JPH04199712A - 洗浄装置 - Google Patents
洗浄装置Info
- Publication number
- JPH04199712A JPH04199712A JP2332197A JP33219790A JPH04199712A JP H04199712 A JPH04199712 A JP H04199712A JP 2332197 A JP2332197 A JP 2332197A JP 33219790 A JP33219790 A JP 33219790A JP H04199712 A JPH04199712 A JP H04199712A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- brush
- pressure
- cylinder
- air
- pushing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 abstract description 9
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 abstract description 4
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005201 scrubbing Methods 0.000 description 1
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
- B08B1/30—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface
- B08B1/32—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface using rotary cleaning members
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は洗浄装置におけるブラシスクラブ機構に関する
ものである。
ものである。
従来の装置は、特開昭57−102024号公報の様に
、ブラシ押圧を、重りとのバランスによって調整してい
た。又、特開昭58−182234号公報の様に、重り
や押込み量で調整していた。
、ブラシ押圧を、重りとのバランスによって調整してい
た。又、特開昭58−182234号公報の様に、重り
や押込み量で調整していた。
従来技術は、重りにより調節を行う為、精密な調節が困
難であり、又、その負荷量を外部出力する事が困難であ
り、洗浄装置の洗浄条件のモニター法としては不適であ
った。又、ブラシ押込み量で調節する場合、押込量は外
部出力出来るものの、その押込によって生ずる押圧は、
ブラシの硬度、摩耗の状態によって変化する為、モニタ
ー法としては不適であった。本発明の目的は、外部出力
可能なブラシ押圧管理機構を提供する事である。
難であり、又、その負荷量を外部出力する事が困難であ
り、洗浄装置の洗浄条件のモニター法としては不適であ
った。又、ブラシ押込み量で調節する場合、押込量は外
部出力出来るものの、その押込によって生ずる押圧は、
ブラシの硬度、摩耗の状態によって変化する為、モニタ
ー法としては不適であった。本発明の目的は、外部出力
可能なブラシ押圧管理機構を提供する事である。
上記目的を達成する為に、ブラシ機構に、ブラシ押入用
のエアシリンダを設け、そのシリンダへ供給するエア圧
の調整により、ブラシ押圧を調整し、さらに、そのエア
圧を外部出力する事により、ブラシ押圧をモニターする
様にしたものである。
のエアシリンダを設け、そのシリンダへ供給するエア圧
の調整により、ブラシ押圧を調整し、さらに、そのエア
圧を外部出力する事により、ブラシ押圧をモニターする
様にしたものである。
ブラシに設けられたエアシリンダにエアを供給した場合
、そのエア圧とシリンダ径によって定まる力でブラシを
被洗浄物に押しつける。被洗浄物とシリンダの距離は固
定されている為、押す力によりブラシはバランスの取れ
る状態まで変形する。
、そのエア圧とシリンダ径によって定まる力でブラシを
被洗浄物に押しつける。被洗浄物とシリンダの距離は固
定されている為、押す力によりブラシはバランスの取れ
る状態まで変形する。
この変形により、押圧を与える。その為、ブラシの硬度
、へたり、摩耗等の為、ブラシの弾性が変化した場合で
も、供給エア圧とシリンダ径により与えられる力と常に
バランスが取れる状態まで、ブラシは変形する為、安定
したブラシ押圧を与える事が出来る。又、エア圧は各種
センサにより、容易に外部出力出来る為、モニターが可
能である。
、へたり、摩耗等の為、ブラシの弾性が変化した場合で
も、供給エア圧とシリンダ径により与えられる力と常に
バランスが取れる状態まで、ブラシは変形する為、安定
したブラシ押圧を与える事が出来る。又、エア圧は各種
センサにより、容易に外部出力出来る為、モニターが可
能である。
以下、本発明の一実施例を第1図より第7図により説明
する。第1図は本発明の一実施例、第2図は従来例であ
る。被洗浄物1は本図に示されていない機構により、ブ
ラシ2の処理エリアに運ばれる。又、処理後は、本図に
示されていない他の処理エリアに運ばれる。その為、ブ
ラシ2の処理を行う前に、被洗浄物1表面にブラシ2を
接触させる機構が必要である。第1図、第2図ではシリ
ンダ10がその作用を行う。すなわち、シリンダ10に
エアを供給する事により、ピストン9が押されシャーシ
8,7を押す。シャーシ8,7はレール6.5の上を移
動し、シャーシ8.7に接続したシャフト3を介し、ブ
ラシ2を被洗浄物1に押し付ける。又、ブラシ処理後は
、シリンダ10にピストン9を引き込む様、エアを供給
する事で、ブラシ2を被洗浄物1より離す。ブラシ2は
シャフト3.プーリ13.ベル1〜14.プーリ】5を
介しモータ】2と結ばれ、回転される。第4図は従来例
(第2図)におけるブラシ2の位置関係を、第3図は本
発明(第1図)におけるブラシ2の位置を示している。
する。第1図は本発明の一実施例、第2図は従来例であ
る。被洗浄物1は本図に示されていない機構により、ブ
ラシ2の処理エリアに運ばれる。又、処理後は、本図に
示されていない他の処理エリアに運ばれる。その為、ブ
ラシ2の処理を行う前に、被洗浄物1表面にブラシ2を
接触させる機構が必要である。第1図、第2図ではシリ
ンダ10がその作用を行う。すなわち、シリンダ10に
エアを供給する事により、ピストン9が押されシャーシ
8,7を押す。シャーシ8,7はレール6.5の上を移
動し、シャーシ8.7に接続したシャフト3を介し、ブ
ラシ2を被洗浄物1に押し付ける。又、ブラシ処理後は
、シリンダ10にピストン9を引き込む様、エアを供給
する事で、ブラシ2を被洗浄物1より離す。ブラシ2は
シャフト3.プーリ13.ベル1〜14.プーリ】5を
介しモータ】2と結ばれ、回転される。第4図は従来例
(第2図)におけるブラシ2の位置関係を、第3図は本
発明(第1図)におけるブラシ2の位置を示している。
ブラシ2が被洗浄物]から離れた位置が20である。第
2図でシリンダ10にエアを供給する事でブラシ2は2
aの位置まで進み被洗浄物1を押す。この時のエア圧は
、レール5上の全ての部品を迅速に動かすのに必要な圧
の為、ブラシ圧調整用の圧力としては不適である。又、
ストッパをシリンダに設け、押込み量を調整した場合も
、ブラシ弾性にバラツキがある為、抑圧調整とはならな
い。第1図でシリンダ10にエアを供給した場合、スト
ッパの定位置によりブラシ2は2bの位置まで進む。次
にシリンダ11に、ブウシ圧調整用エアを送る事でブラ
シ2は2cまで進む。この時、ブラシ2は、その弾性と
、エア圧とのバランスが取れる状態まで変形し、一定の
押圧を与える。
2図でシリンダ10にエアを供給する事でブラシ2は2
aの位置まで進み被洗浄物1を押す。この時のエア圧は
、レール5上の全ての部品を迅速に動かすのに必要な圧
の為、ブラシ圧調整用の圧力としては不適である。又、
ストッパをシリンダに設け、押込み量を調整した場合も
、ブラシ弾性にバラツキがある為、抑圧調整とはならな
い。第1図でシリンダ10にエアを供給した場合、スト
ッパの定位置によりブラシ2は2bの位置まで進む。次
にシリンダ11に、ブウシ圧調整用エアを送る事でブラ
シ2は2cまで進む。この時、ブラシ2は、その弾性と
、エア圧とのバランスが取れる状態まで変形し、一定の
押圧を与える。
被洗浄物1が連続的に流される状態でのブラシ抑圧を調
整する本発明の機構を第5図から第7図に示す。ここで
、被洗浄物1Gは、図に示されていない搬送機構により
、ブラシ17a、17bの間を通過する。ブラシ17a
、17bはガイド18a、18b、18c、18dによ
りささえられシャツ1〜19a、19bにより回転力を
与えられる。ガイド18a、18b、18c、18dは
、シャーシ21a、21bとシリンダ20a。
整する本発明の機構を第5図から第7図に示す。ここで
、被洗浄物1Gは、図に示されていない搬送機構により
、ブラシ17a、17bの間を通過する。ブラシ17a
、17bはガイド18a、18b、18c、18dによ
りささえられシャツ1〜19a、19bにより回転力を
与えられる。ガイド18a、18b、18c、18dは
、シャーシ21a、21bとシリンダ20a。
20b、20c、20dを介し、接続されている。
それ故、シリンダ20a、20b、20c。
20dにエアを与、える事で、ブラシ17a。
17bの押圧を調整、モニタする事が出来る。又第7図
の例では、支点25a、25bを中心に、アーム23a
、23bで、ブラシ17a、17bが川り、24a、2
4.bとバランスを取り、ブラシ押圧ゼロの状態が作れ
る。この状態でシリンダ22a、、22bにエアを供給
する事で、ブラシ押圧を与える事が出来、エア圧にて調
整・モニターが可能となる。
の例では、支点25a、25bを中心に、アーム23a
、23bで、ブラシ17a、17bが川り、24a、2
4.bとバランスを取り、ブラシ押圧ゼロの状態が作れ
る。この状態でシリンダ22a、、22bにエアを供給
する事で、ブラシ押圧を与える事が出来、エア圧にて調
整・モニターが可能となる。
本発明によれば、ブラシ抑圧を、ブラシ利質の状態によ
らず、一定に制御し、又、その状態をモニターする事が
可能である。ブラシ押圧は、ブラシスクラブ洗浄の条件
で最も重要なパラメータであり、これを管理する事で、
安定した洗浄性能を得る事が出来る。
らず、一定に制御し、又、その状態をモニターする事が
可能である。ブラシ押圧は、ブラシスクラブ洗浄の条件
で最も重要なパラメータであり、これを管理する事で、
安定した洗浄性能を得る事が出来る。
第1図は本発明の一実施例の全体構成を示す正面図、第
2図は従来例の正面図、第3図は本発明の洗浄装置の動
作を示す図、第4図は従来例の機構の動作を示す図、第
5図は本発明の一実施例を示す洗浄装置の正面図、第6
図は第5図の側面図である。第7図は本発明の一実施例
を示す洗浄装置の側面図である。 1.16・・被洗浄物、2・ブラシ、lO・・・前進シ
リンダ、11,20a、20b、20c、20d。 22a、22b・・加圧シリンダ、12・・モータ。
2図は従来例の正面図、第3図は本発明の洗浄装置の動
作を示す図、第4図は従来例の機構の動作を示す図、第
5図は本発明の一実施例を示す洗浄装置の正面図、第6
図は第5図の側面図である。第7図は本発明の一実施例
を示す洗浄装置の側面図である。 1.16・・被洗浄物、2・ブラシ、lO・・・前進シ
リンダ、11,20a、20b、20c、20d。 22a、22b・・加圧シリンダ、12・・モータ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、ブラシスクラブ洗浄においてブラシ押圧を管理する
機能を持つ洗浄装置。 2、管理方法がエアシリンダのエア圧である事を特徴と
する請求項1記載の洗浄装置。 3、ブラシを被洗浄物表面から離す機能を持つ請求項1
または2記載の洗浄装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2332197A JPH04199712A (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2332197A JPH04199712A (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 洗浄装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04199712A true JPH04199712A (ja) | 1992-07-20 |
Family
ID=18252259
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2332197A Pending JPH04199712A (ja) | 1990-11-29 | 1990-11-29 | 洗浄装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04199712A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003088811A (ja) * | 2001-09-20 | 2003-03-25 | Toshiba Corp | ローラ清掃装置 |
JP2007295006A (ja) * | 2007-07-30 | 2007-11-08 | Oki Electric Ind Co Ltd | 基板洗浄方法 |
-
1990
- 1990-11-29 JP JP2332197A patent/JPH04199712A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003088811A (ja) * | 2001-09-20 | 2003-03-25 | Toshiba Corp | ローラ清掃装置 |
JP2007295006A (ja) * | 2007-07-30 | 2007-11-08 | Oki Electric Ind Co Ltd | 基板洗浄方法 |
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