JP2008218525A - 導電部材の切断方法および回路装置の製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】外部に導出される導電部材の切断を容易且つ確実に行うことができる導電部材の切断方法および回路装置の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明では、上金型40および下金型42から成る金型38とパンチ44を使用して、樹脂封止体12から側方に導出されるリード14を、所定の箇所で切断している。具体的には、先ず、上金型40と下金型42にて、樹脂封止体12から外部に導出されるリード14を厚み方向に押圧して固定する。次に、金型のパンチ44を上方から下方に移動させて、その下端に設けられた当接部46をリード14の上面に接触させる。更に、パンチ44を下方に移動させることにより、リード14を所定の箇所にて切断させる。従って、リード14の切断の工程に於いて、リード14の搬送および移動を行わないので、搬送等に伴う位置ズレに起因する諸問題を回避することができる。
【選択図】図5

Description

本発明は、リードフレーム等の導電部材の切断に適した導電部材の切断方法および回路装置の製造方法に関する。
一般的な樹脂封止型の回路装置の製造方法は、拡散工程等により所定の素子を半導体素子の内部に形成する工程と、この半導体素子をリード等の導電部材に電気的に接続する工程と、半導体素子および導電部材が封止されるように封止樹脂により封止する工程とを主要に具備する。
上記工程により製造される回路装置では、内蔵される回路素子と電気的に接続されたリードは、全体を一体的に封止する樹脂封止体から外部に突出する。そして、半導体装置を実装基板等に接続する場合は、外部に突出するリードに半田を溶着させて、実装基板上の導電路に半導体装置を接合する。
上記のような接合方法を行う場合、リードが外部に突出する長さが長くなると、半導体装置の実装に必要とされる面積が大きくなり、半導体装置が内蔵されるセット(例えば携帯電話等)の大型化を招く。従って、半導体装置の実装に必要とされる面積を狭くするために、リードを短くカットすることが従来から良く行われている。
図8を参照して、回路装置のリードを短くカットする従来の方法を説明する。ここで示す半導体装置は、内蔵される不図示の半導体素子と、リード102と、これらを一体に被覆する樹脂封止体100とからなり、樹脂封止体100から外部に導出されるリード102を、以下に説明する方法により切断している。概略的には、従来のリードの切断方法では、リード102の切断予定の部分に、上下両方向から切れ込みを入れ、その後に樹脂封止体100を厚み方向に押圧することにより、リード102が所定の長さになるように切断している。
図8の各図を参照して、上記したリード102の切断方法を詳細に説明する。図8の各図は、金型を使用したリード102の切断方法を示す断面図である。
図8(A)および図8(B)を参照して、先ず、金型を使用してリード102の上部に切り込みを入れる。リード102の切断に使用する金型は、上金型104および下金型106とから成る。下金型106の上部には、各々のリード102に対応して突起部108が設けられている。また、上金型104には、下金型の突起部108に対応した平坦部が形成されている。そして、図8(B)に示すように、上金型104と下金型106とを互いに接近させることにより、下金型106の突起部108を下方からリード102に食い込ませて、リード102の所定の箇所に切り込み部を設ける。
次に、図8(C)および図8(D)を参照して、各々のリード102に上面から切り込み部を設ける。具体的には、本工程では、上記した工程で使用したものとは異なる金型を使用し、具体的には下金型110および上金型112、114を使用する。ここでは、上金型112の下端に突起部が設けられており、この突起部と対応した箇所に平坦部を有する下金型110が使用される。ここでは、上金型114を下降させて樹脂封止体100の位置を固定した後に、突起部が下端に設けられた上金型112を下降させることにより、リード102の上面に切り込み部を設けている。
次に、図8(E)および図8(F)を参照して、リード102が所定の長さになるように切断する。ここでも、上記した工程で用いられたものとは異なる下金型116および上金型120、118を使用する。上金型118はリード102の上面に当接する部位であり、上金型120は、樹脂封止体100を上方から下方に押圧する部位である。また、下金型116は除去される部分のリード102の下面に接触している。図8(F)を参照して、上金型118および下金型116にて、除去される部分のリード102を厚み方向に固定した後に、上金型120を上方から下方に移動させている。このことにより、樹脂封止体100が上方から下方に押圧され、上記工程で切り込み部が形成された部分にて、リード102が切断されて所望の長さに成形される。
特開平8−70014号公報
しかしながら、上記したリード102の切断方法では、3種類の異なる打ち抜き金型が使用される。このことから、リード102が導出する樹脂封止体の載置および搬送が2回必要とされる。従って、樹脂封止体100の位置がずれて金型に配置されると、所定の箇所に切り込み部が形成されずに、安定してリード102が切断できない問題があった。具体的には、図8(C)および図8(D)に示す工程にて、樹脂封止体100およびリード102がずれて配置されると、リード102に上方から形成される切り込みと、下方から形成される切り込みとが、ずれて形成される。結果的に、図8(F)に示す工程にて、樹脂封止体100を上方から下方に押圧しても、切り込み部が形成された箇所にて容易にリード102を切断することができない。更には、この工程にて、リード102が容易に切断されないと、上金型120の押圧力により、樹脂封止体100にクラックが発生する虞もある。
本発明は、上述した問題を鑑みて成されたものである。本発明の主な目的は、外部に導出される導電部材の切断を容易且つ確実に行うことができる導電部材の切断方法および回路装置の製造方法を提供することにある。
本発明の導電部材の切断方法は、回路素子と、前記回路素子と電気的に接続された導電部材と、前記回路素子および前記導電部材を被覆する樹脂封止体とを有する回路装置の、前記樹脂封止体から外部に突出する前記導電部材を切断する切断方法であり、一方向からのプレス加工により前記導電部材を切断する工程を有することを特徴とする。
本発明の回路装置の製造方法は、回路素子と導電部材とを樹脂封止体により一体的に被覆し、前記樹脂封止体から前記導電部材を外部に突出させる工程と、外部に突出する前記導電部材を所定の箇所で切断する工程とを有し、前記切断する工程では、一方向からのプレス加工により前記導電部材を切断することを特徴とする。
本発明の導電部材の切断方法および回路装置の製造方法によれば、回路装置の導電部材を一方向から切断することにより、搬送および再配置に伴う位置ズレに起因した上記問題を回避することができる。即ち、リード等の導電部材に対して、両主面からのプレス加工が必要とされないので、搬送作業の回数が低減される。従って、リードを良好に切断することが可能となり、パッケージクラックを抑止して歩溜まりを向上させることができる。
図1を参照して、先ず、本実施の形態により製造される半導体装置10(回路装置)の構造を説明する。図1(A)は半導体装置10の斜視図であり、図1(B)は半導体装置10の断面図であり、図1(C)はリード14の端部である破断面16を示す斜視図である。
図1(A)および図1(B)を参照して、半導体装置10は、半導体素子20と、金属細線22を経由して半導体素子20と電気的に接続されたリード14と、樹脂封止体12とから成る。更に、樹脂封止体12は、半導体素子20、金属細線22、リード14およびアイランド18を被覆している。ここで、リード14およびアイランド18の下面は、樹脂封止体12の下面から外部に露出しており、これらは同一平面上に位置している。
半導体素子20は、LSIまたはディスクリート型のトランジスタ等であり、シリコン等から成る半導体基板の内部に拡散技術により所定の素子が形成されている。更に、半導体素子20の上面には、これらの素子と配線を介して接続された不図示のパッドが設けられており、このパッドに金属細線22の一端が接続されている。また、半導体素子20の下面は、導電性接着材または絶縁性接着剤を介して、アイランド18の上面に載置される。
ここでは、樹脂封止体12により封止される回路素子として、1つの半導体素子20が採用されているが、内蔵される回路素子としてはチップ抵抗やチップコンデンサ等の受動素子でも良い。更には、これら複数の回路素子が樹脂封止体12に内蔵されても良い。
リード14およびアイランド18は、厚みが例えば0.5mm程度の導電箔を加工(エッチング加工やプレス加工)することにより成形されている。リード14は、半導体素子20と金属細線22を経由して接続される部分が樹脂封止体12により被覆され、他の部分が樹脂封止体12から外部に導出している。更に、図1(A)を参照すると、複数のリード14は、樹脂封止体12の対向する2つの側辺から外部に導出している。ここで、リード14は、樹脂封止体12の1つの側辺から外部に導出されても良いし、4つの側辺から外部に導出されても良い。さらにここでは、リード14およびアイランド18の下面は、樹脂封止体12から外部に露出している。
更に、本実施の形態では、半導体装置10の実装に必要とされる面積を狭くするために、樹脂封止体12から外部に突出するリード14の長さを短くしている。具体的には、図1(B)を参照して、樹脂封止体12の周縁部から側方に突出するリード14の長さは、例えば0.05mm程度である。
樹脂封止体12は、インジェクションモールドにより形成された熱可塑性樹脂またはトランスファーモールドにより形成された熱硬化性樹脂から成る。本実施の形態では、樹脂封止体12は、略直方体形状であり、4つの側面は上部が下部よりも内側に傾斜する傾斜面と成っている。樹脂封止体12の側面が傾斜面である理由は、樹脂封止時に於ける、樹脂封止体12の金型からの抜けを容易にするためである。
図1(C)を参照して、実装時の半田の濡れ性を向上させるために、リード14の表面は、メッキ膜により被覆されている。このメッキ膜17としては、リード14の材料である銅(Cu)やアルミニウム(Al)よりも半田の濡れ性が良いものが採用される。例えば、銀(Ag)メッキ、金(Au)メッキ、ニッケル(Ni)メッキ、半田メッキ、錫(Sn)メッキ等がメッキ膜17として採用される。更に、異なる材料から成る複数層のメッキ膜によりリード14の表面が被覆されても良い。
本実施の形態では、リード14の表面をメッキ膜17により被覆した後に、リード14を所定の長さに切断している。従って、リード14の端部の破断面16は、そのままではメッキ膜に覆われずに、リード14の導電材料が外部に露出している。そして、このままの状態で半田を介して半導体装置10を実装すると、破断面16に半田が殆ど付着せずに、半田の接続信頼性が低くなる虞がある。
そこで、本実施の形態では、リード14の破断面16の下部を、メッキ膜17により被覆している。このことにより、リード14に半田を溶着させると、破断面16の下部を被覆するメッキ膜17に良好に半田が付着して、破断面16が部分的に被覆されて、好適な形状のフィレットが半田により形成される。結果的に、半田による接続の信頼性を向上させることができる。
図2を参照して、次に、上記した構成の半導体装置10が実装された状態を説明する。図2(A)は実装基板21に実装された半導体装置10の状態を示す断面図であり、図2(B)は拡大された断面図である。ここでは、実装基板21に半導体装置10が実装されることにより回路モジュールが形成されている。
図2(A)を参照して、半導体装置10は、実装基板21の上面に形成された導電路23に半田25を介して接続されている。具体的には、半導体装置10の両端部にリード14が位置し、このリード14が半田25を介して導電路23に接合されている。
ここで、実装基板21としては樹脂製の基板、セラミック等の無機物から成る基板、金属から成る金属基板等が採用され、金属基板が採用された場合はその表面は絶縁物から成る絶縁層により被覆される。
図2(B)を参照して、半導体装置10の接続に使用される半田25は、リード14の下面および破断面16を含む側面に付着している。特に、本実施の形態では、破断面16の下部にまでメッキ膜17を延在させているので、破断面16の下端から中央付近にかけて半田25により被覆される。このことにより、良好な形状の半田フィレットが形成されるので、半田25による接続信頼性が向上されている。
以上説明したように、本実施の形態の半導体装置10によると、リード14が側方に突出する長さを短くすることで、半導体装置10の実装に必要とされる面積を狭くすると共に、リード14の破断面16の下部をメッキ膜17により被覆することにより半田接続の接続信頼性を向上させている。
ここで、半田25としては、鉛共晶半田または鉛フリー半田のどちらも採用可能である。特に、例えば錫を主材料とする鉛フリー半田が半田25として採用された場合、鉛フリー半田は脆い性質を有しているので、リード14の破断面16を被覆するメッキ膜17を利用して、半田フィレットを形成して接続強度を高めることは有用である。
次に、図3から図7を参照して、導電部材の切断方法を含む回路装置の製造方法を説明する。
図3を参照して、先ず、半導体素子20およびリード14等を一体的に封止樹脂により封止する。図3は本工程を示す断面図である。
本工程では、モールド金型を使用したトランスファーモールドにより、半導体素子20等の樹脂封止を行っている。本工程で使用するモールド用の金型30は、上金型32および下金型34から成り、両者を当接させることによりキャビティ36が形成されている。キャビティ36の内部に、半導体素子20、アイランド18、金属細線22および封止される部分のリード14が収納される。
キャビティ36に半導体素子20等を収納した後に、不図示のゲートから封止樹脂をキャビティ36に注入する。注入される樹脂としては、熱可塑性樹脂または熱硬化性樹脂が採用される。また、製造される半導体装置全体の放熱性を向上させるために、注入される樹脂は、シリカ等のフィラーが充填された樹脂から構成されても良い。
上記した封止樹脂の注入が終了した後は、必要に応じて樹脂の加熱硬化を行い、上金型32と下金型34とを分離させて樹脂封止体(不図示)を取り出す。
また、本工程では、1つの半導体装置を構成する所定の数のリード14およびアイランド18を1つのユニット(要素単位)にして、多数のユニットが形成されたリードフレームが用意されても良い。そして、リードフレームの個々のユニットに対して、同時に上記した樹脂封止の工程が行われても良い。この場合は、後の工程にて、リードフレームから個々のユニットを分離する。
図4を参照して、上記工程により形成された半導体装置10の構成を説明する。ここでは、半導体素子および金属細線が樹脂封止体12により覆われている。そして、リード14も部分的に樹脂封止体12により被覆されている。
ここで、上記したモールド工程により、樹脂封止体の外面から外部に突出する封止樹脂から成る樹脂バリが存在する場合は、レーザー照射、噴射力、押圧力を用いて、この樹脂バリを除去する。
さらに、本工程が終了した後は、電解メッキまたは無電界メッキにより、リード14の表面をメッキ膜により被覆する。ここで、メッキ膜の材料としては、リードの材料である銅などの導電材料よりも、半田の濡れ性がよい金属が採用される。
次に、図5、図6および図7を参照して、リードを所定の長さに切断する。本実施の形態では、樹脂封止体12から外部に導出するリード14を所定の長さに切断する方法として3つの方法を説明する。第1の方法は、図5を参照して、リード14が露出する樹脂封止体12の主面とは反対側の主面から、リード14に押圧力を加えて(プレス加工して)切断する方法である。第2の方法は、図6を参照して、リード14が露出する樹脂封止体12の主面から、リード14に圧力を加えて切断する方法である。第3の方法は、図7を参照して、第2の方法に加えて、上金型40に設けた切り刃50を使用する方法である。
図5を参照して、上記した第1の分離方法を説明する。図5(A)は本方法の断面図であり、図5(B)はリード14が切断された状態を示す斜視図である。
図5(A)を参照して、ここでは、上金型40および下金型42から成る金型38とパンチ44を使用して、樹脂封止体12から側方に導出されるリード14を、所定の箇所で切断している。ここで、パンチ44は、上金型40の一部である。
先ず、先工程で形成された樹脂封止体12が載置される状態を説明する。ここでは、樹脂封止体12の下面(第1主面)と、リード14の下面(第1主面)とが同一平面上に位置している。更に、樹脂封止体12の上面(第2主面)は、リード14の上面(第2主面)よりも上方に位置している(厚み方向に突出している)。
ここでは、金型38によりリード14の除去される部分が押圧されることで、リード14および樹脂封止体12の厚み方向の位置が固定されている。具体的には、下金型42の上面に設けられた平坦面が、リード14の除去される部分の下面に当接している。更に、上金型40の下面に設けられた平坦面が、除去される部分のリード14の上面と当接している。
上述したように、本実施の形態では、製造される半導体装置を実装するために必要とされる実装面積を狭くするために、樹脂封止体12から側方に突出するリード14の長さを短くする必要がある。このため、ここでは、金型38と樹脂封止体12とが離間する距離を小さくしている。例えば、この距離L1を0.05mm程度にしている。
上記のように、リード14を金型38で固定した後に、紙面上では上方からパンチ44を下方に移動させる。パンチ44の左右両端の下端に位置する当接部46は、樹脂封止体12の両側から外側(側方)に導出するリード14の上面に接触するように位置が調整されている。従って、パンチ44を下方に移動させると、当接部46の下端がリード14の上面に接触する。更に、パンチ44の下降を進行させると、パンチ44と金型38との境界部で、リード14が切断される。
図5(B)に上記切断が終了した後の、樹脂封止体12およびリード14の斜視図を示す。本工程の切断により、リード14の不要な部分が、残余部48として分離して除去される。
上記した第1の方法によると、一方向(上方)からの1回のプレス加工により、全てのリード14を同時に切断することができる。従って、リード14の搬送や配置の位置ズレに起因した背景技術の問題点を排除することができる。更に、本工程では、上記した切断方法により、リード14の端部にバリが発生しても、このバリは破断面16の上端から上部に突出する。従って、実装面(リード14の下面と樹脂封止体12の下面が位置する平面)側に、リード14のバリが突出しないので、バリにより半導体装置10の実装性が低下することが防止される。
図6を参照して、リード14を切断する第2の方法を説明する。図6(A)はこの方法を示す断面図であり、図6(B)はこの方法によりリードが切断された状態を示す斜視図である。
図6(A)を参照して、この方法では、樹脂封止体12およびリード14を、上記した第1の方法とは上下逆にして、金型38に配置されている。従って、樹脂封止体12は下方に厚み方向に突出しており、樹脂封止体12の上面とリード14の上面とは同一平面上に位置している。この状態で、除去される部分のリード14の上面は上金型40の下面に押圧され、リード14の下面は下金型42の上面により押圧されている。
更にこの状態で、上金型の一部であるパンチ44を下方に移動させる。このことにより、パンチ44の下端に設けた当接部46が、リード14の上面に接触する。そして更に、パンチ44を下方に移動させる。具体的には、パンチ44の当接部46を、リード14の下面よりも下方に移動させる。このことにより、パンチ44の側面と、金型38の内部の側面との境界にて、リード14が所定の位置で切断される。
本工程では、樹脂封止体12は上方に突出していないので、リード14および樹脂封止体12の上面は連続した平滑面となっている。従って、パンチ44は樹脂封止体12を避ける必要がないので、当接部46の下面は、リード14の上面および樹脂封止体12の上面に当接しても良い。このことにより、当接部46の断面を太くして、その部分の機械的強度を強くすることができる。
また、本工程では、切断時に於いて上方にバリが発生するので、バリが半導体装置の実装を阻害する虞がある。従って、リード14の端部に発生するバリを除去する工程を更に、設けても良い。
また、この第2の方法は、上述した第1の方法と比較すると、パンチ44の当接部46の機械的強度を十分に確保することができる。具体的には、図5に示した第1の方法では、樹脂封止体12を避けてプレスを行う必要がある。更に、リード14の側方への突出する長さを短くする必要もある。このことから、当接部46の幅は、例えば0.03mm〜0.04mm程度となるので、この箇所の機械的強度が不足する虞がある。一方、ここで説明した第2の方法では、樹脂封止体12が厚み方向に突出する方向が下方であるので、パンチ44が樹脂封止体を避ける必要がない。従って、必要とされる機械的強度に応じて、当接部46を太くすることができる。例えば、当接部46の幅を0.1mm程度にすることができる。
図7を参照して、リードを切断する第3の方法を説明する。図7(A)はこの方法を示す断面図であり、図7(B)は切断した後の状態を示す斜視図である。
図7(A)を参照して、本方法は上記した第2の方法と基本的には同様であるが、使用する金型の形状に相違点がある。本工程では、上金型40の内側の端部に、直角三角形の形状の切り刃50が設けられている。この切り刃50が、上金型40の下面から突出する長さは、リード14の厚みよりも短く、例えばリード14の厚みの半分程度でも良いし、半分以下でも良いし、半分以上でも良い。
本工程では、先ず、樹脂封止体12が厚み方向に下方に突出するように、リード14を下金型42の上面に載置する。このように載置することにより、リード14および樹脂封止体12からなる上面は平滑面となる。次に、上金型40を下降させて、その下面をリード14の上面に当接させる。
このことで、上金型40に設けた切り刃50がリード14に上面から食い込み、結果的に切込52が形成される。ここで、切込52が形成されると、リード14の表面を被覆するメッキ膜が切り刃50により移動して、切込52の部分を被覆する。そして、切込52を被覆するメッキ膜が、製造される半導体装置に残り、この部分が図1(C)に示すメッキ膜17となる。このメッキ膜17は、上記したように、半導体装置10の実装に寄与する。ここで、切込52の深さは、リード14の厚みの半分程度でも良いし、半分以下でも良いし、半分以上でも良い。
次に、切り刃50をリード14に食い込ませたまま、パンチ44を下方に移動させることで、当接部46をリード14の上面に接触させて、切込52が形成された部分にてリード14を切断する。紙面上では、パンチ44の側面と金型38の内部側面とは離間されているが、実際は、両者はほぼ隙間無く密着している。切込52が形成されていることにより、この部分の機械的強度は弱くなっているので、パンチ44によるリードの切断は容易に行われる。
図7(B)を参照して、上記工程により、リード14は所定の長さに成形され、リード14の残余部48と分離される。図示されていないが、リード14の端部の側面は、上記した切り刃50の作用により、部分的にメッキ膜により被覆されている。
更に、本工程によれば、切込52を設けることにより、切断される部分のリード14の機械的強度が弱くなっているので、パンチ44によるリード14の切断を容易にすることができる。
以上が、リード14を切断する工程の詳細である。
上記工程が終了した後は、内蔵された半導体素子20をテストする工程等を経て、図1に構造を示すような半導体装置10が製造される。更に、図2に示したような回路モジュールを構成する場合は、実装基板21の上面に構成された導電路23の所定の箇所に半田クリームを塗布する工程と、この半田クリームの上部にリード14が接触するように半導体装置10を載置する工程と、半田クリームを加熱溶融して半田25とする溶融工程が必要とされる。
本発明の製造方法により製造される半導体装置を示す図であり、(A)は斜視図であり、(B)は断面図であり、(C)は拡大された斜視図である。 本発明に斯かる半導体装置を示す図であり、(A)は断面図であり、(B)は拡大された断面図である。 本発明の回路装置の製造方法を示す断面図である。 本発明の回路装置の製造方法を示す斜視図である。 本発明の回路装置の製造方法を示す図であり、(A)は断面図であり、(B)は斜視図である。 本発明の回路装置の製造方法を示す図であり、(A)は断面図であり、(B)は斜視図である。 本発明の回路装置の製造方法を示す図であり、(A)は断面図であり、(B)は斜視図である。 背景技術の半導体装置を示す図であり、(A)−(F)は各工程を示す断面図である。
符号の説明
10 半導体装置
12 樹脂封止体
14 リード
16 破断面
17 メッキ膜
18 アイランド
20 半導体素子
21 実装基板
22 金属細線
23 導電路
25 半田
30 金型
32 上金型
34 下金型
36 キャビティ
38 金型
40 上金型
42 下金型
44 パンチ
46 当接部
48 残余部
50 切り刃
52 切込

Claims (8)

  1. 回路素子と、前記回路素子と電気的に接続された導電部材と、前記回路素子および前記導電部材を被覆する樹脂封止体とを有する回路装置の、前記樹脂封止体から外部に突出する前記導電部材を切断する切断方法であり、
    一方向からのプレス加工により前記導電部材を切断する工程を有することを特徴とする導電部材の切断方法。
  2. 前記樹脂封止体および前記導電部材は、相対向する第1主面および第2主面を有し、
    前記導電部材の前記第1主面は、前記樹脂封止体の前記第1主面と同一平面上に位置し、
    前記切断する工程は、前記導電部材に前記第1主面側から切り込みを入れる工程と、前記第1主面側から前記樹脂封止体および前記導電部材を押圧して、前記切り込みを入れた箇所にて前記導電部材を分離する工程と、から成ることを特徴とする請求項1記載の導電部材の切断方法。
  3. 前記導電部材の切断には、切り刃を備えた第1金型と、前記切り刃に対応して設けられた平坦部を備えた第2金型とが使用され、
    前記切り込みを入れる工程では、前記導電部材の第2主面側を、前記第2金型の平坦部に載置し、前記第1金型の前記切り刃を前記導電部材に食い込ませて、前記切り込みを形成し、
    前記分離する工程では、前記第1金型の前記切り刃を前記導電部材に食い込ませたまま、前記導電部材および前記樹脂封止体を前記第1主面側から押圧して、前記切り込みが形成された部分で前記導電部材を分離することを特徴とする請求項2記載の導電部材の切断方法。
  4. 回路素子と導電部材とを樹脂封止体により一体的に被覆し、前記樹脂封止体から前記導電部材を外部に突出させる工程と、
    外部に突出する前記導電部材を所定の箇所で切断する工程とを有し、
    前記切断する工程では、一方向からのプレス加工により前記導電部材を切断することを特徴とする回路装置の製造方法。
  5. 前記樹脂封止体および前記導電部材は、相対向する第1主面および第2主面を有し、
    前記導電部材の前記第1主面は、前記樹脂封止体の前記第1主面と同一平面上に位置し、
    前記切断する工程は、前記導電部材に前記第1主面側から切り込みを入れる工程と、前記第1主面側から前記樹脂封止体および前記導電部材を押圧して、前記切り込みを入れた箇所にて前記導電部材を分離する工程と、から成ることを特徴とする請求項4記載の回路装置の製造方法。
  6. 前記導電部材の切断には、切り刃を備えた第1金型と、前記切り刃に対応して設けられた平坦部を備えた第2金型とが使用され、
    前記切り込みを入れる工程では、前記導電部材の第2主面側を、前記第2金型の平坦部に載置し、前記第1金型の前記切り刃を前記導電部材に食い込ませて、前記切り込みを形成し、
    前記分離する工程では、前記第1金型の前記切り刃を前記導電部材に食い込ませたまま、前記導電部材および前記樹脂封止体を前記第1主面側から押圧して、前記切り込みが形成された部分で前記導電部材を分離することを特徴とする請求項5記載の回路装置の製造方法。
  7. 前記切断する工程により露出する前記導電部材を部分的にメッキ膜により被覆することを特徴とする請求項4記載の回路装置の製造方法。
  8. 前記導電部材の表面はメッキ膜により被覆され、
    前記切り込みを入れる工程では、前記切り込みを前記導電部材に形成することにより、前記導電部材の表面から前記メッキ膜を前記導電部材の破断面まで延在させることを特徴とする請求項5記載の回路装置の製造方法。
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