JP2007295006A - 基板洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板洗浄装置は、洗浄すべき基板2を保持するホルダ1と、洗浄ブラシ7を保持しこれを基板の主面の法線方向に移動させかつ基板の主面に平行な方向に移動させて基板に対する洗浄ブラシの相対的位置を定める位置決め機構4,21を有している。この基板洗浄装置は、さらに、基板の主面の存在する平面Pにおいて基板から離れて配置され平面における洗浄ブラシの有無を検知する検知手段16,17を備える。
【選択図】 図3
Description
1 ホルダ
2 ウエハ
3 ノズル
4 アーム本体
5 パルスモータ
6 液圧または気圧シリンダ
7 洗浄ブラシ
8 ブラシ回転モータ
9 回転駆動軸
10、40 駆動ギア
11、41 伝動ベルト
12、42 被動ギア
13 被動軸
51 回転軸
14 パルスモータ
15 基板洗浄装置本体
16 荷重計
17 荷重受け面
18、19 信号線
20 位置決め制御部
21 アーム軸支シャフト
22 シャフト係止フランジ
25 飛沫回収カバー
39 回動駆動軸
52 スピンドルモータ
61 出力ロッド
121 スイッチ
122 モータ駆動回路
123 回転数検出回路
124 ディジタル比較回路
125 分周回路
126 プリセット手段
127 アップダウンカウンタ
128 CPU
141 出力軸
142 ヘリカルギア
143 クロスヘリカルギア
144 ネジ部材シャフト
145 ネジ部
146 衝止端部
211 スプライン
Claims (4)
- 洗浄すべき基板を保持するホルダと、洗浄ブラシを保持しこれを該基板の主面の法線方向に移動させかつ該基板の主面に平行な方向に移動させて該基板に対する該洗浄ブラシの相対的位置を定める位置決め機構と、を備えた基板洗浄装置を用いた基板洗浄方法であって、
前記位置決め機構に前記洗浄ブラシを取り付ける工程と、
前記ホルダから離間して配置され、前記基板の主面に対して所定の位置関係にある平面に前記洗浄ブラシを接触させ、該基板の該主面から該洗浄ブラシを徐々に離し、前記平面における該洗浄ブラシの接触の有無を検知し検知結果を出力する検知手段を用いて、該検知手段が該基板と該洗浄ブラシとの接触がなくなった旨の検出結果を出力した位置を基準位置とする基準位置設定工程と、
前記洗浄ブラシを前記基板の前記主面上に移動させ、前記基準位置から所定の量だけ前記基板の前記主面方向へ該洗浄ブラシを押し込み、該基板の該主面を洗浄する工程と、
を有することを特徴とする基板洗浄方法。 - 請求項1に記載の基板洗浄方法において、
前記検知手段は前記平面に対する前記洗浄ブラシの荷重を測定し荷重に応じた信号を出力するものであって、
該洗浄ブラシの荷重がゼロになる該洗浄ブラシの高さを前記基準位置として設定することを特徴とする基板洗浄方法。 - 請求項1又は2に記載の基板洗浄方法において、
前記基板洗浄装置は、前記検知手段の前記検知結果に基づいた基準位置を算出して記憶する位置決め制御部をさらに有し、
前記基準位置設定工程にて新たに算出された前記基準位置を記憶し、該新たな基準位置に基づき前記位置決め機構を制御することを特徴とする基板洗浄方法。 - 請求項3に記載の基板洗浄方法において、
位置決め機構は該位置決め機構を上下方向へ移動させるパルスモータを有し、前記位置決め機構制御部は前記パルスモータの回転数を検出してその結果に基づき新たに決定された基準位置を算出して記憶することを特徴とする基板洗浄方法。
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