JP2007314614A - ポリイミド前駆体共重合体、それを含むワニスおよびポジ型感光性樹脂組成物、ポリイミド共重合体、それを含む半導体素子の保護膜、ポリイミド共重合体含有膜の微細パターンの製造方法 - Google Patents
ポリイミド前駆体共重合体、それを含むワニスおよびポジ型感光性樹脂組成物、ポリイミド共重合体、それを含む半導体素子の保護膜、ポリイミド共重合体含有膜の微細パターンの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007314614A JP2007314614A JP2006143447A JP2006143447A JP2007314614A JP 2007314614 A JP2007314614 A JP 2007314614A JP 2006143447 A JP2006143447 A JP 2006143447A JP 2006143447 A JP2006143447 A JP 2006143447A JP 2007314614 A JP2007314614 A JP 2007314614A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- general formula
- copolymer
- polyimide
- represented
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 0 Cc1c(*)c(*)c(C)c(*)c1* Chemical compound Cc1c(*)c(*)c(C)c(*)c1* 0.000 description 9
- APKFRGNFHWSLFJ-UHFFFAOYSA-N CC(C(F)(F)F)(c(cc1)cc(C(O2)=O)c1C2=O)c(cc1)cc(C(O2)=O)c1C2=O Chemical compound CC(C(F)(F)F)(c(cc1)cc(C(O2)=O)c1C2=O)c(cc1)cc(C(O2)=O)c1C2=O APKFRGNFHWSLFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Formation Of Insulating Films (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)
Abstract
【解決手段】
特定の構造を有する第一の酸二無水物と、第一の酸二無水物とは異なる特定の構造を有する第二の酸二無水物と、1または2の芳香族環を有する一種以上のジアミンと、を共重合してなる、ポリイミド前駆体共重合体。
【選択図】 図1
Description
本実施形態によれば、一般式(1)で示される酸二無水物と、一般式(2)または一般式(3)で示される酸二無水物と、一般式(4)または一般式(5)で示される一種以上のジアミンと、を共重合してなる、ポリイミド前駆体共重合体が提供される。
本実施形態に係るポリエステルイミド前駆体共重合体のγ−ブチロラクトン溶解性および透明性に対する効果について説明すると、本実施形態によれば、一般式(7)で示される繰り返し単位と、一般式(8)または一般式(9)で示される繰り返し単位と、を含む形で表されるポリエステルイミド前駆体共重合体は、一般式(1)で示されるテトラカルボン酸二無水物と、一般式(2)または一般式(3)で示されるテトラカルボン酸二無水物と、一般式(4)または一般式(5)で示される一種以上のジアミンを原料として、γ−ブチロラクトン溶媒中で重合することができる。
上記のポリイミド前駆体(なお、以下、ポリイミド前駆体をポリエステルイミド前駆体とも記載する)の共重合体を製造する方法は、特に限定されず、公知の方法を適用することができる。より具体的には、以下の方法により得られる。まず上記の一般式(4)または一般式(5)で示される一種以上のジアミンを脱水した重合溶媒に溶解し、これに一般式(1)で示される酸二無水物(エステル基含有テトラカルボン酸二無水物)の粉末と、一般式(2)または一般式(3)で示される酸二無水物の粉末とを徐々に添加し、メカニカルスターラーを用い攪拌する。この際、テトラカルボン酸二無水物の総量とジアミンとは実質的に等モルで仕込まれる。なお、テトラカルボン酸二無水物粉末を添加する際、酸二無水物をあらかじめ混合した後溶液に添加しても、順次添加しても差し支えない。
本実施形態のポリエステルイミド前駆体共重合体のワニスにジアゾナフトキノン系感光剤を添加・溶解し、これを基板上に塗布、40〜120℃、好ましくは60〜100℃で1分〜3時間温風乾燥して、膜厚1〜20μmのポジ型感光性ポリエステルイミド前駆体共重合体膜を得ることができる。
基材上でポリエステルイミド前駆体に微細パターンを形成後、これを空気中、窒素等の不活性ガス雰囲気中あるいは真空中、180℃〜400℃、好ましくは250℃〜350℃の温度で熱処理することで、鮮明なポリエステルイミド共重合体を含む膜のパターンが得られる。加熱温度は180℃未満だとイミド化の閉環反応が不完全である恐れがあり好ましくなく、また400℃を超えると生成したポリエステルイミド共重合体フィルムが一部熱分解する可能性があるため好ましくない。またイミド化は真空中あるいは不活性ガス中で行うことが望ましいが、イミド化温度が高すぎなければ空気中で行っても、差し支えない。
0.5重量%のポリエステルイミド前駆体共重合体溶液を、オストワルド粘度計を用いて30℃で測定した。
ブルカーエイエックス社製熱機械分析装置(TMA4000)を用いて動的粘弾性測定により、周波数0.1Hz、昇温速度5℃/分における損失ピークからポリエステルイミドフィルム(20μm厚)のガラス転移温度を求めた。
ブルカーエイエックス社製熱機械分析装置(TMA4000)を用いて、熱機械分析により、荷重0.5g/膜厚1μm、昇温速度5℃/分における試験片の伸びより、100〜200℃の範囲での平均値としてポリエステルイミドフィルム(20μm厚)の線熱膨張係数を求めた。
アタゴ社製アッベ屈折計(アッベ4T)を用いて、ポリエステルイミドフィルム(20μm厚)に平行な方向(nin)と垂直な方向(nout)の屈折率をアッベ屈折計(ナトリウムランプ使用、波長589nm)で測定し、これらの屈折率の差から複屈折(Δn=nin−nout)を求めた。この値が高いほど、ポリマー鎖の面内配向度が高いことを意味する。
アタゴ社製アッベ屈折計(アッベ4T)を用いて、ポリエステルイミドフィルムの平均屈折率〔nav=(2nin+nout)/3〕に基づいて、次式:εcal=1.1×nav2により、1MHzにおけるポリエステルイミドフィルムの誘電率(εcal)を算出した。
50℃で24時間真空乾燥したポリエステルイミドフィルム(膜厚20〜30μm)を24℃の水に24時間浸漬した後、余分の水分を拭き取り、重量増加分から吸水率(%)を求めた。殆どの用途においてこの値が低いほど好ましい。
東洋ボールドウィン社製引張試験機(テンシロンUTM−2)を用いて、ポリエステルイミドフィルム(20μm厚)の試験片(3mm×30mm)について引張試験(延伸速度:8mm/分)を実施し、応力―歪曲線の初期の勾配から弾性率を、フィルムが破断した時の伸び率から破断伸び(%)を求めた。破断伸びが高いほどフィルムの靭性が高いことを意味する。
日本分光社製紫外可視分光光度計(V−520)を用い、ポリエステルイミド前駆体フィルム(20μm厚)の可視・紫外線透過率を200nmから900nmの範囲で測定した。透過率が0.5%以下となる波長(カットオフ波長)を透明性の指標とした。カットオフ波長が短い程、透明性が良好であることを意味する。
日本分光社製紫外可視分光光度計(V−520)を用い、ポリエステルイミド前駆体フィルム(20μm厚)の365nmにおける光透過率を測定した。透過率が高い程、i線での透明性が良好であることを意味する。
ND:動的粘弾性測定で検出不能
○:良好、×:不良
共重合組成X=Y=0.9とした以外は、実施例1と同様なモノマーを使用し、実施例1に記載した方法に従って、ポリエステルイミド前駆体を重合し、製膜、イミド化してポリエステルイミド共重合体膜を作製し、同様に物性評価した。物性値を表1に示す。ポリエステルイミド前駆体ワニス(7.0重量%)は1週間以上ゲル化等が見られず均一に保たれた。実施例1と同様に高い弾性率、低い線熱膨張係数、低吸水率、比較的低い誘電率および十分な膜靭性を示した。また、このポリエステルイミド前駆体共重合体ワニスを用いてパターン形成を行った場合のL&S20μmのパターンの電子顕微鏡写真を図2に示した。
一般式(2)で表されるフルオレニル基含有テトラカルボン酸二無水物を用いる代わりに、一般式(3)で表される、2,2’−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン酸二無水物を用いた以外は、実施例1に記載した方法と同様にポリエステルイミド前駆体を重合した。このワニス(7.0重量%)は室温で1ヶ月以上貯蔵してもゲル化や沈殿が見られず、高い貯蔵安定性を示した。
<実施例4>
一般式(2)で表されるフルオレニル基含有テトラカルボン酸二無水物を用いる代わりに、一般式(3)で表される、2,2’−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン酸二無水物を用いた以外は、実施例2に記載した方法と同様にポリエステルイミド前駆体を重合した。このワニス(7.0重量%)は室温で10間以上貯蔵してもゲル化や沈殿が見られず、高い貯蔵安定性を示した。
実施例1で得られたポリエステルイミド前駆体共重合体ワニスにジアゾナフトキノン系感光剤として2,3,4−トリス(1−オキソ−2−ジアゾナフトキノン−5−スルフォキシ)ベンゾフェノンを、上記ポリエステルイミド前駆体の実量に対して30質量%になるように添加し、溶解させた。
実施例3で得られたポリエステルイミド前駆体共重合体ワニスを用いて、実施例5に記載の方法に従ってパターン形成を行ったところ、実施例5と同様に線幅20μmの鮮明なパターンが得られた。また、実施例4で得られたポリエステルイミド前駆体ワニスを用いた場合でも同様に線幅20μmの鮮明なパターンが得られた。また、このポリエステルイミド前駆体共重合体ワニスを用いて上述のようにしてパターン形成を行った場合のL&S20μmのパターンの電子顕微鏡写真を図3に示した。
共重合組成X=Y=1.0即ち、一般式(2)で表されるフルオレニル基含有テトラカルボン酸二無水物を使用しなかった以外は実施例1に記載した方法に従って、ポリエステルイミド前駆体を重合し均一な溶液が得られた。このワニスを用いて製膜、イミド化してポリエステルイミド共重合体膜を作製し、同様に物性評価した。物性値を表1に示す。
一般式(1)で表されるエステル基含有テトラカルボン酸二無水物を用いる代わりに、一般式(1)中、メチル置換基のない酸二無水物、即ちハイドロキノン−ビス(トリメリテートアンハイドライド)を使用した以外は、比較例1に記載した方法に従って、ポリエステルイミド前駆体の重合を試みたが、重合溶液は不均一のままであり、重合が全く進行しなかった。これは一般式(1)中のメチル置換基がないため、重合により生成したエステルイミド前駆体オリゴマーのγ−ブチロラクトンに対する溶解性が乏しいためである。
一般式(1)で表されるエステル基含有テトラカルボン酸二無水物を用いる代わりに、一般式(1)中、メチル置換基のない酸二無水物、即ちハイドロキノン−ビス(トリメリテートアンハイドライド)を使用した以外は、実施例1に記載した方法に従って、ポリエステルイミド前駆体の重合を試みた。
一般式(1)で表されるエステル基含有テトラカルボン酸二無水物を用いる代わりに、一般式(1)中、メチル置換基のない酸二無水物、即ちハイドロキノン−ビス(トリメリテートアンハイドライド)を使用した以外は、実施例2に記載した方法に従って、ポリエステルイミド前駆体の重合を試みた。
Claims (19)
- 一般式(1)で示される酸二無水物と、
一般式(2)または一般式(3)で示される酸二無水物と、
一般式(4)または一般式(5)で示される一種以上のジアミンと、
を共重合してなる、ポリイミド前駆体共重合体。
- 請求項1記載のポリイミド前駆体共重合体において、
前記一般式(5)で示されるジアミンは、一般式(6)で示されるジアミンである、ポリイミド前駆体共重合体。
- 請求項1または2記載のポリイミド前駆体共重合体において、
前記一般式(1)で示される酸二無水物と前記一般式(2)または一般式(3)で示される酸二無水物との合計のうち、前記一般式(1)で示される酸二無水物のモル分率をX、前記一般式(2)または一般式(3)で示される酸二無水物のモル分率を1−Xとすると、Xが0.5〜0.99の範囲である、ポリイミド前駆体共重合体。 - 一般式(7)で示される繰り返し単位と、
一般式(8)または一般式(9)で示される繰り返し単位と、
を含む、ポリイミド前駆体共重合体。
- 請求項4記載のポリイミド前駆体共重合体において、
前記一般式(11)で示される構造単位は、一般式(12)で示される構造単位である、ポリイミド前駆体共重合体。
- 請求項4または5記載のポリイミド前駆体共重合体において、
前記一般式(7)で示される繰り返し単位と前記一般式(8)または前記一般式(9)で示される繰り返し単位との合計のうち、前記一般式(7)で示される繰り返し単位のモル分率をY、前記一般式(8)または前記一般式(9)で示される繰り返し単位のモル分率を1−Yとすると、Yが0.5〜0.99の範囲である、ポリイミド前駆体共重合体。 - 請求項1乃至6いずれかに記載のポリイミド前駆体共重合体において、
固有粘度が0.1〜10.0dL/gである、ポリイミド前駆体共重合体。 - 請求項1乃至7いずれかに記載のポリイミド前駆体共重合体において、
重量平均分子量が10,000〜1,000,000である、ポリイミド前駆体共重合体。 - 請求項1乃至8いずれかに記載のポリイミド前駆体共重合体を含有するγ−ブチロラクトン溶液からなるワニス。
- 請求項1乃至9いずれかに記載のポリイミド前駆体共重合体と、
ジアゾナフトキノン系感光剤と、
を含有するポジ型感光性樹脂組成物。 - ポリイミド共重合体含有膜の微細パターンの製造方法であって、
請求項10記載のポジ型感光性樹脂組成物を塗布してポジ型感光性樹脂組成物膜を形成する工程と、
前記ポジ型感光性樹脂組成物膜をパターン露光する工程と、
前記パターン露光された前記ポジ型感光性樹脂組成物膜をアルカリ現像する工程と、
前記アルカリ現像された前記ポジ型感光性樹脂組成物膜を加熱処理または脱水環化試薬処理して、前記ポリイミド共重合体含有膜を形成する工程と、
を含む、製造方法。 - 請求項1乃至8いずれかに記載のポリイミド前駆体共重合体を、加熱処理または脱水環化試薬処理することにより閉環反応させて得られるポリイミド共重合体。
- 一般式(13)で示される繰り返し単位と、
一般式(14)または一般式(15)で示される繰り返し単位と、
を含む、ポリイミド共重合体。
- 請求項13記載のポリイミド共重合体において、
前記一般式(11)で示される構造単位は、一般式(12)で示される構造単位である、ポリイミド共重合体。
- 請求項13または14に記載のポリイミド共重合体において、
前記一般式(13)で示される繰り返し単位と前記一般式(14)または前記一般式(15)で示される繰り返し単位との合計のうち、前記一般式(13)で示される繰り返し単位のモル分率をZ、および前記一般式(14)または前記一般式(15)で示される繰り返し単位のモル分率を1−Zとすると、Zが0.5〜0.99の範囲である、ポリイミド共重合体。 - 請求項12乃至15いずれかに記載のポリイミド共重合体において、
固有粘度が0.1〜10.0dL/gである、ポリイミド共重合体。 - 請求項12乃至16いずれかに記載のポリイミド共重合体において、
重量平均分子量が10,000〜1,000,000である、ポリイミド共重合体。 - 請求項12乃至17いずれかに記載のポリイミド共重合体を含有する半導体素子の保護膜。
- 請求項18記載の半導体素子の保護膜において、
弾性率が5GPa以上であり、吸水率が1%以下である、半導体素子の保護膜。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006143447A JP4998679B2 (ja) | 2006-05-23 | 2006-05-23 | ポリイミド前駆体共重合体、それを含むワニスおよびポジ型感光性樹脂組成物、ポリイミド共重合体、それを含む半導体素子の保護膜、ポリイミド共重合体含有膜の微細パターンの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006143447A JP4998679B2 (ja) | 2006-05-23 | 2006-05-23 | ポリイミド前駆体共重合体、それを含むワニスおよびポジ型感光性樹脂組成物、ポリイミド共重合体、それを含む半導体素子の保護膜、ポリイミド共重合体含有膜の微細パターンの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007314614A true JP2007314614A (ja) | 2007-12-06 |
JP4998679B2 JP4998679B2 (ja) | 2012-08-15 |
Family
ID=38848773
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006143447A Expired - Fee Related JP4998679B2 (ja) | 2006-05-23 | 2006-05-23 | ポリイミド前駆体共重合体、それを含むワニスおよびポジ型感光性樹脂組成物、ポリイミド共重合体、それを含む半導体素子の保護膜、ポリイミド共重合体含有膜の微細パターンの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4998679B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007314583A (ja) * | 2006-05-23 | 2007-12-06 | Nissan Chem Ind Ltd | 脂環式ポリイミド前駆体、ポジ型感光性樹脂組成物およびその硬化膜 |
JP2008091415A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
JP2013105834A (ja) * | 2011-11-11 | 2013-05-30 | Hitachi Chemical Co Ltd | 半導体装置の製造方法、半導体装置及び電子部品 |
WO2016147490A1 (ja) * | 2015-03-16 | 2016-09-22 | 太陽ホールディングス株式会社 | ポジ型感光性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物およびプリント配線板 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1036506A (ja) * | 1996-07-18 | 1998-02-10 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | 新規なポリイミド組成物及びポリイミドフィルム |
JPH10163188A (ja) * | 1996-11-27 | 1998-06-19 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体装置及びその製造法 |
JP2000098601A (ja) * | 1998-09-25 | 2000-04-07 | Ube Ind Ltd | ポジ型感光性ポリアミド酸組成物およびパタ−ン形成方法 |
JP2003155344A (ja) * | 2002-09-24 | 2003-05-27 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | 新規なポリイミド組成物及びポリイミドフィルム |
JP2004182757A (ja) * | 2002-11-29 | 2004-07-02 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | ポリイミド樹脂及び該ポリイミド樹脂の製造方法 |
-
2006
- 2006-05-23 JP JP2006143447A patent/JP4998679B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1036506A (ja) * | 1996-07-18 | 1998-02-10 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | 新規なポリイミド組成物及びポリイミドフィルム |
JPH10163188A (ja) * | 1996-11-27 | 1998-06-19 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体装置及びその製造法 |
JP2000098601A (ja) * | 1998-09-25 | 2000-04-07 | Ube Ind Ltd | ポジ型感光性ポリアミド酸組成物およびパタ−ン形成方法 |
JP2003155344A (ja) * | 2002-09-24 | 2003-05-27 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | 新規なポリイミド組成物及びポリイミドフィルム |
JP2004182757A (ja) * | 2002-11-29 | 2004-07-02 | Kanegafuchi Chem Ind Co Ltd | ポリイミド樹脂及び該ポリイミド樹脂の製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007314583A (ja) * | 2006-05-23 | 2007-12-06 | Nissan Chem Ind Ltd | 脂環式ポリイミド前駆体、ポジ型感光性樹脂組成物およびその硬化膜 |
JP2008091415A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
JP2013105834A (ja) * | 2011-11-11 | 2013-05-30 | Hitachi Chemical Co Ltd | 半導体装置の製造方法、半導体装置及び電子部品 |
WO2016147490A1 (ja) * | 2015-03-16 | 2016-09-22 | 太陽ホールディングス株式会社 | ポジ型感光性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物およびプリント配線板 |
JPWO2016147490A1 (ja) * | 2015-03-16 | 2017-12-28 | 太陽ホールディングス株式会社 | ポジ型感光性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物およびプリント配線板 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4998679B2 (ja) | 2012-08-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5593548B2 (ja) | ポリイミド系重合体とこれらの共重合体、並びにこれを含むポジ型感光性樹脂組成物 | |
TWI448512B (zh) | 聚亞醯胺及光阻樹脂組成物 | |
JP4858678B2 (ja) | エステル基含有ポリ(イミド−アゾメチン)共重合体、エステル基含有ポリ(アミド酸−アゾメチン)共重合体及びポジ型感光性樹脂組成物 | |
JP4678142B2 (ja) | 高透明性を有するポリ(アミド酸−イミド)共重合体の感光性樹脂組成物およびその硬化膜 | |
KR20140051430A (ko) | 폴리아미드산 수지 조성물, 폴리이미드 수지 조성물, 폴리이미드 옥사졸 수지 조성물 및 그것들을 함유하는 플렉시블 기판 | |
JP2007169585A (ja) | 低線熱膨張係数を有するポリエステルイミドおよびその前駆体、ならびにこれらの製造方法 | |
WO2007007730A1 (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物およびパターン形成方法 | |
CN109153841B (zh) | 树脂组合物 | |
JP2014208793A (ja) | ポリイミド前駆体樹脂組成物、ポリイミド樹脂膜、フレキシブルプリント配線板、回路付きサスペンション及びハードディスクドライブ | |
JP6961342B2 (ja) | ポリイミド樹脂およびポジ型感光性樹脂組成物 | |
JP4639697B2 (ja) | イミド基含有ジアミン、該イミド基含有ポリイミド前駆体、該前駆体を含有してなるポジ型感光性樹脂組成物、ポジ型パターンの製造方法及び電子部品 | |
JP5263464B2 (ja) | 脂環式ポリイミド前駆体、ポジ型感光性樹脂組成物およびその硬化膜 | |
KR101969197B1 (ko) | 포지티브형 감광성 수지 조성물 | |
JP2008280261A (ja) | ヒドロキシアミド基を有するポリイミド、その前駆体、これらを用いた感光性樹脂組成物、およびこれらの硬化物 | |
TWI426093B (zh) | 聚亞醯胺系聚合物、共聚物及包含該聚合物之正型光阻劑 | |
JP4998679B2 (ja) | ポリイミド前駆体共重合体、それを含むワニスおよびポジ型感光性樹脂組成物、ポリイミド共重合体、それを含む半導体素子の保護膜、ポリイミド共重合体含有膜の微細パターンの製造方法 | |
JP2010134116A (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物 | |
JP4788108B2 (ja) | 低誘電率、低線熱膨張係数、高透明性、高ガラス転移温度を併せ持つポリイミドとその前駆体 | |
KR20070057898A (ko) | 폴리(이미드-아조메틴) 공중합체, 폴리(아미드산-아조메틴)공중합체 및 포지티브형 감광성 수지 조성물 | |
TWI714703B (zh) | 硬化膜及其製造方法 | |
JP2009192760A (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物 | |
US7635551B2 (en) | Poly (imide-azomethine) copolymer, poly (amic acid-azomethine) copolymer, and positive photosensitive resin composition | |
JP2006071783A (ja) | 感光性樹脂組成物及びそれを用いた微細パターンの製造方法 | |
TW201728621A (zh) | 硬化膜及其製造方法 | |
WO2010071100A1 (ja) | ポジ型感光性ポリイミド樹脂組成物 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081218 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110721 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110830 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110922 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120418 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120501 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4998679 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150525 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |