JP2007294907A5 - - Google Patents
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007072391A JP4985007B2 (ja) | 2006-03-22 | 2007-03-20 | 塗布器の洗浄装置、塗布方法及び塗布装置、ならびに液晶ディスプレイ用部材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006078596 | 2006-03-22 | ||
| JP2006078596 | 2006-03-22 | ||
| JP2007072391A JP4985007B2 (ja) | 2006-03-22 | 2007-03-20 | 塗布器の洗浄装置、塗布方法及び塗布装置、ならびに液晶ディスプレイ用部材の製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2007294907A JP2007294907A (ja) | 2007-11-08 |
| JP2007294907A5 true JP2007294907A5 (enrdf_load_html_response) | 2010-05-06 |
| JP4985007B2 JP4985007B2 (ja) | 2012-07-25 |
Family
ID=38765160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007072391A Expired - Fee Related JP4985007B2 (ja) | 2006-03-22 | 2007-03-20 | 塗布器の洗浄装置、塗布方法及び塗布装置、ならびに液晶ディスプレイ用部材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4985007B2 (enrdf_load_html_response) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5143779B2 (ja) * | 2009-03-31 | 2013-02-13 | 富士フイルム株式会社 | ヘッド洗浄装置及び画像記録装置並びにヘッド洗浄方法 |
| JP5138058B2 (ja) * | 2011-03-07 | 2013-02-06 | 東レ株式会社 | 清掃部材と塗布器の清掃方法及び清掃装置並びにディスプレイ用部材の製造方法 |
| TWI544291B (zh) | 2012-05-22 | 2016-08-01 | 斯克林半導體科技有限公司 | 顯像處理裝置 |
| JP5841492B2 (ja) * | 2012-05-22 | 2016-01-13 | 株式会社Screenセミコンダクターソリューションズ | 現像処理装置 |
| JP6426491B2 (ja) * | 2015-02-13 | 2018-11-21 | 中外炉工業株式会社 | 塗布装置及び塗布方法 |
| CN105182689A (zh) * | 2015-10-30 | 2015-12-23 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种涂胶装置及其出胶喷嘴的清洗方法 |
| CN106378331A (zh) * | 2016-11-28 | 2017-02-08 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种混合型口金非接触清洗装置及清洗方法 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0780385A (ja) * | 1993-09-10 | 1995-03-28 | Hirata Corp | 塗布ヘッド洗浄装置及び塗布ヘッドの洗浄方法 |
| JP3757992B2 (ja) * | 1996-01-18 | 2006-03-22 | 東レ株式会社 | 塗布装置および塗布方法並びにカラーフィルタの製造方法および製造装置 |
| JP3679904B2 (ja) * | 1997-08-29 | 2005-08-03 | 大日本スクリーン製造株式会社 | ノズル洗浄装置および該ノズル洗浄装置を備えた塗布装置 |
| JP4145110B2 (ja) * | 2002-09-26 | 2008-09-03 | 東京応化工業株式会社 | スリットノズル洗浄装置及び洗浄方法 |
| JP4363046B2 (ja) * | 2003-01-24 | 2009-11-11 | 東レ株式会社 | 塗布装置および塗布方法並びにディスプレイ用部材の製造方法 |
| JP4218376B2 (ja) * | 2003-03-12 | 2009-02-04 | 東レ株式会社 | 塗布方法およびディスプレイ用部材の製造方法 |
| KR100926308B1 (ko) * | 2003-04-23 | 2009-11-12 | 삼성전자주식회사 | 세정 유닛, 이를 갖는 코팅 장치 및 방법 |
| JP4451175B2 (ja) * | 2004-03-19 | 2010-04-14 | 大日本スクリーン製造株式会社 | ノズル洗浄装置および基板処理装置 |
| JP4487628B2 (ja) * | 2004-05-14 | 2010-06-23 | 凸版印刷株式会社 | 洗浄装置付塗布装置 |
| JP4792787B2 (ja) * | 2005-03-31 | 2011-10-12 | 凸版印刷株式会社 | 洗浄装置付塗布装置 |
| JP4884038B2 (ja) * | 2006-03-10 | 2012-02-22 | 東京応化工業株式会社 | スリットノズル洗浄装置 |
-
2007
- 2007-03-20 JP JP2007072391A patent/JP4985007B2/ja not_active Expired - Fee Related
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