JP2007309694A - センサ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板10上に、絶縁膜20を介して磁気抵抗素子31〜38を2つのブリッジ回路を構成するかたちで形成した。この磁気抵抗素子31〜38を、さらにその各々が中心点CPを中心にして点対称になるかたちで配置する。各磁気抵抗素子31〜38に接続される第1〜第3ボンディングパッドP1〜P3(開口部H1〜H3)を、左右方向及び上下方向の中心線C1,C2及び対角線C3,C4(全ての中心線)を対称軸として線対称に形成した。
【選択図】図1
Description
図1及び図2に示すように、磁気センサ1は、半導体(本実施形態ではシリコン)からなる基板10を備えている。基板10の上面には、酸化膜(本実施形態では二酸化珪素)からなる絶縁膜20が形成されている。この絶縁膜20は、基板10の上面の略全体を覆うかたちで形成されている。そして、絶縁膜20の上面には、負の磁気特性を有する強磁性体であるニッケルコバルトからなる磁気抵抗素子31〜38が形成されている。この磁気抵抗素子31〜38によってセンサ部が構成されており、この磁気抵抗素子31〜38の各々は、薄膜により所要のパターンに形成されている。
(1)本実施形態によれば、全ての中心線(中心線C1,C2及び対角線C3,C4)を対称軸として、その全ての対称軸に対して開口部H1,H2と線対称となる開口部H3をパッシベーション膜60に形成した。この開口部H3によって、パッシベーション膜60に形成される開口部を、全ての中心線を対称軸として線対称にすることができる。従って、パッシベーション膜60から各磁気抵抗素子31〜38に加わる応力を均一化することができるため、各磁気抵抗素子31〜38における電気抵抗値の変化のばらつきを低減することができるようになる。また、開口部H3は、マスクパターンを変更することによって、開口部H1,H2と同一工程にて形成することができるため、工程数を増加させることなく形成することができる。
・上記実施形態では、第3ボンディングパッドP3をダミーのボンディングパッドとして使用し、第2ボンディングパッドP2にボンディングワイヤWを接続するようにしたが、第3ボンディングパッドP3にボンディングワイヤWを接続するようにしてもよい。これによって、第2ボンディングパッドP2あるいは第3ボンディングパッドP3にボンディングワイヤWを接続することができるため、ボンディングワイヤWの配線の自由度を向上させることができる。
・層間絶縁膜40を酸化膜(例えば、二酸化珪素)により構成してもよい。
・パッシベーション膜60を酸化膜(例えば、二酸化珪素)により構成してもよい。
Claims (7)
- 基板と、前記基板上に設けられた複数のセンサエレメントと、前記基板上面を覆う保護膜と、前記保護膜の下層に形成された金属配線と、前記保護膜に形成される第1開口部により前記金属配線が露出されて形成されるボンディングパッドとを備え、物理変化に応じて複数のセンサエレメントの各々の電気抵抗値が変化することに基づいて物理変化を検出するセンサ装置において、
前記基板の全ての中心線を対称軸として、その全ての対称軸に対して前記第1開口部と線対称となる第2開口部が前記保護膜に形成されてなることを特徴とするセンサ装置。 - 前記第2開口部は、その下層に形成された金属配線を露出させるかたちで形成されてなることを特徴とする請求項1に記載のセンサ装置。
- 前記第2開口部の下層に形成された金属配線が前記各センサエレメントに接続されたことを特徴とする請求項2に記載のセンサ装置。
- 前記金属配線が、前記基板の中心点を中心として点対称となるかたちで形成されてなることを特徴とする請求項3に記載のセンサ装置。
- 前記センサエレメントの各々が、前記基板の中心点を中心として点対称となるかたちで形成されてなることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載のセンサ装置。
- 前記複数のセンサエレメントによって2つ以上のフルブリッジ回路が形成されてなることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つに記載のセンサ装置。
- 前記保護膜が、前記センサエレメントの周囲に沿って除去されてなることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1つに記載のセンサ装置。
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