JP2007294072A - 冗長性分析の改善を図るメモリデバイスの欠陥サマリデータの削減 - Google Patents
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Abstract
【課題】2回のみのパスでエラーデータ画像をスキャンすることによって、エラーデータ画像から疎欠陥情報を抽出する方法及び装置を提供すること。
【解決手段】第一のスキャンパス中には、メモリセルグループ(X[1]..X[M])からなる第一の組にて欠陥を求めエラーデータ画像(30)がスキャンされ、メモリセルグループの各々に見られる欠陥を追跡し、欠陥数が第一の最大欠陥閾値に等しいかまたはこれを超過するメモリセルグループを追跡し、これを要修復メモリセルグループとして指定する。第二のスキャンパス中には、メモリセルグループ(Y[1]..Y[N])からなる第二の組にて欠陥を求めエラーデータ画像(30)がスキャンされ、メモリセルグループの各々に見られる欠陥を追跡し、欠陥数が第二の最大欠陥閾値に等しいかまたはこれを超過するメモリセルグループを追跡し、これを要修復メモリセルグループとして指定する。
【選択図】図1
【解決手段】第一のスキャンパス中には、メモリセルグループ(X[1]..X[M])からなる第一の組にて欠陥を求めエラーデータ画像(30)がスキャンされ、メモリセルグループの各々に見られる欠陥を追跡し、欠陥数が第一の最大欠陥閾値に等しいかまたはこれを超過するメモリセルグループを追跡し、これを要修復メモリセルグループとして指定する。第二のスキャンパス中には、メモリセルグループ(Y[1]..Y[N])からなる第二の組にて欠陥を求めエラーデータ画像(30)がスキャンされ、メモリセルグループの各々に見られる欠陥を追跡し、欠陥数が第二の最大欠陥閾値に等しいかまたはこれを超過するメモリセルグループを追跡し、これを要修復メモリセルグループとして指定する。
【選択図】図1
Description
本発明は、冗長性分析の改善を図るメモリデバイスの欠陥サマリデータの削減に関する。
コンピュータは、プログラム命令とデータとを記憶するにあたってランダムアクセスメモリに依存する。コンピュータメモリはメモリセルからなり、ここで各セルは単一のデータビットを記憶する。各々のコンピュータ命令、及び/又はコンピュータデータ素子は通常、バイト(一般的には8ビット)、ワード(一般的にはバイトの倍数)、ブロック(一般的にはワードの倍数)等、同時にアドレスできるビットの集まりに有意義に編成された一組のビットを備える。所与のバイト、ワード、ブロック等(これ以降「バイト」と総称する)の中でのビットの位置は、所定の順序形式に従いバイトの中に位置づけられるビットの値に従いデータまたは命令のバイトに意味が与えられるという点で、重要である。
従ってバイトとワードは通常、アドレスバス、データバス、及びメモリセルイネーブル回路を使用し、単一の実体としてアドレスされる。より具体的には、アドレスバスにはアドレスが置かれ、メモリデバイスのセルはアドレスされるセルに対応する書き込みまたは読み取りイネーブルラインを作動させることによってイネーブルにされ、データは、その操作が書き込み操作であるか、あるいは読み取り操作であるかに応じ、アドレスバスによってアドレスされたセルに書き込まれるか、またはこれから読み取られる。
より速くより高性能というシステムに対する要求に応えるため、ランダムアクセスメモリ(すなわちRAM)、スタティックRAM(SRAM)等、現代のメモリデバイスは非常に高密度である。半導体メモリデバイスはしばしば、その高密度と製造プロセスの限界ゆえに、製造直後にしばしば半導体メモリデバイスの1つ以上のメモリセルに欠陥がでてしまう。
メモリデバイスの製造とテストの間にメモリテストが行われ、ここでメモリデバイスのメモリセルは全てテストされる。典型的なテストでは、メモリアドレスを増やしつつ、または減らしつつ、メモリセルに0と1とを書き込む。メモリサイクル中に同時に書き込まれるか、または読み取られる1と0の集まりは「ベクトル」と呼ぶのが慣例であり、一方、用語「パターン」は一連のベクトルを指す。チェッカーボード、ウォーキング1、及びバタフライパターン等のパターンをメモリ空間に書き込むことをテストに盛り込むことは慣例的である。
上述の通り、個々のメモリセルはテスト中に欠陥となることがある。これらのデバイスの歩留まりを上げるために、製造業者は一般的に、セルの冗長行及び/又は冗長列等、冗長メモリセルグループを導入する。冗長メモリセルグループを、メモリデバイスの中で1つまたは複数の欠陥メモリセルを含む該当メモリセルグループの代わりに代用することはしばしば可能であり、そのようにすることで完全に機能するメモリデバイスを産出する。冗長メモリセルグループは、メモリデバイスの中で1つまたは複数のメモリセル欠陥を有するメモリセルグループに置き換わるため、メモリデバイスの中へマッピングできる。欠陥メモリセルを含む欠陥メモリセルグループを識別し、さらに冗長メモリセルグループをメモリデバイスにて該当する欠陥メモリセルグループにマッピングするプロセスは「冗長性分析」と呼ばれる。
一般的に、所与の単一のメモリセルは、対応するメモリデバイスアドレスの異なる次元成分によって各々アドレスされる、複数の異なるメモリセルグループの一メンバーである。従って単一のメモリセルは、メモリデバイスの異なる次元に沿って編成される複数の異なる使用可能な冗長メモリセルグループの内1つを用いて修復できる。例えば、メモリデバイスは行と列とをなす次元に編成でき、行をなすメモリセルグループと列をなすメモリセルグループとを可能にする。メモリデバイスは、メモリデバイスにて種々の行及び列に置き換わるためマッピングされるいくつかの冗長行といくつかの冗長列とを設けることができる。この例では使用可能な冗長行と冗長列の両方があって、いずれも所与のセルを修復するために使用できる。同じ行に沿って複数の欠陥がある場合には、その複数のメモリセル欠陥を修復するのに、数個の冗長列を使用するより単一の冗長行を使用した方がよく、なぜならその方が効率的であり、また使用できる冗長メモリ行及び列の数には限りがあるからである。例えば、所与のメモリデバイスで欠陥メモリセルを修復するのに、4つの冗長列と4つの冗長行しか使用できないと仮定する。この例で、もしも3つの異なる列にて欠陥を有する行があるなら、冗長列の内3つを使用するか、または冗長行の内ただ1つを使用することにより、その行を修復できる。ただし、もし5つの異なる列にて欠陥を有する行があれば、この行にある欠陥の全てを修復するにあたって使用できる冗長列は足りないため、その行を修復するには冗長行の内1つを利用するしかない。使用できる冗長行の内1つを用いて修復するしかない行は「要修復」行とみなされる。同様に、使用できる冗長列の内1つを用いて修復するしかない列は「要修復」列とみなされる。
所与の行または列が、その行または列にて限界数に相当するメモリセル欠陥が検出されたため「要修復」行または列としてそれぞれ識別されると、所与の行または列にある全メモリセル欠陥は使用可能な冗長行または列によってそれぞれ修復され、このためメモリデバイスの所与の行または列にある残りのまだテストされていないメモリセルで欠陥をさらにテストする、または分析する必要がないことが知られている。
かかるデバイスの製造者であれば、冗長メモリセルグループを使った欠陥メモリセル修復が実際に回路レベルでいかに成し遂げられるかを十分認識しており、当業者にとっては、いくつかの選択的に破棄できる要素がそれらのデバイスに組み込まれ、このような要素が関連回路の内部ロジックを変更するゲーティングを可能にする、と述べるだけで十分である。このような能力を使用して、欠陥回路の代わりになる代替回路へ内部信号を配信するよう導く。
理想的には、メモリテスタは、テスト対象のメモリデバイスで修復の必要性と、要求される修復の位置と、必要とされる修復のタイプとを識別できるべきであり、その上でしかるべき修復ができなければならない。
ある種のメモリテスタでは、時としてエラーキャッチRAM(ECR)と、より一般的には、以下に記載の通り「エラーデータ画像」と呼ばれる、デバイス内容の全ビットマップを捕らえるようにハードウェアが設計されることがある。一般的に、エラーデータ画像は、テスト対象のメモリデバイスに適用されるアドレスと同じアドレスによって、またはこれから導き出されるアドレスによって、アドレスされる。テスト中にメモリデバイスの中のメモリセルの内容が期待した結果に適合、または不適合となると、エラーデータ画像でそのアドレスにある対応するビットは、使用する規約に従い、セットされるか、またはクリアされる。例えば、エラーデータ画像において不適合を表すため「0」を使用でき、適合を表すため「1」を使用できる。エラーと最適な修復方法を見つけるため、エラーデータ画像を分析できる。この方策は、テスト時間を短縮するばかりでなく、分析業務の複雑さをかなり緩和する。
多くの場合、分析時間をさらに短縮するため、メモリデバイスのテスト中には多数の「タグ」画像が生成される。各タグ画像は、メモリデバイスで検出されたメモリセル欠陥をそれぞれの単一メモリデバイス次元の上にマッピングする。上の例で、1つのタグ画像は欠陥行のマップを含んでもよく、別のタグ画像は欠陥列のマップを含んでもよい。行タグの中で、1つの位置は、メモリデバイスの対応する行のメモリセルのいずれかでエラーがあったか否かを指示するフラグを含むことができる。同様に、列タグの中で、1つの位置は、メモリデバイスの対応する列のメモリセルのいずれかでエラーがあったか否かを指示するフラグを含むことができる。タグ画像では単一のメモリ位置(通常はわずか1ビットのサイズ)を使ってメモリデバイスの全行または列を表すため、タグ画像は完全エラーデータ画像よりかなり小さく、欠陥を有するメモリセルグループがどれであるかを(上の例ではどの行及びどの列であるかを)速やかに識別することを可能にする。タグ画像は、インデックスが付された検出済みイベントの集まりを以降の検査のため記憶する働きをする。
図1は、従来のメモリテスト構成のブロック図である。メモリテスタ4は、メモリDUT2のメモリセルのいずれかで欠陥を検出するため、テスト対象メモリデバイス(DUT)2に一連のテストベクトル3を適用する。DUT2は、行([0..X−1])からなるメモリセルグループと列([0..Y−1])からなるメモリセルグループとに配置されたメモリセル2aの配列を含む。従来、メモリDUT2の各メモリセルに対応するビットを記憶するため、テスト対象メモリデバイス(DUT)2と同じサイズ(すなわち同数の行及び列)で、且つこれと同じ方法でアドレスされる、エラーデータ画像6が提供される。従来、エラーデータ画像6のビットセルにおける値0は、メモリDUT2で対応するビットセル2aのテスト中に欠陥が生じたことを指示し、他方1は、メモリDUT2で対応するビットセル2aにて欠陥が検出されなかったことを指示する。勿論、メモリDUT2で対応するビットセルの合格または不合格を指示するため別の規約を使用することもできる。
行8([0..M−1])からなる一組の冗長メモリセルグループと、列10([0..N−1])からなる一組の冗長メモリセルグループとを、対応する行及び列アドレスによってアドレスされるDUT2のメモリセル2aにて検出される欠陥の修復に用いるため実施できる。
タグ画像14、12は、エラーデータ画像6の分析の際、メモリDUTで検出された欠陥をいかに修復するべきかを判断するために役立てることができる。従来、行及び列タグ画像14、12は、DUT2の対応する行及び列における欠陥を指摘するため、対応する行及び列次元にて1アドレスにつき単一のビットを実施する。
説明的な例として、DUT2に適用されるアドレスは、メモリDUT2の内部編成に関係する行X及び列Yアドレス成分とともに行及び列に分離できるとする。従ってメモリDUT2は2つの次元でアドレス可能であり、DUT2に適用されるアドレスは、ことによると明白ではない方法で、または好都合ではない方法で、そこに埋め込まれたX及びYアドレス成分を有する。適当なゲート回路なら、例えばYアドレス成分を抽出でき、さらにこれをアドレスとして列タグ画像12へ適用でき、同列タグ画像12により、Yアドレスに従いインデックスが付された情報が記憶される。同様に、ゲート回路はXアドレス成分を抽出でき、これをアドレスとして列タグ画像14へ適用でき、列タグ画像14により、Xアドレスに従いインデックスが付された情報が記憶される。従来、行及び列タグ画像の各項目に記憶される情報は単一のビットであり、そのend−of−testは、DUT2にて、対応するそれぞれのXアドレス指定行またはYアドレス指定列に沿って欠陥が1回以上生じたか、または生じなかったことを意味する。行X及び列Yアドレス成分の両方のためタグ画像を生成することにより、テスト分析者は、行X及び列Yアドレスの概念を内部編成に含むメモリDUTにおける欠陥について、有用な情報が得られる。必要とされるタグ画像記憶要求は、エラーデータ画像が要求するX及びYアドレス空間の積に等しいのではなく、わずかX及びYアドレス空間の和に等しい位置数からなるため、タグ画像12、14の使用により、テスタメモリ要求の大幅低減が実現できる。
メモリデバイスの一般的な欠陥メカニズムは従来のタグRAMの有効性を減ずる。デバイスは縮退メモリセルグループをたびたび有し、ここでその特定のメモリセルグループの中では多くのアドレスかまたは全てのアドレスに欠陥がある。例えば、図1のメモリDUT2のテストでは、DUT2が縮退行かまたは縮退列を有することが判明するかもしれず、ここでその特定の縮退行かまたは縮退列の中では多くのアドレスかまたは全てのアドレスに欠陥がある。メモリデバイスにおける縮退メモリセルグループは単一の冗長メモリセルグループで修復できる。複数の次元でメモリセルグループに編成されたデバイスで、メモリデバイスに適用される所与のアドレスが、そこに埋め込まれた複数の次元アドレス成分を含む場合、タグ画像は、以下の例から最もよく理解される通り、冗長性分析の目的で有効でなくなることがある。2つの次元(行次元と列次元)でメモリセルグループ(行0..X−1と列0..Y−1)に編成された図1のDUT2を再び参照し、DUT2における縮退行は単一の冗長行で修復できる。しかし列タグ12は、DUT2の縮退行の全メモリセルに欠陥があるため、全Yアドレスにて欠陥を指摘する。メモリDUT2が縮退行と縮退列を両方とも有する場合、タグ画像12及び14の両方は全アドレスにおける全面的欠陥を指摘するが、実際には単一の列の中の全Xアドレスと単一の行の中の全Yアドレスに欠陥があるに過ぎない。従って、縮退行または縮退列欠陥を有するデバイスでは、専ら疎らな欠陥を含む行及び/又は列に関し情報を抽出する限りにおいて、タグ画像の有用性は制限されるか、または全く無効になる。
従来のタグ画像は「要修復」行及び列を除外せず、このためタグ画像は、前の例で説明した通り、疎らな欠陥に関する情報を抽出するという点で、ほとんど有用でなくなる。タグにともなう問題は、単一のエラー画像を用いて複数の独立したメモリデバイスで同時にエラーデータを捕らえる場合(つまり、複数のテスト対象メモリデバイスがある場合)にさらに複雑になる。
従来、タグ画像から疎らな欠陥の情報を回収するには、「要修復」メモリセルグループの欠陥を除外しながらタグ画像を再生成しなければならない。この方法は、既知の「要修復」メモリセルグループの欠陥を除外しながら、捕らえられたエラー画像にて行及び列の全てを再度スキャンすることを要し、現在のタグ画像に基づき別の「要修復」メモリセルグループが識別されるたびに繰り返さなければならない。従って、疎らな欠陥だけを含むタグ画像の生成は反復プロセスとなり、場合によっては捕らえられたエラー画像の多数のスキャンパスを要する。従って「要修復」メモリセルグループを識別し、捕らえられたエラー画像から疎らな欠陥の情報を回収する従来方法は、この反復プロセスに従い捕らえられたエラー画像がスキャンされ再度スキャンされるため、かなりの処理時間を要することがある。
よって、「要修復」メモリセルグループを識別し、捕らえられたエラー画像から疎らな欠陥の情報を回収するための改良技術が求められている。メモリテストプロセスで冗長性分析ステップを円滑化する技術もまた求められている。
本発明の実施の形態は、メモリデバイスのエラーデータ画像から修復情報を抽出する方法を含む。前記エラーデータ画像は、前記メモリデバイスの複数の次元に沿って複数のメモリセルグループに編成された複数のメモリセルの各々につき対応するエラーデータを備え、各々のメモリセルグループは、前記複数の次元の内1つに対応する複数のアドレス成分の内1つによってアドレス可能である。前記エラーデータ画像は複数のビットを備え、各ビットは前記メモリデバイスにある前記メモリセルの内異なる1つに対応し、且つ前記対応するメモリセルが有効でないか否かを指摘する値を有する。前記エラーデータ画像は、選択されたアドレスからなる組の間で第一の次元に沿って編成されたメモリセルグループからなる第一の組における欠陥を求めてスキャンされ、前記第一の組にある前記それぞれのメモリセルグループの各々に見られるそれぞれの欠陥数を追跡し、さらにそれぞれの欠陥数が第一の最大欠陥閾値に等しいかまたはこれを超過するメモリセルグループを追跡し、且つこれを要修復メモリセルグループとして指定する。前記エラーデータ画像は、選択されたアドレスからなる前記組の間で第二の次元に沿って編成されたメモリセルグループからなる第二の組における欠陥を求めてスキャンされ、前記第二の組にある前記それぞれのメモリセルグループの各々に見られるそれぞれの欠陥数を追跡し、さらにそれぞれの欠陥数が第二の最大欠陥閾値に等しいかまたはこれを超過するメモリセルグループを追跡し、且つこれを要修復メモリセルグループとして指定する。前記第一の組のメモリセルグループに関連する第一のタグ画像と前記第二の組のメモリセルグループに関連する第二のタグ画像との内一方または両方が生成される。前記第一のタグ画像は欠陥を含む前記第一の組のメモリセルを指摘し、前記第二のタグ画像は欠陥を含む前記第二の組のメモリセルグループを指摘する。ここで前記第一のタグ画像と前記第二のタグ画像の内少なくとも一方は、前記対応する組の指定要修復メモリセルグループにおける欠陥の指摘を除外する。
一実施形態において、欠陥情報はIOビットごとに追跡される。
一実施形態において、欠陥情報はIOビットグループごとに追跡され、ここでIOビットグループは複数の同時アドレス可能IOビットを備える。
本発明とその利点の多くは、添付の図面と共に以下の詳細な説明を参照することにより、より完全に理解することができよう。なお図面中、同一又は同様の要素については同じ参照番号を付して示している。
以下の実施形態の詳細な説明において、実施形態の一部をなす添付の図面を参照するが、図面は本発明を実施し得る特定の実施形態を示している。これらの実施形態については、当業者が本発明を実施できるように十分詳細に記載する。なお、他の実施形態も使用できると共に、本発明の主旨及び範囲を逸脱することなく、構造的、論理的、及び電気的に変更することも可能であることを理解されたい。従って、以下の詳細な説明は限定的にとらえるべきではなく、本発明の範囲は付随の特許請求の範囲によってのみ定義される。
図2(a)は、複数のメモリセル22を備えるメモリデバイス20を示す。各々のメモリセル22は、対応する行x(x=X[1..M])及び列y(y=Y[1..N])アドレス成分を有するアドレスADDRESS[x,y]によってアドレスされる。メモリデバイスは、適用されるアドレスADDRESS[x,y]の値によって決定される通り、メモリデバイスにあるそれぞれのメモリセル22へそれぞれ切り替え式に接続できる、1つまたは複数の同時アドレス可能入力/出力(IO)ラインIO[1]−IO[Z]を有することができる。
最も単純なケースで、メモリデバイスは単一ビット幅デバイス(すなわちZ=1)であって、所与のアドレスADDRESS[x,y]はデバイス内の単一のメモリセルにアクセスすることを意味することは理解されよう。データは、単一のIOライン(例えばIO[1])を通じてメモリデバイスの中の単一のメモリセルへ入力できる、またはこれから出力できる。
ただし一般的に、メモリデバイス20は複数の単一ビット幅デバイスを備えることによりzビット幅デバイス(z=Z、Z>1)を構成する。この場合、データは、Z個のIOラインIO[1]−IO[Z]を通じてメモリデバイスの中のZ個のメモリセルへ同時に入力できる、またはこれから出力できる。Z個の単一ビット幅デバイスの各々は、同じADDRESS[x,y]を同じ行及び列アドレス成分(X[x]及びY[y])とともに受け取るが、Z個の単一ビット幅デバイスの各々は、対応するビット位置にてZビットIOデータ値で単一のビットを提供する。Z個の単一ビット幅デバイスの各々は異なる欠陥分布を有することがある。例えば、IOビットIO[1]の場合に行X[1]、列Y[1]で欠陥が発生し、ただしIOビットIO[2]の場合に行X[1]、列Y[1]で欠陥が発生しないことがある。
メモリデバイスの一実施形態のおいては、任意の列yにて任意の個々のIOビットのため列全体を修復するために使用できる一組の修復列と、行xにて各列のため全IOビットを含む行全体を修復するために使用できる一組の修復行があってもよい。
図2(b)は、図2(a)のメモリデバイスのエラーデータ画像30を示す。図示の通り、メモリデバイス20と対応するエラーデータ画像30の各々は、M個の行(X[1]−X[M])とN個の列(Y[1]−Y[N])とに編成されたメモリセル22、32を備える。メモリデバイス20とエラーデータ画像30の各々はZビット幅であり、同時にアドレスできるZ個のIOラインIO[1]−IO[Z]を提供する。一実施形態において、メモリデバイス20にアクセスするために用いるアドレス方式は、エラーデータ画像30にアクセスするために用いるアドレス方式と同じである。一実施形態において、エラーデータ画像30のメモリセル32には、メモリデバイス20の対応するメモリセル22における欠陥の存在を示すため「0」を記憶でき、エラーデータ画像30のメモリセル22には、メモリデバイス20の対応するメモリセル22における欠陥の不在を示すため「1」を記憶できる。限定ではなく専ら例示を目的とし、図示されたエラーデータ画像30は、メモリデバイス20がビットIO[3]にて列Y[1]の全て、全IOビットにわたり行X[1]の全てに欠陥を、そして残りのメモリセル22に種々の雑多な疎らな欠陥を有することを示している。
図2(b)の欠陥構成に対する理想的な修復方法では、縮退列(Y[1])は冗長列に置き換えるべきであり、縮退行(X[1])は冗長行に置き換えるべきである。残りの疎らな欠陥は残りの使用可能な冗長列または行で置き換える。
本発明の実施形態によると、エラーデータ画像30で欠陥をスキャンすることにより、欠陥の位置、及び既知の要修復メモリセルグループの位置を、それらが識別され次第追跡することにより、そして既知の要修復メモリセルグループからの欠陥のさらなるカウントを除外することにより、エラーデータ画像30から疎らな欠陥の情報を抽出できる。
スキャンアルゴリズムの一実施形態によると、メモリデバイス20のエラーデータ画像30から修復情報を抽出する方法80は図3に示されており、ステップすなわち、選択されたアドレスからなる組の間で第一の次元に沿って編成されたメモリセルグループからなる第一の組にて欠陥を求めてエラーデータ画像30をスキャンし、一方、第一の組にあるそれぞれのメモリセルグループの各々に見られるそれぞれの欠陥数を追跡し、さらにそれぞれの欠陥数が第一の最大欠陥閾値に等しいかこれを超過する第一の組にあるメモリセルグループを追跡し、且つこれを第一の組における要修復メモリセルグループとして指定するステップ(ステップ81)、そして選択されたアドレスからなる組の間で第二の次元に沿って編成されたメモリセルグループからなる第二の組にて欠陥を求めてエラーデータ画像をスキャンし、一方、第二の組にあるそれぞれのメモリセルグループの各々に見られるそれぞれの欠陥数を追跡し、以前に指定された要修復メモリセルグループによって修復される欠陥を除外し、さらにそれぞれの欠陥数が第二の最大欠陥閾値に等しいかこれを超過するメモリセルグループを追跡し、且つこれを第二の組における要修復メモリセルグループとして指定するステップ(ステップ82)を含む。
一実施形態において、第一の組にあるそれぞれのメモリセルグループの各々に見られるそれぞれの欠陥数を追跡するステップは、IOビットごとに実行できる(ステップ86)。一実施形態において、何らかの理由で、IOビットからなるグループの内1つまたは複数で検出される欠陥を複数の欠陥としてではなく単一の欠陥としてカウントすると望ましい場合がある。例えば、行修復素子はただひとつのIOビットではなく所与の行のIOビットの全てを修復でき、他方列修復素子は所与の列のただひとつのIOビットを修復できる。一実施形態において、IOビットからなる各指定グループにおいて、それぞれのグループのビットの中で指定される1つまたは複数の欠陥の検出は1つの欠陥としてカウントされる。従って、方法は、第一の組にあるそれぞれのメモリセルグループにてそれぞれの欠陥数をIOビットグループごとに追跡するステップをも含んでもよい(ステップ87)。
一実施形態において、第二の組にあるそれぞれのメモリセルグループの各々に見られるそれぞれの欠陥数を追跡するステップは、IOビットごとに実行できる(ステップ88)。さらに、ビットグループ化に便宜を図るため、既に説明した通り、方法は、第二の組にあるそれぞれのメモリセルグループにてそれぞれの欠陥数をIOビットグループごとに追跡するステップをも含んでもよい(ステップ89)。一実施形態において、第二の組にあるそれぞれのメモリセルグループの各々に見られるそれぞれの欠陥数を追跡するステップはさらに、第一の組の要修復メモリセルグループとして指定された第一の組のメモリセルグループに対応するアドレス成分を備えるアドレスにて検出される欠陥のカウントを除外するべく作用する(ステップ90)。
方法はさらに、指定要修復メモリセルグループのメモリアドレスからなるリストを生成するステップを含んでもよい(ステップ83)。
方法はさらに、第一の組のメモリセルグループに関連する第一のタグ画像と、前記第二の組のメモリセルグループに関連する第二のタグ画像との内一方または両方を生成するステップを含んでもよく、第一のタグ画像は疎らな欠陥を含む第一の組のメモリセルを指摘し、第二のタグ画像は疎らな欠陥を含む第二の組のメモリセルグループを指摘する(ステップ84)。
方法はさらに、疎らな欠陥を含むメモリアドレスからなるリストを生成するステップを含んでもよい(ステップ85)。
一実施形態によると、例えば図4から図19に示す通り、いくつかのカウンタは、各IOビットに、またはIOビットからなる各グループ(グループ構成機能によって構成される通り)に、見られるそれぞれの欠陥数を、選択されたアドレスからなる組にて第一の次元にある各メモリセルグループの素子ごとに追跡する。例証を目的とし、列次元を第一の次元として選択でき、選択された第一のアドレスと選択された第二のアドレスとの間にある一組の列を第一の次元にあるメモリセルグループとして選択でき、ある列が要修復列とみなされるまでに列にて許容されるエラーの所定最大値を選択できる。
第一の次元沿いの各メモリセルグループにある各素子につき、所定のアドレスにてエラーデータ画像に記憶されるエラーデータが得られる。
一実施形態において、エラーデータは、グループ構成機能40によって構成されるようにグループ化できる。グループ構成機能は、エラーをカウントすることを目的とし、グループを単一のエラー源として扱えるようにするため、IOビットからなる1つまたは複数のグループにIOビットを割り当てる。各グループはカウンタ42へ割り当てられ、同カウンタは、カウンタ42に割り当てられたグループにてIOビットのいずれかに欠陥がある場合に1つの欠陥をカウントする。グループ化が望まれない場合、グループの数は、異なるカウンタに各々割り当てられる、各々1ビットのZ個のグループからなる、IOビットの数に一致する。
グループ化エラーデータGED[1..Z]は一時的に記憶される。もしグループ化エラーデータGED[1..Z]が欠陥を指摘するビットを含むとすれば、それぞれの欠陥ビットを含むグループに対応するカウンタ42にて欠陥が記録される。
第一の次元の所与のメモリセルグループにある各素子につきエラーデータが得られ、グループ化され(その通りに構成される場合)、(必要に応じ)カウントされたら、カウンタ42を調べる。最終カウント値がその初期化値から変化していないカウンタは、特定のメモリセルグループの対応するIOビットグループにあるどのIOビットにおいてもエラーが見られなかったことを意味する。最終カウント値が第一の次元のメモリセルグループにて許容されるエラーの所定最大値以上をカウントしたカウンタは、対応IOビットグループ上の特定メモリセルグループを冗長メモリセルグループで修復しなければならないことを意味する。その位置と冗長メモリセルグループのタイプは記録される。最終カウント値が少なくともいくつかの欠陥をカウントし、ただし最大許容欠陥数をカウントしなかったカウンタは、対応するIOビットグループのメモリセルグループに疎らな欠陥があることを意味する。第一の次元に関連する併合マスクは、メモリデバイスにて対応するメモリセルグループが「要修復」と指定された各IOビットにつき、またはIOビットからなる各グループにつき、設定されるマスクビットを含む。そして、併合マスクの対応するビットは、選択されたアドレスからなる組に属する第一の次元にある各メモリセルグループに関連するグループ化エラーデータGED[1..Z]に適用され(IRowTag44に記憶)、マスク不適用エラーはFinalRowTag48に蓄積される。
第二の次元に関連する最終タグ画像を生成するため、これらのステップは、選択されたアドレスからなる組に属する第一の次元にある各メモリセルグループにつき繰り返される。第二の次元に関連する最終タグ画像の中の各項目は、第二の次元の対応するメモリセルグループのどこかに欠陥が存在するか否かを指摘する。例えば、列が第一の次元として選ばれる場合、上で説明したパスにて列をスキャンすると最終行タグ画像が生成される。最終行タグ画像は、選択されたアドレスにある各行につき項目を含み、各項目は、各IOビットに、またはIOビットからなる各グループに、対応するビットを備える。
次に、選択されたアドレスからなる組にて第二の次元にあるメモリセルグループで欠陥をスキャンすることにより、第一の次元に関連するタグ画像を同様に生成できる。このスキャンパスにおいて、第二の次元に関連するタグ画像(上で説明した第一のスキャンパスで生成)から欠陥の不在が分かっている第二の次元にあるメモリセルグループはスキャンする必要がなく、その結果、処理時間の節約になる。
一実施形態の作用をより詳しく述べるため図4に戻ると、第一の次元として列次元が選ばれている。スキャンアルゴリズムはいくつかのカウンタ42をセットアップする。一実施形態においては、IOビットIO[1]−IO[Z]の各々に各々対応するZ個のカウンタCNTR[1]−CNTR[Z]がある。以下に記載の別の実施形態においては、所定数のIOビットグループごとに1つのカウンタがあってもよい。一実施形態において、カウンタCNTR[1]−CNTR[Z]42は、ある列を要修復列とみなすまで同列にて許容される最大エラー数に初期化される。選択された列の対応するIOビットにて欠陥が見つかるとカウンタ42は減少(カウントダウン)する。例証を目的とし、所与の列は、これが3つ以上のエラーを含む場合に(実際のところ、この数は通常これよりも多くなる)、要修復列とみなしてもよい。よってこの例で、カウンタCNTR[1]−CNTR[Z]42は、図4に示す通り、値「3」に各々初期化してもよい。
一実施形態において、グループ構成機能40により、欠陥をカウントすることを目的とし、IOビットからなるグループは1つのビットとして扱われることができる。例えば一実施形態において、グループ化機構40は各カウンタ42に対応するグループ化マスク(図示せず、ただし図20に関し記述する)を備える。各グループ化マスクは、IOビットごとに1つのビットを備える。所与のグループ化マスクにある各ビットは、対応カウンタ42へ割り当てられたグループへ対応IOビットを割り当てるため「セット」できる。所与のグループ化マスクにある各ビットは、対応IOビットが対応カウンタ42に割り当てられたグループのメンバーでない場合に「クリア」できる。グループ化マスクにある対応ビットがクリアされたIOビットは、対応カウンタ42によって無視される。所与のグループに割り当てられたIOビットの内1つまたは複数で欠陥が検出される場合には、同所与のグループに対応するカウンタ42を進めるため、対応するロジック(図示せず、ただし図20に関し記述する)は実行される。
次に、エラーを求めて列Y[1]−Y[N]がスキャンされる。一実施形態においては、図5に示す通り第一の列Y[1]が選ばれ、その列にある第一の素子X[1]のエラーデータにアクセスする。図示の通り、アドレスされる列Y[1]とアドレスされる行X[1]のエラーデータIO[1..Z]は値「000...0」を持つ。各列の各行アドレスにつき、所定のアドレスにてエラーデータ画像30に記憶されるエラーデータを得る。一実施形態において、エラーデータIO[1..Z]のビットは、グループ構成機能40にてセットアップされるグループ構成に従いグループ化できる。この例では、IOビットグループはセットアップされないと仮定する。従って、この例では1つのIOビットからなる各グループに対応する1つのカウンタ42がある。
グループ化エラーデータGED[1..Z]は、一実施形態において、ここで中間行タグIRowTag44と呼ぶものにて一時的に記憶される。中間行タグIRowTag44は、グループ化エラーデータGED[1..Z]で満たされた1つの列を記憶する。従って、図5の例の一実施形態において、中間行タグIRowTag44は、一列×M行×Zビットである。中間行タグIRowTag44の行1にて、列Y[1]、行[1]のためのエラーデータが一時的に記憶されている様子が見られる。
グループ化エラーデータGED[1..Z]は欠陥を有するビット(IO[1]、IO[2]、IO[3]、及びIO[Z])を含むため、IOビットIO[1]、IO[2]、IO[3]、及びIO[Z]に対応するカウンタCNTR[1]、CNTR[2]、CNTR[3]、及びCNTR[Z]の各々は減らされ、これにより現在の列Y[1]ついてそれぞれのビットIO[1]、IO[2]、IO[3]、及びIO[Z]にこれまで見られた対応する欠陥の累積数を一時的に記録する。
次に、図6に示す通り、選択された第一の列Y[1]にある次の素子にアクセスする。図示の通り、アドレスされる列Y[1]とアドレスされる行X[2]のエラーデータIO[1..Z]は値「110...1」を持つ。この例ではグループ構成を設定しないため、IOビットとカウンタ42との間には一対一の対応がある。グループ化エラーデータGED[1..Z]は一時的に記憶される。一実施形態において、グループ化エラーデータGED[1..Z]は中間行タグIRowTag44の行2にて記憶される。
グループ化エラーデータGED[1..Z]のビット2(IO[2])は欠陥を有するため、対応するカウンタCNTR[2]は減らされ、これにより現在の列についてそれぞれのビットラインにこれまで見られた対応する欠陥の累積数を一時的に記録する。
次に、図7に示す通り選択された第一の列Y[1]にある次の素子にアクセスする。図示の通り、アドレスされる列Y[1]とアドレスされる行X[3]のエラーデータIO[1..Z]は値「110...1」を持つ。グループ化エラーデータGED[1..Z]は一時的に記憶される。一実施形態において、エラーデータは中間行タグIRowTag44の行3にて記憶される。
グループ化エラーデータGED[1..Z]のビット3(IO[3])は欠陥を有するため、対応するカウンタCNTR[3]は減らされ、これにより現在の列についてそれぞれのビットラインにこれまで見られた対応する欠陥の累積数を一時的に記録する。
選択された第一の列Y[1]に存在するさらなる素子は、図8に示す通り、最後の素子X[M]がアクセスされるまで同様にアクセスされ、処理される。図示の通り、アドレスされる列Y[1]とアドレスされる行X[M]のエラーデータIO[1..Z]は値「010...1」を持つ。グループ化エラーデータGED[1..Z]は一時的に記憶される。一実施形態において、グループ化エラーデータGED[1..Z]は中間行タグIRowTag44の行Mにて記憶される。
グループ化エラーデータ[1..Z]のビットZ(IO[Z])は欠陥を有するため、対応するカウンタCNTR[Z]は減らされ、これにより現在の列についてそれぞれのビットラインにこれまで見られた対応する欠陥の累積数を一時的に記録する。
図9に示す通り、Y[1]列にある各素子につきエラーデータを得たら、IOビットIO[1]−IO[Z]の各々に関連するカウンタCNTR[1]−CNTR[Z]42を調べる。最終カウント値がその初期化値から変化していないカウンタ42は、現在選択されている列Y[1]の対応IOビットにエラーが見られなかったことを意味する。これは、この例で列Y[1]のIOビットに関連するカウンタ42のいずれにも当てはまらない。
最終カウント値が少なくとも列にて許容されるエラーの所定最大値をカウントした(この例では、「3」から「0」(以下)までカウントダウンした)カウンタ42は、対応IOビット上の現在選択されている列Y[1]を冗長列で修復しなければならないことを意味する。この例では、IOビットIO[2]に関連するカウンタCNTR[2]は、列が要修復列となる前に許容されるエラーの所定最大値をカウントダウンする。従って、現在選択されている列Y[1]と欠陥列のIOビット位置IO[2]が欠陥位置リストに記録される。現在の列Y[1]でIOビットIO[2]に見られた欠陥をマスクする(無視する)ため、併合マスクレジスタMergeMask[1..Z]にある対応するビットMergeMask[2]は更新され、他方、中間行タグ44から最終行タグ48へデータを併合する。
残りのカウンタCNTR[1]、CNTR[3]、CNTR[Z]の最終カウント値「2」は、対応するIOビットの各々にて列Y[1]にて最大許容数の欠陥ではなく、少なくともいくつかの欠陥があることを(すなわち疎らな欠陥の存在を)指摘する。現在の列Y[1]でIOビットIO[1]、IO[3]、IO[Z]に見られる欠陥をマスクしない(無視しない)ため、MergeMask[1..Z]46にある対応するビットMergeMask[1]、MergeMask[3]、MergeMask[Z]は更新され、他方中間行タグから最終行タグへデータを併合する。
現在選択されている列Y[1]についてカウンタ42によって明らかにされた情報を反映するため、併合マスクレジスタMergeMask46が完全に更新されると、対応する中間行タグ項目の内容を併合マスクMergeMask46に含まれたマスクデータに組み合わせることにより、中間行タグIRowTag44にある各項目は最終行タグFinalRowTag[1..M]48へ併合される。よってこの例において、中間行タグ項目の累積効果を最終行タグ48へ加える前にIOビット3(IO[3])に見られる欠陥をマスクする(無視する)ため、MergeMask[3]上のマスクだけが適用される。
上のステップは、選択されたアドレスからなる組に属する各列につき繰り返される。例えば図10において、カウンタ42は所定最大値にリセットされ、次の列Y[2]が選択される。図示の通り、列Y[2]にある最初の素子X[1]のエラーデータにアクセスする。図示の通り、アドレスされる列Y[2]とアドレスされる行X[1]のエラーデータIO[1..Z]は値「000...0」を持つ。グループ化エラーデータGED[1..Z]は、中間行タグIRowTag44の行1にて一時的に記憶される。
グループ化エラーデータGED[1..Z]は欠陥を有するビット(IO[1]、IO[2]、IO[3]、及びIO[Z])を含むため、IOビットIO[1]、IO[2]、IO[3]、及びIO[Z]に対応するカウンタCNTR[1]、CNTR[2]、CNTR[3]、及びCNTR[Z]の各々は減らされ、これにより現在の列Y[2]ついてそれぞれのビットラインにこれまで見られた対応する欠陥の累積数を一時的に記録する。
そして、図11に示す通り、選択された列Y[2]にある次の素子X[2],X[3],..., X[M]にそれぞれアクセスし、これらのいずれも欠陥を含まないため、完成された中間行タグIRowTag44となる。列Y[2]にある素子の各々につきエラーデータを得ると、IOビットIO[1]−IO[Z]の各々に関連するカウンタCNTR[1]−CNTR[Z]を前の通りに調べ、併合マスクレジスタMergeMask46を更新する。この例において、この反復中にカウンタ42はどれも満了しなかったため、更新された併合マスクレジスタMergeMask46はどのビットもマスクしない。中間行タグIRowTag44にある各項目は、以前に説明した通り最終行タグ48へ併合され、この反復において併合マスクレジスタMergeMask46によって要求されるマスキングはない。
次の列Y[3]と後続の列Y[N]は同様に処理され、図12に示す最終行タグFinalRowTag48となる。最終行タグ画像FinalRowTag48が示す通り、メモリデバイス20は、行X[1]のIOビットIO[1]−IO[Z](IO[3]を除く)と、行X[M]のIOビットIO[0]とに対応するメモリセル22に疎らな欠陥を有する。行X[1]のIO[3]におけるエラーだけはすでに要修復として識別されており、よってそれらは疎らではないため、行X[1]のIO[3]はエラーを示していない。行X[2]及びX[3]は列Y[1]からY[N]のいずれにおいても欠陥を有さない。
次に、行をスキャンすることによって列タグが生成される。ただし、最終行タグFinalRowTag48は、一部の行(例えば、行[2]及び[3])が列Y[1]からY[N]のいずれにおいても欠陥を有さないことを指摘しているため、これらの行はスキャンする必要がなく、その結果、処理時間の節約になる。最終列タグFinalColTag58は最終行タグFinalRowTag48と同じ方法で生成されるが、ただし最初のパスでは列がスキャンされるのではなく、行がスキャンされる。
現在の例に戻り、図13は第二のパスの初期化を示している。スキャンアルゴリズムはいくつかのカウンタCounters[1..Z]52をセットアップする。一実施形態においては、IOビットIO[1]−IO[Z]の各々に各々対応するZ個のカウンタCNTR[1]−CNTR[Z]がある。以下に記載の別の実施形態においては、所定数のIOビットグループごとに1つのカウンタがあってもよい。一実施形態において、カウンタCNTR[1]−CNTR[Z]52は、ある行を要修復行とみなすまで同行にて許容される最大エラー数に初期化され、選択された行の対応するIOビットにて欠陥が見つかるとカウンタ52は減少(カウントダウン)する。例証を目的とし、所与の行は、これが3つ以上のエラーを含む場合に(実際、この数は通常これよりも多くなる)、要修復行とみなされる。このように、この例で、カウンタCNTR[1]−CNTR[Z]52は値「3」に各々初期化される。
一実施形態において、グループ構成機能40により、欠陥をカウントすることを目的とし、IOビットからなるグループは1つのビットとして扱われることができる。
次に、エラーを求めて行X[1]−X[M]がスキャンされる。一実施形態においては、図14に示す通り、第一の行X[1]が選ばれ、その行にある第一の素子Y[1]のエラーデータにアクセスする。各行の各列アドレスにつき、所定のアドレスにてエラーデータ画像30に記憶されるエラーデータを得る。一実施形態において、エラーデータIO[1..Z]のビットは、グループ構成機能40にてセットアップされるグループ構成に従いグループ化できる。この例では、IOビットグループはセットアップされないと仮定する。従って、この例では1つのIOビットからなる各グループに対応する1つのカウンタ42がある。
図14を再び参照し、アドレスされる行X[1]とアドレスされる列Y[1]のエラーデータIO[1..Z]を得、これは値「000...0」を持つ。グループ化エラーデータGED[1..Z]は一時的に記憶される。一実施形態において、グループ化エラーデータGED[1..Z]は、ここで中間列タグIColTag[1..N]54と呼ぶ所に一時的に記憶される。中間列タグ54は、グループ化エラーデータGED[1..Z]で満たされた1つの行を記憶する。よって、図14の例の一実施形態において、中間列タグ54は、一行×N列×Zビットである。よって、行X[1]のグループ化エラーデータGED[1..Z]は、中間列タグ54の行1、IColTag[1]にて一時的に記憶される。
グループ化エラーデータGED[1..Z]は欠陥を有するビット(IO[1]、IO[2]、IO[3]、及びIO[Z])を含むため、IOビットIO[1]、IO[2]、IO[3]、及びIO[Z]に対応するカウンタCNTR[1]、CNTR[2]、及びCNTR[Z]52の各々は減らされ、これにより現在選択されている行X[1]のそれぞれのビットラインにこれまで見られた対応する欠陥の累積数を一時的に記録する。
次に、図15に示す通り、選択された第一の行X[1]にある次の素子Y[2]にアクセスする。図示の通り、アドレスされる行X[1]とアドレスされる列Y[2]のエラーデータIO[1..Z]は値「000...0」を持つ。一実施形態において、グループ化エラーデータGED[1..Z]は中間列タグIColTag54の行2にて記憶される。
グループ化エラーデータ[1..Z]は欠陥を有するビット(IO[1]、IO[2]、IO[3]、及びIO[Z])を含むため、IOビットIO[1]、IO[2]、IO[3]、及びIO[Z]に対応するカウンタCNTR[1]、CNTR[2]、CNTR[3]、及びCNTR[Z]の各々は減らされ、これにより現在選択されている行X[1]についてそれぞれのビットラインにこれまで見られた対応する欠陥の累積数を一時的に記録する。
そして、選択された第一の行X[1]にある次の素子Y[2]、Y[3],...,Y[N]がアクセスされ、図16に示す通り、行X[1]にある全ての素子が処理されるまで同様に処理される。行X[1]にある各列素子につきエラーデータを得ると、メモリデバイスの行X[1]に関連するIOビットIO[1]−IO[Z]の各々に関連するカウンタCNTR[1]−CNTR[Z]を調べる。最終カウント値が行にて許容されるエラーの所定最大値以上をカウントした(この例では、「3」から「0」(以下)までカウントダウンした)カウンタは、対応IOビット上の特定行を冗長行で修復しなければならないことを意味する。この例で、全てのカウンタCNTR[1]−CNTR[Z]52は、行を要修復行とみなすまでに許容されるエラーの最大所定値までカウントダウンした。従って、現在選択されている行X[1]と欠陥行のIOビット位置IO[1]−IO[Z]が欠陥リストに記録される。現在の行X[1]でこれらのIOビットIO[1]−IO[Z]に見られた欠陥をマスクする(無視する)ため、併合マスクレジスタ56にある対応するビットMergeMask[1]−MergeMask[Z]は更新される。
現在のスキャンされた行(X[1])についてカウンタ52によって明らかにされた情報を反映するため、併合マスクレジスタMergeMask56が完全に更新されると、中間列タグ54の各項目は、併合マスク56に含まれた要修復情報によってマスクされたマスク適用中間列タグ項目として、最終列タグ58へ併合される。このように、この例では、MergeMask56の全てのビットがマスクされるため、累積列タグに情報を付加する目的で、この行について全てのビット上の全ての欠陥は無視される。
図17で、カウンタ52は所定最大値へリセットされ、次の行X[2]が選ばれる。行X[2]にある第一の列素子Y[1]のエラーデータにアクセスする。図示の通り、アドレスされる行X[2]とアドレスされる列Y[1]のエラーデータIO[1..Z]は値「110...0」を持つ。グループ化エラーデータGED[1..Z]は、中間列タグ54の項目2にて一時的に記憶される。
グループ化エラーデータGED[1..Z]はIOビットIO[3]に欠陥を有するため、対応するカウンタCNTR[3]52は減らされる。
そして、選択された行[2]にある次の列素子Y[2],Y[3],...,Y[N]は各々アクセスされ、処理され、図18に示す中間列タグ54となる。
第二のスキャンパスにおける併合ステップ中に、併合マスクレジスタMergeMask52によってマスクされない欠陥を伴う列は疎らな欠陥であり、その通りにフラグを付すことができ、あるいは図示の通り疎欠陥リストに入れることができ、後ほどステップを省く。従って、図示された例で、IColTag[1]、ビット3(列Y[1]、IO[3]に対応)はMergeMask[3]によってマスクされないため(これの対応するカウンタが0に至るまで、または0を過ぎるまで、減少しないため)、対応する列及びビットアドレスY[1]、IO[3]は欠陥リスト70に入れることができる。同様に、アドレスY[3]、IO[1]もまた欠陥リスト70へ加えられる。この例が示す通り、要修復リスト60の欠陥データ(Y[1]、IO[3]等)は欠陥リスト70の中に入れることができるが、ただし疎欠陥リスト72を生成するため、(例えば、要修復リストに入るアドレスを欠陥リスト70から除去するコンピュータフィルタプログラムを実行することによって)容易に削除できる。
上のステップは、選択されたアドレスからなる組に属する残りの各行につき繰り返され、図19に示す最終列タグ画像58と欠陥リスト70とになる。最終列タグ画像58と欠陥リスト70とが示す通り、メモリデバイス20は、列Y[1]のIOビットIO[1]及びIO[3]と列Y[3]のIO[1]とに対応するメモリセル22に欠陥を有する。欠陥リスト70にあるアドレスで、要修復リスト60にも入るアドレスを削除すると、図19に示す疎欠陥リスト72が出来上がる。残りの列は、IOビットのいずれにおいても欠陥を有さない(欠陥リスト60にリストされた要修復列と要修復行はカウントしない)。
よって、要修復行及び要修復列の位置と残りの疎欠陥の位置とを含む、重要な情報は全て、わずか2回のスキャンパスでエラーデータ画像30から回収できる。
一実施形態において、冗長行素子は、単一のIOビットの行だけでなく全IOビットを含む行に一斉に置き換わる。その結果、列タグを生成するにあたってはただ1つのカウンタが必要であり、そのカウンタは任意のIOビットで検出される欠陥の数を追跡する。
この例を続けるため、メモリDUT20は、内部X及びYアドレスメカニズムを有する8ビット幅メモリ(Z=8)であると仮定する。内部的に、DUT20は8つのメモリセル22として編成され、各々は同じX及びYアドレスメカニズムを有し、各々はその出力データを8つのピンIO[1..8]の内異なる1つへ提供する。さらにDUT20は、IOビット単位の冗長列及び全IOビットを含む冗長行により、構成されると仮定する。列スキャンパス中のカウンタの数はIOビットの数に等しくなければならず(すなわち8つのカウンタ)、他方、冗長行は1つのIOビットの行ばかりでなく全IOビットにわたる行全体に置き換わるため、行スキャンパス中に必要とされるカウンタはただひとつである。欠陥が検出されるところの特定のIOピンにかかわらず、欠陥は行全体の置き換えに向けてカウントされるため、これは当然のことである。
明らかに、メモリDUT20がIOビット単位の冗長行と複数IOビット単位の冗長列により構成される場合には逆のことが当てはまる。
前述した通り、IOビットからなるグループの1つまたは複数における欠陥を単一の欠陥としてカウントすることが望ましい場合がある。グループ構成機能40によりIOビットグループの構成が可能になる。図20は、グループ構成機能40の代表的実施形態200の論理図を示すブロック図である。図20の実施形態のロジック実行は、論理「0」は対応するIOビットの不合格に相当し、論理「1」は対応するIOビットの合格に相当すると仮定する。図20の実施形態のロジック実行はまた、論理「0」は対応するグループにおける対応するIOビットの所属を指定し、論理「1」は対応するグループからの対応するIOビットの排除を指定する。これ以降の例を説明するため、実施形態はまた、IOビット数が「8」(すなわちZ=8)であると仮定する。
図示の通り、グループ構成機能200はグループビットマスクGroupMask[1..8]を各カウンタCNTR[1..8](図示せず)につき1つずつ含む。各グループビットマスクGroupMask[1]..GroupMask[8]は、IOビットIO[1..8]の各々に対応する8つのビットを含む。所与のグループビットマスクGroupMask[1]..GroupMask[8]は、グループマスクにある対応するビットを論理「0」に設定してグループにおける対応するIOビットの帰属を指定することにより、そしてグループマスクにある対応するビットを論理「1」に設定して対応するグループから対応するIOビットを排除することにより、任意に組み合わされたIOビットIO[1..8]をグループ化できる。各グループマスクGroupMask[1]..GroupMask[8]の各ビットは対応するIOビットとともに論理的にORされる。各グループのORされたデータはともに論理的にANDされることにより、対応するそれぞれのグループ化エラーデータビットGED[1]..GED[8]が生成される。グループ化エラーデータGED[1..8]は、最終タグ画像への併合に先駆け、中間キャッシュに一時的に記憶されるデータである。
グループ化エラーデータの値は、グループに対応するカウンタ45、52、CNTR[1]..CNTR[8]を更新する(すなわち、欠陥を「カウントする」ため増加または減少させる)べきか否かを制御する。
「0」は不合格を指定し、「1」は合格を指定し、「0」は対応するIOビットのグループにおける包含を指定し、「1」は対応するIOビットのグループからの排除を指定すると仮定する以下の例は、グループ構成機能200の作用を例証するものである。
1カウンタにつき1つのIOビットをテストするため、グループビットマスクGroupMask[1]..GroupMask[8](以下、GM[1]..GM[8]と示す)は以下の通りにセットアップできる:
GroupMask[1]=01111111
GroupMask[2]=10111111
GroupMask[3]=11011111
GroupMask[4]=11101111
GroupMask[5]=11110111
GroupMask[6]=11111011
GroupMask[7]=11111101
GroupMask[8]=11111110
GroupMask[1]=01111111
GroupMask[2]=10111111
GroupMask[3]=11011111
GroupMask[4]=11101111
GroupMask[5]=11110111
GroupMask[6]=11111011
GroupMask[7]=11111101
GroupMask[8]=11111110
エラーデータIO=11011111(すなわち、IO[3]で不合格、その他は全て合格)と仮定する。その場合、
IO[1..8] OR GM[1]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[1]維持
IO[1..8] OR GM[2]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[2]維持
IO[1..8] OR GM[3]=11011111;全ビットのAND=0;CNTR[3]減少
IO[1..8] OR GM[4]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[4]維持
IO[1..8] OR GM[5]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[5]維持
IO[1..8] OR GM[6]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[6]維持
IO[1..8] OR GM[7]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[7]維持
IO[1..8] OR GM[8]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[8]維持、及びGED[1..8]=11011111。
IO[1..8] OR GM[1]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[1]維持
IO[1..8] OR GM[2]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[2]維持
IO[1..8] OR GM[3]=11011111;全ビットのAND=0;CNTR[3]減少
IO[1..8] OR GM[4]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[4]維持
IO[1..8] OR GM[5]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[5]維持
IO[1..8] OR GM[6]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[6]維持
IO[1..8] OR GM[7]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[7]維持
IO[1..8] OR GM[8]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[8]維持、及びGED[1..8]=11011111。
エラーデータIO=10000001(すなわち、IO[1]及びIO[8]で合格、その他は全て不合格)と仮定する。その場合、
IO[1..8] OR GM[1]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[1]維持
IO[1..8] OR GM[2]=10111111;全ビットのAND=0;CNTR[2]減少
IO[1..8] OR GM[3]=11011111;全ビットのAND=0;CNTR[3]減少
IO[1..8] OR GM[4]=11101111;全ビットのAND=0;CNTR[4]減少
IO[1..8] OR GM[5]=11110111;全ビットのAND=0;CNTR[5]減少
IO[1..8] OR GM[6]=11111011;全ビットのAND=0;CNTR[6]減少
IO[1..8] OR GM[7]=11111101;全ビットのAND=0;CNTR[7]減少
IO[1..8] OR GM[8]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[8]維持、及びGED[1..8]=10000001。
IO[1..8] OR GM[1]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[1]維持
IO[1..8] OR GM[2]=10111111;全ビットのAND=0;CNTR[2]減少
IO[1..8] OR GM[3]=11011111;全ビットのAND=0;CNTR[3]減少
IO[1..8] OR GM[4]=11101111;全ビットのAND=0;CNTR[4]減少
IO[1..8] OR GM[5]=11110111;全ビットのAND=0;CNTR[5]減少
IO[1..8] OR GM[6]=11111011;全ビットのAND=0;CNTR[6]減少
IO[1..8] OR GM[7]=11111101;全ビットのAND=0;CNTR[7]減少
IO[1..8] OR GM[8]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[8]維持、及びGED[1..8]=10000001。
1カウンタにつき2つのIOビットをテストするため、グループビットマスクGroupMask[1]..GroupMask[8](以下、GM[1]..GM[8]と示す)は以下の通りにセットアップできる:
GroupMask[1]=00111111
GroupMask[2]=11001111
GroupMask[3]=11110011
GroupMask[4]=11101100
GroupMask[5]=11111111
GroupMask[6]=11111111
GroupMask[7]=11111111
GroupMask[8]=11111111
GroupMask[1]=00111111
GroupMask[2]=11001111
GroupMask[3]=11110011
GroupMask[4]=11101100
GroupMask[5]=11111111
GroupMask[6]=11111111
GroupMask[7]=11111111
GroupMask[8]=11111111
エラーデータIO=00100000(すなわち、IO[3]で不合格、その他は全て合格)と仮定する。その場合、
IO[1..8] OR GM[1]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[1]維持
IO[1..8] OR GM[2]=11011111;全ビットのAND=0;CNTR[2]減少
IO[1..8] OR GM[3]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[3]維持
IO[1..8] OR GM[4]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[4]維持
IO[1..8] OR GM[5]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[5]維持
IO[1..8] OR GM[6]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[6]維持
IO[1..8] OR GM[7]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[7]維持
IO[1..8] OR GM[8]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[8]維持、及びGED[1..8]=10111111。
IO[1..8] OR GM[1]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[1]維持
IO[1..8] OR GM[2]=11011111;全ビットのAND=0;CNTR[2]減少
IO[1..8] OR GM[3]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[3]維持
IO[1..8] OR GM[4]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[4]維持
IO[1..8] OR GM[5]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[5]維持
IO[1..8] OR GM[6]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[6]維持
IO[1..8] OR GM[7]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[7]維持
IO[1..8] OR GM[8]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[8]維持、及びGED[1..8]=10111111。
エラーデータIO=10000001(すなわち、IO[1]及びIO[8]で合格、その他は全て不合格)と仮定する。その場合、
IO[1..8] OR GM[1]=10111111;全ビットのAND=0;CNTR[1]減少
IO[1..8] OR GM[2]=11001111;全ビットのAND=0;CNTR[2]減少
IO[1..8] OR GM[3]=11010011;全ビットのAND=0;CNTR[3]減少
IO[1..8] OR GM[4]=11111101;全ビットのAND=0;CNTR[4]減少
IO[1..8] OR GM[5]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[5]維持
IO[1..8] OR GM[6]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[6]維持
IO[1..8] OR GM[7]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[7]維持
IO[1..8] OR GM[8]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[8]維持、及びGED[1..8]=00001111。
IO[1..8] OR GM[1]=10111111;全ビットのAND=0;CNTR[1]減少
IO[1..8] OR GM[2]=11001111;全ビットのAND=0;CNTR[2]減少
IO[1..8] OR GM[3]=11010011;全ビットのAND=0;CNTR[3]減少
IO[1..8] OR GM[4]=11111101;全ビットのAND=0;CNTR[4]減少
IO[1..8] OR GM[5]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[5]維持
IO[1..8] OR GM[6]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[6]維持
IO[1..8] OR GM[7]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[7]維持
IO[1..8] OR GM[8]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[8]維持、及びGED[1..8]=00001111。
1カウンタにつき4つのIOビットをテストするため、グループビットマスクGroupMask[1]..GroupMask[8](以下、GM[1]..GM[8]と示す)は以下の通りにセットアップできる:
GroupMask[1]=00001111
GroupMask[2]=11110000
GroupMask[3]=11111111
GroupMask[4]=11111111
GroupMask[5]=11111111
GroupMask[6]=11111111
GroupMask[7]=11111111
GroupMask[8]=11111111
GroupMask[1]=00001111
GroupMask[2]=11110000
GroupMask[3]=11111111
GroupMask[4]=11111111
GroupMask[5]=11111111
GroupMask[6]=11111111
GroupMask[7]=11111111
GroupMask[8]=11111111
エラーデータIO=00100000(すなわち、IO[3]で不合格、その他は全て合格)と仮定する。その場合、
IO[1..8] OR GM[1]=11011111;全ビットのAND=0;CNTR[1]減少
IO[1..8] OR GM[2]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[2]維持
IO[1..8] OR GM[3]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[3]維持
IO[1..8] OR GM[4]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[4]維持
IO[1..8] OR GM[5]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[5]維持
IO[1..8] OR GM[6]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[6]維持
IO[1..8] OR GM[7]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[7]維持
IO[1..8] OR GM[8]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[8]維持、及びGED[1..8]=01111111。
IO[1..8] OR GM[1]=11011111;全ビットのAND=0;CNTR[1]減少
IO[1..8] OR GM[2]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[2]維持
IO[1..8] OR GM[3]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[3]維持
IO[1..8] OR GM[4]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[4]維持
IO[1..8] OR GM[5]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[5]維持
IO[1..8] OR GM[6]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[6]維持
IO[1..8] OR GM[7]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[7]維持
IO[1..8] OR GM[8]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[8]維持、及びGED[1..8]=01111111。
エラーデータIO=10000001(すなわち、IO[1]及びIO[8]で合格、その他は全て不合格)と仮定する。その場合、
IO[1..8] OR GM[1]=10001111;全ビットのAND=0;CNTR[1]減少
IO[1..8] OR GM[2]=11110001;全ビットのAND=0;CNTR[2]減少
IO[1..8] OR GM[3]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[3]維持
IO[1..8] OR GM[4]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[4]維持
IO[1..8] OR GM[5]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[5]維持
IO[1..8] OR GM[6]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[6]維持
IO[1..8] OR GM[7]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[7]維持
IO[1..8] OR GM[8]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[8]維持、及びGED[1..8]=00001111。
IO[1..8] OR GM[1]=10001111;全ビットのAND=0;CNTR[1]減少
IO[1..8] OR GM[2]=11110001;全ビットのAND=0;CNTR[2]減少
IO[1..8] OR GM[3]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[3]維持
IO[1..8] OR GM[4]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[4]維持
IO[1..8] OR GM[5]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[5]維持
IO[1..8] OR GM[6]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[6]維持
IO[1..8] OR GM[7]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[7]維持
IO[1..8] OR GM[8]=11111111;全ビットのAND=1;CNTR[8]維持、及びGED[1..8]=00001111。
グループ構成機能200の実施と付随する例は、限定ではなく専ら例示を目的としここに提示されていることを理解されたい。当業者であれば、ロジック機能を数多くの同等の方法で実施できること、そしてIOビットの「合格」と「不合格」とを指定するため、そして特定のグループにおけるIOビットの「包含」と「排除」とを指定するために用いる規約を交互に実施できることを理解するであろう。加えて、IOビットは任意に組み合わせてグループ化でき、IOビットは複数のグループに属することができる。
前述の通り、グループ構成機能40には、単一の欠陥としてまとめてカウントすべきピンをまとめてグループ化する作用がある。グループ化を実施する場合には、グループ化エラーデータGED[1..Z]が一時的に記憶され、且つ最終タグ画像への併合ステップの時に行われる。
エラーデータ画像から疎欠陥情報を抽出できることに加え、メモリデバイスの任意のセグメントまたはサブセグメントに対し図3の方法を実施できる点に注意されたい。これにより、所望により、メモリデバイスの一部分のみのテストが可能となるため有利である。
加えて、テスト対象メモリのワード幅より大きいネイティブワード幅を有するテスタでは、複数のテスト対象メモリを同時にテストできる。例えば、メモリテスタは32ビットのネイティブワード幅を有し、他方メモリDUTは8ビット(IO[1..8])のワードを有すると仮定する。そこで、テスタのネイティブワード幅を、4つのDUTの各々につき1つずつ、4つの8ビットセグメントに分割することにより、これらの8ビットメモリDUTの4つを一度にテストするのが望ましいかもしれない。この場合、グループマスクからなる異なる組をその都度使用しながらエラー画像を4回スキャンでき、各DUTにつき固有の行及び列タグ画像となる。代わりに、finalTag画像は4つのDUTをサポートするのに十分な幅を提供でき、この場合、エラー画像の1回のスキャンでDUT全4個の行及びタグ画像が同時に出来上がる。
図21は、テスト対象メモリデバイスのエラーデータ画像から疎欠陥情報抽出を実行するコンピュータシステム100である。コンピュータシステム100は、周知のコンピュータシステムに従い、プロセッサ101と、プログラムメモリ102と、データメモリ103と、入力/出力手段104(例えば、キーボード、マウス、ディスプレイモニター、外部メモリ読み取り部、その他を含む)とを含む。(例えば図3の方法に従い)疎欠陥情報抽出を実施する、プロセッサ101により実行可能なプログラム命令を含むプログラム105は、プログラムメモリ102に記憶でき、またはコンピュータシステム100によりアクセス可能なコンピュータ可読記憶媒体(外部ディスク109、またはフロッピーディスク111等)からアクセスすることができる。コンピュータシステム100は、メモリテスタ110によって生成されるデータエラー画像106を読み取る。データエラー画像106は、コンピュータシステム100によりアクセス可能なコンピュータ可読記憶媒体(外部ディスク109、またはフロッピーディスク111等)に記憶でき、これはその後コンピュータシステム100によりアクセスすることができ、データメモリ103に記憶できる。プロセッサ101は、要修復リスト107、疎欠陥リスト108、及び最終行及び列タグ画像112、113を生成できるプログラム105のプログラム命令を実行できる。
複数の次元が行次元と列次元を含む例示の実施形態を示したが、複数の次元は追加的に又は代替的に深さの次元、1つ以上の対角線の次元、及び/又は、関連する次元に沿ってメモリセルグループにアクセスするアドレス要素を対応させた、1つ以上の他のメモリセルグルーピングパターンを含む。
ここに記載して例示した実施形態はソフトウェア、ファームウェア及びハードウェア、もしくはそれらの適宜な組み合わせによって実行され得る。本発明の方法及び装置は、命令が実行されるコンピュータ又はマイクロプロセッサによって実施され得るが、前記命令はコンピュータ可読媒体において実行のために記憶され、任意の適切な命令プロセッサによって実行される。代替的な実施形態も考えられるが、それらは本発明の主旨及び範囲内にある。
以下本願の付記を示す。
(付記1)
メモリデバイス(20)のエラーデータ画像(30)から修復情報を抽出する方法であって、前記エラーデータ画像は、前記メモリデバイスの複数の次元(x,y)に沿って複数のメモリセルグループ(X[1]..X[M],Y[1]..Y[N])に編成された複数のメモリセル(22)の各々につき対応するエラーデータ(32)を備え、各々のメモリセルグループは、前記複数の次元の内1つに対応する複数のアドレス成分の内1つによってアドレス可能であり、前記エラーデータ画像は複数のビット(IO[1]..IO[Z])を備え、各ビットは前記メモリデバイスにある前記メモリセルの内異なる1つに対応し、且つ前記対応するメモリセルが有効でないか否かを指摘する値を有し、前記方法は、
選択されたアドレスからなる組の間で第一の次元(y)に沿って編成されたメモリセルグループ(Y[1]..Y[N])からなる第一の組における欠陥を求めて前記エラーデータ画像(30)をスキャンし、前記第一の組にある前記それぞれのメモリセルグループの各々に見られるそれぞれの欠陥数を追跡し、またそれぞれの欠陥数が第一の最大欠陥閾値に等しいかまたはこれを超過するメモリセルグループを追跡し、且つこれを要修復メモリセルグループとして指定すること(ステップ81)、
選択されたアドレスからなる前記組の間で第二の次元(x)に沿って編成されたメモリセルグループ(X[1]..X[M])からなる第二の組における欠陥を求めて前記エラーデータ画像をスキャンし、前記第二の組にある前記それぞれのメモリセルグループの各々に見られるそれぞれの欠陥数を追跡し、さらにそれぞれの欠陥数が第二の最大欠陥閾値に等しいかまたはこれを超過するメモリセルグループを追跡し、且つこれを要修復メモリセルグループとして指定すること(ステップ82)、及び
前記第一の組のメモリセルグループ(Y[1]..Y[N])に関連する第一のタグ画像(48)と、前記第二の組のメモリセルグループ(X[1]..X[M])に関連する第二のタグ画像(58)との内一方または両方を生成すること含み、前記第一のタグ画像は欠陥を含む前記第一の組のメモリセルを指摘し、前記第二のタグ画像は欠陥を含む前記第二の組のメモリセルグループを指摘し、ここで前記第一のタグ画像(48)と前記第二のタグ画像(58)の内少なくとも一方は、前記対応する組の指定要修復メモリセルグループにおける欠陥の指摘を除外する(ステップ84)こと、
を特徴とする方法。
メモリデバイス(20)のエラーデータ画像(30)から修復情報を抽出する方法であって、前記エラーデータ画像は、前記メモリデバイスの複数の次元(x,y)に沿って複数のメモリセルグループ(X[1]..X[M],Y[1]..Y[N])に編成された複数のメモリセル(22)の各々につき対応するエラーデータ(32)を備え、各々のメモリセルグループは、前記複数の次元の内1つに対応する複数のアドレス成分の内1つによってアドレス可能であり、前記エラーデータ画像は複数のビット(IO[1]..IO[Z])を備え、各ビットは前記メモリデバイスにある前記メモリセルの内異なる1つに対応し、且つ前記対応するメモリセルが有効でないか否かを指摘する値を有し、前記方法は、
選択されたアドレスからなる組の間で第一の次元(y)に沿って編成されたメモリセルグループ(Y[1]..Y[N])からなる第一の組における欠陥を求めて前記エラーデータ画像(30)をスキャンし、前記第一の組にある前記それぞれのメモリセルグループの各々に見られるそれぞれの欠陥数を追跡し、またそれぞれの欠陥数が第一の最大欠陥閾値に等しいかまたはこれを超過するメモリセルグループを追跡し、且つこれを要修復メモリセルグループとして指定すること(ステップ81)、
選択されたアドレスからなる前記組の間で第二の次元(x)に沿って編成されたメモリセルグループ(X[1]..X[M])からなる第二の組における欠陥を求めて前記エラーデータ画像をスキャンし、前記第二の組にある前記それぞれのメモリセルグループの各々に見られるそれぞれの欠陥数を追跡し、さらにそれぞれの欠陥数が第二の最大欠陥閾値に等しいかまたはこれを超過するメモリセルグループを追跡し、且つこれを要修復メモリセルグループとして指定すること(ステップ82)、及び
前記第一の組のメモリセルグループ(Y[1]..Y[N])に関連する第一のタグ画像(48)と、前記第二の組のメモリセルグループ(X[1]..X[M])に関連する第二のタグ画像(58)との内一方または両方を生成すること含み、前記第一のタグ画像は欠陥を含む前記第一の組のメモリセルを指摘し、前記第二のタグ画像は欠陥を含む前記第二の組のメモリセルグループを指摘し、ここで前記第一のタグ画像(48)と前記第二のタグ画像(58)の内少なくとも一方は、前記対応する組の指定要修復メモリセルグループにおける欠陥の指摘を除外する(ステップ84)こと、
を特徴とする方法。
(付記2)
前記第一のタグ画像(48)は、欠陥を含む前記第一の組のメモリセルを同時アドレス可能IOビット(IO[1]..IO[Z])ごとに指摘し、前記第二のタグ画像(58)は、欠陥を含む前記第二の組のメモリセルを同時アドレス可能IOビット(IO[1]..IO[Z])ごとに指摘すること、
を特徴とする付記1に記載の方法。
前記第一のタグ画像(48)は、欠陥を含む前記第一の組のメモリセルを同時アドレス可能IOビット(IO[1]..IO[Z])ごとに指摘し、前記第二のタグ画像(58)は、欠陥を含む前記第二の組のメモリセルを同時アドレス可能IOビット(IO[1]..IO[Z])ごとに指摘すること、
を特徴とする付記1に記載の方法。
(付記3)
前記第一の組にある前記それぞれのメモリセルグループの同時アドレス可能IOビット(IO[1]..IO[Z])を複数の第一のIOビットグループにグループ化し、前記第一の組にある前記それぞれのメモリセルグループの各々にてそれぞれの欠陥数を第一のIOビットグループごとに追跡し、さらにそれぞれの欠陥数が第一の最大欠陥閾値に等しいかまたはこれを超過するメモリセルグループを追跡し、且つこれを要修復メモリセルグループとして指定すること(ステップ87)、
前記第二の組にある前記それぞれのメモリセルグループの同時アドレス可能IOビット(IO[1]..IO[Z])を複数の第二のIOビットグループにグループ化し、前記第二の組にある前記それぞれのメモリセルグループの各々にてそれぞれの欠陥数を第二のIOビットグループごとに追跡し、さらにそれぞれの欠陥数が第二の最大欠陥閾値に等しいかまたはこれを超過するメモリセルグループを追跡し、且つこれを要修復メモリセルグループとして指定すること(ステップ89)をさらに含むこと、
を特徴とする付記1に記載の方法。
前記第一の組にある前記それぞれのメモリセルグループの同時アドレス可能IOビット(IO[1]..IO[Z])を複数の第一のIOビットグループにグループ化し、前記第一の組にある前記それぞれのメモリセルグループの各々にてそれぞれの欠陥数を第一のIOビットグループごとに追跡し、さらにそれぞれの欠陥数が第一の最大欠陥閾値に等しいかまたはこれを超過するメモリセルグループを追跡し、且つこれを要修復メモリセルグループとして指定すること(ステップ87)、
前記第二の組にある前記それぞれのメモリセルグループの同時アドレス可能IOビット(IO[1]..IO[Z])を複数の第二のIOビットグループにグループ化し、前記第二の組にある前記それぞれのメモリセルグループの各々にてそれぞれの欠陥数を第二のIOビットグループごとに追跡し、さらにそれぞれの欠陥数が第二の最大欠陥閾値に等しいかまたはこれを超過するメモリセルグループを追跡し、且つこれを要修復メモリセルグループとして指定すること(ステップ89)をさらに含むこと、
を特徴とする付記1に記載の方法。
(付記4)
指定要修復メモリセルグループのメモリアドレスからなる要修復リスト(60)を保守すること(ステップ83)をさらに含むこと、
を特徴とする付記1、2、または3に記載の方法。
指定要修復メモリセルグループのメモリアドレスからなる要修復リスト(60)を保守すること(ステップ83)をさらに含むこと、
を特徴とする付記1、2、または3に記載の方法。
(付記5)
疎らな欠陥を含むメモリアドレスからなる疎欠陥リスト(72)を保守すること(ステップ85)をさらに含むこと、
を特徴とする付記4に記載の方法。
疎らな欠陥を含むメモリアドレスからなる疎欠陥リスト(72)を保守すること(ステップ85)をさらに含むこと、
を特徴とする付記4に記載の方法。
(付記6)
疎らな欠陥を含むメモリアドレスからなる疎欠陥リスト(72)を保守すること(ステップ85)をさらに含むこと、
を特徴とする付記1、2、または3に記載の方法。
疎らな欠陥を含むメモリアドレスからなる疎欠陥リスト(72)を保守すること(ステップ85)をさらに含むこと、
を特徴とする付記1、2、または3に記載の方法。
(付記7)
メモリデバイス(20)のエラーデータ画像(30)から修復情報を抽出するシステムであって、前記エラーデータ画像は、前記メモリデバイスの複数の次元(x,y)に沿って複数のメモリセルグループ(X[1]..X[M],Y[1]..Y[N])に編成された複数のメモリセル(22)の各々につき対応するエラーデータ(32)を備え、各々のメモリセルグループは、前記複数の次元の内1つに対応する複数のアドレス成分の内1つによってアドレス可能であり、前記エラーデータ画像は複数のビット(IO[1]..IO[Z])を備え、各ビットは前記メモリデバイスにある前記メモリセルの内異なる1つに対応し、且つ前記対応するメモリセルが有効でないか否かを指摘する値を有し、前記システムは、
選択されたアドレスからなる組の間で第一の次元(y)に沿って編成されたメモリセルグループ(Y[1]..Y[N])からなる第一の組における欠陥を求めて前記エラーデータ画像(30、106)をスキャンし、前記第一の組にある前記それぞれのメモリセルグループの各々に見られるそれぞれの欠陥数を追跡し、さらにそれぞれの欠陥数が第一の最大欠陥閾値に等しいかまたはこれを超過するメモリセルグループを追跡し、且つこれを要修復メモリセルグループとして指定し(ステップ81)、選択されたアドレスからなる前記組の間で第二の次元(x)に沿って編成されたメモリセルグループ(X[1]..X[M])からなる第二の組における欠陥を求めて前記エラーデータ画像をスキャンし、前記第二の組にある前記それぞれのメモリセルグループの各々に見られるそれぞれの欠陥数を追跡し、さらにそれぞれの欠陥数が第二の最大欠陥閾値に等しいかまたはこれを超過するメモリセルグループを追跡し、且つこれを要修復メモリセルグループとして指定するプロセッサ、
欠陥を含む前記第一の組のメモリセルを指摘する、前記第一の組のメモリセルグループに関連する第一のタグ画像(48)、及び
欠陥を含む前記第二の組のメモリセルグループを指摘する、前記第二の組のメモリセルグループに関連する第二のタグ画像(58)を備え、
ここで前記第一のタグ画像(48)と前記第二のタグ画像(58)の内少なくとも一方は、前記対応する組の指定要修復メモリセルグループにおける欠陥の指摘を除外すること、
を特徴とするシステム。
メモリデバイス(20)のエラーデータ画像(30)から修復情報を抽出するシステムであって、前記エラーデータ画像は、前記メモリデバイスの複数の次元(x,y)に沿って複数のメモリセルグループ(X[1]..X[M],Y[1]..Y[N])に編成された複数のメモリセル(22)の各々につき対応するエラーデータ(32)を備え、各々のメモリセルグループは、前記複数の次元の内1つに対応する複数のアドレス成分の内1つによってアドレス可能であり、前記エラーデータ画像は複数のビット(IO[1]..IO[Z])を備え、各ビットは前記メモリデバイスにある前記メモリセルの内異なる1つに対応し、且つ前記対応するメモリセルが有効でないか否かを指摘する値を有し、前記システムは、
選択されたアドレスからなる組の間で第一の次元(y)に沿って編成されたメモリセルグループ(Y[1]..Y[N])からなる第一の組における欠陥を求めて前記エラーデータ画像(30、106)をスキャンし、前記第一の組にある前記それぞれのメモリセルグループの各々に見られるそれぞれの欠陥数を追跡し、さらにそれぞれの欠陥数が第一の最大欠陥閾値に等しいかまたはこれを超過するメモリセルグループを追跡し、且つこれを要修復メモリセルグループとして指定し(ステップ81)、選択されたアドレスからなる前記組の間で第二の次元(x)に沿って編成されたメモリセルグループ(X[1]..X[M])からなる第二の組における欠陥を求めて前記エラーデータ画像をスキャンし、前記第二の組にある前記それぞれのメモリセルグループの各々に見られるそれぞれの欠陥数を追跡し、さらにそれぞれの欠陥数が第二の最大欠陥閾値に等しいかまたはこれを超過するメモリセルグループを追跡し、且つこれを要修復メモリセルグループとして指定するプロセッサ、
欠陥を含む前記第一の組のメモリセルを指摘する、前記第一の組のメモリセルグループに関連する第一のタグ画像(48)、及び
欠陥を含む前記第二の組のメモリセルグループを指摘する、前記第二の組のメモリセルグループに関連する第二のタグ画像(58)を備え、
ここで前記第一のタグ画像(48)と前記第二のタグ画像(58)の内少なくとも一方は、前記対応する組の指定要修復メモリセルグループにおける欠陥の指摘を除外すること、
を特徴とするシステム。
(付記8)
前記第一のタグ画像(48)は、欠陥を含む前記第一の組のメモリセルを同時アドレス可能IOビットごとに指摘し、前記第二のタグ画像は、欠陥を含む前記第二の組のメモリセルを同時アドレス可能IOビットごとに指摘すること、
を特徴とする付記7に記載のシステム。
前記第一のタグ画像(48)は、欠陥を含む前記第一の組のメモリセルを同時アドレス可能IOビットごとに指摘し、前記第二のタグ画像は、欠陥を含む前記第二の組のメモリセルを同時アドレス可能IOビットごとに指摘すること、
を特徴とする付記7に記載のシステム。
(付記9)
前記第一のタグ画像(48)は、欠陥を含む前記第一の組のメモリセルを同時アドレス可能IOビットグループごとに指摘し、前記第一の組にある前記それぞれのメモリセルグループは複数の第一のIOビットグループにグループ化され、さらに前記第二のタグ画像(58)は、欠陥を含む前記第二の組のメモリセルを同時アドレス可能IOビットグループごとに指摘し、前記第二の組にある前記それぞれのメモリセルグループは複数の第二のIOビットグループにグループ化されること、
を特徴とする付記7に記載のシステム。
前記第一のタグ画像(48)は、欠陥を含む前記第一の組のメモリセルを同時アドレス可能IOビットグループごとに指摘し、前記第一の組にある前記それぞれのメモリセルグループは複数の第一のIOビットグループにグループ化され、さらに前記第二のタグ画像(58)は、欠陥を含む前記第二の組のメモリセルを同時アドレス可能IOビットグループごとに指摘し、前記第二の組にある前記それぞれのメモリセルグループは複数の第二のIOビットグループにグループ化されること、
を特徴とする付記7に記載のシステム。
(付記10)
前記第一のタグ画像と前記第二のタグ画像とから決定された疎らな欠陥を含むメモリアドレスからなる疎欠陥リスト(72)をさらに備えることを特徴とする付記7、8、または9に記載のシステム。
前記第一のタグ画像と前記第二のタグ画像とから決定された疎らな欠陥を含むメモリアドレスからなる疎欠陥リスト(72)をさらに備えることを特徴とする付記7、8、または9に記載のシステム。
4 メモリテスタ
6 エラーデータ画像
8 冗長行
10 冗長列
12 列タグ
14 行タグ
6 エラーデータ画像
8 冗長行
10 冗長列
12 列タグ
14 行タグ
Claims (16)
- メモリデバイスのエラーデータ画像から修復情報を抽出する方法であって、前記エラーデータ画像は、前記メモリデバイスの複数の次元に沿って複数のメモリセルグループに編成された複数のメモリセルの各々につき対応するエラーデータを備え、各々のメモリセルグループは、前記複数の次元の内1つに対応する複数のアドレス成分の内1つによってアドレス可能であり、前記エラーデータ画像は複数のビットを備え、各ビットは前記メモリデバイスにある前記メモリセルの内異なる1つに対応し、且つ前記対応するメモリセルが有効でないか否かを指摘する値を有し、前記方法は、
選択されたアドレスからなる組の間で第一の次元に沿って編成されたメモリセルグループからなる第一の組における欠陥を求めて前記エラーデータ画像をスキャンし、前記第一の組にある前記それぞれのメモリセルグループの各々に見られるそれぞれの欠陥数を追跡し、さらにそれぞれの欠陥数が第一の最大欠陥閾値に等しいかまたはこれを超過するメモリセルグループを追跡し、且つこれを要修復メモリセルグループとして指定すること、
選択されたアドレスからなる前記組の間で第二の次元に沿って編成されたメモリセルグループからなる第二の組における欠陥を求めて前記エラーデータ画像をスキャンし、前記第二の組にある前記それぞれのメモリセルグループの各々に見られるそれぞれの欠陥数を追跡し、さらにそれぞれの欠陥数が第二の最大欠陥閾値に等しいかまたはこれを超過するメモリセルグループを追跡し、且つこれを要修復メモリセルグループとして指定すること、及び
前記第一の組のメモリセルグループに関連する第一のタグ画像と前記第二の組のメモリセルグループに関連する第二のタグ画像との内一方または両方を生成すること含み、前記第一のタグ画像は欠陥を含む前記第一の組のメモリセルを指摘し、前記第二のタグ画像は欠陥を含む前記第二の組のメモリセルグループを指摘し、ここで前記第一のタグ画像と前記第二のタグ画像の内少なくとも一方は、前記対応する組の指定要修復メモリセルグループにおける欠陥の指摘を除外すること、
を特徴とする方法。 - 指定要修復メモリセルグループのメモリアドレスからなるリストを保守することをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 疎らな欠陥を含むメモリアドレスからなるリストを保守することをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。
- メモリデバイスのエラーデータ画像から修復情報を抽出する方法であって、前記エラーデータ画像は、前記メモリデバイスの複数の次元に沿って複数のメモリセルグループに編成された複数のメモリセルの各々につき対応するエラーデータを備え、各々のメモリセルグループは、前記複数の次元の内1つに対応する複数のアドレス成分の内1つによってアドレス可能であり、前記エラーデータ画像は複数のビットを備え、各ビットは前記メモリデバイスにある前記メモリセルの内異なる1つに対応し、且つ前記対応するメモリセルが有効でないか否かを指摘する値を有し、前記方法は、
選択されたアドレスからなる組の間で第一の次元に沿って編成されたメモリセルグループからなる第一の組における欠陥を求めて前記エラーデータ画像をスキャンし、前記第一の組にある前記それぞれのメモリセルグループの各々にてそれぞれの欠陥数を同時アドレス可能IOビットごとに追跡し、さらにそれぞれの欠陥数が第一の最大欠陥閾値に等しいかまたはこれを超過するメモリセルグループを追跡し、且つこれを要修復メモリセルグループとして指定すること、
選択されたアドレスからなる前記組の間で第二の次元に沿って編成されたメモリセルグループからなる第二の組における欠陥を求めて前記エラーデータ画像をスキャンし、前記第二の組にある前記それぞれのメモリセルグループの各々にてそれぞれの欠陥数を同時アドレス可能IOビットごとに追跡し、さらにそれぞれの欠陥数が第二の最大欠陥閾値に等しいかまたはこれを超過するメモリセルグループを追跡し、且つこれを要修復メモリセルグループとして指定すること、及び
前記第一の組のメモリセルグループに関連する第一のタグ画像と前記第二の組のメモリセルグループに関連する第二のタグ画像との内一方または両方を生成すること含み、前記第一のタグ画像は欠陥を含む前記第一の組のメモリセルを同時アドレス可能IOビットごとに指摘し、前記第二のタグ画像は欠陥を含む前記第二の組のメモリセルグループを同時アドレス可能IOビットごとに指摘し、ここで前記第一のタグ画像と前記第二のタグ画像の内少なくとも一方は、前記対応する組の指定要修復メモリセルグループにおける欠陥の指摘を除外すること、
を特徴とする方法。 - 指定要修復メモリセルグループのメモリアドレスからなるリストを保守することさらに含むことを特徴とする請求項4に記載の方法。
- 疎らな欠陥を含むメモリアドレスからなるリストを保守することをさらに含むことを特徴とする請求項4に記載の方法。
- メモリデバイスのエラーデータ画像から修復情報を抽出する方法であって、前記エラーデータ画像は、前記メモリデバイスの複数の次元に沿って複数のメモリセルグループに編成された複数のメモリセルの各々につき対応するエラーデータを備え、各々のメモリセルグループは、前記複数の次元の内1つに対応する複数のアドレス成分の内1つによってアドレス可能であり、前記エラーデータ画像は複数のビットを備え、各ビットは前記メモリデバイスにある前記メモリセルの内異なる1つに対応し、且つ前記対応するメモリセルが有効でないか否かを指摘する値を有し、前記方法は、
選択されたアドレスからなる組の間で第一の次元に沿って編成されたメモリセルグループからなる第一の組における欠陥を求めて前記エラーデータ画像をスキャンし、前記第一の組にある前記それぞれのメモリセルグループの同時アドレス可能IOビットを複数の第一のIOビットグループにグループ化し、前記第一の組にある前記それぞれのメモリセルグループの各々にてそれぞれの欠陥数を第一のIOビットグループごとに追跡し、さらにそれぞれの欠陥数が第一の最大欠陥閾値に等しいかまたはこれを超過するメモリセルグループを追跡し、且つこれを要修復メモリセルグループとして指定すること、
選択されたアドレスからなる前記組の間で第二の次元に沿って編成されたメモリセルグループからなる第二の組における欠陥を求めて前記エラーデータ画像をスキャンし、前記第二の組にある前記それぞれのメモリセルグループの同時アドレス可能IOビットを複数の第二のIOビットグループにグループ化し、前記第二の組にある前記それぞれのメモリセルグループの各々にてそれぞれの欠陥数を第二のIOビットグループごとに追跡し、さらにそれぞれの欠陥数が第二の最大欠陥閾値に等しいかまたはこれを超過するメモリセルグループを追跡し、且つこれを要修復メモリセルグループとして指定すること、及び
前記第一の組のメモリセルグループに関連する第一のタグ画像と前記第二の組のメモリセルグループに関連する第二のタグ画像との内一方または両方を生成すること含み、前記第一のタグ画像は欠陥を含む前記第一の組のメモリセルを指摘し、前記第二のタグ画像は欠陥を含む前記第二の組のメモリセルグループを指摘し、ここで前記第一のタグ画像と前記第二のタグ画像の内少なくとも一方は、前記対応する組の指定要修復メモリセルグループにおける欠陥の指摘を除外すること、
を特徴とする方法。 - 指定要修復メモリセルグループのメモリアドレスからなるリストを保守することをさらに含むことを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 疎らな欠陥を含むメモリアドレスからなるリストを保守することをさらに含むことを特徴とする請求項7に記載の方法。
- メモリデバイスのエラーデータ画像から修復情報を抽出する方法を実施するプログラム命令を実体的に具現するコンピュータ可読記憶媒体であって、前記エラーデータ画像は、前記メモリデバイスの複数の次元に沿って複数のメモリセルグループに編成された複数のメモリセルの各々につき対応するエラーデータを備え、各々のメモリセルグループは、前記複数の次元の内1つに対応する複数のアドレス成分の内1つによってアドレス可能であり、前記エラーデータ画像は複数のビットを備え、各ビットは前記メモリデバイスにある前記メモリセルの内異なる1つに対応し、且つ前記対応するメモリセルが有効でないか否かを指摘する値を有し、前記方法は、
選択されたアドレスからなる組の間で第一の次元に沿って編成されたメモリセルグループからなる第一の組における欠陥を求めて前記エラーデータ画像をスキャンし、前記第一の組にある前記それぞれのメモリセルグループの各々に見られるそれぞれの欠陥数を追跡し、さらにそれぞれの欠陥数が第一の最大欠陥閾値に等しいかまたはこれを超過するメモリセルグループを追跡し、且つこれを要修復メモリセルグループとして指定すること、
選択されたアドレスからなる前記組の間で第二の次元に沿って編成されたメモリセルグループからなる第二の組における欠陥を求めて前記エラーデータ画像をスキャンし、前記第二の組にある前記それぞれのメモリセルグループの各々に見られるそれぞれの欠陥数を追跡し、さらにそれぞれの欠陥数が第二の最大欠陥閾値に等しいかまたはこれを超過するメモリセルグループを追跡し、且つこれを要修復メモリセルグループとして指定すること、及び
前記第一の組のメモリセルグループに関連する第一のタグ画像と前記第二の組のメモリセルグループに関連する第二のタグ画像との内一方または両方を生成すること含み、前記第一のタグ画像は欠陥を含む前記第一の組のメモリセルを指摘し、前記第二のタグ画像は欠陥を含む前記第二の組のメモリセルグループを指摘し、ここで前記第一のタグ画像と前記第二のタグ画像の内少なくとも一方は、前記対応する組の指定要修復メモリセルグループにおける欠陥の指摘を除外すること、
を特徴とするコンピュータ可読記憶媒体。 - 前記第一の組にある前記それぞれのメモリセルグループの各々に見られるそれぞれの欠陥数を追跡する前記ステップは、前記第一の組にある前記それぞれのメモリセルグループの各々にてそれぞれの欠陥数を同時アドレス可能ビットごとに追跡することを含み、さらに
前記第二の組にある前記それぞれのメモリセルグループの各々に見られるそれぞれの欠陥数を追跡する前記ステップは、前記第二の組にある前記それぞれのメモリセルグループの各々にてそれぞれの欠陥数を同時アドレス可能ビットごとに追跡することを含むこと、
を特徴とする請求項10に記載のコンピュータ可読記憶媒体。 - 前記第一の組にある前記それぞれのメモリセルグループの各々に見られるそれぞれの欠陥数を追跡する前記ステップは、前記第一の組にある前記それぞれのメモリセルグループの同時アドレス可能IOビットを複数の第一のIOビットグループにグループ化し、さらに前記第一の組にある前記それぞれのメモリセルグループの各々にてそれぞれの欠陥数を第一のIOビットグループごとに追跡することを含み、さらに
前記第二の組にある前記それぞれのメモリセルグループの各々に見られるそれぞれの欠陥数を追跡する前記ステップは、前記第二の組にある前記それぞれのメモリセルグループの同時アドレス可能IOビットを複数の第二のIOビットグループにグループ化し、さらに前記第二の組にある前記それぞれのメモリセルグループの各々にてそれぞれの欠陥数を第二のIOビットグループごとに追跡することを含むこと、
を特徴とする請求項10に記載のコンピュータ可読記憶媒体。 - 前記方法が、指定要修復メモリセルグループのメモリアドレスからなるリストを保守することをさらに含むこと、
を特徴とする請求項10に記載のコンピュータ可読記憶媒体。 - 前記方法が、疎らな欠陥を含むメモリアドレスからなるリストを保守することをさらに含むこと、
を特徴とする請求項10に記載のコンピュータ可読記憶媒体。 - メモリデバイスのエラーデータ画像から修復情報を抽出するシステムであって、前記エラーデータ画像は、前記メモリデバイスの複数の次元に沿って複数のメモリセルグループに編成された複数のメモリセルの各々につき対応するエラーデータを備え、各々のメモリセルグループは、前記複数の次元の内1つに対応する複数のアドレス成分の内1つによってアドレス可能であり、前記エラーデータ画像は複数のビットを備え、各ビットは前記メモリデバイスにある前記メモリセルの内異なる1つに対応し、且つ前記対応するメモリセルが有効でないか否かを指摘する値を有し、前記システムは、
選択されたアドレスからなる組の間で第一の次元に沿って編成されたメモリセルグループからなる第一の組における欠陥を求めて前記エラーデータ画像をスキャンし、前記第一の組にある前記それぞれのメモリセルグループの各々に見られるそれぞれの欠陥数を追跡し、さらにそれぞれの欠陥数が第一の最大欠陥閾値に等しいかまたはこれを超過するメモリセルグループを追跡し、且つこれを要修復メモリセルグループとして指定すること、
選択されたアドレスからなる前記組の間で第二の次元に沿って編成されたメモリセルグループからなる第二の組における欠陥を求めて前記エラーデータ画像をスキャンし、前記第二の組にある前記それぞれのメモリセルグループの各々に見られるそれぞれの欠陥数を追跡し、さらにそれぞれの欠陥数が第二の最大欠陥閾値に等しいかまたはこれを超過するメモリセルグループを追跡し、且つこれを要修復メモリセルグループとして指定すること、及び
前記第一の組のメモリセルグループに関連する第一のタグ画像と前記第二の組のメモリセルグループに関連する第二のタグ画像との内一方または両方を生成するプロセッサを備え、前記第一のタグ画像は欠陥を含む前記第一の組のメモリセルを指摘し、前記第二のタグ画像は欠陥を含む前記第二の組のメモリセルグループを指摘し、ここで前記第一のタグ画像と前記第二のタグ画像の内少なくとも一方は、前記対応する組の指定要修復メモリセルグループにおける欠陥の指摘を除外すること、
を特徴とするシステム。 - 前記エラーデータ画像を生成するメモリテスタをさらに備えることを特徴とする請求項15に記載のシステム。
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