에는 제1슬라이더(34)의 측면에 형성되어 있는 기어(34a)에 맞물려 제1슬라이더(34)의 수직이동에 따라 회전운동하게 되는 제1원통기어(40)가 설치되어 있고, 상기 제1원통기어(40)와 평행하게 제2원통기어(41)가 설치되며, 상기 제1,제2 원통기어(40)(41)의 상단에 상기 제2슬라이더(35)가 수평방향으로 설치되어 있다. 제2원통기어(41)는 제2슬라이더(35)의 평형을 유지시켜 제2슬라이더(35)가 전후진될 때 기울어짐을 방지하기 위한 아이들 기어이다.
제2슬라이더(35)의 상단에는 가이드홈(21)이 형성되어 있고, 상기 가이드홈(21)에는 스페이서(3)가 위치조절나사(20)에 의해 내측의 제2슬라이더(35)에 고정되어 스페이서(3)가 가이드홈(21)상에서 전후진될 수 있도록 설치되어 있다.
그리고 하부덮개(42)의 외측으로는 제2슬라이더(15)가 후진시 걸림부재(36)에 괘정되었을 때 이를 해제시키기 위해 하부덮개(42)의 홈(23)을 관통하여 걸림부재(36)의 홈(36a)에 고정되어 있는 괘정해제볼트(24)가 돌출되어 있다.
상기 구조의 스페이서 몸체에 대한 작동상태는 다음과 같다. 가압실린더(60)에 의해 푸쉬 디스크(28)가 내려와 압력인가장치(6)와 기판(1)을 누르는 동시에 스페이서 푸셔(27)가 푸셔 구멍(61)을 통해 제1슬라이더(34)를 누르게 되면 제1슬라이더(34)는 직하방으로 이동하게 되고, 이에 따라 제1슬라이더(34)의 기어(34a)에 맞물려 있는 제1원통기어(4)가 회전하게 되며, 상기 제1원통기어(40)가 회전되면 상기 제1원통기어(40)의 상측에서 맞물려 있는 제2슬라이더(34)가 후진하게 된다. 제2슬라이더(34)가 최후방으로 후진되면 스프링(38)에 의해 탄발되는 걸림부재(36)가 제2슬라이더(34)의 선단 앞으로 돌출되어 제2슬라이더(34)가 걸려 괘정되어 있게 된다.
괘정된 제2슬라이더(35)를 해정시에는 괘정해제볼트(24)를 걸림부재(36) 후방으로 밀어젖히면 걸림부재(36)가 가이드홈(33)을 따라 후방으로 이동되며, 이때 스프링(37)에 의해 제2슬라이더(35)가 전방으로 탄발되어 전진하므로써 초기 상태로 위치하게 된다.
상기한 바와 같이 본 발명은 웨이퍼의 압착과 스페이서의 탈착을 동시에 작동시킴과 아울러 안정적이며 내구적인 기계적인 작동을 통해 작동의 안정화와 단순화를 이루었다.
또한, 웨이퍼 레벨 진공 패키징 기술은 마이크로 센서 및 액튜에이터를 중심으로 하는 MEMS (Micro Electro Mechanical System) 소자의 패키징 및 전력용 반도체 소자용 SOI (Silicon On Insulator) 기판 제작에 반드시 필요한 핵심 기술이며, 웨이퍼 레벨 진공 패키징 장치 개발을 통해 핵심 MEMS 소자류 (진공센서, 압력센서, 가속도센서, 각속도센서, 진동형 액튜에이터 등) 의 성능 향상, 공정 수율 향상, 그리고 생산성 향상을 이룰 수 있으며, 전기적으로 절연성이 있는 산화막 상에 활성 실리콘층을 지닌 SOI 웨이퍼의 실현에 따른 고집적화, 저소비전력화, 고속화를 비롯해 고내압화, 고지능 소자화, 내방사선, 고부가가치 등을 기대할 수 있는 것인 바, 본 발명을 통해 웨이퍼 레벨 진공 패키징 공정에서 가장 큰 문제가 되는 낮은 생산성을 수율의 향상과 안정적인 공정으로써 해결할 수 있는 장점이 있다.

Claims (4)

  1. 상부기판(1)과 하부기판(2) 사이에 스페이서(3)를 개재시킨후 상부기판(1)에 압력을 가함과 동시에 스페이서 몸체(4)를 통해 상기 스페이서(3)를 상기 기판(1,2) 사이에서 이탈시키면서 상부기판(1)과 하부기판(2)을 접합하도록 이루어진 웨이퍼 접합장치의 스페이서 이동용 슬라이드장치에 있어서, 상기 스페이서 몸체(4)는 슬라이더 가이드홈(11)과 걸림부재 가이드홈(12)이 형성되어 각각의 스프링(13)(14)이 결합된 슬라이더(15)와 걸림부재(16)가 장착된 가이드몸체(17), 슬라이더(15)의 미끄럼을 원활하게 하는 로울러(18)가 장착되어 가이드몸체(17)의 하부에 결합되는 하부덮개(19), 슬라이더(15)의 상단에 위치조절나사(20)로 고정되는 스페이서(3)의 가이드홈(21)이 형성되어 가이드몸체(17)의 상부에 결합되는 상부덮개(22) 그리고 슬라이더(15)가 걸림부재(16)에 괘정되었을 때 이를 해제시키기 위해 하부덮개(19)의 홈(23)을 관통하여 걸림부재(16)의 홈(16a)에 고정되어 있는 괘정해제볼트(24)로 이루어져 하판(25a)과 상판(25b)으로 이루어진 접합장치 몸체(25)의 스페이서몸체 홈(26)에 고정된 구조로 이루어진 웨이퍼 접합장치의 스페이서 이동용 슬라이드장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 슬라이더(15)의 일측에는 푸셔(27)가 직하방의 압력을 가하면 슬라이더(15)가 후진되어 기판을 중심으로부터 바깥쪽으로 확대해 가면서 접합할 수 있도록 경사면(15a)이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 접합장치의 스페이서 이동용 슬라이드장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 슬라이더(15)가 내설된 스페이서 몸체(4)는 접합장치 몸체(25)에 120도 또는 90도 간격으로 각각 설치되고, 상기 각 슬라이더(15)에 동시에 직하방의 압력을 가할 수 있도록 푸쉬 디스크(28)의 하방에 슬라이더(15)에 대응되어 푸셔(27)가 설치된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 접합장치의 스페이서 이동용 슬라이드장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 스페이서 몸체(4)는 기어(34a)가 형성된 제1슬라이더(34)가 내설되어 수직이동할 수 있도록 형성된 가이드홈(31)과 기어(35a)가 형성된 제2슬라이더(35)와 걸림부재(36)가 수평이동할 수 있도록 스프링(37)(38)에 의해 각각 결합설치되는 가이드홈(32) 및 가이드홈(33)이 형성된 가이드몸체(39), 제1슬라이더(34)의 기어(34a)에 맞물려 제1슬라이더(34)의 수직이동에 따라 회전운동하는 제1원통기어(40), 상기 제1원통기어(40)에 맞물리는 제2슬라이더(35)의 기어(35a)와 맞물려 제2슬라이더(35)의 평형을 유지하는 제2원통기어(41)가 장착되어 가이드몸체(39)의 하부에 결합되는 하부덮개(42), 제2슬라이더(35)의 상단에 위치조절나사(20)로 고정되는 스페이서(3)의 가이드홈(21)이 형성되어 가이드몸체(39)의 상부에 결합되는 상부덮개(22) 그리고 제2슬라이더(15)가 후진시 걸림부재(36)에 괘정되었을 때 이를 해제시키기 위해 하부덮개(42)의 홈(23)을 관통하여 걸림부재(36)의 홈(36a)에 고정되어 있는 괘정해제볼트(24)로 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 접합장치의 스페이서 이동용 슬라이드장치.
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