JP2007312324A - バランスフィルタおよび分波器 - Google Patents

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Abstract

【課題】振幅バランス、位相バランスを大幅に改善することが可能なバランスフィルタまたは分波器を提供すること。
【解決手段】本発明は、少なくとも1つの信号端子が不平衡型のフィルタ(10)と、フィルタの不平衡型の信号端子(T1)から入出力する信号を、位相の異なる信号として入出力する集中定数型バラン(40)と、フィルタの少なくとも1つのグランド端子とバランの少なくとも1つのグランド端子との共通したノード(NG2)とグランドとの間に接続されたグランドインダクタ(LG2)と、を有することを特徴とするバランスフィルタおよび分波器である。
【選択図】図23

Description

本発明はバランスフィルタおよび分波器に関し、特にバランを有するバランスフィルタおよび分波器に関する。
近年、例えば携帯電話端末では、高周波回路におけるコモンモードノイズを抑制するため受信側の信号は差動型とする場合がある。これに伴い、受信回路に用いられる高周波デバイスも、差動型(平衡型)のものが用いられている。具体的には平衡型ローノイズアンプ(LNA)や平衡型ミキサが用いられている。
図1は、平衡型ミキサ128が用いられている携帯電話のアンテナ近傍の受信回路ブロック図を示す。共通端子(アンテナ端子)Antから受信した信号は、LNA122で増幅される。不平衡型受信用フィルタ124により不要信号が除去される。ミキサ128で低周波信号へと変換される。ここで、平衡型ミキサ128は平衡入力であるため、不平衡型受信用フィルタ124と平衡型ミキサ128との間に、不平衡−平衡変換のためのバラン126を接続する。
図2は、平衡型LNA136と平衡型ミキサ138が用いられている携帯電話のアンテナ近傍の受信回路ブロック図を示す。共通端子(アンテナ端子)Antから受信した信号は、不平衡型アンテナデュプレクサ132を通って受信回路へと流れる。平衡型LNA136で増幅された後、平衡型ミキサ138で低周波信号へと変換される。ここで、LNAは平衡入力であるため、不平衡型アンテナデュプレクサ132とLNA136との間には、不平衡−平衡変換のためのバラン134を接続する。
不平衡型受信用フィルタ124や不平衡型アンテナデュプレクサ132には、図3に示すようなラダー型フィルタが用いられることが多い。ラダー型フィルタは、入力端子Inと出力端子Outとの間に直列共振器S1からS4を直列に接続し、並列共振器P1およびP2を並列に接続した構成である。共振器としては、例えば弾性表面波共振器、弾性境界波共振器、圧電薄膜共振器が用いられる。
図4(a)および図4(b)は、それぞれ弾性表面波共振器の平面図および図4(a)のA−A断面図である。図4(a)を参照に、圧電基板50上に櫛歯電極(IDT:インターディジタルトランスデューサ)が形成され、両側に反射器R0が形成されている。IDTには入力端子Inおよび出力端子Outが接続されている。図4(b)を参照に、圧電基板50上にIDTおよび反射器R0を構成する電極52が金属膜により形成されている。弾性表面波共振器においては、IDTで励振した弾性波は圧電基板50表面で定在波となり、IDTの電極52ピッチと弾性表面波の伝搬速度で決まる周波数で共振する。これにより、共振器として機能する。
図5(a)および図5(b)は、それぞれ弾性境界波共振器の平面図および図5(a)のA−A断面図である。図4(a)および図4(b)と比較し、IDTおよび反射器R0に例えば誘電体膜54、誘電体膜56が設けられている。その他の構成は弾性表面波共振器と同様である。弾性境界波共振器においては、IDTで励振した弾性波は圧電基板50と誘電体膜56との界面層である誘電体膜54の中で定在波となり、IDTの電極52ピッチと弾性境界波の伝搬速度で決まる周波数で共振する。これにより、共振器として機能する。
図6(a)および図6(b)は、それぞれ圧電薄膜共振器の平面図および図6(a)のA−A断面図である。絶縁基板60上に圧電膜64を挟むように下部電極62と上部電極66とが設けられている。下部電極62の下は空隙68や多層反射膜が配置されたものなどが存在する。下部電極62と上部電極66との間に高周波信号を印加すると、圧電膜64に厚み縦振動の定在波が立ち、圧電膜64の膜厚と厚み縦振動の伝搬速度で決まる周波数で共振する。
図7は不平衡型フィルタや不平衡型デュプレクサに用いられるダブルモード型弾性表面波フィルタの例である。ダブルモード型フィルタは、圧電基板50上に複数個の入力IDTと出力IDTを形成し、IDTの外側に反射器R0を配置した構造である。図7においては、2つの反射器R0の間に2つの出力IDT(OutIDT)を設け、2つの出力IDT(OutIDT)の間に入力IDT(InIDT)が設けられている。2つの出力IDT(OutIDT)の出力は共通に出力端子Outに接続される。入力IDTは入力端子Inに接続される。ダブルモード型弾性境界波フィルタは図7のIDTおよび反射器R0上に図5(b)のような誘電体膜54および56が積層される。
不平衡型アンテナデュプレクサ(分波器)は、送信用フィルタ20と受信用フィルタ10と整合回路30から構成される。図8に、送信用フィルタ20と受信用フィルタ10にラダー型フィルタを用いた不平衡型分波器の構成例を示す図である。共通端子Antと送信端子Txとの間に送信用フィルタ20が接続される。送信用フィルタ20は直列共振器S21からS24および並列共振器P21およびP22から構成される。共通端子Antと受信端子Rxとの間には受信用フィルタ10が接続される。受信用フィルタ10は直列共振器S11からS14および並列共振器P11およびP12から構成される。共通端子Antと受信用フィルタ10の間に整合回路30が付加される。
図8の分波器の整合回路30としても用いられる素子について説明する。図9(a)はストリップライン/マイクロストリップラインを示す図である。ストリップライン/マイクロストリップラインMSは、フィルタチップを収容するセラミックパッケージ表面や内層に作製される。図9(b)および図9(c)は集中定数型移相器である。これらは、集積型受動素子(IPD)で作製される。または、チップ部品(チップコンデンサやチップインダクタ)で作製される。図9(d)は並列インダクタL1を付加した共振器S1である。共振器S1としては、弾性表面波共振器、弾性境界波共振器、圧電薄膜共振器などが用いられる。並列インダクタとしては、IPDやチップ部品が用いられる。
図1や図2の回路で説明した不平衡−平衡変換のためのバランは、一般に挿入損失やサイズが大きく、低コストや軽量化の妨げとなる。そこで、特許文献1、2においては、不平衡型フィルタや不平衡型デュプレクサに不平衡−平衡変換のためのバランを内蔵した技術が開示されている。これにより、小型、軽量のバランス型フィルタおよびデュプレクサを提供することができる。
図10は、バランス型フィルタの回路構成を示した図である。不平衡入力端子Inと不平衡出力端子T1との間に直列共振器S1からS3が直列に接続され、並列共振器P1およびP2が並列に接続される。これにより、不平衡型のラダー型フィルタ10が構成される。バラン40は、不平衡端子T1と2つの平衡端子T21、T22とを有しており、不平衡端子T1の信号を2つの平衡端子T21とT22とに出力する。不平衡端子T1と平衡端子の一方T21との間に直列に接続された第1キャパシタCSと、平衡端子の一方T21とグランドとに接続された第1インダクタLPとを有している。一方、不平衡端子T1と平衡端子の他方T22との間に直列に接続された第2インダクタLSと、平衡端子の他方T22とグランドとに接続された第2キャパシタCPとを有している。このような構成によれば、小型、低コストのフィルタおよび分波器が提供でき、平衡型LNAや平衡型ミキサへのフィルタや分波器の直接接続が可能となる。
特開2000−114917号公報 特開2002−359542号公報
しかしながら、特許文献1および2の構成を用いてバランスフィルタを実現した場合、以下の2つの課題が生じる。1つ目の課題は、低いQ値の集中定数素子を用いるためにバランの挿入損失が大きく、バランスフィルタとしての挿入損失が大きくなってしまうことである。特許文献1、2によれば、バランのインダクタには、ボンディングワイヤや弾性表面波共振器または圧電薄膜共振器を用い、キャパシタには、弾性表面波共振器または圧電薄膜共振器を用いている。ボンディングワイヤや弾性表面波共振器または圧電薄膜共振器をインダクタやキャパシタとして用いた場合、一般にQ値はかなり低い。したがって、ボンディングワイヤや弾性表面波共振器または圧電薄膜共振器を用いてバランを構成しても挿入損失の大きなものとなってしまい、携帯電話システムの要求を満たせない可能性が高い。
2つ目の課題は、バランスフィルタおよびデュプレクサとしてのバランス特性が悪いことである。バランス特性とは、バランスフィルタにおける2つの平衡出力端子から出力される差動信号の振幅差と位相差のことで、それぞれ振幅バランス、位相バランスという。振幅バランスは0dBに近いほどよく、位相バランスは180°に近いほどよい。不平衡型フィルタにバランを接続したバランスフィルタ(バラン内蔵型バランスフィルタと呼ぶ)の場合、バランス特性は基本的に内蔵するバランが持つバランス特性そのものとなる。集中定数バランは一般に、バランス特性はそれほど優れておらず、振幅バランスで±0.5dB程度、位相バランスで180°±5°程度である。
さらに、特許文献1および2のように、集中定数バランのインダクタとしてボンディングワイヤや弾性表面波共振器または圧電薄膜共振器を用い、キャパシタとして弾性表面波共振器または圧電薄膜共振器を用いると、インダクタンス値及びキャパシタンス値の周波数依存性によりバランス特性はさらに悪化し、振幅バランスで±1dB、位相バランスで180°±10°程度となってしまう。この程度のバランス特性では、後段に接続する高周波ICの性能を十分に保証できないなどの課題が生じる。
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、Q値の高い集中定数素子で構成したバランを用いることにより、低損失のバランスフィルタおよび分波器を提供すること、または、振幅バランス、位相バランスを大幅に改善することが可能なバランスフィルタまたは分波器を提供することを目的とする。
本発明は、少なくとも1つの信号端子が不平衡型のフィルタと、該フィルタの不平衡型の信号端子から入出力する信号を、位相の異なる信号として入出力する集中定数型バランであって、集積型受動素子で構成されるバランと、前記フィルタと前記バランとをフリップチップ実装する実装部と、を具備することを特徴とするバランスフィルタである。本発明によれば、Q値の高い集積型受動素子インダクタおよび集積型受動素子キャパシタを用いることができるため、挿入損失の低減および位相バランスの改善を実現することができる。
本発明は、少なくとも1つの信号端子が不平衡型のフィルタと、該フィルタの不平衡型の信号端子から入出力する信号を、位相の異なる信号として入出力し、グランド端子を2個以上有する集中定数型バランと、前記フィルタの少なくとも1つのグランド端子と前記バランの少なくとも1つのグランド端子との共通したノードとグランドとの間に接続されたグランドインダクタと、を具備することを特徴とするバランスフィルタである。本発明によれば、振幅バランスおよび位相バランスを改善することができる。
上記構成において、前記バランは、不平衡端子と2つの平衡端子と、不平衡端子と前記2つの平衡端子の一方との間に直列に接続された第1キャパシタと、前記2つの平衡端子の一方とグランドとに接続された第1インダクタと、前記不平衡端子と前記2つの平衡端子の他方との間に直列に接続された第2インダクタと、前記2つの平衡端子の他方とグランドとに接続された第2キャパシタと、を有する構成とすることができる。
上記構成において、前記第1キャパシタ、前記第1インダクタ、前記第2インダクタおよび前記第2キャパシタはそれぞれ1つである構成とすることができる。
上記構成において、前記バランの前記少なくとも1つのグランド端子は前記第2キャパシタのグランド側の端子である構成とすることができる。この構成によれば、位相バランスを一層改善することができる。
上記構成において、前記フィルタは複数のグランド端子を有し、前記フィルタの前記少なくとも1つのグランド端子は、前記複数のグランド端子のうちの一部である構成とすることができる。この構成によれば、位相バランスを一層改善することができる。
上記構成において、前記フィルタのグランド端子のうちの一部は前記第2キャパシタのグランド側と共通にグランドインダクタに接続され、前記フィルタのグランド端子のうちの他の一部は前記バランのグランド側とは接続されず別のグランドインダクタに接続される構成とすることができる。この構成によれば、位相バランスを一層改善することができる。
上記構成において、前記フィルタのグランド端子のうちの一部は前記第2キャパシタのグランド側と共通にグランドインダクタに接続され、前記フィルタのグランド端子のうちの他の一部は前記第1インダクタのグランド側と共通に別のグランドインダクタに接続される構成とすることができる。この構成によれば、位相バランスを一層改善することができる。
上記構成において、前記バランは、集積型受動素子からなるインダクタを有する構成とすることができる。
上記構成において、前記バランは、チップインダクタ、ボンディングワイヤからなるインダクタ、共振器からなるインダクタ、および前記フィルタを実装する実装部に設けられた線路パターンからなるインダクタのいずれかを有する構成とすることができる。
上記構成において、前記バランは、集積型受動素子からなるキャパシタを有する構成とすることができる。
上記構成において、前記バランは、チップキャパシタ、共振器からなるキャパシタ、および前記フィルタを実装する実装部に設けられたキャパシタのいずれかを有する構成とすることができる。
上記構成において、前記グランドインダクタは、ボンディングワイヤからなるインダクタ、前記フィルタを実装する実装基板に設けられた線路パターンからなるインダクタ、前記フィルタが形成されたチップに設けられた線路パターンのいずれかである構成とすることができる。
上記構成において、前記フィルタはラダー型フィルタであり、前記少なくとも一部の前記グランド端子は、並列共振器のグランド側の端子である構成とすることができる。
上記構成において、前記フィルタは、弾性表面波共振器、弾性境界波共振器および圧電薄膜共振器のいずれかを有する構成とすることができる。
上記構成において、前記フィルタはダブルモード型フィルタを含む構成とすることができる。
上記構成において、前記ダブルモード型フィルタはダブルモード型弾性表面波フィルタまたはダブルモード型弾性境界波フィルタである構成とすることができる。
上記構成において、前記ノードと前記ダブルモード型フィルタとの間に第3インダクタが接続されている構成とすることができる。
本発明は、共通端子と、共通端子に接続する2つのフィルタと、を具備し、前記2つのフィルタのうち少なくとも1つは上記いずれかのバランスフィルタであることを特徴とする分波器である。本発明によれば、低損失とすることができる。または振幅バランスおよび位相バランスを改善することができる。
上記構成において、前記バランスフィルタは受信用フィルタである構成とすることができる。この構成によれば差動型信号が用いられる受信用フィルタにバランを用いることができる。
本発明によれば、Q値の高い集中定数素子で構成したバランを用いることにより、低損失のバランスフィルタおよび分波器を提供すること、または、振幅バランス、位相バランスを大幅に改善することが可能なバランスフィルタまたは分波器を提供することができる。
以下、図面を参照に本発明の実施例について説明する。
まず、集中定数素子であるインダクタおよびキャパシタを用いて構成したバラン(集中定数バラン)について説明する。図11は集中定数バランの基本構成を示す図である。不平衡端子T1と2つの平衡端子T21およびT22を有する。不平衡端子T1と平衡端子T21との間には位相を90°進ませる回路42が設けられ、不平衡端子T1と平衡端子T22との間には位相を90°遅らせる回路44が設けられる。これにより、不平衡端子T1に入力した信号は、互いに180°位相が異なった信号として平衡端子T21およびT22から出力する。
図12(a)から図13(b)に集中定数素子を用いたバランの例を示す。図12(a)は図10で示したバラン40と同じ構成であり、T−CL回路とT−LC回路で構成される。図12(b)のバランは、不平衡端子T1と平衡端子T21との間がπ−LCL回路、不平衡端子T1と平衡端子T22との間がπ−CLC回路で構成される。図12(c)のバランは、不平衡端子T1と平衡端子T21との間がT−CLC回路、不平衡端子T1と平衡端子T22との間がπ−CLC回路で構成される。図13(a)のバランは、不平衡端子T1と平衡端子T21との間がπ−LCL回路、不平衡端子T1と平衡端子T22との間がT−LCL回路で構成される。図13(b)のバランは、不平衡端子T1と平衡端子T21との間にT−CLC回路、不平衡端子T1と平衡端子T22との間がT−LCL回路で構成される。
これら集中定数型バランは、不平衡端子T1と平衡端子T21との間に直列に第1キャパシタCS、CS1またはCS2が接続され、平衡端子T21とグランドとの間に第1インダクタLP、LP1またはLP2が接続されている。また、不平衡端子T1と平衡端子T22との間に直列に第2インダクタLS、LS1またはLS2が接続され、平衡端子T22とグランドとの間に第2キャパシタCP、CP1またはCP2が接続されている。集中定数素子を用いたバランは以上に限られず、多種の組合せが可能である。最も用いられる回路は、構成される素子数の少ない図12(a)の回路である。つまり、第1キャパシタCS、第1インダクタLP、第2インダクタLSおよび第2キャパシタCPがそれぞれ1つの回路である。
次に、最も良く用いられる図12(a)で示したバランの通過特性およびバランス特性を計算した。バランは、北米携帯電話システムであるPCS(Personal Communications Service)の受信バンド(受信帯域:1930〜1990MHz)向けのバランとなるようにインダクタンス値およびキャパシタンス値を設定した。2つのLとCとは数式1、数式2で表される。
Figure 2007312324
Figure 2007312324
ここで、Zin、Zout、f0はそれぞれ入力インピーダンス、出力インピーダンス、バランの中心周波数である。Zin=50Ω、Zout=100Ω、f0=1960MHzとすると、数式1と数式2とからL=5.74nH、C=1.15pFとした。
バランス特性へのLとCのQ値の影響を調べるため、LまたはCのQ値を変化させバランス特性を計算した。図14(a)から図14(c)は、CのQ値を20GHzで50に固定し、LのQ値を10から50まで変化させたときの、周波数に対する減衰量、振幅バランス、位相バランスを示す図である。なお、位相バランスは180°からのずれで表している。すなわち位相バランスが0°とは平衡出力端子1および2からの出力の位相差が180°であることを示している。図15(a)から図15(c)は、LのQ値を2GHzで30に固定し、CのQ値を30から70まで変化させたときの、周波数に対する減衰量、振幅バランス、位相バランスを示した図である。
図14(a)および図15(a)より、通過帯域(受信帯域)での挿入損失の周波数依存性はL、CのQ値によらず、ほぼ一定である。しかし、L、CのQ値が低下すると、挿入損失は大きく増加する。特許文献1および2のようにバランのインダクタとしてボンディングワイヤや弾性表面波共振器または圧電薄膜共振器を用いた場合、LのQ値は10程度である。また、キャパシタとして弾性表面波共振器または圧電薄膜共振器を用いた場合、CのQ値は20程度である。そうすると、図14(a)および図15(a)より、特許文献1および2の挿入損出は0.7dB程度となってしまう。
図14(b)および図15(b)より、バランの振幅バランスは、LやCのQ値の依存性は小さいものの、周波数依存性を有する。受信帯域の中心周波数において振幅バランスが0dBとなるように設定したとしても、受信帯域の両端では±0.3dB程度の振幅バランスとなってしまう。
図14(c)および図15(c)より、位相バランスは周波数依存性は小さいものの、LおよびCのQ値が低下すると位相バランスは劣化する。例えば、特許文献1および2の場合を例に、LのQ値が10、CのQ値が20とした場合、位相バランスは±8°となってしまう。
実施例1では、集積型受動素子を用いてバランを構成することにより、Q値の高いLおよびCを用いることができ挿入損失および位相バランスを低減させることができる。図16(a)は、実施例1に用いたバラン構成する集積型受動素子(IPD)チップ41の平面図、図16(b)はキャパシタの断面図である。図16(a)を参照に、石英等の基板70上に例えば銅等の金属膜を用いスパイラルコイル72を形成する。図16(b)を参照に、基板70上に例えば銅等の金属膜を用い下部電極76、酸化シリコン膜等の誘電膜77、金属膜を用い上部電極78を形成する。これによりMIMキャパシタ74が形成される。図16(a)を参照に、不平衡端子T1と平衡端子T21との間に第1キャパシタCSとしてMIMキャパシタ74を接続し、平衡端子T21とグランド端子TGとの間に第1インダクタLPとしてスパイラルコイル72を接続する。不平衡端子T1と平衡端子T22との間に第2インダクタLSとしてスパイラルコイル72を接続し、平衡端子T21とグランド端子TGとの間に第2キャパシタCPとしてMIMキャパシタ74を接続する。これにより、IPDを用いたバラン40が形成される。
図17は図16(a)および図16(b)のバランを用いた実施例1に係るバラン内蔵フィルタの回路図である。図17を参照に、不平衡入力端子Inと不平衡端子T1との間に、弾性波表面波直列共振器S1からS4および並列共振器P1からP4からなる不平衡型のラダー型フィルタ10が接続される。不平衡出力端子1には、図16(a)および図16(b)で図示したIPDバラン40が接続される。バラン40は、不平衡端子T1に、フィルタ10の不平衡型の信号端子から出力する信号が入力し、位相の異なる信号(一般には180°位相の異なる信号)を平衡端子T21と平衡端子T22に出力する。IPDバラン40は、不平衡端子T1と平衡端子T21との間に直列に第1キャパシタCS、並列に第1インダクタLPが、不平衡端子T1と平衡端子T22との間に直列に第2インダクタLS、並列に第2キャパシタCPが接続されている。
図18は実施例1を実装した図である。キャビティ84を有する積層パッケージ80に、直列共振器S1からS4および並列共振器P1からP4が形成されたフィルタチップ11およびバラン40が形成されたIPDチップ41をフリップチップ実装する。積層パッケージ80上にキャップ82としてメタルリッドを設けキャビティ84を気密封止する。
図19(a)から図19(d)は実施例1に係るバラン内蔵フィルタ(バランスフィルタ)の、それぞれ通過特性、受信帯域付近の拡大図、振幅バランス、位相バランスを示す図である。図19(a)および図19(b)には比較例1としてバランを有さない不平衡型フィルタの特性も図示した。図19(b)より、バラン40を付加することによる挿入損失の劣化は約0.2dBである。実施例1においては、特許文献1および2についてバランを付加した場合の挿入損失を計算した値0.7dBに比べ十分小さくすることができた。図19(c)より、振幅バランスは、受信帯域の両端においては、周波数の中心に対し±0.3dBであり、図14(b)および図15(b)の結果を再現することができた。図19(d)より、位相バランスは180°±3°であり、これは、特許文献1および2の場合について計算した±8°に比べ十分小さくすることができた。
実施例1によれば、少なくとも1つの信号端子が不平衡型のフィルタ10と、フィルタ10の不平衡端子T1(不平衡型の信号端子)から入出力する信号を、位相の異なる信号として入出力する集中定数型バラン40であって、集積型受動素子で構成されるバラン40と、フィルタ10とバラン40とをフリップチップ実装する積層パッケージ80(実装部)と、を具備する。これにより、Q値の高いIPDインダクタおよびIPDキャパシタを用いることができるため、挿入損失および位相バランスを改善することができる。なお、実施例1においては、実装部として積層パッケージ80を用いたが、フィルタ10およびバラン40を実装する機能を有すれば、例えば基板や、有機絶縁膜を用いたパッケージであってもよい。
実施例2として図20(a)から図21(b)に示す4つのフィルタAからDについて、通過特性、振幅バランス、位相バランスを計算した。図20(a)はフィルタAの回路構成図である。図17に対し、ラダー型フィルタ10の並列共振器P1からP4のグランド側が共通ノードNGに接続され、共通ノードNGとグランドとの間にグランドインダクタLGが接続される。その他の構成は図17と同じであり説明を省略する。図20(b)はフィルタBの回路構成図である。フィルタAに対し、バラン40の第1インダクタLPのグランド側が共通ノードNGに接続され、グランドインダクタLGを介し接地される。図21(a)はフィルタCの回路構成図である。フィルタAに対し、バラン40の第2キャパシタCPのグランド側が共通ノードNGに接続され、グランドインダクタLGを介し接地される。図21(b)はフィルタDの回路構成図である。フィルタAに対し、バラン40の第1インダクタLPと第2キャパシタCPとのグランド側が共通ノードNGに接続され、グランドインダクタLGを介し接地される。
図22(a)から図22(c)は、フィルタAからDの通過特性、振幅バランス、位相バランスを示した図である。図22(a)よりフィルタAからDで通過特性は大きく変わらない。図22(b)より、フィルタCは振幅バランスが他の3つのフィルタに比べ非常に良い。例えばフィルタAの振幅バランスは受信帯域内で±0.3dBに対し、フィルタCでは±0.1dBであった。図22(c)より、フィルタAの位相バランスは受信帯域内で180°±3°に対し、フィルタCの位相バランスは180°±1.5°であった。
実施例2によれば、フィルタ10のグランド端子と、グランド端子を2個以上有するバラン40の少なくとも1つのグランド端子との共通ノードNGとグランドとの間に接続されたグランドインダクタLGを有する。これにより、振幅バランスと位相バランスを改善することができる。
特に、グランド端子を2個以上有するバラン40のグランド端子のうち、フィルタ10のグランド端子との共通したノードに接続されるグランド端子が第2キャパシタCPのグランド側の端子であるフィルタCの場合、特に、振幅バランスと位相バランスを改善することができる。
実施例3はラダー型フィルタ10の並列共振器P1からP4のグランド端子が2つに分かれてグランドインダクタに接続される例である。図23(a)を参照に、フィルタEは、ラダー型フィルタ10の並列共振器P1がグランドインダクタLG1を介しグランドに接続され、並列共振器P2からP4が共通なノードNG2に接続され、ノードNG2とグランドとの間にグランドインダクタLG2が接続されている。ノードNG2には、バラン40の第2キャパシタCPのグランド側も接続されている。
図23(b)を参照に、フィルタFは、フィルタEに加えバラン40の第1インダクタのグランド側が、フィルタ10の並列共振器P1のグランド側のノードNG1に接続し、グランドインダクタLG1を介し接地されている。
図24(a)から図24(c)はフィルタA、C、E、Fの通過特性、振幅バランス、位相バランスを示した図である。図24(a)より、フィルタA、C、E,Fで通過特性はほとんど変わらない。図24(b)より、フィルタC、E、Fで振幅バランスはほとんど変わらない。一方、図24(c)より、受信帯域内でのフィルタCの位相バランスは180°±1.5°に対し、フィルタE,Fは180°±1.0°とフィルタE、Fは位相バランスが改善される。
実施例2のフィルタCでは、フィルタ10の全ての並列共振器P1からP4のグランド端子とバラン40のグランド端子とが共通に接続されていたが、実施例3のフィルタEのように、フィルタ10の複数の並列共振器P1からP4のうち一部P2からP4のグランド端子とバラン40のグランド端子の少なくとも一部とが共通に接続されることにより、位相バランスが改善される。特に、フィルタ10の並列共振器の一部P2からP4のグランド端子は第2キャパシタCPのグランド側と共通にグランドインダクタLG2に接続され、フィルタ10の並列共振器の他の一部P1のグランド端子はバラン40のグランド側とは接続されず別のグランドインダクタLG1に接続される。これにより、位相バランスを一層改善させることができる。
また、フィルタFのように、フィルタ10の並列共振器の一部P2からP4のグランド端子は第2キャパシタCPと共通にグランドインダクタLG2に接続され、フィルタ10の並列共振器の他の一部P1のグランド端子は第1インダクタLPと共通にグランドインダクタLG1に接続される。これにより、位相バランスを一層改善させることができる。
実施例4は、実施例3のフィルタEを積層パッケージを用い作製した例である。図25(a)は比較例4に係るフィルタの回路構成図である。ラダー型フィルタ10の並列共振器P1のグランド側にグランドインダクタLG1が接続される。並列共振器P2からP4のグランド側が共通グランドノードNG2に共通に接続され、共通ノードNGとグランドとの間にグランドインダクタLG2が接続されている。バラン40のグランド端子は、フィルタ10のグランド端子とは独立にグランドに接続されている。図25(b)は図23(a)のフィルタEと同じであり説明を省略する。
図26(a)から図26(c)は実施例4に係るフィルタを実装した積層パッケージの各層を示す図である。図26(a)はチップが実装されるダイアタッチ層96の表面、図26(b)はダイアタッチ層96の下の層である中間層94の表面、図26(c)は中間層94の裏面であるフットパッド層92を示している。各層は、例えばセラミック等の絶縁体からなり、銅等の導電性パターンおよび層を貫通し導電性材料で埋め込まれたビアが形成されている。なお、各層に形成されたビアは黒丸、上の層のビアが接続する領域を白丸で図示している。図26(a)を参照に、ダイアタッチ層96にフィルタチップ11およびバランチップ41がフリップチップ実装されている。フィルタチップ11のノードNG2はバンプでバンプパッドBFに接続される。バランチップ41の第2キャパシタCPのグランド側がバンプでバンプパッドBCに接続される。バンプパッドBFとBCとは線路パターンLL1で接続されビアV1を介し中間層94の線路パターンLLに接続される。線路パターンLL2はグランドインダクタLG2として機能する。線路パターンLL2はビアV2を介し、フットパッド層92に形成されたグランド端子であるグランドフットパッドGFに接続される。以上により、バラン40の第2キャパシタCPのグランド端子とフィルタ10のグランド端子は共通にグランドインダクタLG2を介しグランドに接続される。図25(a)の比較例4に係るフィルタについても積層パッケージに実装した。
図27(a)および図27(b)は図25(a)に示した比較例4および図25(b)に示した実施例4の振幅バランスおよび位相バランスを示した図である。図27(a)より比較例4の振幅バランスは±0.3dBであるのに対し、実施例4では±(0.15〜0.2)に改善することができた。図27(b)より比較例4の位相バランスは180±3°であるのに対し、実施例4は180°±0.5°と位相バランスを改善させることがわかる。このように、図24(a)から図24(c)に示した計算結果と同様に、実験結果においても実施例4(実施例3のフィルタE)は振幅バランスおよび位相バランスを改善させることができた。
実施例5は、実施例4に係るフィルタを分波器に用いる例である。図28は比較例5に係る分波器を示す回路図である。共通端子Antと不平衡端子T1との間に直列共振器S11からS15が直列に接続され、並列共振器P11からP14が接続される受信用フィルタ10が接続されている。受信用フィルタ10の最も共通端子Ant側の直列共振器S11に並列にインダクタL11が接続されている。並列共振器P11のグランド端子とグランドとの間にはグランドインダクタLG11が接続されている。並列共振器P12からP14のグランド端子はノードNG2で共通に接続されている。ノードNG2とグランドとの間にグランドインダクタLG12が接続される。インダクタL11およびグランドインダクタLG11およびLG12のインダクタンスは、送信帯域に減衰極が形成されるように設定される。不平衡端子T1には図17で示したバラン40が接続され、バラン40からの2つの平衡端子がそれぞれ受信端子1Rx1および受信端子2Rx2となる。共通端子Antから入力した受信帯域の信号は、受信用フィルタ10を通過し、バラン40により位相が反転した信号が受信端子Rx1およびRx2より出力される。
一方、共通端子Antと送信端子Txとの間に送信用フィルタ20が接続されている。送信用フィルタ20は直列共振器S21からS24および並列共振器P21およびP22からなるラダー型フィルタである。送信端子Txから入力された送信帯域の信号は送信用フィルタ20を通過し共通端子Antより出力される。一方、送信帯域の周波数においては、受信用フィルタ10の直列共振器S11およびインダクタL11より受信用フィルタ10を見たインピーダンスが大きくなるため、送信帯域の信号が受信用フィルタ10に入力することはない。
図29は、実施例5に係る分波器の回路図である。図28の分波器に対し、バラン40の第2キャパシタCPのグランド端子がノードNG2に接続されている。つまり受信用フィルタ10の並列共振器の一部のグランド端子と共通にグランドインダクタLG2に接続されている。その他の構成は図28の比較例と同じであり説明を省略する。
図30は実施例5に係る分波器を積層パッケージ80に実装した図である。積層パッケージ80に受信用フィルタ10および送信用フィルタ20が形成されたフィルタチップ21、集積型受動素子によりバラン40が形成されたバランチップ41、インダクタL11が形成されたインダクタチップ12がフリップチップ実装されている。その他の構成は図18と同じであり説明を省略する。図28の比較例5に係る分波器についても積層パッケージ80に実装した。
図31(a)から図31(c)は図28に示した比較例5および図29に示した実施例5の分波器の通過特性、受信用フィルタの振幅バランスおよび位相バランスを示した図である。図31(a)より比較例5と実施例5との通過特性はほぼ同程度である。図31(b)より比較例5の振幅バランスは±0.3dBであるのに対し、実施例5では±(0.15〜0.2)に改善させることができる。図31(c)より比較例5の位相バランスは180±3°であるのに対し、実施例5では180°±0.5°と位相バランスを改善させることができる。このように、実施例5に係る分波器によれば振幅バランスおよび位相バランスを改善させることができる。
実施例6は、フィルタとしてダブルモード型フィルタを用いた例である。図32(a)は比較例6、図32(b)は実施例6の回路構成図である。図32(a)を参照に、比較例6は、入力端子Inと不平衡端子T1との間に2つのダブルモード型フィルタ15が直列に接続され、それぞれのダブルモード型フィルタ15がグランドインダクタLG1、LG2を介しグランドに接続されている。不平衡端子T1にはバラン40が接続され、2つの平衡端子T21、T22に差動信号が出力される。図32(b)を参照に、実施例6は、バラン40の第2キャパシタCPのグランド側がダブルモード型フィルタ15のうち1つのグランドインダクタLG21(第3インダクタ)のグランド側に共通に接続し、グランドインダクタLG22を介しグランドに接続される。つまり、ノードNGとダブルモード型フィルタ15との間にグランドインダクタLG21が接続されている。
図33はダブルモード型フィルタ15を示した図である。圧電基板100上にアルミニウム等の金属膜で電極が形成されている。図33中黒のパターンが金属膜が形成れたパターンである。1つの入力IDT(InIDT)の両側に2つの出力IDT(OutIDT)が設けられ、2つの出力IDT(OutIDT)のさらに両側に反射器R0が設けられ、1つのユニットのダブルモード型フィルタが形成されている。図33には、ユニットが2つ並列に接続され、さらに縦続接続されている。入力端子In、出力端子Out、グランド端子Gndが金や半田等のバンプで形成されている。
図34(a)から図34(c)は積層パッケージを示す図である。各層の説明は図26(a)から図26(c)と同様である。ダブルモード型フィルタ15が2つ形成されたフィルタチップ14とバラン40が形成されたバランチップ41がダイアタッチ層96の表面にフリップチップ実装されている。バランチップ41に形成された第2キャパシタCPのグランド側はバンプパッドBCに接続され、線路パターンLL4、ビアV1を介し中間層94の線路パターンLL5に接続される。一方、フィルタチップ14に形成されたダブルモード型フィルタのグランド側はバンプパッドBF、線路パターンLL3、ビアV2を介し、中間層94の線路パターンLLG21に接続される。線路パターンLLG21は第2キャパシタCPに接続する線路パターンLL5と接続し、線路パターンLLG22となりビアV3を介しグランドフットパッドGFに接続される。線路パターンLLG21とLLG22とがそれぞれグランドインダクタLG21とLG22とに相当する。このようにして、バラン40の第2キャパシタCPとダブルモード型フィルタのグランド側のグランドインダクタLG21とが共通にグランドインダクタLG22を介し接地される。図33(a)の比較例6に係るフィルタついても積層パッケージに実装した。
図35(a)から図35(c)は図33(a)に示した比較例6および図33(b)に示した実施例6のフィルタの通過特性、振幅バランスおよび位相バランスを示した図である。図35(a)より比較例6と実施例6との通過特性はほぼ同程度である。図35(b)より比較例6の振幅バランスは±0.3dBであるのに対し、実施例6では±0.1dBに低減させることができる。図35(c)より比較例6の位相バランスは180±3°であるのに対し、実施例6では180°±2°と位相バランスを改善させることができる。このように、実施例6に係るフィルタによれば振幅バランスおよび位相バランスを改善させることができる。
実施例6によれば、フィルタのグランド端子とバランのグランド端子を共通にグランドインダクタを介し接地することによるバランス特性の改善は、ラダー型フィルタのみならずその他のフィルタにおいても効果を得ることができることがわかる。なお、ダブルモード型フィルタはダブルモード型弾性表面波フィルタまたはダブルモード型弾性境界波フィルタを用いることができる。
実施例7はバラン40のインダクタまたはキャパシタとして共振器を用いる例である。図36は実施例7に係るフィルタの回路構成図である。入力端子Inと不平衡端子T1との間に設けられたラダー型フィルタ10の並列共振器P2のグランド側とバラン40の第2キャパシタCPのグランド側とが共通ノードNG2で共通に接続されグランドインダクタLG2を介し接地されている。
図37は、実施例7に係るフィルタ10とバラン40を1つのチップに形成した図である。圧電基板110上にラダー型フィルタの直列共振器S1からS4および並列共振器P1およびP2が弾性表面波素子を用い形成されている。共振器は共振点と反共振点との間の周波数ではインダクタとして使用できる。このため、バラン40のインダクタLPおよびLSはそれぞれ共振器RLPおよびRLSで構成する。一方、共振器は共振点以下および反共振点以上ではキャパシタとして使用できる。このため、バラン40のキャパシタCS、CPはそれぞれ共振器RCS,RCPを用い構成する。なおこのとき、共振器RCS,RCPの共振周波数は通過帯域内には設けないように設定する。また、これらの共振器には反射器R0は設けなくても良い。フィルタ10の並列共振器P2のグランド側とバラン40の共振器RCPのグランド側を共通に接続し、グランドインダクタLG2となるべき線路パターンLLG2を介しグランドバンプTGよりグランドに接続する。このように、バラン40のインダクタまたはキャパシタとして共振器を用いることができる。
実施例8はバラン40のインダクタとしてボンディングワイヤを用いた例である。図38は実施例8に係るフィルタ10のチップを示す図である。図37に比較しバランの第1インダクタLPがボンディングワイヤ114を用い形成されている。このように、バラン40のインダクタとしてボンディングワイヤを用いることができる。さらに、グランドインダクタLG2がチップ上の線路パターンLLG2およびボンディングワイヤ113で形成されている。
実施例9は、バラン40のインダクタおよびキャパシタをチップインダクタおよびチップキャパシタで構成した例である。図39(a)から図39(c)は図26(a)および図26(c)と同様な積層パッケージである。なお、各層に形成されたビアVIAは黒丸、上の層のビアが接続する領域VIA0を白丸で図示している。図39(a)を参照に、フィルタチップ11がフリップチップで実装され、フィルタチップ11の不平衡端子T1がバンプパッドBFに接続される。バンプパッドBFにはチップキャパシタCCSが直列に接続されビアVIAを介し、図39(c)の平衡端子T21であるフットパッドFT21に接続される。また、FT21はチップキャパシタCLPを介しグランドフットパッドFGに接続される。同様にバンプパッドBFには直列にチップインダクタCLSが接続され、ビアVIAを介し、図39(c)の平衡端子T22であるフットパッドFT22に接続される。またFT22はチップキャパシタCCPを介しフィルタチップ11のグランド端子に接続するノードNG2に接続する。ノードNG2は、図39(b)の中間層94のグランドインダクタLG2を形成する線路パターンLLG2を介しグランド端子FGに接続される。このようにして、チップ素子を用いバランを形成することができる。
実施例10は、バラン40のインダクタとして積層パッケージに設けられた線路パターンを用い、キャパシタとして積層パッケージの層間のキャパシタを用いた例である。図40(a)から図40(c)は図39(a)から図39(c)と同様の積層パッケージの各層を示す図である。実施例9のチップキャパシタCCSの代わりに、ダイアタッチ層を誘電体層とし、ダイアタッチ層96の表面に形成された上部電極LCS1と中間層94の表面に形成された下部電極LCS2とを用いたMIMキャパシタを用いる。チップインダクタCLPの代わりに、ダイアタッチ層96の表面に形成された線路パターンLLP1と中間層94の表面に形成された線路パターンLLP2とを用いたインダクタを用いる。その他の構成は実施例9と同じであり説明を省略する。なお、実施例においては、実装部として積層パッケージを例に説明したが、実装部はフィルタを実装する機能を有していれば良く、積層基板等であってもよい。
実施例5のように、バラン40は集積型受動素子からなるインダクタまたはキャパタからなることが好ましい。集積型受動素子からなるインダクタ、キャパシタはQ値が高く、低コストで小型化が可能なためである。しかしながら、実施例7から10のように、バラン40のインダクタとして、チップインダクタ、ボンディングワイヤからなるインダクタ、共振器からなるインダクタ、実装部に設けられた線路パターンからなるインダクタを用いることもできる。また、バラン40のキャパシタとして、チップキャパシタ、共振器からなるキャパシタ、実装部に設けられたキャパシタを用いることもできる。
グランドインダクタLG2としては、実施例5、6、9,10のように、フィルタを実装する実装部に設けられた線路パターンからなるインダクタを用いることができる。また、実施例7、8のように、フィルタが形成されたチップ110に設けられた線路パターンを用いることもできる。さらに、実施例8のように、ボンディングワイヤからなるインダクタを用いることもできる。
実施例1から5、8から10において、フィルタ10はラダー型フィルタであり。グランド端子は並列共振器P1からP4のグランド側の端子であったが、実施例6のように、フィルタとしてダブルモード型フィルタ15を用いることもできる。さらに、これら以外のフィルタを用いることもできる。さらに、共振器としては、図4(a)および図4(b)で示した弾性表面波共振器、図5(a)および図5(b)で示した弾性境界波共振器、図6(a)および図6(b)で示した圧電薄膜共振器を用いることができる。
実施例5は実施例4を分波器に使用した例であったが、実施例1から3、6から10のフィルタを分波器に用いることができる。特に、差動型の信号を用いることの多い受信用フィルタとして、これら実施例のフィルタを用いることが有効である。
実施例1から10においてバラン40として図12(a)に図示したバランを例に説明したが図12(b)から図13(b)のバラン、その他のバランを用いることもできる。
以上、本発明の実施例について詳述したが、本発明は係る特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。
図1は平衡型ミキサを用いた携帯電話のアンテナ近傍の受信回路ブロック図である。 図2は平衡型ローノイズアンプ、平衡型ミキサを用いた携帯電話のアンテナ近傍の受信回路のブロック図である。 図3はラダー型フィルタの回路構成図である。 図4(a)は弾性表面波共振器の平面図、図4(b)は断面図である。 図5(a)は弾性境界波共振器の平面図、図5(b)は断面図である。 図6(a)は圧電薄膜共振器の平面図、図6(b)は断面図である。 図7はダブルモード型フィルタの平面図である。 図8は分波器の回路構成図である。 図9(a)はマイクロストリップライン、図9(b)および図9(c)は集中定数型移相器、図9(d)は並列インダクタを付加した共振器を示す回路図である。 図10は不平衡型フィルタにバランを付加したフィルタの回路図である。 図11はバランの機能を説明するためのブロック図である。 図12(a)から図12(c)はバランを構成する集中定数回路の例を示す回路図(その1)である。 図13(a)および図13(b)はバランを構成する集中定数回路の例を示す回路図(その2)である。 図14(a)から図14(c)はバランのLのQ値を変化させたときの挿入損失、振幅バランス、位相バランス特性を示す図である。 図15(a)から図15(c)はバランのCのQ値を変化させたときの挿入損失、振幅バランス、位相バランス特性を示す図である。 図16(a)は実施例1に係るフィルタのバランを構成する集積型受動素子の平面図であり、図16(b)はバランのキャパシタの断面図である。 図17は実施例1に係る集積型受動素子を用いたバランを有するフィルタの回路図である。 図18は実施例1に係るフィルタを積層パッケージに実装した例である。 図19(a)から図19(d)はバランを有さない比較例1とIPDバランを有する実施例1の通過特性、バランス特性を示す図である。 図20(a)および図20(b)は実施例2のフィルタAおよびフィルタBの回路図である。 図21(a)および図21(b)は実施例2のフィルタCおよびフィルタDの回路図である。 図22(a)から図22(d)はそれぞれフィルタAからDの通過特性およびバランス特性を示す図である。 図23(a)および図23(b)は実施例3のフィルタEおよびフィルタFの回路図である。 図24(a)から図24(c)はそれぞれフィルタA、C、E、Fの通過特性およびバランス特性を示す図である。 図25(a)および図25(b)はそれぞれ比較例4および実施例4を示す回路図である。 図26(a)から図26(c)は実施例4に係るフィルタをに実装した例である。 図27(a)および図27(b)は比較例4および実施例4バランス特性の測定結果である。 図28は比較例5に係る分波器の回路図である。 図29は実施例5に係る分波器の回路図である。 図30は実施例5に係る分波器を積層パッケージに実装した例を示す図である。 図31(a)から図31(c)は比較例5および実施例5の通過特性とバランス特性を示す図である。 図32(a)および図32(b)はそれぞれ比較例6および実施例6に係るフィルタの回路図である。 図33は比較例6および実施例6に用いたダブルモード型フィルタの平面図である。 図34(a)から図34(c)は実施例6に係るフィルタを積層パッケージに実装した例である。 図35(a)から図35(c)は比較例6および実施例6の通過特性とバランス特性を示す図である。 図36は実施例7に係るフィルタの回路図である。 図37は実施例7に係るフィルタのチップの平面図である。 図38は実施例8に係るフィルタのチップの平面図である。 図39は実施例8に係るフィルタの積層パッケージを示す図である。 図40は実施例9に係るフィルタの積層パッケージを示す図である。
符号の説明
10 受信用フィルタ、フィルタ
11、14、21 フィルタチップ
12 インダクタチップ
20 送信用フィルタ
40 バラン
41 バランチップ
23 平衡型ダブルモードフィルタ
S1、S2、S3、S4 直列共振器
P1、P2、P3、P4 並列共振器
T1 不平衡端子
T21 平衡端子1
T22 平衡端子2
LG1、LG2 グランドインダクタ
NG2 共通ノード
CS 第1キャパシタ
CP 第2キャパシタ
LS 第1インダクタ
LP 第2インダクタ

Claims (20)

  1. 少なくとも1つの信号端子が不平衡型のフィルタと、
    該フィルタの不平衡型の信号端子から入出力する信号を、位相の異なる信号として入出力する集中定数型バランであって、集積型受動素子で構成されるバランと、
    前記フィルタと前記バランとをフリップチップ実装する実装部と、を具備することを特徴とするバランスフィルタ。
  2. 少なくとも1つの信号端子が不平衡型のフィルタと、
    該フィルタの不平衡型の信号端子から入出力する信号を、位相の異なる信号として入出力し、グランド端子を2個以上有する集中定数型バランと、
    前記フィルタの少なくとも1つのグランド端子と前記バランの少なくとも1つのグランド端子との共通したノードとグランドとの間に接続されたグランドインダクタと、を具備することを特徴とするバランスフィルタ。
  3. 前記バランは、
    不平衡端子と2つの平衡端子と、
    不平衡端子と前記2つの平衡端子の一方との間に直列に接続された第1キャパシタと、前記2つの平衡端子の一方とグランドとに接続された第1インダクタと、
    前記不平衡端子と前記2つの平衡端子の他方との間に直列に接続された第2インダクタと、前記2つの平衡端子の他方とグランドとに接続された第2キャパシタと、を有することを特徴とする請求項2記載のバランスフィルタ。
  4. 前記第1キャパシタ、前記第1インダクタ、前記第2インダクタおよび前記第2キャパシタはそれぞれ1つであることを特徴とする請求項3記載のバランスフィルタ。
  5. 前記バランの前記少なくとも1つのグランド端子は前記第2キャパシタのグランド側の端子であることを特徴とする請求項3または4記載のバランスフィルタ。
  6. 前記フィルタは複数のグランド端子を有し、前記フィルタの前記少なくとも1つのグランド端子は、前記複数のグランド端子のうちの一部であることを特徴とする請求項3から5のいずれか一項記載のバランスフィルタ。
  7. 前記フィルタのグランド端子のうちの一部は前記第2キャパシタのグランド側と共通にグランドインダクタに接続され、
    前記フィルタのグランド端子のうちの他の一部は前記バランのグランド側とは接続されず別のグランドインダクタに接続されることを特徴とする請求項3または4記載のバランスフィルタ。
  8. 前記フィルタのグランド端子のうちの一部は前記第2キャパシタのグランド側と共通にグランドインダクタに接続され、
    前記フィルタのグランド端子のうちの他の一部は前記第1インダクタのグランド側と共通に別のグランドインダクタに接続されることを特徴とする請求項3または4記載のバランスフィルタ。
  9. 前記バランは、集積型受動素子からなるインダクタを有することを特徴とする請求項1から8のいずれか一項記載のバランスフィルタ。
  10. 前記バランは、チップインダクタ、ボンディングワイヤからなるインダクタ、共振器からなるインダクタ、および前記フィルタを実装する実装部に設けられた線路パターンからなるインダクタのいずれかを有することを特徴とする請求項1から8のいずれか一項記載のバランスフィルタ。
  11. 前記バランは、集積型受動素子からなるキャパシタを有することを特徴とする請求項1から8のいずれか一項記載のバランスフィルタ。
  12. 前記バランは、チップキャパシタ、共振器からなるキャパシタ、および前記フィルタを実装する実装部に設けられたキャパシタのいずれかを有することを特徴とする請求項1から8のいずれか一項記載のバランスフィルタ。
  13. 前記グランドインダクタは、ボンディングワイヤからなるインダクタ、前記フィルタを実装する実装部に設けられた線路パターンからなるインダクタ、前記フィルタが形成されたチップに設けられた線路パターンのいずれかであることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項記載のバランスフィルタ。
  14. 前記フィルタはラダー型フィルタであり、前記少なくとも一部の前記グランド端子は、並列共振器のグランド側の端子であることを特徴とする請求項2から8記載のバランスフィルタ。
  15. 前記ラダー型フィルタは、弾性表面波共振器、弾性境界波共振器および圧電薄膜共振器のいずれかを有することを特徴とする請求項14記載のバランスフィルタ。
  16. 前記フィルタはダブルモード型フィルタを含むことを特徴とする請求項2から8のいずれか一項記載のバランスフィルタ。
  17. 前記ダブルモード型フィルタはダブルモード型弾性表面波フィルタまたはダブルモード型弾性境界波フィルタであることを特徴とする請求項16記載のバランスフィルタ。
  18. 前記ノードと前記ダブルモード型フィルタとの間に第3インダクタが接続されていることを特徴とする請求項16または17記載のバランスフィルタ。
  19. 共通端子と、共通端子に接続する2つのフィルタと、を具備し、
    前記2つのフィルタのうち少なくとも1つは請求項1から18のいずれか一項記載のバランスフィルタであることを特徴とする分波器。
  20. 前記バランスフィルタは受信用フィルタであることを特徴とする請求項19記載の分波器。
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