JP2003215596A - ラビングローラの平行度調整方法及びラビング装置 - Google Patents
ラビングローラの平行度調整方法及びラビング装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ラビングローラの周面とテーブル表面との平
行度を正確にかつ少ない作業負担で効率良く調整可能な
方法及びその方法を実施可能なラビング装置を得る。 【解決手段】 旋回テーブルの縁部にラビングローラ１
６側を向いた変位センサ３２を装着し、このセンサで検
出される旋回テーブルの端部とラビングローラ１６との
間隔に基づいてラビングローラの傾斜を自動又は手動で
調整する。ラビング装置は、ラビングローラ１６の長手
中心を略中心にして旋回する旋回テーブル８を備えてい
る。従って、その縁部の一箇所に変位センサ３２を設け
て、旋回テーブルを１８０度回転させた位置で計測を行
ってやれば、ラビングローラ１６の両端部における高さ
を計測できる。旋回テーブル８を旋回させながら変位セ
ンサ３２の極小値を計測値として使用する。
行度を正確にかつ少ない作業負担で効率良く調整可能な
方法及びその方法を実施可能なラビング装置を得る。 【解決手段】 旋回テーブルの縁部にラビングローラ１
６側を向いた変位センサ３２を装着し、このセンサで検
出される旋回テーブルの端部とラビングローラ１６との
間隔に基づいてラビングローラの傾斜を自動又は手動で
調整する。ラビング装置は、ラビングローラ１６の長手
中心を略中心にして旋回する旋回テーブル８を備えてい
る。従って、その縁部の一箇所に変位センサ３２を設け
て、旋回テーブルを１８０度回転させた位置で計測を行
ってやれば、ラビングローラ１６の両端部における高さ
を計測できる。旋回テーブル８を旋回させながら変位セ
ンサ３２の極小値を計測値として使用する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、ラビング装置、
すなわち液晶用ガラス基板の配向膜を布を貼り付けた回
転ローラ（ラビングローラ）で擦る装置と当該装置の調
整方法に関し、特にガラス基板を載置するテーブルとラ
ビングローラとの平行度設定手段に特徴のある上記方法
及び装置に関するものである。
すなわち液晶用ガラス基板の配向膜を布を貼り付けた回
転ローラ（ラビングローラ）で擦る装置と当該装置の調
整方法に関し、特にガラス基板を載置するテーブルとラ
ビングローラとの平行度設定手段に特徴のある上記方法
及び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶パネルを製造する工程中の一工程で
あるラビング工程は、ガラス基板表面の配向膜を布で擦
って液晶分子を配列させる微細な溝を加工する工程であ
る。この工程で用いられる装置は、ガラス基板を真空吸
着するテーブル、テーブルの旋回及び昇降装置、周面に
布を貼ったラビングローラ、ラビングローラの旋回及び
傾動装置（チルト装置）、テーブルとローラとを相対移
動させる送り装置などを備えている。
あるラビング工程は、ガラス基板表面の配向膜を布で擦
って液晶分子を配列させる微細な溝を加工する工程であ
る。この工程で用いられる装置は、ガラス基板を真空吸
着するテーブル、テーブルの旋回及び昇降装置、周面に
布を貼ったラビングローラ、ラビングローラの旋回及び
傾動装置（チルト装置）、テーブルとローラとを相対移
動させる送り装置などを備えている。
【０００３】加工するガラス基板はテーブルに固定さ
れ、テーブルに付設したテーブル旋回装置によってガラ
ス基板の向きが決められると共に、昇降装置によってロ
ーラとのギャップ（ラビング圧力）が設定される。ロー
ラは両端を挟持された状態で回転自在に支持され、チル
ト装置によってガラス基板表面との平行度が設定される
と共に、ローラ旋回装置により摺擦方向が設定される。
この状態でテーブル又はローラを送り装置で移動させる
ことにより、ガラス基板の表面全体がラビング加工され
る。
れ、テーブルに付設したテーブル旋回装置によってガラ
ス基板の向きが決められると共に、昇降装置によってロ
ーラとのギャップ（ラビング圧力）が設定される。ロー
ラは両端を挟持された状態で回転自在に支持され、チル
ト装置によってガラス基板表面との平行度が設定される
と共に、ローラ旋回装置により摺擦方向が設定される。
この状態でテーブル又はローラを送り装置で移動させる
ことにより、ガラス基板の表面全体がラビング加工され
る。
【０００４】ラビングに用いる布は短時間で摩耗し、布
が摩耗すると加工精度が維持できない。そこでローラを
一日に数回程度の頻度で交換しなければならない。一
方、ローラ表面に貼着した布は、厚さ方向のうねりがあ
るため、ローラを交換する毎にテーブルとローラ周面と
の平行度の調整を行わなければならない。この調整は、
従来、図４に示すように、テーブル８の上にブロックゲ
ージ４１を置いてローラ１６の左右端でローラとテーブ
ルの間隔を測定することにより行っていた。
が摩耗すると加工精度が維持できない。そこでローラを
一日に数回程度の頻度で交換しなければならない。一
方、ローラ表面に貼着した布は、厚さ方向のうねりがあ
るため、ローラを交換する毎にテーブルとローラ周面と
の平行度の調整を行わなければならない。この調整は、
従来、図４に示すように、テーブル８の上にブロックゲ
ージ４１を置いてローラ１６の左右端でローラとテーブ
ルの間隔を測定することにより行っていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ブロックゲー
ジを用いて人手で行う平行度の測定は、作業に熟練した
技能を必要とし、測定値に作業者の技能差によるばらつ
きが生じ、時間もかかるという問題がある。特に基板の
大型化により、基板表面と布表面の平行度を維持するこ
との困難さが増大し、製造された液晶パネルの表示品質
の低下や、調整作業負担の増加による生産性の低下とい
う問題が生じてきた。更に測定時の頻繁なブロックゲー
ジの出し入れにより、テーブル面が摩耗して測定精度が
低下するという問題があった。
ジを用いて人手で行う平行度の測定は、作業に熟練した
技能を必要とし、測定値に作業者の技能差によるばらつ
きが生じ、時間もかかるという問題がある。特に基板の
大型化により、基板表面と布表面の平行度を維持するこ
との困難さが増大し、製造された液晶パネルの表示品質
の低下や、調整作業負担の増加による生産性の低下とい
う問題が生じてきた。更に測定時の頻繁なブロックゲー
ジの出し入れにより、テーブル面が摩耗して測定精度が
低下するという問題があった。
【０００６】そこでこの発明は、ラビングローラの周面
とテーブル表面との平行度を正確にかつ少ない作業負担
で効率良く調整可能な方法及びその方法を実施可能なラ
ビング装置を得ることを課題としている。
とテーブル表面との平行度を正確にかつ少ない作業負担
で効率良く調整可能な方法及びその方法を実施可能なラ
ビング装置を得ることを課題としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明は、旋回テーブ
ルの縁部にラビングローラ１６側を向いた変位センサ３
２を装着し、このセンサで検出される旋回テーブルの端
部とラビングローラ１６との間隔に基づいてラビングロ
ーラ１６の傾斜を自動又は手動で調整することにより上
記課題を解決している。
ルの縁部にラビングローラ１６側を向いた変位センサ３
２を装着し、このセンサで検出される旋回テーブルの端
部とラビングローラ１６との間隔に基づいてラビングロ
ーラ１６の傾斜を自動又は手動で調整することにより上
記課題を解決している。
【０００８】ラビング装置は、ラビングローラ１６の長
手中心を略中心にして旋回する旋回テーブル８を備えて
いる。従って、その縁部の一箇所に変位センサ３２を設
けて、この部分に対向するラビングローラの周面の高さ
（センサとローラ周面との距離）を計測することによ
り、ラビングローラ１６の端部の高さを計測することが
できる。この計測を旋回テーブルを１８０度回転させた
位置でそれぞれ行ってやれば、ラビングローラ１６の両
端部における旋回テーブル８とローラ１６との間隔を計
測できる。ラビングローラ１６がテーブル８の表面に対
して傾斜していれば、ローラ両端の計測値に差が生ずる
から、この差が０となる方向にラビングローラ１６を傾
動させることにより、容易かつ正確にローラ１６の平行
度を調整できる。
手中心を略中心にして旋回する旋回テーブル８を備えて
いる。従って、その縁部の一箇所に変位センサ３２を設
けて、この部分に対向するラビングローラの周面の高さ
（センサとローラ周面との距離）を計測することによ
り、ラビングローラ１６の端部の高さを計測することが
できる。この計測を旋回テーブルを１８０度回転させた
位置でそれぞれ行ってやれば、ラビングローラ１６の両
端部における旋回テーブル８とローラ１６との間隔を計
測できる。ラビングローラ１６がテーブル８の表面に対
して傾斜していれば、ローラ両端の計測値に差が生ずる
から、この差が０となる方向にラビングローラ１６を傾
動させることにより、容易かつ正確にローラ１６の平行
度を調整できる。
【０００９】この場合における旋回テーブル８とラビン
グローラ１６の周面との間隔は、旋回テーブル８を旋回
させながら変位センサ３２の検出値をサンプリングし、
その極小値を計測値として使用する。そして旋回テーブ
ルを略１８０度回転して同様な方法で他側の端部の計測
値を得、得られた両計測値の差からラビングローラ１６
の平行度を測定するようにすれば、旋回テーブルの旋回
位置がラビングローラの方向と一致していなかったり、
旋回テーブルの旋回中心がラビングローラの軸心と一致
していない状態であっても、平行度を正確に測定するこ
とができる。
グローラ１６の周面との間隔は、旋回テーブル８を旋回
させながら変位センサ３２の検出値をサンプリングし、
その極小値を計測値として使用する。そして旋回テーブ
ルを略１８０度回転して同様な方法で他側の端部の計測
値を得、得られた両計測値の差からラビングローラ１６
の平行度を測定するようにすれば、旋回テーブルの旋回
位置がラビングローラの方向と一致していなかったり、
旋回テーブルの旋回中心がラビングローラの軸心と一致
していない状態であっても、平行度を正確に測定するこ
とができる。
【００１０】請求項１に係るラビングローラの平行度調
整方法は、ガラス基板を載置する旋回テーブル８の縁部
に変位センサ３２を設け、この変位センサでラビングロ
ーラ１６の長手両側部分の高さを計測し、その計測値に
基づいてラビングローラ１６を旋回テーブル８のテーブ
ル面と平行になる方向に傾動させるというものである。
整方法は、ガラス基板を載置する旋回テーブル８の縁部
に変位センサ３２を設け、この変位センサでラビングロ
ーラ１６の長手両側部分の高さを計測し、その計測値に
基づいてラビングローラ１６を旋回テーブル８のテーブ
ル面と平行になる方向に傾動させるというものである。
【００１１】また請求項２に係るラビングローラの平行
度調整方法は、ガラス基板を載置する旋回テーブル８の
縁部一箇所にに変位センサ３２を設け、この変位センサ
をラビングローラ１６の一方の端部に対向させて旋回テ
ーブル８を旋回させながらローラ高さの極小値を計測
し、次に旋回テーブル８を略１８０度回転して同様な操
作により第２の極小値を計測し、この２つの極小値の差
に基づいてラビングローラ１６を旋回テーブル８のテー
ブル面と平行になる方向に傾動させるというものであ
る。
度調整方法は、ガラス基板を載置する旋回テーブル８の
縁部一箇所にに変位センサ３２を設け、この変位センサ
をラビングローラ１６の一方の端部に対向させて旋回テ
ーブル８を旋回させながらローラ高さの極小値を計測
し、次に旋回テーブル８を略１８０度回転して同様な操
作により第２の極小値を計測し、この２つの極小値の差
に基づいてラビングローラ１６を旋回テーブル８のテー
ブル面と平行になる方向に傾動させるというものであ
る。
【００１２】計測値に基づくラビングローラの傾動は、
ラビングローラ１６の傾動装置２３に駆動モータ２２を
設け、変位センサ３２の計測値に基づいてラビングロー
ラ１６が旋回テーブル８のテーブル面と平行になる方向
にモータ２２を駆動する制御装置を設けることによっ
て、自動的に行うことができる。手動による場合には、
変位センサ３２の計測値から演算された操作値をディス
プレイに表示する制御装置を設け、その表示値に基づい
てオペレータがラビングローラの傾動装置２３を手動ハ
ンドルで操作する。
ラビングローラ１６の傾動装置２３に駆動モータ２２を
設け、変位センサ３２の計測値に基づいてラビングロー
ラ１６が旋回テーブル８のテーブル面と平行になる方向
にモータ２２を駆動する制御装置を設けることによっ
て、自動的に行うことができる。手動による場合には、
変位センサ３２の計測値から演算された操作値をディス
プレイに表示する制御装置を設け、その表示値に基づい
てオペレータがラビングローラの傾動装置２３を手動ハ
ンドルで操作する。
【００１３】請求項３に係るラビング装置は、ラビング
ローラ１６の両端を支持する一対の支持体１５ａ、１５
ｂを備えたローラ支持フレーム１４と、このローラ支持
フレームに対向する旋回テーブル８と、この旋回テーブ
ルを前記ローラに向けて相対的に近接離隔する昇降台６
と、前記ローラ支持フレーム１４をローラ１６の長手方
向と直交する方向の枢支ピン１３回りに傾動させる傾動
装置２３とを備えたラビング装置において、旋回テーブ
ル８の縁部に装着されて前記ローラ１６の周面までの距
離を無接触で計測する変位センサ３２を備えている。
ローラ１６の両端を支持する一対の支持体１５ａ、１５
ｂを備えたローラ支持フレーム１４と、このローラ支持
フレームに対向する旋回テーブル８と、この旋回テーブ
ルを前記ローラに向けて相対的に近接離隔する昇降台６
と、前記ローラ支持フレーム１４をローラ１６の長手方
向と直交する方向の枢支ピン１３回りに傾動させる傾動
装置２３とを備えたラビング装置において、旋回テーブ
ル８の縁部に装着されて前記ローラ１６の周面までの距
離を無接触で計測する変位センサ３２を備えている。
【００１４】平行度を自動調整する上記装置は、更に、
傾動装置２３を駆動するモータ２２と、変位センサ３２
の計測値に基づいてラビングローラ１６が旋回テーブル
８のテーブル面と平行になる方向にモータ２２を駆動す
る制御装置とを備えている。また平行度を手動調整する
上記装置は、変位センサ３２の計測値に基づく傾動装置
２３の操作量を演算する制御装置と、その演算値を表示
する表示装置とを備えている。
傾動装置２３を駆動するモータ２２と、変位センサ３２
の計測値に基づいてラビングローラ１６が旋回テーブル
８のテーブル面と平行になる方向にモータ２２を駆動す
る制御装置とを備えている。また平行度を手動調整する
上記装置は、変位センサ３２の計測値に基づく傾動装置
２３の操作量を演算する制御装置と、その演算値を表示
する表示装置とを備えている。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照してこの発明の
実施の形態を説明する。図示のラビング装置は、ベース
１とこのベース上に立設された門型の支持枠２とを備え
ている。ベース１はその長手方向に延びる移動レール３
を備えている。移動レール３には往復台４が移動自在に
搭載されており、この往復台は移動レール３と平行に配
置された図示しない送りねじに螺合して往復駆動され
る。往復台４の上面は、支持枠２側が高い傾斜面となっ
ており、この傾斜面に２本の昇降レール５が固定されて
いる。昇降レール５には反支持枠側が低い方向に傾斜し
た下面を有する昇降台６が移動自在に搭載されており、
この昇降台は昇降レール５と平行に装架された図示しな
いネジ杆に螺合している。
実施の形態を説明する。図示のラビング装置は、ベース
１とこのベース上に立設された門型の支持枠２とを備え
ている。ベース１はその長手方向に延びる移動レール３
を備えている。移動レール３には往復台４が移動自在に
搭載されており、この往復台は移動レール３と平行に配
置された図示しない送りねじに螺合して往復駆動され
る。往復台４の上面は、支持枠２側が高い傾斜面となっ
ており、この傾斜面に２本の昇降レール５が固定されて
いる。昇降レール５には反支持枠側が低い方向に傾斜し
た下面を有する昇降台６が移動自在に搭載されており、
この昇降台は昇降レール５と平行に装架された図示しな
いネジ杆に螺合している。
【００１６】昇降台６の上面中央には、鉛直方向の旋回
軸７回りに旋回する旋回テーブル８が搭載されている。
旋回テーブル８の上面には真空ポンプに繋がる多数の透
孔が開口しており、この透孔に負圧を作用させることに
より、ラビング加工するガラス基板をテーブル８に吸着
固定する。
軸７回りに旋回する旋回テーブル８が搭載されている。
旋回テーブル８の上面には真空ポンプに繋がる多数の透
孔が開口しており、この透孔に負圧を作用させることに
より、ラビング加工するガラス基板をテーブル８に吸着
固定する。
【００１７】支持枠２の天井下部には鉛直方向の旋回軸
受１１で支持ブラケット１２が旋回可能に装着されてお
り、この支持ブラケットに設けた水平方向の枢支ピン１
３でローラ支持フレーム１４が傾動可能に保持されてい
る。ローラ支持フレーム１４は下向きコ字形をしてお
り、その両端には内側を向いて対向する支持軸１５ａ、
１５ｂが設けられている。ラビングローラ１６は、その
両端の軸芯を対向する支持軸１５ａ、１５ｂで挟持され
た状態で、図示しない駆動装置で回転駆動される。ラビ
ングローラ１６の周面にはラビング布が巻装されてい
る。
受１１で支持ブラケット１２が旋回可能に装着されてお
り、この支持ブラケットに設けた水平方向の枢支ピン１
３でローラ支持フレーム１４が傾動可能に保持されてい
る。ローラ支持フレーム１４は下向きコ字形をしてお
り、その両端には内側を向いて対向する支持軸１５ａ、
１５ｂが設けられている。ラビングローラ１６は、その
両端の軸芯を対向する支持軸１５ａ、１５ｂで挟持され
た状態で、図示しない駆動装置で回転駆動される。ラビ
ングローラ１６の周面にはラビング布が巻装されてい
る。
【００１８】支持フレームには、枢支ピン１３と平行な
ピン２１回りに揺動可能に、モータ２２が下向きに搭載
されている。このモータにはエンコーダが内蔵されてお
り、当該モータの出力軸にはボールねじ２３が連結され
ている。このボールねじは、ローラ支持フレーム１４に
装着したボールナット２４に螺合している。このボール
ナットは、図２の紙面直角方向の軸回りに回動可能なク
ロスヘッドを介してローラ支持フレーム１４に装着され
ている。モータ２２が回動すると、ボールナット２４が
昇降して、ローラ支持フレーム１４を枢支ピン１３回り
に傾動させる。傾動に伴うローラ支持フレーム１４の角
度変化は、モータ２２の支持部に設けたピン２１とボー
ルナット２４を支持するクロスヘッドの揺動によって吸
収される。
ピン２１回りに揺動可能に、モータ２２が下向きに搭載
されている。このモータにはエンコーダが内蔵されてお
り、当該モータの出力軸にはボールねじ２３が連結され
ている。このボールねじは、ローラ支持フレーム１４に
装着したボールナット２４に螺合している。このボール
ナットは、図２の紙面直角方向の軸回りに回動可能なク
ロスヘッドを介してローラ支持フレーム１４に装着され
ている。モータ２２が回動すると、ボールナット２４が
昇降して、ローラ支持フレーム１４を枢支ピン１３回り
に傾動させる。傾動に伴うローラ支持フレーム１４の角
度変化は、モータ２２の支持部に設けたピン２１とボー
ルナット２４を支持するクロスヘッドの揺動によって吸
収される。
【００１９】旋回テーブル８の端部一箇所に上向きコの
字形のブラケット３１を介して変位センサ３２がラビン
グローラ１６の端部周面と対向するように上向きに装着
されている。この実施例で使用した変位センサ３２は、
被測定物に向けてレーザビームを投射する構造のセンサ
である。このセンサ３２の検出信号は制御装置に送ら
れ、制御装置は、その信号に基づいてローラ支持フレー
ムを傾動させるモータ２２の回転角を制御する。
字形のブラケット３１を介して変位センサ３２がラビン
グローラ１６の端部周面と対向するように上向きに装着
されている。この実施例で使用した変位センサ３２は、
被測定物に向けてレーザビームを投射する構造のセンサ
である。このセンサ３２の検出信号は制御装置に送ら
れ、制御装置は、その信号に基づいてローラ支持フレー
ムを傾動させるモータ２２の回転角を制御する。
【００２０】次に上記装置おけるラビングローラ１６の
平行度調整動作を説明する。ラビングローラ１６は、支
持軸１５ａ、１５ｂを進退させることにより交換する。
ローラ支持フレーム１４に新しいラビングローラ１６が
装填されたら、往復台４と昇降台６をそれぞれ移動レー
ル３及び昇降レール５に沿って移動して、旋回テーブル
８の旋回中心がラビングローラ１６の下方に位置し、か
つテーブル面がラビングローラ１６に近接する位置に移
動させる。この状態で変位センサ３２がラビングローラ
１６の一方の端部に概ね対向するので、この状態で旋回
テーブル８をゆっくり旋回させながら変位センサ３２の
検出値をサンプリングし、その極小値を第１計測値とし
て記憶する。次にテーブル８を略１８０度旋回し、同様
に旋回テーブル８をゆっくりと旋回しながら変位センサ
３２の検出値をサンプリングし、その極小値を第２計測
値として記憶する。旋回テーブル８のテーブル面に対す
るラビングローラ１６の傾斜は、第１計測値と第２計測
値との差で検出できるから、この差が０となる方向と量
の回転信号をモータ２２に与えることにより、ローラ支
持フレーム１４を枢支ピン１３回りに傾動して平行度を
調整する。指令したモータ２２の回転は、内蔵されたエ
ンコーダによって検出されて、制御装置にフィードバッ
クされる。以上のようにして旋回テーブル８とラビング
ローラ１６の平行度が設定されたら、テーブル８上にガ
ラス基板を置き、ラビング作業を開始する。
平行度調整動作を説明する。ラビングローラ１６は、支
持軸１５ａ、１５ｂを進退させることにより交換する。
ローラ支持フレーム１４に新しいラビングローラ１６が
装填されたら、往復台４と昇降台６をそれぞれ移動レー
ル３及び昇降レール５に沿って移動して、旋回テーブル
８の旋回中心がラビングローラ１６の下方に位置し、か
つテーブル面がラビングローラ１６に近接する位置に移
動させる。この状態で変位センサ３２がラビングローラ
１６の一方の端部に概ね対向するので、この状態で旋回
テーブル８をゆっくり旋回させながら変位センサ３２の
検出値をサンプリングし、その極小値を第１計測値とし
て記憶する。次にテーブル８を略１８０度旋回し、同様
に旋回テーブル８をゆっくりと旋回しながら変位センサ
３２の検出値をサンプリングし、その極小値を第２計測
値として記憶する。旋回テーブル８のテーブル面に対す
るラビングローラ１６の傾斜は、第１計測値と第２計測
値との差で検出できるから、この差が０となる方向と量
の回転信号をモータ２２に与えることにより、ローラ支
持フレーム１４を枢支ピン１３回りに傾動して平行度を
調整する。指令したモータ２２の回転は、内蔵されたエ
ンコーダによって検出されて、制御装置にフィードバッ
クされる。以上のようにして旋回テーブル８とラビング
ローラ１６の平行度が設定されたら、テーブル８上にガ
ラス基板を置き、ラビング作業を開始する。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したこの発明によれば、頻繁に
行われるラビングローラの交換時に、旋回テーブルとラ
ビングローラとの平行度の調整を人手で行う必要がなく
なり、ばらつきのない正確な調整が可能になると共に、
作業時間も短縮できる。また、旋回テーブルの一側縁に
装着した１個の変位センサでラビングローラの両端の高
さを変位センサの極小値で検出して平行度を設定するこ
とにより、旋回テーブルとラビングローラの位置関係を
厳密に設定しなくても正確な平行度の調整が可能にな
り、変位センサも１個のみでよいため、装置を安価に提
供できるという効果がある。
行われるラビングローラの交換時に、旋回テーブルとラ
ビングローラとの平行度の調整を人手で行う必要がなく
なり、ばらつきのない正確な調整が可能になると共に、
作業時間も短縮できる。また、旋回テーブルの一側縁に
装着した１個の変位センサでラビングローラの両端の高
さを変位センサの極小値で検出して平行度を設定するこ
とにより、旋回テーブルとラビングローラの位置関係を
厳密に設定しなくても正確な平行度の調整が可能にな
り、変位センサも１個のみでよいため、装置を安価に提
供できるという効果がある。
【図１】実施例のラビング装置の全体構造を示す斜視図
【図２】旋回テーブルに装着した変位センサとローラの
傾動機構を示す正面図
傾動機構を示す正面図
【図３】計測値の変位センサとラビングローラとの関係
を示す断面側面図
を示す断面側面図
【図４】従来方法を示す模式的な正面図
６ 昇降台
８ 旋回テーブル
13 枢支ピン
14 ローラ支持フレーム
15(a,b) 支持軸
16 ラビングローラ
22 モータ
23 ボールねじ
32 変位センサ
Claims (3)
- 【請求項１】 ガラス基板を載置する旋回テーブル(8)
の縁部に変位センサ(32)を設け、この変位センサでラビ
ングローラ１６の長手両側部分の高さを計測し、その計
測値に基づいてラビングローラを旋回テーブルのテーブ
ル面と平行になる方向に傾動させることを特徴とする、
ラビングローラの平行度調整方法。 - 【請求項２】 ガラス基板を載置する旋回テーブル(8)
の縁部一箇所に変位センサ(32)を設け、この変位センサ
をラビングローラ(16)の一方の端部に対向させて旋回テ
ーブル(8)を旋回させながらローラ高さの極小値を計測
し、次に旋回テーブル(8)を略１８０度回転して同様な
操作により第２の極小値を計測し、この２つの極小値の
差に基づいてラビングローラを旋回テーブルのテーブル
面と平行になる方向に傾動させることを特徴とする、ラ
ビングローラの平行度調整方法。 - 【請求項３】 ラビングローラ(16)の両端を支持する一
対の支持体(15a,15b)を備えたローラ支持フレーム(14)
と、このローラ支持フレームに対向する旋回テーブル
(8)と、この旋回テーブルを前記ローラに向けて相対的
に近接離隔する昇降台(6)と、前記ローラ支持フレーム
(14)をローラ(16)の長手方向と直交する方向の枢支ピン
(13)回りに傾動させる傾動装置(23)と、旋回テーブル
(8)の縁部に装着されて前記ローラの周面までの距離を
無接触で計測する変位センサ(32)とを備えている、ラビ
ング装置。
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|---|---|---|---|
| JP2002016506A JP3947673B2 (ja) | 2002-01-25 | 2002-01-25 | ラビングローラの平行度調整方法及びラビング装置 |
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| JP2002016506A JP3947673B2 (ja) | 2002-01-25 | 2002-01-25 | ラビングローラの平行度調整方法及びラビング装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
2002
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