JP2007294502A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】リードフレームのリードを切断する工程における半導体装置の品質劣化を防ぐことのできる技術を提供する。
【解決手段】半導体装置9が動かないようにリード切断ダイ14に備わるガイド14aにより半導体装置9の位置を決め、リードフレーム1が動かないようにパンチガイド11により押さえてリードフレーム1の位置を決め、その上でリード4a,4bが動かないようにノックアウト12によりリード4a,4bの根元を押さえてリード4a,4bの位置を決めた状態で、切断装置10に備わるリード切断パンチ13をリードフレーム1に打ち下ろすことによりリード4a,4bを切断して、リードフレーム1の本体から半導体装置9を切り離す。
【選択図】図4
【解決手段】半導体装置9が動かないようにリード切断ダイ14に備わるガイド14aにより半導体装置9の位置を決め、リードフレーム1が動かないようにパンチガイド11により押さえてリードフレーム1の位置を決め、その上でリード4a,4bが動かないようにノックアウト12によりリード4a,4bの根元を押さえてリード4a,4bの位置を決めた状態で、切断装置10に備わるリード切断パンチ13をリードフレーム1に打ち下ろすことによりリード4a,4bを切断して、リードフレーム1の本体から半導体装置9を切り離す。
【選択図】図4
Description
本発明は、半導体装置の製造技術に関し、特に、半導体チップをリードフレームのダイパッド部上に搭載して樹脂封止した後、リードを切断して1個1個の半導体装置に個片化するまでの半導体装置の製造に適用して有効な技術に関するものである。
例えば一部に封止体を有するリードフレームの封止体から突出するリードを金型に設けられた複数の加工ステーションのうち切断ステーションのダイとパンチの切断動作によって切断するリード切断方法およびその方法に用いられる金型が特開2000−40781号公報(特許文献1参照)に開示されている。
特開2000−40781号公報
リードフレームのリードの切断には、一般にリード切断金型が用いられている。ところで、リードフレームから切断された半導体装置に備わるリードの長さが極端に短いと、半導体装置を実装基板等に実装する際に半田濡れ性が劣化して実装不良が引き起こされるという問題が生じる。そこで、例えばリード切断金型により半導体装置をガイドして(具体的には、半導体装置自体を挟み込む)リード切断する、あるいはリードフレームの送り穴をパイロットピンにより固定することで半導体装置の位置を決めてリードを切断する等の対策をとることで、リードフレームの本体から切り離された1個1個の半導体装置のリードの長さのばらつきの低減が図られている。
しかしながら、半導体装置をガイドしてリード切断する場合は、ガイド部のガイドされる半導体装置と切断部の実際にリード切断される半導体装置とが離れていると、両者間に位置ずれが生じてリード長さのばらつきを小さくすることができず、ガイド部と切断部との距離が長くなるに従いリード長さのばらつきは大きくなる。また、半導体装置のリードフレームに対する位置精度はモールド金型の精度にも左右されるため、リードフレームの送り穴を基準にリード切断する場合は、リード切断金型の精度にモールド金型の精度が加わり、リード長さのばらつきを低減することは難しい。
さらに、本発明者が検討したリード切断金型では、リードフレームの半導体装置が搭載された側をクランプせずにリードを切断するため、半導体製品とリードの根元との境界にストレスが加わり、半導体チップを封止する樹脂にクラックが発生することがある。また、1個1個の半導体装置をリードフレームから切断するため、インデックスの向上にも限界がある。
本発明の目的は、リードフレームのリードを切断する工程における半導体装置の品質劣化を防ぐことのできる技術を提供することにある。
本発明の他の目的は、リードフレームのリードを切断する工程におけるインデックスの向上を図ることのできる技術を提供することにある。
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
本発明は、リード切断パンチ、ノックアウトおよびパンチガイドを備える上金型と、レール状のガイドが形成されたリード切断ダイを備える下金型とから構成される切断装置を用いて、長手方向に並んだ複数個の単位フレーム群おきに1本のタイバーを含み、各々の単位フレームに半導体装置が搭載されたリードフレームのリードを切断する半導体装置の製造方法において、複数個の半導体装置をリード切断ダイに備わるガイド内に配置することにより複数個の半導体装置の位置を決め、複数個の各々の半導体装置から露出するリードフレームのリードの根元をノックアウトで押さえることによりリード゛の位置を決めて、リード切断パンチによりリードを切断して複数個の半導体装置をリードフレームから切り離した後、複数個の半導体装置をタイバーで押しながらガイド内を滑らせて搬送して、一括回収するものである。
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば以下のとおりである。
半導体装置に備わるリードの長さのばらつきを低減することができ、またリードの根元に発生する樹脂のクラックを低減することができるので、半導体装置の品質劣化を防ぐことができる。また、複数個の半導体装置を同時に搬送し、複数個の半導体装置を同時にリードフレームの本体から切断することができるので、インデックスの向上を図ることができる。
本実施の形態においては、要素の数等(個数、数値、量、範囲等を含む)に言及する場合、特に明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも良い。さらに、本実施の形態において、その構成要素(要素ステップ等も含む)は、特に明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。同様に、本実施の形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似または類似するもの等を含むものとする。このことは、上記数値および範囲についても同様である。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
本発明の一実施の形態によるリード切断方法およびリード切断された半導体装置の回収方法を図1〜図7を用いて説明する。図1はリードフレームの表面図、図2はリードフレームの単位フレームに搭載された半導体装置の要部断面図、図3はリード切断装置の全体の概略側面図、図4はリード切断装置のリード切断部(図3のA領域)を拡大した要部断面図、図5、6および7はリード切断された半導体装置の回収方法を説明するリード切断装置の模式図である。
まず、図1に示すリードフレーム1を用意する。リードフレーム1は、例えば銅からなり、長手方向を列とし、これに直交する方向を行とすると、半導体装置が1つ形成される単位フレーム2が複数行1列に配置された構成となっている。また、リードフレーム1はフープ状とすることもできる。各単位フレーム2は半導体チップが搭載されるダイパッド部(タブ、チップ搭載部)3を含んでおり、ダイパッド部3はリードフレーム1の本体とリード4aによって繋がっている。さらに各単位フレーム2はダイパッド部3と対向するように設けられ、半導体チップの表面電極と接続されるリード4bを含んでいる。また、複数の単位フレーム2のうち、4個の単位フレーム群おきにタイバー4cを含んでいる。このタイバー4cが設けられていることにより、後の切断工程において、半導体装置がリードフレーム1から切り離されても、リードフレーム1が複数個に分離することはない。また、各単位フレーム2の周辺には複数の孔5が設けられているが、これはリードフレーム1の位置決めのため、あるいは樹脂封止に伴うリードフレーム1の歪みを緩和するためのものであり、またリードフレーム1を移動する際の送り機構としても用いられる。
次に、図2に示すように、各単位フレーム2のダイパッド部3の表面上に、半導体チップ6の裏面に形成された裏面電極を、例えば金−シリコン共晶または銀ペーストを用いて接合する。続いて、半導体チップ6の表面に形成された表面電極とリード4bとをボンディングワイヤ7、例えば金線を用いて接続する。半導体チップ6にはダイオード、例えばPIN(Positive Intrinsic Negative)ダイオード、pnダイオード(例えばスイッチングダイオードまたはツェナーダイオード)、あるいはショットキ・バリアダイオード等が形成されており、半導体チップ6の表面に形成された表面電極と、半導体チップ6の裏面に形成された裏面電極とから2つの端子を取り出すことができる。
次に、ダイパッド部3の裏面およびリード4a,4bの裏面を露出させて、半導体チップ6およびボンディングワイヤ7を樹脂8、例えばエポキシ系樹脂により封止して保護する。これにより、リードフレーム1の各単位フレーム2に半導体チップ6が搭載された半導体装置9が形成される。
その後、リードフレーム1に半導体装置9が形成された状態でメッキ処理することにより、樹脂封止されていないリードフレーム1の表面および裏面に厚さ10μm以下、例えば7μmの錫−銅系合金または、錫−鉛系合金からなるメッキ層を形成する。さらに、樹脂8の上面(リード4a,4bと接する面と反対の面)にレーザにより製品識別用のマークが彫られる。
次に、図3に示す切断装置10を用いてメッキ処理されたリード4a,4bを切断し、リードフレーム1の本体から各半導体装置9を切り離す。切断装置10は、リード切断金型の上金型10aおよび下金型10bにより構成されている。また、リード切断金型の下金型10bに置かれたフープ状のリードフレーム1は送りピン10cを用いて搬送され、1回のリードフレーム搬送と1回のリード切断とを1サイクルとして繰り返すことができる。本実施の形態では、この1サイクルにより、4個の半導体装置9が同時に搬送され、4個の半導体装置9がリードフレーム1の本体から同時に切り離される。
図4に、リード切断時における切断装置10のリード切断部を拡大して示す。11はパンチガイド、12はノックアウト、13はリード切断パンチ、14はリード切断ダイ、14aはガイドであり、上金型10aにパンチガイド11、ノックアウト12およびリード切断パンチ13が備わり、下金型10bにリード切断ダイ14が備わる。また、ガイド14aは、リード切断ダイ14にリードフレーム1の長手方向に沿うようにレール状に形成されている。
リード切断ダイ14は半導体装置9の位置決めとリード切断された半導体装置9を搬送する時のガードレールとを兼用し、リード切断ダイ14に備わるガイド14a内に4個の半導体装置9が配置される。また、パンチガイド11およびノックアウト12が下降して、パンチガイド11によりリードフレーム1がクランプされ、ノックアウト12によりリード切断される4個の半導体装置9のリード4a,4bがクランプされる。すなわち、リード切断ダイ14に備わるガイド14aにより4個の半導体装置9の位置が決められ、パンチガイド11によりリードフレーム1が動かないように押さえられてリードフレーム1の位置が決められ、その上でノックアウト12によりリード4a,4bが動かないようにリード4a,4bの根元が押さえられてリード4a,4bの位置が決められる。
次に、切断装置10に備わるリード切断パンチ13が、上金型10aからリード4a,4bの一部に打ち下ろされてリード4a,4bが切断されて、リードフレーム1の本体から4個の半導体装置9が切り離される。リード切断パンチ13の先端の幅は、例えば0.06mmであり、切り離された半導体装置9から露出するリード4a,4bの長さは、例えば0.1mmである。
次に、リードフレーム1の本体から切り離された半導体装置9を回収する。以下に、図5、図6および図7に示すリード切断装置の模式図を用いて半導体装置9の回収方法を説明する。図5は半導体装置9のリード4a,4bを切断した直後の状態を示す模式図、図6は半導体装置9を搬送するときの状態を示す模式図、図7は半導体装置9を回収するときの状態を示す模式図である。図中、15はデバイス回収部である。
図5に示すように、半導体装置9のリード4a,4bを切断した直後は、半導体装置9はガイド14aによって位置が決められた状態(前述した図4と同じ状態)で、リード切断ダイ14上に載っており、この状態でノックアウト12が所定の位置まで上昇する。
続いて図6に示すように、半導体装置9をリードフレーム1のタイバー4cで押しながら、リード切断ダイ14のリード状のガイド14c内を滑らせて搬送させる。本実施の形態では、4個の単位フレーム2群おきにタイバー4cがリードフレーム1に設けられており、4個の半導体装置9が同時にリードフレーム1の本体から切断されるので、4個の半導体装置9が1本のダイバー4cに押されて搬送されることになる。ここで、半導体装置9を搬送するときは、半導体装置9がタイバー4cからはずれて飛散しないように、ノックアウト12によって半導体装置9がガイドされる。これにより、4個の半導体装置9を1本のタイバー4cによって搬送することができる。
搬送された半導体装置9がデバイス回収部15のシュータに到達すると、図7に示すように、半導体装置9はデバイス回収部15に自然落下して回収される。
その後、一括回収された半導体装置9はキャリアテープに収納されて、外観検査が行われる。外観検査では、例えば半導体装置9へ光を照射するリング状光源、半導体装置9から反射した光を取り込むCCDカメラおよび画像処理装置等を備えた外観検査装置を用いることができる。さらに、外観検査において外観不良と判断された半導体装置9を取り除いた後、キャリアテープをリールに巻き取り、防湿された袋にリーフを収容した状態で、出荷される。
なお、前述した実施の形態では、タイバー4cを4個の単位フレーム群おきに設けたが、4個以外の複数個の単位フレーム群おきに設けてもよく、従って、切断装置10で同時に切断、搬送される半導体装置9の個数も4個に限定されるものではない。また、場合によっては、タイバー4cを隣り合う単位フレーム2の間、すなわち1個の単位フレーム2おきに配置してもよい。また、リードフレーム1は、単位フレームが複数行1列に配置された構成としたが複数行複数列、例えば複数行2列等とすることもできる。
このように、本実施の形態によれば、複数個の半導体装置9をリード切断ダイ14のレール状のガイド14a内に配置して複数個の半導体装置9の位置を固定し、かつリード4a,4bの根元をノックアウト12によりクランプした状態でリード4a,4bを切断することにより、リード4a,4bの長さのばらつきを低減することができる。また、リード4a,4bの根元をノックアウト12によりクランプした状態でリード4a,4bを切断することにより、半導体装置9とリードの根元との境界に加わるストレスが低減できるので、リードの根元に発生する樹脂8のクラックを低減することができる。また、リード切断では、複数個の半導体装置9を同時に搬送し、複数個の半導体装置9を同時にリードフレーム1の本体から切断することができるので、インデックスの向上を図ることができる。
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
例えば前記実施の形態では、ダイオード製品に適用した場合について説明したが、切断パンチを用いてリードフレームから切断されるダイオード製品以外の半導体装置にも適用することができる。
本発明は、リードを有するディスクリート半導体装置(トランジスタ、ダイオード、コンデンサ、サイリスタなどの半導体装置)に利用することが可能である。
1 リードフレーム
2 単位フレーム
3 ダイパッド部(タブ、チップ搭載部)
4a,4b リード
4c タイバー
5 孔
6 半導体チップ
7 ボンディングワイヤ
8 樹脂
9 半導体装置
10 切断装置
10a 上金型
10b 下金型
10c 送りピン
11 パンチガイド
12 ノックアウト
13 リード切断パンチ
14 リード切断ダイ
14a ガイド
15 デバイス回収部
2 単位フレーム
3 ダイパッド部(タブ、チップ搭載部)
4a,4b リード
4c タイバー
5 孔
6 半導体チップ
7 ボンディングワイヤ
8 樹脂
9 半導体装置
10 切断装置
10a 上金型
10b 下金型
10c 送りピン
11 パンチガイド
12 ノックアウト
13 リード切断パンチ
14 リード切断ダイ
14a ガイド
15 デバイス回収部
Claims (5)
- リード切断パンチ、ノックアウトおよびパンチガイドを備える上金型と、レール状のガイドが形成されたリード切断ダイを備える下金型とから構成される切断装置を用いてリードフレームのリードを切断する半導体装置の製造方法であって、
(a)長手方向に並んだ複数個の単位フレーム群おきに1本のタイバーを含むリードフレームを用意する工程と、
(b)前記リードフレームの各々の前記単位フレームが有するダイパッド部上に半導体チップを搭載し、前記半導体チップを樹脂により封止して半導体装置を形成する工程と、
(c)複数個の前記半導体装置を前記リード切断ダイに備わるガイド内に配置することにより複数個の前記半導体装置の位置を決め、前記ノックアウトを下降させて、複数個の各々の前記半導体装置から露出する前記リードの根元を前記ノックアウトで押さえることにより前記リードの位置を決める工程と、
(d)前記リード切断パンチを前記リードの一部に打ち下ろして前記リードを切断し、複数個の前記半導体装置を前記リードフレームから切り離す工程と、
(e)前記ノックアウトを所定の位置まで上昇させる工程と、
(f)複数個の前記半導体装置を前記リードフレームの前記タイバーで押しながら、前記ガイド内を搬送する工程と、
(g)複数個の前記半導体装置を一括回収する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、前記工程(f)では、複数個の前記半導体装置が前記ノックアウトによってガイドされて、複数個の前記半導体装置が搬送されることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、前記工程(c)では、さらに前記リードフレームの一部を前記パンチガイドで押さえることにより前記リードフレームの位置を決めることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項1記載の半導体装置の製造方法において、前記リードフレームはフープ状であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- リード切断パンチ、ノックアウトおよびパンチガイドを備える上金型と、レール状のガイドが形成されたリード切断ダイを備える下金型とから構成される切断装置を用いてリードフレームのリードを切断する半導体装置の製造方法であって、
(a)長手方向に並んだ隣り合う単位フレームの間にタイバーを含むリードフレームを用意する工程と、
(b)前記リードフレームの各々の前記単位フレームが有するダイパッド部上に半導体チップを搭載し、前記半導体チップを樹脂により封止して半導体装置を形成する工程と、
(c)前記半導体装置を前記リード切断ダイに備わるガイド内に配置することにより前記半導体装置の位置を決め、前記ノックアウトを下降させて、前記半導体装置から露出する前記リードの根元を前記ノックアウトで押さえることにより前記リード゛の位置を決める工程と、
(d)前記リード切断パンチを前記リードの一部に打ち下ろして前記リードを切断し、前記半導体装置を前記リードフレームから切り離す工程と、
(e)前記ノックアウトを所定の位置まで上昇させる工程と、
(f)前記半導体装置を前記リードフレームの前記タイバーで押しながら、前記ガイド内を搬送する工程と、
(g)前記半導体装置を回収する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006117531A JP2007294502A (ja) | 2006-04-21 | 2006-04-21 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006117531A JP2007294502A (ja) | 2006-04-21 | 2006-04-21 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007294502A true JP2007294502A (ja) | 2007-11-08 |
Family
ID=38764853
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2006117531A Pending JP2007294502A (ja) | 2006-04-21 | 2006-04-21 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2007294502A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017069233A (ja) * | 2015-09-28 | 2017-04-06 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置の製造方法 |
-
2006
- 2006-04-21 JP JP2006117531A patent/JP2007294502A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2017069233A (ja) * | 2015-09-28 | 2017-04-06 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置の製造方法 |
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