KR100493215B1 - 탄성 표면파 필터 - Google Patents

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KR100493215B1
KR100493215B1 KR10-2002-0050751A KR20020050751A KR100493215B1 KR 100493215 B1 KR100493215 B1 KR 100493215B1 KR 20020050751 A KR20020050751 A KR 20020050751A KR 100493215 B1 KR100493215 B1 KR 100493215B1
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오우치미네후미
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가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼
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Abstract

본 발명은 평형-불평형 변환 기능을 가지고, 평형 신호단자(111, 112)간의 평형도를 개선한 탄성 표면파 필터를 제공한다. 압전기판 상에 3개의 빗형 전극부(103, 104, 105)를 탄성 표면파의 전파 방향을 따라 가지는 탄성 표면파 필터부(101)를 형성한다. 탄성 표면파 필터부(101)에 불평형 신호단자(110)와 평형 신호단자(111, 112)를 형성한다. 상기 3개의 빗형 전극부(103, 104, 105) 중에서 적어도 하나를 위상이 다른 것과 다르도록 형성한다. 상기 빗형 전극부(103, 104, 105)를 양측으로부터 사이에 두도록 반사기(106, 107)를 각각 형성한다. 반사기(106, 107)를 접지한다.

Description

탄성 표면파 필터{Surface acoustic wave filter}
본 발명은 특히 평형-불평형 변환 기능을 가지는 탄성 표면파 필터에 관한 것이다.
최근의 휴대 전화기 등의 이동 통신기의 소형화, 경량화에 대한 기술적 진보는 눈부시다. 이것을 실현하기 위한 수단으로서, 각 구성 부품의 삭감, 소형화는 물론 복수의 기능을 복합한 부품의 개발도 진행되고 있다. 이러한 상황을 배경으로, 이동 통신기의 RF단에 사용하는 탄성 표면파 필터에 평형-불평형 변환 기능, 소위 발룬(balun)의 기능을 부가시킨 것도 최근 활발히 연구되어, GSM방식(Global System for Mobile communications) 등을 중심으로 사용되고 있다.
발룬이란, 평행 2선식 피더(feeder)와 같은 평형 선로와 동축 케이블과 같은 불평형 선로를 직접 접속하면, 불평형 전류가 흐름 급전선(피더)자체가 안테나로서 동작해버려 바람직하지 않기 때문에, 불평형 전류를 저지하고, 평형 선로와 불평형 선로를 정합하는 회로를 말한다.
이러한 평형-불평형 변환 기능을 갖게 한 탄성 표면파 필터에 관한 특허도 몇개 출원되어 있다. 평형-불평형 변환 기능을 갖춘 탄성 표면파 필터로서는 도 12에 나타낸 바와 같은 구성이 널리 알려져 있다.
도 12에 나타낸 탄성 표면파 필터에서는 압전기판(10) 상에 빗형 전극부(발형상 전극이라고도 함, Inter-Digital Transducer, 이하 IDT라고 함)(11)가 형성되고, 그 IDT(11)의 좌우(탄성파의 전파 방향을 따름)에 각 IDT(12, 13)가 배치되어 있다.
게다가, 상기 탄성 표면파 필터에 있어서는 이들의 각 IDT(11, 12, 13)를 좌우로부터 사이에 두도록, 탄성 표면파를 반사하여 변환효율을 향상시키기 위한 각 반사기(14, 15)가 각각 배치되어 있고, 또한, 각 평형 신호단자(16, 17) 및 불평형 신호단자(18)가 형성되어 있다.
이러한 탄성 표면파 필터는 3IDT 타입의 종결합 공진자형 탄성 표면파 필터라고 하며, 각 IDT(11, 12, 13)사이에서의 탄성 표면파를 이용한 변환에 의해 평형-불평형 변환기능을 가지는 것이다.
평형-불평형 변환기능을 가지는 탄성 표면파 필터에서는 불평형 신호단자와 평형 신호단자의 각각의 단자와의 사이의 통과대역 내에서의 전송 특성에 있어서, 진폭 특성이 가능한 한 동등하고, 또한 위상이 가능한 한 180도 반전하고 있는 것이 요구되어, 각각 진폭 평형도 및 위상 평형도라고 불리고 있다.
진폭 평형도 및 위상 평형도는, 상기 평형-불평형 변환기능을 가지는 탄성 표면파 필터를 3포트의 디바이스라고 생각하고, 예를 들어 불평형 입력단자를 제 1 포트, 평형 출력단자의 각각을 제 2 포트, 제 3 포트라고 할 때, 진폭 평형도＝A, A＝│20log(S21)│-│20log(S31)│, 위상 평형도＝B－180, B＝│∠S21－∠S31│로 각각 정의된다. S21은 제 1 포트로부터 제 2 포트로의 전달계수를, S31은 제 1 포트로부터 제 3 포트로의 전달계수를 나타내고 있고, 또한, 상기 각 식중의 ││는 절대치를 나타내기 위한 것이다. 이러한 평형도는 이상적으로는 탄성 표면파 필터의 통과대역 내에서 진폭 평형도가 0㏈, 위상 평형도가 0도라고 되어 있다.
그러나, 종래의 평형-불평형 변환 기능을 가지는 탄성 표면파 필터의 구성에 있어서는, 평형 신호단자간의 평형도가 나쁘다는 문제점이 있었다. 본 발명의 목적은 상기의 문제점을 해결하기 위해서, 평형-불평형 변환 기능을 가지고, 또한 평형도가 개선된 탄성 표면파 필터를 제공하는데 있다.
본 발명의 탄성 표면파 필터는 상기 과제를 해결하기 위해서, 압전기판 상에, 3개의 IDT를 탄성 표면파의 전파 방향을 따라 가지는 종결합 공진자형 필터가 형성되고, 상기 종결합 공진자형 필터에는 불평형 단자와 평형 단자가 형성되고, 상기 3개의 IDT 중에서 적어도 하나는 위상이 다른 것과 다르도록 형성되고, 상기 3개의 IDT를 양측으로부터 사이에 두도록 반사기가 각각 형성되고, 상기 반사기는 접지되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명의 다른 탄성 표면파 필터는 상기 과제를 해결하기 위해서, 압전기판 상에 3개의 IDT를 탄성 표면파의 전파 방향을 따라 가지는 종결합 공진자형 필터가 복수개 서로 조합되어 형성되고, 상기 종결합 공진자형 필터에는 불평형 단자와 평형 단자가 형성되고, 상기 3개의 IDT 중에서 적어도 하나는 위상이 다른 것과 다르도록 형성되고, 상기 3개의 IDT를 양측으로부터 사이에 두도록 반사기가 각각 형성되고, 상기 반사기는 접지되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.
상기 구성에 따르면, 3개의 IDT를 탄성 표면파의 전파 방향을 따라 가지고, 상기 종결합 공진자형 필터에 불평형 단자와 평형 단자를 형성하여, 평형-불평형 변환 기능을 발휘할 수 있다. 또한, 상기 구성에서는 3개의 IDT를 양측으로부터 사이에 두도록 반사기를 각각 형성하였으므로 삽입 손실을 경감할 수 있다.
그리고, 상기 구성에 있어서는, 반사기를 접지하였기 때문에 3개의 IDT를 가지는 종결합 공진자형 필터를 사용한 경우에, 통과 특성이라는, 평형도 이외의 특성의 열화를 회피하면서 평형 신호단자간의 평형도를 개선할 수 있다.
상기 탄성 표면파 필터에서는 종결합 공진자형 필터에 대하여, 직렬 및 병렬의 적어도 한 방향으로 탄성 표면파 공진자가 적어도 1개 접속되어 있어도 된다.
상기 구성에 따르면, 탄성 표면파 공진자를 적어도 1개 접속함으로써, 통과 대역외의 감쇠량을 크게 할 수 있으므로 필터 특성의 향상이 가능해진다.
상기 탄성 표면파 필터에 있어서는, 반사기는 전극지를 20개에서 200개까지의 범위 내에 가지고 있는 것이 바람직하다. 반사기의 전극지를 20개 미만으로 하면, 탄성 표면파의 반사 효율이 저하하여 삽입손실이 악화되는 한편, 반사기의 전극지가 200개를 초과하면 대형화한다는 문제점이 생긴다.
상기 구성에 따르면, 반사기의 전극지를 20개에서 200개까지의 범위내에 설정하여, 통과 대역내에서의 특성 악화를 회피하면서 평형도를 개선할 수 있다.
상기 탄성 표면파 필터에서는 반사기의 파장을 λR이라고 하면, IDT와 반사기의 간격이 0.4λR에서 0.6λR까지의 범위 내에 설정되어 있는 것이 바람직하다. IDT와 반사기의 간격이 상기 범위를 벗어나면, 통과 대역내에 리플이 생겨서 바람직하지 못하다.
상기 구성에 따르면, IDT와 반사기의 간격을 0.4λR에서 0.6λR까지의 범위내에 설정함으로써, 출력 신호에 있어서의 통과 대역내에서의 리플의 발생을 억제할 수 있고, 전송 특성을 개선할 수 있다.
상기 탄성 표면파 필터에서는 종결합 공진자형 필터의 3개의 IDT 중, 중앙의 IDT를 사이에 두는 양측의 각 IDT가 서로 위상을 반전하도록 설정되어 있는 것, 또한, 복수의 종결합 공진자형 필터를 사용한 경우에서는 적어도 하나의 종결합 공진자형 필터의 3개의 IDT 중, 중앙의 IDT를 사이에 두는 양측의 각 IDT가 서로 위상을 반전하도록 설정되어 있는 것이 바람직하다.
상기 구성에 따르면, 중앙의 IDT를 사이에 두는 양측의 각 IDT의 위상을 서로 반전시킴으로써, 평형-불평형 변환 기능을 보다 확실하게 실현할 수 있다.
<발명의 실시형태>
본 발명의 실시형태에 대해서 도 1∼도 11에 기초하여 설명하면, 이하와 같다. 도 1에 본 발명에 따른 실시형태의 탄성 표면파 필터의 구성을 나타낸다. 또한, 본 실시형태에서는 DCS 수신용 필터를 예로 들어서 설명한다.
본 실시형태에서는 40±5°Y컷 X전파 LiTaO3 로 이루어지는 압전기판(도시하지 않음) 상에, 종결합 공진자형의 탄성 표면파 필터부(101) 및 탄성 표면파 필터부(101)에 대하여 직렬 접속된 탄성 표면파 공진자(102)가 알루미늄(Al) 전극에 의해 포토리소그래피법을 이용하여 각각 형성되어 있다.
상기 탄성 표면파 필터부(101)에서는, 중앙의 IDT(104)를 탄성 표면파의 전파 방향을 따라, 양측으로부터(도면에서는 좌우로부터) 사이에 두도록 IDT(103, 105)가 각각 형성되어 있다. 따라서, 상기 3개의 IDT(103, 104, 105)는 각 IDT를 탄성 표면파의 전파 방향을 따라 가지는 종결합 공진자형 필터를 형성하고 있다.
IDT는 띠형상의 기단부(버스 바), 그 기단부의 한쪽의 측부에서 직교하는 방향으로 연장되는 복수의 서로 평행한 전극지를 구비한 전극지부를 복수개 포함하고 있고, 상기 각 전극지부의 전극지의 측부를 서로 대면하도록 서로의 전극지간에 뒤얽힌 상태에서 상기 각 전극지부를 가지는 것이다.
이러한 IDT에서는 각 전극지의 길이나 폭, 인접하는 각 전극지의 간격, 서로의 전극지간에서의 뒤얽힌 상태의 대면 길이를 나타내는 교차폭을, 각각 설정함으로써 신호 변환 특성이나 통과 대역의 설정이 가능해진다.
상기 탄성 표면파 필터부(101)에는 각 IDT(103, 104, 105)에 대하여, 탄성 표면파의 전파 방향을 따라 양측으로부터(도면에서는 좌우로부터) 사이에 두도록 반사기(106, 107)가 각각 형성되어 있다. 상기 각 반사기(106, 107)는 전파해 온 탄성 표면파를 그 전파 방향을 따라 반사하기 위한 것이고, 서로 대면하여 평행한 한 쌍의 버스 바와, 그들 버스 바를 도통하는 복수의 서로 평행하게 배치된 전극지를 가지는 것이다.
도 1을 보면 알 수 있듯이, IDT(103)와 IDT(104)가 서로 대면하는 부분, 및 IDT(104)와 IDT(105)가 서로 대면하는 부분의 수개의 전극지(협피치 전극지)의 피치를, IDT의 다른 부분보다도 작게 하고 있다(도 1의 108과 109의 부위). 이에 따라, 삽입 손실을 감소하고 있다. 단자(111, 112)가 평형 신호단자, 단자(110)가 불평형 신호단자이다.
불평형 신호단자(110)는 시그널 라인(113)을 개재하여 탄성 표면파 공진자(102)의 한쪽의 전극지부에 접속되어 있다. 탄성 표면파 공진자(102)의 다른쪽의 전극지부는 각 시그널 라인(114, 115)을 개재하여 탄성 표면파 필터부(101)의 IDT(103, 105)에 접속되어 있다. 탄성 표면파 공진자(102)는 또한 상기한 서로 뒤얽혀 있는 각 전극지부의 양측에 반사기를 각각 가지고 있다.
평형 신호단자(111, 112)는 시그널 라인(116, 117)을 개재하여 중앙부에서 2분할된 IDT(104)에 접속되어 있다. 따라서, IDT(104)는 탄성 표면파의 전파 방향에 대하여 직교하고, IDT(104)에 중심부를 통과하는 가상선을 대칭축으로 하여 선대칭인 구성이 되어 있다.
게다가, IDT(104)는 짝수의 전극지를 구비한 전극지부(104a)를, 탄성 표면파의 전파 방향의 중심부에 두 개의 동방향으로 연장하는 한 쌍의 전극지를 구비하여 가지고 있다. 따라서, 한 쌍의 전극지의 사이는 상기 가상선이 통과하고 있다. 전극지부(104a)는 들뜬(플로트:float) 상태가 되어 있다.
또한, IDT(104)에는 전극지부(104a)의 전극지의 측부에 대하여 대면하도록 뒤얽힌, 한 쌍의 각 전극지부(104b, 104c)가 각각 서로 전기적으로 절연한 상태에서, 또한 상기 가상선을 대칭축으로 하여 서로 대칭 관계가 되도록 형성되어 있다. 따라서, 각 평형 신호단자(111, 112)는 각 전극지부(104b, 104c)에 대하여 각각 접속되어 있다.
또한, 각 IDT(103, 105)는 상기 가상선 상의 IDT(104)의 중심점을 대칭점으로 하여 서로 점 대칭인 관계, 즉 서로 반전하고 있다. 이와 같이 각 IDT(103, 104, 105) 중 적어도 하나의 위상을 다른 것과 다르게 하는, 즉 각 IDT(103, 105)를 서로 반대 위상으로 설정하였기 때문에, 상기 탄성 표면파 필터부(101)는 평형-불평형 변환 기능을 발휘할 수 있다.
본 실시형태의 특징은 상기 탄성 표면파 필터부(101)를 가지는 탄성 표면파 필터에 있어서, 각 반사기(106, 107)가 접지되어 있는 점이다.
탄성 표면파 필터부(101)의 상세한 설계는 협피치 전극지의 피치로 결정되는 파장을 λI2(108, 109의 부위), 그 외의 전극지의 피치로 결정되는 파장을 λI1이라고 하면, 교차폭 W: 59.6λI1,
IDT의 전극지 개수(103, 104, 105의 순서): 19(3)/ (3)26(3)/(3)19개(괄호내는 피치를 작게 한 전극지의 개수)
IDT 파장 λI1: 2.15㎛, λI2: 1.91㎛
반사기 파장 λR: 2.18㎛
반사기의 전극지 개수: 100개
IDT-IDT 간격: 0.500λI2
IDT-반사기 간격: 0.470λR
duty: 0.67(IDT, 반사기 둘다)
전극막 두께: 0.096λI1
탄성 표면파 공진자(102)의 상세한 설계를 이하에 나타낸다.
교차폭 W: 60.9λ
IDT의 전극지 개수: 150개
파장λ(IDT, 반사기 둘다): 2.10㎛
반사기의 전극지 개수: 30개
IDT-반사기 간격: 0.50λ
duty: 0.67(IDT, 반사기 둘다)
전극막 두께: 0.098λ
상기 “간격”이란 서로 인접하는 두 개의 각 전극지의 폭방향에서의 중심간 거리를 말한다.
이하에, 본 실시형태에 관한 작용·효과에 대하여 설명한다. 본 실시형태의 구성에서의 주파수에 대한 평형 신호단자간에 있어서의, 진폭 평형도(amplitude balance)의 그래프를 도 2에, 위상 평형도의 그래프를 도 3에 나타낸다. 비교예로서의, 도 4에 나타내는 구성에서의 진폭 평형도와 위상 평형도도 도 2 및 도 3에 함께 나타낸다. 도 4의 비교예의 구성은 실시형태에 대하여, 반사기(106a, 107a)를 접지하지 않은 이외는, 완전히 동일한 구성이다. 또한, 실시형태와 비교예의 주파수에 대한 진폭 특성을 도 5에 나타낸다. DCS 수신용 필터에 있어서의 통과 대역의 주파수 범위는 1805㎒∼1880㎒이다.
이　범위에서의 진폭 평형도는 비교예에서는 －2.50㏈∼＋1.75㏈(편차 4.25㏈, 편차가 작을수록 진폭 평형도가 좋다)인데 대하여, 실시형태에서는 －2.20㏈∼＋1.50㏈(편차 3.70㏈)로 약 0.55㏈ 진폭 평형도가 개선되어 있다.
위상 평형도는 비교예에서는 ＋1.0도∼＋12.5도(편차 11.5도, 편차가 작을수록 위상 평형도가 좋다)인데 대하여, 실시형태에서는 ＋2.0도∼＋10.0도(편차 8.0도)로 약 3.5도 위상 평형도가 개선되어 있다. 이 때 진폭 특성은 대부분 변화하지 않는다(즉, 본 실시형태에서는 진폭 특성의 열화를 회피하면서, 평형도를 개선할 수 있다). 시그널 전극도 아니면서, 접지되어 있지도 않은 부유 전극이 있는 경우에는, 전위가 불안정해져 평형도가 악화되는 것으로 생각된다.
이상 설명한 바와 같이 실시형태에서는 평형-불평형 변환 기능을 가지는 도 1의 구성의 탄성 표면파 필터에 있어서, 반사기(106, 107)를 접지하여, 비교예의 탄성 표면파 필터보다도 평형 신호단자(111, 112)사이의 평형도가 개선된 탄성 표면파 필터를 얻을 수 있다.
또한, 실시형태에서는 도 6과 같이, 반사기(106b, 107b)를 그것과 인접하는 IDT(103, 105)의 접지된 버스 바(103a, 105a) 측에 접속하여, 상기 반사기(106b, 107b)를 접지하여도 동일한 효과를 얻을 수 있다. 이 경우, 새로이 전극 패드를 압전기판 상에 형성하지 않고 반사기(106b, 107b)를 접지할 수 있으므로, 탄성 표면파 필터의 사이즈를 크게 하지 않고, 본 발명의 효과를 얻을 수 있다.
또한, 실시형태에서는 3개의 IDT를 사용한 3IDT형 종결합 공진자형 필터의 예를 나타냈지만, 본 발명의 효과는 IDT의 수에 상관없이 얻을 수 있으며, 2IDT형이나 5IDT형 이상의 다전극형의 종결합 공진자형 필터에 있어서도, 동일한 효과를 얻을 수 있다.
그러나, 다전극 필터를 사용한 경우, 칩 형상의 압전기판 상의 리드가 많아져서 패턴 레이아웃이 복잡해진다고 하는 단점이 있다. 그 때문에, 실시형태에서 설명한 바와 같이 3IDT형 종결합 공진자형 필터가 바람직하다.
또한, 본 실시형태에서는 탄성 표면파 공진자(102)를 직렬 접속한 구성으로 설명하였지만, 탄성 표면파 공진자가 병렬 접속된 구성이나, 직렬 및 병렬 양쪽으로 접속되어 있는 구성이라도 본 발명의 효과는 얻을 수 있다. 또한, 탄성 표면파 공진자가 접속되어 있지 않은 구성이라도 본 발명의 효과는 얻을 수 있지만, 그 경우, 통과 대역외의 감쇠량을 충분히 얻을 수 없으므로, 바람직하게는 탄성 표면파 공진자는 접속되어 있는 것이 좋다.
또한, 다른 구성의 평형-불평형 변환 기능을 가지는 탄성 표면파 필터에 있어서도, 마찬가지로 본 발명의 효과를 얻을 수 있다. 예를 들면, 도 7과 같이 3IDT형 종결합 공진자형 필터에 있어서, 좌우의 각 IDT(203, 205)에 평형 신호단자(111, 112)를 접속하는 구성, 또한, 도 8과 같이 중앙부의 IDT(304)의 양측의 각 전극지부에 평형 신호단자(111, 112)를 각각 접속하는 구성에 있어서도, 동일한 효과를 얻을 수 있다. 또한, 도 9와 같이 3IDT형 종결합 공진자형 필터를 2단 종속 접속한 구성이라도 동일한 효과를 얻을 수 있다.
게다가, 도 10과 같이 3IDT형 종결합 공진자형 필터를 2개 사용하여 평형-불평형 변환 기능을 가지는 탄성 표면파 필터를 구성한 경우, 또한, 그것을 도 11과 같이 2단 종속 접속한 구성에 있어서도 동일한 효과를 얻을 수 있다.
또한, 반사기를 접지하여 IDT와 반사기가 인접해 있는 부위의 초전(pyroelectric) 파괴를 없앨 수 있다는 효과도 있다.
본 실시형태에서는 40±5°Y컷 X전파 LiTaO3 로 이루어지는 압전기판을 사용하였지만, 효과를 얻을 수 있는 원리로부터도 알 수 있는 바와 같이, 본 발명은 이 압전기판에 한하지 않고, 64∼72°Y컷 X전파 LiNbO3, 41°Y컷 X전파 LiNbO3 등의 압전기판에서도 동일한 효과를 얻을 수 있다.
본 발명의 탄성 표면파 필터는 이상과 같이, 압전기판 상에, 탄성 표면파의 전파 방향을 따라 3개의 IDT를 가지는 종결합 공진자형 필터, 3개의 IDT의 양측에 형성된 반사기, 및 평형 신호단자를 가지고, 상기 반사기가 접지되어 있는 구성이다.
그러므로, 상기 구성에서는 상기 반사기를 접지하여 통과 특성이라는, 평형도 이외의 특성의 열화를 회피하면서, 평형 신호단자간의 평형도를 개선할 수 있다는 효과를 가진다.
도 1은 본 발명의 실시형태에 따른 탄성 표면파 필터의 개략 구성도이다.
도 2는 상기 실시형태와 비교예에서의 주파수-진폭 평형도의 차이를 나타내는 그래프이다.
도 3은 상기 실시형태와 비교예에서의 주파수-위상 평형도의 차이를 나타내는 그래프이다.
도 4는 상기 실시형태와 비교하는 비교예의 탄성 표면파 필터의 개략 구성도이다.
도 5는 상기 실시형태와 비교예에서의 주파수-진폭 특성의 차이를 나타내는 그래프이다.
도 6은 상기 실시형태의 한 변형예를 나타내는 탄성 표면파 필터의 개략 구성도이다.
도 7은 상기 실시형태의 다른 변형예를 나타내는 탄성 표면파 필터의 개략 구성도이다.
도 8은 상기 실시형태의 또 다른 변형예를 나타내는 탄성 표면파 필터의 개략 구성도이다.
도 9는 상기 실시형태의 또 다른 변형예를 나타내는 탄성 표면파 필터의 개략 구성도이다.
도 10은 상기 실시형태의 또 다른 변형예를 나타내는 탄성 표면파 필터의 개략 구성도이다.
도 11은 상기 실시형태의 또 다른 변형예를 나타내는 탄성 표면파 필터의 개략 구성도이다.
도 12는 종래의 탄성 표면파 필터의 개략 구성도이다.
<도면의 주요부분에 대한 간단한 설명>
101 탄성 표면파 필터부(종결합 공진자형 필터)
103,104,105 IDT(빗형 전극부) 106,107 반사기
110 불평형 신호단자 111,112 평형 신호단자

Claims (6)

  1. 압전기판 상에, 3개의 빗형 전극부를 탄성 표면파의 전파 방향을 따라 가지는 종결합 공진자형 필터가 형성되고,
    상기 종결합 공진자형 필터에는 불평형 단자와 평형 단자가 형성되고,
    상기 3개의 빗형 전극부 중에서 적어도 하나는 위상이 다른 것과 다르도록 형성되고,
    상기 3개의 빗형 전극부를 양측으로부터 사이에 두도록 반사기가 각각 형성되고,
    상기 반사기는 접지되어 있는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 필터.
  2. 압전기판 상에, 3개의 빗형 전극부를 탄성 표면파의 전파 방향을 따라 가지는 종결합 공진자형 필터가 복수개 서로 조합하여 형성되고,
    상기 종결합 공진자형 필터에는 불평형 단자와 평형 단자가 형성되고,
    상기 3개의 빗형 전극부 중에서 적어도 하나는 위상이 다른 것과 다르도록 형성되고,
    상기 3개의 빗형 전극부를 양측으로부터 사이에 두도록 반사기가 각각 형성되고,
    상기 반사기는 접지되어 있는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 필터.
  3. 제 1항에 있어서, 종결합 공진자형 필터에 대하여, 직렬 및 병렬의 적어도 한 방향으로 탄성 표면파 공진자가 적어도 1개 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 필터.
  4. 제 1항에 있어서, 반사기는 전극지를 20개에서 200개까지의 범위내에서 가지고 있는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 필터.
  5. 제 1항에 있어서, 반사기의 파장을 λR이라고 하면, 빗형 전극부와 반사기의 간격이 0.4λR에서 0.6λR까지의 범위 내에 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 필터.
  6. 제 1항에 있어서, 종결합 공진자형 필터의 3개의 빗형 전극부 중, 중앙의 빗형 전극부를 사이에 두는 양측의 각 빗형 전극부가 서로 위상을 반전하도록 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 탄성 표면파 필터.
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