CN101796725B - 弹性边界波器件以及使用该弹性边界波器件的通信器 - Google Patents

弹性边界波器件以及使用该弹性边界波器件的通信器 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种降低了无需响应在特定频率下的插入损失的最大量的弹性边界波器件。包括：压电基板(16)，具有压电性；梳形电极(14a、14b)，形成在所述压电基板上；第一介质(17)，在所述压电基板上形成为覆盖所述梳形电极；以及第二介质(18)，形成在所述第一介质上；所述梳形电极具有多个电极爪(13a、13b)、以及连接所述多个电极爪的端部的汇流条(12a)。包括第三介质(19a)，该第三介质形成在所述第一介质上，第二介质和第三介质接触于第一介质，第一介质、第二介质以及第三介质通过各不相同的材料构成，形成有第三介质的部分的长度相对于与电极爪的长度方向垂直的截面上的弹性边界波的传播路径的长度的比例在电极爪的长度方向上不相同。

Description

弹性边界波器件以及使用该弹性边界波器件的通信器
技术领域
本发明涉及弹性边界波器件，尤其涉及能够降低无需响应的衰减量的最大值的弹性边界波器件。
背景技术
就应用了弹性波的一个装置而言，从以前开始就众所周知弹性表面波(SAW：Surface Acoustic Wave)装置。该弹性表面波装置例如使用于以便携式电话为代表的、处理45MHz～2GHz的频率带中的无线信号的各种电路。关于各种电路，例如可列举发送带通滤波器、接收带通滤波器、本振滤波器、天线共用器、IF滤波器、FM变频器。
近几年，开发出了使用弹性边界波的弹性边界波器件(例如，参见专利文献1)。图19是示出作为以往的弹性边界波器件的共振器的构造的俯视图，图20是示出图19的D-D’线截面的截面图。在压电元件105上形成有共振部101和反射器104。共振部101具有两个梳形电极102、102(通常将两个作为一组称为梳形电极)。在共振部101和反射器104上形成有第一介质106。在第一介质106上形成有第二介质107。
一旦在梳形电极102和梳形电极103之间施加交流电压，则在压电基板105和第一介质106之间产生弹性边界波，相反，弹性边界波使得在梳形电极102、103上产生电压。
专利文献1：国际公开号WO98/52279号单行本。
发明内容
(发明所要解决的问题)
可是，在上述弹性边界波器件中存在以下问题：除压电基板和第一介质的边界以外，例如在第一介质和第二介质的边界处产生激振的弹性波，该弹性波作为无需响应而影响特性。
本发明是为了解决上述问题而完成的，其目的在于提供一种降低了无需响应的大小的弹性边界波器件。
(用于解决问题的手段)
本发明的实施方式的弹性边界波器件包括：压电基板，具有压电性；
梳形电极，形成在所述压电基板上；第一介质，在所述压电基板上形成为覆盖所述梳形电极；以及第二介质，形成在所述第一介质上；所述梳形电极具有多个电极爪、以及连接所述多个电极爪的端部的汇流条。为了解决上述问题，所述弹性边界波器件包括第三介质，该第三介质形成在所述第一介质上，所述第二介质和所述第三介质接触于所述第一介质，所述第一介质、所述第二介质以及所述第三介质通过各不相同的材料构成，形成有第三介质的部分的长度相对于与所述电极爪的长度方向垂直的截面上的弹性边界波的传播路径的长度的比例在所述电极爪的长度方向上不相同。根据该结构，沿第一介质和第二介质的边界传播的弹性边界波的声速与沿第一介质和第三介质的边界传播的弹性边界波的声速不相同，能够分开无需响应，从而能够使无需响应的大小变小。
(发明效果)
根据本发明，在第一介质和第二介质的边界的局部上设置第三介质而将无需响应分开，由此能够提供降低了无需响应的大小的弹性边界波器件。
附图说明
图1是示出本发明的第一实施方式的单端口共振器的结构的俯视图；
图2是示出图1的A-A’线截面的截面图；
图3是示出图1的B-B’线截面的截面图；
图4是示出图1的C-C’线截面的截面图；
图5是示出本发明的第一实施方式的共振器中形成有第三介质的比例的坐标图；
图6A是示出本发明的第一实施方式的共振器的插入损失特性的坐标图；
图6B是将图6A的坐标图放大了的坐标图；
图7是示出本发明的第二实施方式的单端口共振器的结构的俯视图；
图8是示出图7的D-D’线截面的截面图；
图9是示出本发明的第二实施方式的共振器中形成有第三介质的比例的坐标图；
图10是将本发明的第二实施方式的共振器中插入损失特性放大了的坐标图；
图11是示出本发明的第二实施方式的单端口共振器的比较例的结构的俯视图；
图12是将本发明的第二实施方式的共振器中插入损失特性放大了的坐标图；
图13是示出本发明的第三实施方式的单端口共振器的结构的俯视图；
图14是示出图13的J-J’线截面的截面图；
图15是示出本发明的第三实施方式的共振器中形成有第三介质的比例的坐标图；
图16是将本发明的第三实施方式的共振器中插入损失特性放大了的坐标图；
图17是示出本发明的第四实施方式的通信器的结构的框图；
图18是示出在本发明的第四实施方式的通信器中使用的滤波器的结构的电路图；
图19是示出以往的单端口共振器的结构的俯视图；
图20是示出图19的D-D’线截面的截面图。
(标号说明)
1、2、3、4、43～48共振器
11共振部
12a、12b汇流条
13a、13b电极爪
14a、14b梳形电极
15反射器
16压电基板
17第一介质
18第二介质
19a、19b、19c、19d第三介质
21、22、23、24、25、26、27、28插入损失曲线
31天线
32双工器
33发送侧信号处理部
34接收侧信号处理部
35传声器
36扬声器
37发送用滤波器
38接收用滤波器
41输入端子
42输出端子
P1～P6位置
具体实施方式
本发明的弹性边界波器件、滤波器以及使用该滤波器的通信器以上述结构为基本能够实现如下各种方式。
即，所述第三介质可通过弹性波的传播速度与所述第二介质不相同的材料构成。根据该构成，沿第一介质和第二介质的边界传播的弹性边界波的传播速度与在第一介质和第三介质中传播的弹性边界波的传播速度不相同，在无需响应上产生两个共振频率。其结果，能够使无需响应的大小变小。
另外，也可以是以下结构：在所述第一介质上，沿与所述电极爪的长度方向垂直的方向分成两半，即：形成有所述第三介质的区域和未形成有所述第三介质的区域。能够将无需响应均分为两个，其结果，能够使无需响应的大小变小。
另外，也可以是所述第三介质形成有多个的结构。通过将第三介质分为多个，提高制造精度。
另外，也可以是形成有第三介质的部分的长度相对于弹性边界波在与所述电极爪的长度方向垂直的截面上的传播路径的长度的比例在所述电极爪的长度方向上连续地变化的结构。根据该结构，能够使无需响应的大小变小。
另外，也可以是所述第三介质通过材料各不相同的两个以上的介质构成的结构。根据该结构，各不相同的两个以上的介质和第一介质的各边界中的弹性边界波的传播速度各不相同，无需响应产生的频率各不相同。因而，无需响应成为具有三个以上的顶峰的特性，能够使无需响应导致的插入损失的最大值变小。
另外，也可以是第一介质为SiO2、第三介质为氧化铝或SiN的结构。通过将SiO2用于第一介质，能够使温度补偿特性良好。通过将氧化铝或SiN用于第三介质，能够提高沿第一介质和第三介质的边界传播的边界弹性波的传播速度。
另外，也可以是所述压电基板为LiTaO3或LiNbO3的结构。
另外，本发明的第一滤波器具有单端口共振器，该单端口共振器是上述记载的弹性边界波器件。根据该结构，能够降低弹性边界波器件的无需响应导致的信号的漏出。
另外，本发明的第二滤波器具有双模共振器，该双模共振器是上述记载的弹性边界波器件。根据该结构，能够降低弹性边界波器件的无需响应导致的信号的漏出。
另外，本发明的双工器包括发送用滤波器、通频带与所述发送用滤波器不相同的接收用滤波器，所述发送用滤波器和所述接收用滤波器中的至少一个是使用第一滤波器或第二滤波器来构成的。
本发明的通信器包括天线、与所述天线连接的上述双工器、与所述双工器连接的信号处理部。
(第一实施方式)
图1是示出作为本发明的第一实施方式的弹性边界波器件的一例的、利用弹性边界波的单端口共振器的结构的俯视图，图2是示出图1的A-A’线截面的截面图。在图1中，为了明确地表示出形成有第三介质19a的位置，除去图2中示出的第二介质18而表示，同时在第三介质19a上标注阴影点。为了便于识别梳形电极的形状，在图1中用虚线示出梳形电极14a、14b和反射器15。
压电基板16通过Y切30°旋转X传播的LiNbO3形成。压电基板16优先机电耦合系数K2大，除LiNbO3以外还可以使用LiTaO3。在压电基板16上形成有共振部11、位于共振部11两侧并由格栅形成的反射器15。在共振部11中相对配置有两个梳形电极14a、14b。梳形电极14a、14b是多个电极爪13a、13b分别通过汇流条12a、12b连接而形成的。梳形电极14a、14b和反射器15将Cu作为主成分并厚度为170nm。考虑到图示关系，省略了电极爪的根数。弹性边界波的传播路径在连接两个反射器15的直线上包含从端部的梳形电极至另一端部的梳形电极的区域。
在梳形电极14a、14b和反射器15上，为了补偿温度特性而形成有通过SiO2构成的第一电介质17。第一电介质17的厚度为优选当传播的弹性波的波长设为λ时0.1λ～1λ左右，例如1050nm。在单端口共振器中，主要的弹性边界波在压电基板16和第一介质17之间传播。在第一介质17上的局部上形成有厚度为100nm的第三介质19a。
第三介质19a通过所传播的弹性波的速度比第一介质17快的材料(例如，Ti)而构成。如图1所示，第三介质19a形成在形成有第一介质17的区域的沿与电极爪13a的长度方向垂直的方向将单端口共振器的区域分成两半的一半区域。在未形成有第三介质19a的第一电介质17和第三介质19a上形成有通过Al2O3(氧化铝)构成并厚度为2μm的第二介质18。
第二介质18通过弹性波的传播速度比第一介质17快并传播速度与第三介质19a不相同的材料构成，除传播速度快的Al2O3以外还可以使用Si、SiN等。在单端口共振器中，如后述那样，导致产生无需响应的次要弹性边界波沿第一介质17和第二介质18的边界、第一介质17和第三介质的边界等传播。
图3是图1的B-B’线上的截面图。在B-B’线上，在第一介质17之上一定形成有第三介质19a。即，相对于B-B’线上的次要弹性边界波的传播路径的长度，形成有第三介质19a的区域的长度的比例(下面，称为第三介质的形成比例)是100％。
图4是图1的C-C’线上的截面图。在C-C’线上，在第一介质17之上未形成有任何第三介质19a。即，C-C’线上的第三介质的形成比例是0％。
图5是示出与图1的B-B’线平行的方向上的第三介质19a的形成比例的坐标图。横轴表示A-A’方向上位置P1和P2之间的位置。有在与A-A’方向垂直的方向(传播路径方向)上第三介质19a的形成比例是100％的区域和0％的区域。
即，对于弹性边界波，形成有第一路径(传播路径)和第二路径(传播路径)的两种路径，所述第一路径是第一介质17和第二介质18的边界，所述第二路径是第一介质17和第三介质19a的边界。第二路径由于形成有第一路径而与以往的共振器相比其宽度变成为一半。由于第二介质18的弹性波的传播速度与第三介质19a不相同，沿第一路径传播的弹性边界波和沿第二路径传播的弹性边界波的传播速度不相同。另外，沿第一路径传播的弹性边界波和沿第二路径传播的弹性边界波的波长由梳形电极间的长度决定，因此它们的波长相同。因而，在沿第一路径传播的弹性边界波和沿第二路径传播的弹性边界波中，共振的频率不相同。
图6A是示出本实施方式的共振器1的插入损失的频率特性(插入损失特性)的坐标图，图6B是将图6A中示出的坐标图的2000MHz～2150MHz区域放大了的坐标图。插入损失曲线21是表示共振器1的插入损失特性的曲线。为了进行比较，在图6A和图6B中用虚线示出表示以往的共振器的插入损失特性的插入损失曲线22，该以往的共振器是不设置第三介质的结构。
如图6A所示，插入损失曲线21和插入损失曲线22上的在1805MHz插入损失变大了的部分是由沿压电基板16和第一介质17的边界传播的弹性边界波引起的所希望的响应。在插入损失曲线21和插入损失曲线22上，损失大的部分的频率是反共振频率，表示吸收量越大反共振的Q值就越好。如图6B所示，在插入损失曲线21上，除在插入损失曲线22上示出的2105MHz的无需响应以外，在2030MHz也产生无需响应。该2030MHz的无需响应是由沿第二路径传播的弹性边界波产生的。即，针对插入损失曲线22上示出的2105MHz的无需响应，在插入损失曲线21上只有沿第二路径传播的弹性边界波部分的2105MHz的无需响应移至2030MHz。
在插入损失曲线21上，在2030MHz新产生了无需响应。但是，该插入损失的最大值与插入损失曲线22的2105MHz上的无需响应导致的插入损失的最大值相比大约小6成。另外，在插入损失曲线21上，2105MHz的无需响应导致的插入损失的最大值降低了在2030MHz产生的无需响应的部分，即大约降低了4成。因而，使无需响应导致的插入损失的最大值降低。
(第二实施方式)
图7是示出本发明的第二实施方式的单端口共振器的结构的俯视图，图8是图7中D-D’线的截面图。在图7中，为了明确地表示出形成有第三介质19b的位置，除去图8中示出的第二介质18而表示，同时在第三介质19b上标注阴影点。另外，用虚线示出梳形电极14a、14b和反射器15。本实施方式的共振器2相对于第一实施方式的共振器1仅是第三介质19b的形状不相同，关于与第一实施方式的共振器1相同的构成要素，标注相同的标号而省略其说明。
长方体形状(严格地说由于产生斜度而成为接近于长方体的形状)的第三介质19b形成有多个，并配置成第三介质19b的长度方向与弹性边界波的传播方向(图中左右方向)一致。各第三介质19b隔开预定的间隔而配置。
在图7的E-E’线的截面上，与图3中示出的截面图中的第三介质19a相同，在第一介质17之上一定形成有第三介质19b。即，相对于E-E’线上的次要弹性边界波的传播路径的长度，形成有第三介质19b的区域的长度的比例(下面，称为第三介质的形成比例)是100％。
在图7的F-F’线的截面上，与图4中示出的截面图相同，在第一介质17之上未形成有任何第三介质19b。即，F-F’线上的第三介质19b的形成比例是0％。
图9是示出与图7的D-D’方向垂直的方向(传播方向)上的第三介质19b的形成比例的坐标图。横轴表示D-D’方向上位置P3和P4之间的位置。交替形成有第三介质19b的形成比例是100％的区域和0％的区域。即，对于边界波，形成有第一路径(传播路径)和第二路径(传播路径)的两种路径，所述第一路径是第一介质17和第二介质18的边界，所述第二路径是第一介质17和第三介质19b的边界
图10的A是示出本实施方式的共振器2的插入损失的频率特性(插入损失特性)的坐标图，图10的B是将图10的A中示出的坐标图的2000MHz～2150MHz区域放大了的坐标图。插入损失曲线23是表示共振器2的插入损失特性的曲线。为了进行比较，在图10的A和B中用虚线示出表示以往的共振器的插入损失特性的插入损失曲线24，该以往的共振器是不设置第三介质的结构。
如图10的A所示，插入损失曲线23和插入损失曲线24上的在1800MHz插入损失变大了的部分是由沿压电基板16和第一介质17的边界引起的响应。如图10的B所示，在插入损失曲线23上，替代2105MHz的无需响应，而产生了具有2075MHz和2100MHz的两个顶峰无需响应。插入损失曲线23上的2075MHz的无需响应是第二路径引起产生的。另一方面，2100MHz的无需响应是第一路径引起产生的。
以往仅为第一路径的传播路径分为两种路径，由此第一路径的宽度缩小了形成第二路径的部分，沿第一路径传播的弹性边界波比以往的结构减少。第二路径的宽度也比以往的第一路径的宽度窄，因此沿第二路径传播的弹性边界波也比沿以往的结构的第一路径传播的弹性边界波少。因此，2075MHz、2100MHz上的插入损失分别与插入损失曲线24上的最大值相比大约降低了5成、6成。
下面，说明本实施方式的共振器的比较例。图11是示出共振器3的俯视图，该共振器3用作与本实施方式的共振器2进行比较的比较例。与图7中示出的俯视图相同，除去第二介质而表示，同时在第三介质19c上标注阴影点。另外，用虚线示出梳形电极14a、14b和反射器15。在共振器3中，长方体形状的第三介质19c排列有多个的这一点与本实施方式的共振器2相同，但是第三介质19c的长度方向相对于弹性边界波的传播方向(图11中左右方向)倾斜45度的这一点与本实施方式的共振器2不同。
图12是示出本比较例的共振器3中的插入损失特性的坐标图。只要第三介质19c的宽度与第三介质19c和邻接的第三介质19c之间的宽度相同，弹性边界波的传播方向上的第三介质19c的形成比例在任何传播路径上均为50％。即，沿任何路径传播也不会在弹性边界波的传播速度上产生差异。因此，无需响应不分为两个，无需响应的插入损失的最大值从以往的插入损失特性中的无需响应的插入损失的最大值只能降低2成左右。
如上所述，通过以形成有第三介质19b的比例根据传播路径比而不同的方式形成，使无需响应分为两个以上，从而降低无需响应的插入损失的最大值。
(第三实施方式)
图13是示出本发明的第三实施方式的共振器4的结构的俯视图。在图13中，为了明确地表示出形成有第三介质19d的位置，除去第二介质18而表示，同时在第三介质19d上标注阴影点。另外，用虚线示出梳形电极14a、14b和反射器15。本实施方式的共振器4相对于第一实施方式的共振器1仅是第三介质19d的形状不相同，关于与第一实施方式的共振器1相同的构成要素，标注相同的标号而省略其说明。
在本实施方式的共振器4中，第三介质19d的形状是如图13所示那样在纸面上呈现三边形的三角柱(严格地说由于产生斜度而成为接近于三角柱的形状)，配置成三边形的顶点与其他三边形的顶点接触。
在图13的H-H’线的截面上，与图3中示出的截面图中的第三介质19a相同，在第一介质17之上一定形成有第三介质19d。即，相对于H-H’线上的次要弹性边界波的传播路径的长度，形成有第三介质19d的区域的长度的比例(第三介质的形成比例)是100％。
在图13的I-I’线的截面上，与图4中示出的截面图相同，在第一介质17之上未形成有任何第三介质19d。即，I-I’线上的第三介质19d的形成比例是0％。
图14是示出图13的J-J’线截面的截面图。在J-J’线上，在第一介质17之上存在形成有第三介质19d的区域和未形成有第三介质19d的区域。如果弹性边界波的传播路径的长度设为1、一个段条的第三介质19d的长度设为w、一个段条的第三介质19d在弹性边界波的传播路径上所形成的个数设为n，则第三介质19d的形成比例成为(n×w/l)×100(％)。
因而，沿J-J’线传播的弹性边界波的传播速度位于沿H-H’线传播的弹性边界波的传播速度和沿I-I’线传播的弹性边界波的传播速度之间。因此，产生无需响应的频率位于沿I-I’线传播的弹性边界波导致的无需响应的频率和沿J-J’线传播的弹性边界波导致的无需响应的频率之间。
在图14中，随着J-J’线靠近H-H’线，第三介质19d的长度w变大，第三介质19d的形成比例变大。随着J-J’线靠近I-I’线，第三介质19d的长度w变小，第三介质19d的形成比例变小。
图15是示出在与图13的H-H’方向垂直的方向上的传播路径上第三介质19d的形成比例的坐标图。横轴表示H-H’方向上位置P5和P6之间的位置。在图15中，第三介质19d的形成比例从第三介质19d的形成比例为100％的区域(H-H’线上)向0％的区域(I-I’线上)连续地变化。
图16的A是示出本实施方式的共振器的插入损失的频率特性(插入损失特性)27的坐标图，图16的B是将图16的A中示出的坐标图的2000MHz～2150MHz区域放大了的坐标图。插入损失曲线27是表示共振器4的插入损失特性的曲线。为了进行比较，在图16的A和B中用虚线示出表示以往的共振器的插入损失特性的插入损失曲线28，该以往的共振器是不设置第三介质的结构。
如本实施方式的共振器4的插入损失曲线27所示，替代在以往的共振器中产生的2105MHz的无需响应，在从2050MHz至2150MHz的频率区域中产生坡度小的无需响应。这是因为是以下特性：在传播路径上第三介质19d的形成比例连续地变化，因此边界波的传播速度不相同的路径形成多个，顶峰的频率一点一点地不相同的无需响应重合的特性。在作为该无需响应的顶峰的2090MHz上，插入损失与以往的共振器中所产生的插入损失相比降低了大约5成。
如上所述，通过使无需响应的插入损失的最大值变小，能够减小无需响应导致的信号影响。
在本实施方式中，作为第三介质19d而示出配置了多个比较小的三边形的结构，但是只要传播方向上的第三介质的形成比例连续地变化，也可以是比较大的三边形、四边形、以及其他形状。
在第一～第三实施方式中，说明了共振器为单端口共振器的例子，但是在双模共振器中使用这些结构也能够得到同样的效果。
(第四实施方式)
图17是表示本发明的第四实施方式的通信器的结构图。通信器包括天线31、双工器32、发送侧信号处理部33、接收侧信号处理部34、传声器35、扬声器36。双工器32包括发送用滤波器37、接收用滤波器38。接收用滤波器38具有与发送用滤波器37的通带不相同的通带(接收带)。
传声器35将声音转换成声音信号，将声音信号输入到发送侧信号处理部33。发送侧信号处理部33生成将声音信号调制了的发送信号。双工器32将在发送侧信号处理部33生成的发送信号输入到天线31。
天线31将发送信号转换成电波而输出。另外，天线31将电波转换成作为电信号的接收信号，将接收信号输入到双工器32。在双工器32中，接收用滤波器38使接收带区的接收信号通过，将其输入到接收侧信号处理部34。另一方面，发送用滤波器37由于通带与接收带不相同，不会使接收信号通过。因而，接收信号不会输入到发送侧信号处理部33。接收侧信号处理部34对接收信号进行检波、放大等处理，生成声音信号。扬声器36将声音信号转换成声音而输出。
图18是示出在发送用滤波器37或接收用滤波器38中使用的阶梯型滤波器的结构的结构图。在输入端子41和输出端子42之间以串联方式依次配置有共振器43、44、45。在共振器43和共振器44之间分别连接有一侧接地的共振器46、47。在共振器45和输出端子42之间连接有一侧接地的共振器48。
图18中示出的滤波器是普通的阶梯型滤波器，但是共振器43～48是第一～第三实施方式中示出的共振器。因而，除滤波器的通带以外，不要的响应小，例如，来自天线31的接收信号从发送用滤波器37漏出而输入到发送侧信号处理部33的量减少。
另外，虽然说明了具有传声器35和扬声器36的通信器的构成，但是并不一定仅限于该构成，例如，也可以是如计算机那样并不一定需要传声器35或扬声器36的、以及收发声音数据以外的数据的。
产业上的可利用性
本发明的弹性边界波器件无需响应的影响小，可利用于通信器的滤波器等。

Claims (12)

1.一种弹性边界波器件，包括一个共振器：
所述共振器包括：
压电基板，具有压电性；
梳形电极，形成在所述压电基板上；
第一介质，在所述压电基板上形成为覆盖所述梳形电极；以及
第二介质，形成在所述第一介质上；
所述梳形电极具有多个电极爪、以及连接所述多个电极爪的端部的汇流条，
其中，还包括第三介质，该第三介质形成在所述第一介质上，
所述第二介质和所述第三介质接触于所述第一介质，
所述第一介质、所述第二介质以及所述第三介质通过各不相同的材料构成，
形成有第三介质的部分的长度相对于与所述电极爪的长度方向垂直的截面上的弹性边界波的传播路径的长度的比例在所述电极爪的长度方向上不相同。
2.如权利要求1所述的弹性边界波器件，其中，
所述第三介质通过弹性波的传播速度与所述第二介质不相同的材料构成。
3.如权利要求1或2所述的弹性边界波器件，其中，
在所述第一介质上，沿与所述电极爪的长度方向垂直的方向分成两半，即：形成有所述第三介质的区域和未形成有所述第三介质的区域。
4.如权利要求1或2所述的弹性边界波器件，其中，
所述第三介质形成有多个。
5.如权利要求1或2所述的弹性边界波器件，其中，
形成有第三介质的部分的长度相对于与所述电极爪的长度方向垂直的截面上的弹性边界波的传播路径的长度的比例在所述电极爪的长度方向上连续地变化。
6.如权利要求1或2所述的弹性边界波器件，其中，
所述第三介质通过材料不同的两个以上的介质构成。
7.如权利要求1或2所述的弹性边界波器件，其中，
第一介质为SiO2，第三介质为氧化铝或SiN。
8.如权利要求1或2所述的弹性边界波器件，其中，
所述压电基板为LiTaO3或LiNbO3。
9.一种滤波器，包括单端口共振器，所述单端口共振器是权利要求1至8中任一项所述的弹性边界波器件。
10.一种滤波器，包括双模共振器，所述双模共振器是权利要求1至8中任一项所述的弹性边界波器件。
11.一种双工器，包括：
发送用滤波器；以及
接收用滤波器，该接收用滤波器的通频带与所述发送用滤波器不相同；
所述发送用滤波器和所述接收用滤波器中的至少一个是使用权利要求9或10所述的滤波器来构成的。
12.一种通信器，包括：
天线；
权利要求11所述的双工器，其与所述天线连接；以及
信号处理部，其与所述双工器连接。
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